DE3418331A1

DE3418331A1 - Vorrichtung zur halterung fester koerper

Info

Publication number: DE3418331A1
Application number: DE19843418331
Authority: DE
Inventors: Manfred Dipl.-Ing. 7900 Ulm Rode
Original assignee: Licentia Patent Verwaltungs GmbH
Current assignee: Licentia Patent Verwaltungs GmbH
Priority date: 1984-05-17
Filing date: 1984-05-17
Publication date: 1985-11-21
Also published as: DE3418331C2

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Halterung eines festen Köi-pers nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.

Die Erfindung ist insbesondere anwendbar zur Herstellung mikrooptischer Bauelemente, in denen Kugellinsen verwendet".

werden. Solche Kugellinsen haben einen Durchmesser von ungefähr einem Millimeter und werden mit einer Antireflexschicht bedampft, um ;optische Verluste zu vermeiden. Beim Aufbringen solcher Antiref lexschichten in einer Vakuuniaufdatnpfapparatur ist es erforderlich, die zu beschichtenden Körper zu beheizen.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde," eine gattungsgemäße Vorrichtung anzugeben, die insbesondere in einer

industriellen Massenfertigung eine kostengünstige Vakuumbeschichtung kleiner Körper ermöglicht.

Diese Aufgabe wird gelöst durch die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 angegebenen Merkmale. Vorteilhafte
Ausgestaltungen und Weiterbildungen sind den Unteransprüche entriehmbar.

Ein erster Vorteil der Erfindung besteht darin, daß jeder
Körper einzeln festklemmbar ist, so daß jeder Körper einzel aus der Vorrichtung entnehmbar ist in einer vorbestimmbarer) räumlichen Orientierung. Dadur-ch wird ein nachfolgender Mor: tage- und/oder Justiervorgang des inikrooptischen Bauelements wesentlich erleichtert und ist daher automatisierbar.

Ein zweiter Vorteil besteht darin, daß eine Beschädigung de aufgebrachten Schicht vermieden wird.

Die Erfindung wird im folgenden anhand eines Aifsführungsbe spiels näher erläutert unter Bezugnahme auf eine schematische Zeichnung.

FIG. 1 zeigt einen Querschnitt durch ein Halteelement zur
Erläuterung der Erfindung.

FIG. 2 zeigt eine Vorrichtung zur Beschichtung einer Vielzahl von Körpern unter Verwendung mehrerer Halteelemerite
gemäß FIG. 1 ·

Gemäß FIG. 1 sind Federelemente 1, 1', z. B. Blattfedern ai Stahl, mit einer Länge von 50 mm, einer Breite von 3 mm um' einer Dicke von 0,1 mm in einem Abstand von ungefähr 1 mm
angeordnet. Dieses wird erreicht durch einen Abstandshalter 2, der sich in der Mitte der Federelemente 1, I¹ befindet

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und ein dem diese befestigt sind, z. B. angoachraubt. Im Bereich der· Enden k, k' besitzt jedes Federelement eine ^; Ausnehmung, z. B. eine Bohrung, deren Durchmesser kleiner

j ist als der Durchmesser des zu beschichtenden Körpers 3- Ist

j 05 diesel" beispielsweise eine Kugel mit einem Durchmesser von j 1,5 »·'» j ^so besitzt die Bohrung einen Durchmesser von

j 1,^5 mm · Der Körper 3, "*> > B· eine Glaskugel, ist daher in

der durges tell ten Weise so zwischen den Kedereleinen ten I, J' j klemmbar, daß eine Bedampfