DE3433009C2

DE3433009C2 - Machine for flat lapping or surface grinding of workpieces

Info

Publication number: DE3433009C2
Application number: DE19843433009
Authority: DE
Inventors: Rudolf Dipl Ing Brugger; Alfred Schilling; Franz Cesak
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1984-09-07
Filing date: 1984-09-07
Publication date: 1994-12-08
Anticipated expiration: 2004-09-08
Also published as: DE3433009A1

Description

Die Erfindung betrifft eine Maschine zum Flachläppen oder Flachschleifen von Werkstücken.The invention relates to a machine for flat lapping or Surface grinding of workpieces.

In der älteren deutschen Patentanmeldung entsprechend der DE 34 08 783 A1 ist eine Verbindungsanordnung für Licht wellenleiter beschrieben, bei welcher die einzelnen Licht wellenleiter in geätzten Zentrierrillen von Trägerkörpern aus Silizium fixiert sind. Die Ausrichtung und Führung von zwei mit Lichtwellenleitern bestückten Trägerkörpern erfolgt mit Hilfe von Führungselementen mit angeformten Profilen, die in ebenfalls geätzte Zusatzrillen der Trägerkörper ein greifen, wobei die Führungselemente die gemeinsame Trenn stelle überbrücken. Um die Koppelverluste an den Trenn stellen möglichst gering zu halten, muß dann die gemeinsame Stirnfläche des Trägerkörpers, der Lichtwellenleiter und einer ggf. vorhandenen Abdeckplatte zur Oberflächenver besserung und zur Erzielung hoher Maß- und Formgenauigkeiten einer Feinstbearbeitung unterzogen werden. Diese auch bei anderen Lichtwellenleiterverbindungen erforderliche Feinst bearbeitung der Stirnseiten der Lichtwellenleiter wird meist durch Flachschleifen und nachfolgendes Flachläppen mit zu nehmend feinerem Läppkorn durchgeführt. Die zu bearbeitenden Trägerkörper oder Lichtwellenleiter werden dabei von Hand mit möglichst achterförmigen kreisenden Bewegungen gegen die rotierende Schleif- oder Läppscheibe gedrückt. Durch den fortwährenden Richtungswechsel soll dabei verhindert werden, daß sich die Schneidbahnen innerhalb eines Schleifzyklus an der gleichen Stelle wiederholen und damit ausgeprägte Kratz spuren hinterlassen. Durch eine derartige Feinstbearbeitung können jedoch die an die Oberflächengüte und Maßgenauigkeit zu stellenden Anforderungen nicht erfüllt werden. Insbeson dere treten häufig unzulässig große Winkelfehler sowie un zulässig tiefe Kratzspuren bzw. durch verschleppte Läpp körner verursachte Krater auf. Außerdem sind die erzielbaren Ergebnisse nicht reproduzierbar, da sie in starkem Maße von der Geschicklichkeit und der jeweiligen Verfassung der Be dienungsperson abhängen.In the older German patent application according to the DE 34 08 783 A1 is a connection arrangement for light waveguide described, in which the individual light waveguide in etched centering grooves of support bodies are fixed from silicon. The alignment and management of two carrier bodies equipped with optical fibers with the help of guide elements with molded profiles, into the also etched additional grooves of the carrier body grip, the guide elements the common separation bridge. To the coupling losses at the separator keep as low as possible, then the common End face of the carrier body, the optical waveguide and an existing cover plate for surface ver improvement and to achieve high dimensional and shape accuracy undergo a fine machining. This also at other fiber optic connections required Machining the end faces of the optical fibers is mostly by surface grinding and subsequent flat lapping with too using finer lapping grain. The ones to be processed Carrier bodies or optical fibers are made by hand with circular movements against the rotating grinding or lapping disc pressed. By the continuous change of direction should be prevented that the cutting paths are within one grinding cycle Repeat the same place and thus pronounced scratch leave traces. Through such fine machining However, the surface quality and dimensional accuracy requirements to be made are not met. In particular Often there are impermissibly large angular errors and un permissible deep scratch marks or due to dragged lapping grains caused craters. In addition, the achievable Results are not reproducible as they vary greatly the skill and the respective constitution of the Be depend on the servant.

Aus dem 3P-Abstract 59-110 540 A (PATENTS ABSTRACTS OF JAPAN, M-333 October 23, 1984 Vol. 8/No. 230) ist eine Einrichtung für die Feinstbearbeitung der Stirnseiten von Lichtwellenleitern bekannt, bei welcher die Stirnseiten gegen ein scheibenförmiges Polierwerkzeug gedrückt werden. Das scheibenförmige Polierwerkzeug ist exzentrisch auf einer Drehscheibe angeordnet, wobei sowohl das Polierwerkzeug als auch die Drehscheibe angetrieben sind und sich jeweils um ihre eigene Achse drehen. From 3P abstract 59-110 540 A (PATENTS ABSTRACTS OF JAPAN, M-333 October 23, 1984 Vol. 8 / No. 230) is one Device for the fine machining of the end faces of Optical fibers known in which the end faces be pressed against a disc-shaped polishing tool. The disc-shaped polishing tool is eccentric on one Turntable arranged, both the polishing tool and also the turntable are driven and each one around turn their own axis.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Maschine zum Flachläppen oder Flachschleifen von Werkstücken zu schaffen, welche die bei der Feinstbearbeitung der Stirn seiten von Lichtwellenleitern an die Oberflächengüte und Maßgenauigkeit zu stellenden hohen Anforderungen erfüllt und reproduzierbare Ergebnisse liefert.The invention has for its object a machine for To create flat lapping or surface grinding of workpieces, which is used in the fine machining of the forehead sides of optical fibers to the surface quality and Dimensional accuracy to meet high requirements and provides reproducible results.

Diese Aufgabe wird durch die im Patentanspruch 1 angegebenen Merk male gelöst.This object is achieved by the note specified in claim 1 times solved.

Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, daß einem ver schiebbar auf der Gleitebene der ausgegebenen Maschine an geordneten Schleifmittelträger derartige Bewegungen aufge prägt werden können, deren Kurven sich innerhalb eines Schleifzyklus nicht an der gleichen Stelle wiederholen. Durch die Entkoppelung der Relativbewegungen von Werkstück und Schleifmittelträger können dann die Werkstücke bis auf die axiale Zustellbewegung mit dem erforderlichen Anpreß druck ruhend und derart fixiert angeordnet werden, daß sich eine äußerst hohe Maßgenauigkeit ergibt. Damit wird dann auch ein automatisches Flachläppen oder Flachschleifen er möglicht, durch welches reproduzierbare Ergebnisse gewähr leistet werden. Als Kurven, die sich innerhalb eines Schleifzyklus nicht an der gleichen Stelle wiederholen und die mit vertretbarem Aufwand durch entsprechende Getriebe erzeugt werden können, wurden Epizykloiden und Hypozykloiden ermittelt. Gemäß der Definition dieser Kurven beschreibt ein Punkt der Peripherie eines Kreises, der, ohne zu gleiten, auf einem festen Kreise seiner Ebene rollt, eine Epizykloide, wenn die Berührung der Kreise außen und eine Hypozykloide, wenn die Berührung innen stattfindet. Zu diesen Kurven gehören auch als Sonderfall der Epizykloide die Kardioide, als Sonderfall der Hypozykloide die Astroide sowie die verlängerte oder verkürzte Epi- oder Hypozykloide. Letztere Kurven entstehen, wenn der erzeugende Punkt außer halb oder innerhalb des erzeugenden Kreises im Abstand von dessen Mittelpunkt liegt. Die Epi- und Hypozykloiden haben außerdem den Vorteil, daß sie kurzhubige Schleifbewegungen ermöglichen, was für die Erzielung optimaler Schleif- oder Läppergebnisse ebenfalls von wesentlicher Bedeutung ist.The invention is based on the knowledge that a ver can be pushed on the sliding plane of the machine being dispensed orderly abrasive carriers such movements can be shaped, whose curves are within a Do not repeat the grinding cycle at the same point. By decoupling the relative movements of the workpiece and the abrasive carrier can then move the workpieces up to the axial feed movement with the required contact pressure pressure resting and arranged so fixed that results in extremely high dimensional accuracy. So then also automatic surface lapping or surface grinding possible, which guarantees reproducible results to be achieved. As curves that are within a Do not repeat the grinding cycle at the same point and the with reasonable effort through appropriate gear epicycloids and hypocycloids were generated determined. According to the definition of these curves, a describes Point of the periphery of a circle that, without sliding, rolls on a fixed circle of its plane, one Epicycloid when touching the circles outside and one Hypocycloid when the touch takes place inside. To these curves also belong as a special case of the epicycloid the cardioids, astroids as a special case of the hypocycloids as well as the elongated or shortened epi- or hypocycloid. The latter curves arise when the generating point is out half or within the generating circle at a distance of whose center lies. The epi- and hypocycloids have also the advantage that they have short-stroke grinding movements enable what to achieve optimal grinding or Lapping results are also essential.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den An sprüchen 2 bis 24 angegeben.Advantageous embodiments of the invention are in the An say 2 to 24.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und wird im folgenden näher beschrieben. Es zeigen:An embodiment of the invention is in the drawing shown and is described in more detail below. Show it:

Fig. 1 das Grundprinzip der Erzeugung einer verkürzten Hypozykloide und der Übertragung dieses Kurvenverlaufs auf einen Schleifmittelträger, Fig. 1 illustrates the basic principle of generating a shortened hypocycloid and the transmission of this waveform to an abrasive agent carrier,

Fig. 2 eine Draufsicht auf den Schleifmittelträger und die beiden Getriebe einer Maschine zum Flachläppen oder Flach schleifen und Fig. 2 is a plan view of the abrasive carrier and the two gears of a machine for flat lapping or grinding and

Fig. 3 einen Schnitt gemäß der Linie III-III in Fig. 2. Fig. 3 is a section according to the line III-III in Fig. 2.

Fig. 1 zeigt in stark vereinfachter schematischer Dar stellung das Grundprinzip einer erfindungsgemäßen Maschine zum Flachläppen oder Flachschleifen. Es ist ein erstes Ge triebe G zu erkennen, bei welchem auf der inneren Peripherie eines festen Kreises fK mit dem Mittelpunkt M1 ein erzeugen der Kreis eK ohne zu gleiten rollt. Innerhalb des erzeugen den Kreises eK ist im Abstand zu dessen Mittelpunkt ein Exzenterpunkt E aufgezeigt, welcher eine verkürzte Hypo zykloide beschreibt. Diese verkürzte Hypozykloide besitzt exakt die Form einer umlaufenden Acht, sofern - wie es in Fig. 1 dargestellt ist - die Abstände und gleich groß sind. Am Ort des Exzenterpunktes E ist als Abtriebs glied ein Bolzen B befestigt, welcher sich in dem nicht näher bezeichneten Auge eines Kupplungsgliedes Ku drehen kann. Fig. 1 shows in a highly simplified schematic Dar position, the basic principle of a machine according to the invention for surface lapping or surface grinding. A first gear G can be seen, in which a circle eK rolls on the inner periphery of a fixed circle fK with the center M1 without sliding. Within the circle eK, an eccentric point E is shown at a distance from its center, which describes a shortened hypocycloid. This shortened hypocycloid has exactly the shape of a circumferential figure, provided that - as shown in Fig. 1 - the distances are the same size. At the location of the eccentric point E, a bolt B is fastened as an output member, which can rotate in the eye of a coupling member Ku, which is not shown in more detail.

Im Abstand zu dem Getriebe G ist ein zweites synchron an treibbares und mit G′ bezeichnetes Getriebe angeordnet. Der Aufbau dieses Getriebes G′ entspricht exakt dem Aufbau des Getriebes G, was durch die Verwendung entsprechender gleicher Bezugszeichen angedeutet ist, denen zur Unterschei dung lediglich noch ein Strich hinzugefügt wurde.At a distance from the transmission G, a second is on synchronously drivable and arranged with G 'designated gear. Of the Structure of this transmission G 'corresponds exactly to the structure of the Gearbox G, what by using appropriate the same reference numerals are indicated, those for the difference only a dash has been added.

Die den Bolzen B und B′ gegenüberliegenden Enden der Kupplungsglieder Ku und Ku′ sind fest mit einem Schleif mittelträger St verbunden, dessen dem Betrachter zuge wandte Oberfläche die Läpp- oder Schleiffläche bildet. Der Schleifmittelträger St ist auf der mit Ge bezeichneten Gleitebene eines ebenen Flächengelenks verschiebbar ange ordnet, so daß bei einer gleichzeitigen und synchronen Be tätigung der beiden Getriebe G und G′ jeder Punkt der Läpp- oder Schleiffläche eine verkürzte Hypozykloide beschreibt, wie es durch die Kurve vH angedeutet ist. Dabei ist zu er kennen, daß die die Form einer umlaufenden Acht aufweisen de verkürzte Hypozykloide eine Kurve darstellt, die sich innerhalb eines zeitlich begrenzten Schleifzyklus nicht an der gleichen Stelle wiederholt.The opposite ends of the bolts B and B ' Coupling links Ku and Ku 'are fixed with a grinding Mittelträger St connected, which the viewer facing surface forms the lapping or grinding surface. Of the Abrasive backing St is on the designated Ge Sliding plane of a flat surface joint is slidably attached arranges so that with a simultaneous and synchronous loading actuation of the two gears G and G ′ each point of the lapping or grinding surface describes a shortened hypocycloid, as indicated by the curve vH. Here is to him know that they have the shape of a circumferential figure eight de shortened hypocycloid represents a curve that does not appear within a time-limited grinding cycle repeated in the same place.

Die Fig. 2 und 3 zeigen die konstruktive Ausgestaltung einer Maschine zum Flachläppen oder Flachschleifen in der Draufsicht bzw. im Querschnitt. Diese Maschine besitzt eine horizontal ausgerichtete Tischplatte Tp, an deren Unterseite zwei im Abstand zueinander angeordnete Getriebe G1 und G1′ mit Hilfe von Schrauben S befestigt sind. Figs. 2 and 3 show the structural design of a machine for flat lapping or surface grinding in the plan view and in cross section. This machine has a horizontally aligned table top Tp, on the underside of two spaced gears G1 and G1 'are fixed with the help of screws S.

In dem würfelförmigen Gehäuse Gh des ersten Getriebes G1 be findet sich eine Bohrung Bo1, in welcher das Rad Ra eines Schneckentriebes mit Hilfe von zwei als Wälzlager ausgebil deten Radiallagern R11 drehbar gelagert ist. Die in das Rad Ra eingreifende Schnecke Sn des Schneckentriebs befindet sich in einer zweiten Bohrung Bo2 des Gehäuses Gh, in welcher auch die Schneckenwelle Snw der Schnecke Sn mit Hilfe von zwei als Wälzlager ausgebildeten Radiallagern R12 drehbar gelagert ist.In the cube-shaped housing Gh of the first gear G1 be there is a hole Bo1 in which the wheel Ra is one Worm drives with the help of two trained as roller bearings The radial bearings R11 is rotatably mounted. The in the wheel Ra engaging worm Sn of the worm drive is located in a second hole Bo2 of the housing Gh, in which also has the worm shaft Snw of the worm Sn Using two R12 radial bearings designed as roller bearings is rotatably mounted.

In das Rad Ra des Schneckentriebs ist exzentrisch zur Dreh achse eine Bohrung Bo3 eingebracht, in welcher der Lager zapfen Lz eines außenverzahnten Zahnrades aZ mit Hilfe von zwei als Wälzlager ausgebildeten Radiallagern R13 drehbar gelagert ist. Dabei ist am freien Ende des Lagerzapfens Lz ein Spanndeckel Spd angeordnet, welcher mit Hilfe einer im Lagerzapfen Lz befestigten Spannschraube Sps gegen den Innenring des dort angeordneten Radiallagers R13 gedrückt wird. Zusätzlich ist zwischen den Außenringen der beiden Radiallager R13 eine Distanzbüchse Dh angeordnet, während der Innenring des zweiten Radiallagers R13 über einen Distanzring Dr an dem außenverzahnten Zahnrad aZ abgestützt ist.In the wheel Ra of the worm gear is eccentric to the rotation axis a hole Bo3 is made in which the bearing pin Lz of an externally toothed gear aZ with the help of two radial bearings R13 designed as roller bearings rotatable is stored. It is at the free end of the journal Lz a clamping cover Spd arranged, which with the help of a Bearing journal Lz fastened clamping screw Sps against the Inner ring of the radial bearing R13 arranged there pressed becomes. In addition, between the outer rings of the two Radial bearing R13 arranged a spacer sleeve while the inner ring of the second radial bearing R13 over a Spacer ring Dr supported on the externally toothed gear aZ is.

Auf der Höhe des außenverzahnten Zahnrades aZ ist in einem kleinen Absatz der Bohrung Bo1 ein innenverzahntes Zahnrad iZ fest und verdrehsicher angeordnet. Die Exzentrizität der Bohrung Bo3, das außenverzahnte Zahnrad aZ und das innen verzahnte Zahnrad iZ sind dabei so bemessen, daß die Ver zahnungen im Eingriff stehen und daß bei einer Drehung der Schneckenwelle Snw der Teilkreis Tk2 des außenverzahnten Zahnrades aZ auf den Teilkreis Tk1 des innenverzahnten Zahn rades iZ rollt. Auf der Außenseite des außenverzahnten Zahn rades aZ ist eine Zwischenplatte Zp mit Hilfe von Senk schrauben Ss und eines Paßstiftes Ps1 befestigt. In die Zwischenplatte Zp ist exzentrisch zur Drehachse des außen verzahnten Zahnrades aZ ein Bolzen B1 eingeschraubt, auf welchem über ein Wälzlager W1 ein Blattfederträger Bft dreh bar gelagert ist. Zwischen diesem Blattfederträger Bft und einer Klemmplatte Kpl ist mit Hilfe von Klemmschrauben Ks1 eine mit Bf bezeichnete Blattfeder als Kupplungsglied Ka1 festgeklemmt.At the level of the externally toothed gear aZ is in one small paragraph of the Bo1 bore an internally toothed gear iZ fixed and non-rotating. The eccentricity of the Bore Bo3, the externally toothed gear aZ and the inside toothed gear iZ are dimensioned so that the Ver serrations are engaged and that when the Worm shaft Snw the pitch circle Tk2 of the externally toothed Gear aZ on the pitch circle Tk1 of the internally toothed tooth Rad iZ rolls. On the outside of the externally toothed tooth rades aZ is an intermediate plate Zp with the help of countersink screw Ss and a dowel pin Ps1 attached. In the The intermediate plate Zp is eccentric to the axis of rotation of the outside toothed gear aZ screwed a bolt B1 on which rotates a leaf spring support Bft via a roller bearing W1 is stored in bar. Between this leaf spring support Bft and a clamping plate Kpl is with the help of clamping screws Ks1 a leaf spring designated Bf clamped as a coupling member Ka1.

Das zweite an der Unterseite der Tischplatte Tp befestigte Getriebe G1′ ist genau so aufgebaut wie das erste Getriebe G1, was in Fig. 2 durch die Verwendung entsprechender gleicher Bezugszeichen angedeutet ist, denen zur Unterschei dung lediglich noch ein Strich hinzugefügt wurde. In Fig. 2 ist ferner zu erkennen, daß die Schneckenwelle Snw des ersten Getriebes G1 über eine Kupplungshülse Kh1 starr mit der Schneckenwelle Snw′ des zweiten Getriebes G1′ verbunden ist. Auf diese Weise können die beiden Getriebe G1 und G1′ synchron über einen in der Zeichnung nicht dargestellten Motor angetrieben werden, dessen Antriebswelle über eine ab gebrochen dargestellte zweite Kupplungshülse Kh2 starr mit der Schneckenwelle Snw verbunden ist. Durch diesen synchronen Antrieb beschreiben die als Abtriebsglieder wir kenden Bolzen B1 und B1′ der Getriebe G1 bzw. G1′ dann syn chrone Kurven, bei welchen es sich um verkürzte Hypozykloiden handelt.The second on the underside of the table top Tp gear G1 'is constructed exactly like the first gear G1, which is indicated in Fig. 2 by the use of corresponding reference numerals, which only a dash has been added to the distinction. In Fig. 2 it can also be seen that the worm shaft Snw of the first gear G1 via a coupling sleeve Kh1 rigidly connected to the worm shaft Snw 'of the second gear G1'. In this way, the two gears G1 and G1 'can be driven synchronously via a motor, not shown in the drawing, the drive shaft of which is rigidly connected to the worm shaft Snw via a second coupling sleeve Kh2, shown broken away. Through this synchronous drive, the bolts B1 and B1 'of the gears G1 and G1', which act as output elements, then describe synchronous curves, which are shortened hypocycloids.

Um diese für Läpp- oder Schleifbewegungen besonders geeigne ten verkürzten Hypozykloiden auf einen oberhalb der Tisch platte Tp angeordneten Schleifmittelträger St1 übertragen zu können, sind die Enden der durch Aussparungen Asp und Asp′ der Tischplatte Tp hindurchgeführt die Kupplungsglieder Ku1 und Ku1′ bildenden Blattfedern Bf bzw. Bf′ fest mit einer verschiebbaren Lagerplatte vL verbunden. Auf dieser verschiebbaren Lager platte vL ist eine Schwalbenschwanzführung Swf befestigt, in welche der Schleifmittelträger St1 unter Beifügung einer ebenen Zwischenlage Z1 eingeschoben ist. Der Schleifmittel träger St1 ist dabei über in der Zeichnung nicht näher dar gestellte Fixiermittel spielfrei in der Schwalbenschwanz führung Swf gehalten. Die starre Verbindung der beiden Blattfedern Bf und Bf′ mit der verschiebbaren Lagerplatte vL wird über Klemmplatten Kp2 bzw. Kp2′, Paßstifte Ps2 bzw. Ps2′ und Klemmschrauben Ks2 bzw. Ks2′ vorgenommen.To make them particularly suitable for lapping or grinding movements shortened hypocycloids to one above the table plate Tp arranged abrasive carrier St1 transferred to can, the ends of the through recesses Asp and Asp ′ the table top Tp passed through the coupling members Ku1 and Ku1 'forming Leaf springs Bf or Bf ′ fixed with a sliding bearing plate vL connected. On this sliding bearing plate vL a dovetail guide Swf is attached, in which the abrasive carrier St1 with the addition of a flat intermediate layer Z1 is inserted. The abrasive Carrier St1 is not shown in detail in the drawing provided fixing agent free of play in the dovetail leadership swf held. The rigid connection between the two Leaf springs Bf and Bf 'with the sliding bearing plate vL is via clamping plates Kp2 or Kp2 ′, dowel pins Ps2 or Ps2 'and clamping screws Ks2 or Ks2' made.

Der verschiebbaren Lagerplatte vL ist eine ortsfeste Lagerplatte oL zugeordnet, welche an einem mit Lt bezeichneten plattenförmigen Lagerträger be festigt ist. Dieser senkrecht zur Tischplatte Tp ausge richtete Lagerträger Lt ist über in der Zeichnung nicht näher dargestellte Befestigungsmittel fest mit der Tisch platte Tp verbunden. Die durch eine strichpunktierte Linie angedeutete Gleitebene Gel wird durch eine Vielzahl von Kugeln Kug gebildet, die unmittel bar zwischen der verschiebbaren Lagerplatte vL und der orts festen Lagerplatte oL angeordnet sind und deren Lage durch einen Käfig Kg gesichert ist.The sliding bearing plate vL is assigned a stationary bearing plate oL, which on be a plate-shaped bearing bracket designated Lt is consolidated. This out perpendicular to the table top Tp Directed bearing bracket Lt is not in the drawing Fasteners shown in detail firmly with the table plate Tp connected. The one with a dash-dotted line indicated slip plane gel formed by a variety of spheres spheres that immediately bar between the sliding bearing plate vL and the location fixed bearing plate oL are arranged and their location by a cage Kg is secured.

In nicht näher bezeichneten Bohrungen des Lagerträgers Lt und der ortsfesten Lagerplatte oL sind insgesamt fünf mit Mag bezeichnete Magnete eingesetzt und in der ortsfesten Lager platte oL durch Fixierschrauben Fix gehalten. Diese Magnete Mag, bei welchen es sich um äußerst starke Permanentmagnete handelt, ziehen die aus einem ferromagnetischen Werkstoff bestehende verschiebbare Lagerplatte vL ohne sie zu berühren an und drücken sie somit mit einer ausschließlich in Normal richtung wirkenden und von der Schleifbewegung unabhängigen Vorspannkraft gegen die Kugeln Kug. Da diese Vorspannkraft die Anpreßkraft der Werkstücke beim Läppen oder Schleifen um ein Mehrfaches übersteigt, ist eine äußerst exakte Führung der verschiebbaren Lagerplatte vL gewährleistet, was für die Erzielung einer hohen Maßgenauigkeit von besonderer Bedeutung ist. Diese exakte Führung kann auch durch den Antrieb der verschiebbaren Lagerplatte vL nicht beeinträchtigt werden, da die mit ihren Blattebenen parallel zur Gleitebene Gel ausgerichteten Blattfedern Bf und Bf′ in der zur Gleitebene Gel senkrechten Richtung elastisch nachgeben.In unspecified holes in the bearing bracket Lt and the stationary bearing plate oL are a total of five with mag designated magnets used and in the fixed camp plate oL held in place by fixing screws. These magnets Likes, which are extremely strong permanent magnets acts, pull out of a ferromagnetic material existing sliding bearing plate vL without touching it and press with a normal only direction and independent of the grinding movement Preload against the balls Kug. Because this preload the contact pressure of the workpieces when lapping or grinding exceeding a multiple is an extremely precise guide the sliding bearing plate vL ensures what for Achieving high dimensional accuracy of particular importance is. This precise guidance can also be achieved by driving the sliding bearing plate vL are not affected, since the gel with their leaf planes parallel to the sliding plane aligned leaf springs Bf and Bf 'in the sliding plane Eliminate the gel in the vertical direction.

Damit die von den Magneten Mag auf die verschiebbare Lager platte vL ausgeübte Kraft möglichst nicht verringert wird, bestehen die ortsfeste Lagerplatte oL und die Kugeln Kug aus unmagnetischen Werkstoffen. Die ortsfeste Lagerplatte oL be steht aus Aluminium, wobei die den Kugel Kug zugewandte Fläche zur Erzielung einer hohen Verschleißfestigkeit mit einer verschleißfesten Keramikschicht versehen ist. Die Kugeln Kug bestehen aus einem gehärteten unmagne tischen Stahl oder auch aus Glas.So that of the magnets mag on the sliding bearings plate vL applied force is not reduced as far as possible, consist of the fixed bearing plate oL and the balls spheres non-magnetic materials. The stationary bearing plate oL be is made of aluminum, with the ball facing the ball Provide a surface with a wear-resistant ceramic layer to achieve high wear resistance is. The bullets consist of a hardened unmagne steel or glass tables.

Bei der vorstehend beschriebenen Maschine beschreibt jeder Punkt auf der vertikal ausgerichteten Frontfläche des Schleifmittelträgers St1 eine verkürzte Hypozykloide. Auf diese Frontfläche wird dann beispielsweise eine Schleifmittel folie mit gebundenem Korn aufgeklebt, was in Fig. 3 durch eine strichpunktierte Linie Smf angedeutet ist. Ein eben falls durch eine strichpunktierte Linie angedeutetes Werk stück Ws wird dann zum Flachläppen oder Flachschleifen seiner Stirnseite in Richtung des Pfeiles Pf gegen die Schleifmittelfolie Smf gedrückt. Für die Aufnahme, Fixierung und Zustellung der Werkstücke Ws ist ein in der Zeichnung nicht dargestellter Werkstücksupport vorgesehen, welcher auf der Tischplatte Tp angeordnet ist. Auf diesem Werkstück support befinden sich in horizontaler Richtung nebenein ander mehrere individuelle Zustellschlitten, in welchen je weils ein Werkstück aufgenommen wird. Jeder dieser in Rich tung des Pfeiles Pf verschiebbaren Zustellschlitten ist mit einer separaten Feder ausgerüstet, welche den Anpreßdruck der Werkstücke Ws beim Läppen oder Schleifen bestimmt. Außerdem wird auf sämtliche Zustellschlitten eine gemeinsame Federvorspannung ausgeübt, durch welche die einzelnen Zu stellschlitten in die Schleifposition gebracht werden. Über eine ebenfalls in der Zeichnung nicht dargestellte Spritz einrichtung wird beim Läppen oder Schleifen eine Flüssigkeit zugeführt, bei welcher es sich um Öl, Wasser oder auch um Emulsionen handeln kann.In the machine described above, each point on the vertically oriented front surface of the abrasive carrier St1 describes a shortened hypocycloid. An abrasive film with bonded grain is then glued onto this front surface, for example, which is indicated in FIG. 3 by a dash-dotted line Smf. A work piece Ws, which is also indicated by a dash-dotted line, is then pressed against the abrasive film Smf for surface lapping or surface grinding in the direction of arrow Pf. A workpiece support (not shown in the drawing) is provided for receiving, fixing and delivering the workpieces Ws, which is arranged on the table top Tp. On this workpiece support there are several individual feed slides in the horizontal direction next to each other, in each of which a workpiece is picked up. Each of these slides, which can be moved in the direction of the arrow Pf, is equipped with a separate spring which determines the contact pressure of the workpieces Ws during lapping or grinding. In addition, a common spring preload is exerted on all the feed slides, through which the individual feed slides are brought into the grinding position. About a spray device, also not shown in the drawing, a liquid is supplied during lapping or grinding, which may be oil, water or emulsions.

Um die beschriebene Maschine speziellen Läpp- oder Schleif aufgaben anpassen zu können, ist es möglich, die innenver zahnten und die außenverzahnten Zahnräder der Getriebe aus zutauschen. Auch für die als Abtriebsglieder der Getriebe dienenden Bolzen können bereits mehrere Schraublöcher mit verschiedenen Exzentrizitäten vorgesehen sein, so daß die Kurvenform der verkürzten Hypozykloide durch Änderung der Übersetzung und/oder der Exzentrizität des Abtriebsgliedes variiert werden kann.To the machine described special lapping or grinding To be able to adapt tasks, it is possible to toothed and the externally toothed gears of the gear exchange. Also for the transmission as output links serving bolts can already have several screw holes various eccentricities are provided so that the Curve shape of the shortened hypocycloid by changing the Translation and / or the eccentricity of the output member can be varied.

Die Feinstbearbeitung der Stirnseiten von Lichtwellenleitern muß häufig vor Ort erfolgen, d. h. die entsprechende Maschine zum Flachläppen oder Flachschleifen muß als tragbares Gerät ausgeführt und mit einem Akkumulator oder einer Batterie ausgerüstet werden. Die Voraussetzungen hierfür sind bei der erfindungsgemäßen Maschine in besonderem Maße erfüllt, da der Antrieb der beiden Getriebe nur wenig Energie ver braucht. Dies ist insbesondere auf die reibungsarme Ausfüh rung, auf die geringen beweglichen Massen und auf den konti nuierlichen, kurzhubigen Ablauf der Läpp- oder Schleifbewegungen zurückzuführen.The fine machining of the end faces of optical fibers must often be done on site, d. H. the corresponding machine for flat lapping or surface grinding must be a portable device executed and with an accumulator or a battery be equipped. The prerequisites for this are at Machine according to the invention met to a particular extent, because the drive of the two gears consumes little energy needs. This is particularly due to the low friction design on the small moving masses and on the cont Nuclear, short-stroke lapping or Grinding movements.

Claims

1. Machine for surface lapping or surface grinding at the factory pieces (Ws), especially for the fine machining of the End faces of optical fibers, in which the factory pieces (Ws) against the lapping or grinding surface of one a sliding plane (Ge; Ge1) based on the pattern of an epi or Hypocycloid moving abrasive carrier (St; St1) pressed become.

2. Machine according to claim 1, characterized records that the abrasive backing (St1) a bearing plate (vL) attached and with this on the Sliding plane (Ge1) is movable.

3. Machine according to claim 2, characterized records that the movable bearing plate (vL) a Dovetail guide (Swf) into which the grinding middle carrier (St1) can be used.

4. Machine according to one of claims 1 to 3, characterized characterized that on the abrasive carrier (St1) as an abrasive tool an abrasive film (Smf) is glued with bound grain.

5. Machine according to one of claims 1 to 4, characterized in that the sliding level (gel) through a variety of in a cage (kg) ordered balls (spheres) is formed.

6. Machine according to one of claims 2 to 5, characterized characterized that the movable bearing plate (vL) by a Preload against a fixed bearing plate (oL) is pressed.

7. Machine according to claim 6, characterized records that the preload force the contact pressure between the workpieces (Ws) and the abrasive backing (St1) by a multiple.

8. Machine according to claim 6 or 7, characterized ge indicates that the pretensioning force by at least one magnet (Mag) is applied.

9. Machine according to claim 8, characterized records that the magnet (mag) in the stationary Bearing plate (oL) is used, and that the movable La engplatte (vL) from a ferromagnetic material be stands.

10. Machine according to claim 9, characterized distinguishes that the stationary bearing plate (oL) a non-magnetic material.

11. Machine according to claim 10, characterized distinguishes that the stationary bearing plate (oL) There is aluminum and on the movable bearing plate (vL) facing side with a wear-resistant ceramic layer is provided.

12. Machine according to claim 5, characterized in that the balls Consist of a non-magnetic material.

13. Machine according to one of claims 1 to 12, characterized in that the grinding middle carrier (St; St1) is arranged vertically.

14. Machine according to one of claims 1 to 13, characterized in that the Abrasive carrier (St; St1) to a gearbox (G, G ′; G1, G1 ') is coupled, the output member by a Bolt (B, B '; B1, B1') is formed, which in one the clutch engaging the abrasive carrier (St; St1) link (Ku, Ku '; Ku1, Ku1') is rotatably mounted.

15. Machine according to claim 14, characterized records that the bolt (B1, B1 ') in the Coupling member (Ku, Ku ') mounted with a roller bearing (W1) is.

16. Machine according to claim 14 or 15, characterized ge indicates that the coupling member (Ku1, Ku1 ') by a leaf spring that can be deflected perpendicular to the sliding plane (gel) (Bf, Bf ') is formed.

17. Machine according to claim 16, characterized records that the leaf spring (Bf, Bf ') on the movable bearing plate (vL) is attached.

18. Machine according to one of claims 14 to 17, characterized in that the transmission (G, G '; G1, G1') from two spaced apart and there are synchronously driven sub-transmissions.

19. Machine according to one of claims 14 to 18, characterized in that the Ab drive member of the transmission (G, G '; G1, G1') the abrasive carrier (St; St1) after a shortened hypocycloid moves.

20. Machine according to claim 19, characterized records that to the movement of the output member after a shortened hypocycloid, a fixed circle (fK, fK ') is provided on its inner periphery generating circle (eK, eK ') rolls, the output member within the generating circle (eK, eK ′) in a given cash distance from its center (M2, M2 ') arranged is.

21. Machine according to claim 20, characterized records that the distance between the output member and the center (M2, M2 ') of the generating circle (eK, eK ′) at least approximately the distance between the Center (M1, M1 ') of the fixed circle (fK, fK') and the Center (M2, M2 ') of the generating circle (eK, eK') ent speaks.

22. Machine according to claim 20 or 21, characterized ge indicates that the fixed circle through the Pitch circle (Tk1) of an internally toothed gear (iZ) and the generating circle through the pitch circle (Tk2) of an outside ver toothed gear (aZ) is formed.

23. Machine according to claim 22, characterized indicates that the externally toothed gear (aZ) is driven by a worm gear, the wheel (Ra) of the worm gear coaxial to the internally toothed Gear (iZ) aligned and the externally toothed gear (aZ) rotatable and eccentric in the wheel (Ra) of the screw drive is stored.

24. Machine according to claim 18 in connection with claim 23, characterized in that the snails (Sn, Sn ′) of both partial transmissions (G1, G1 ′) rigidly with one another coupled and driven together.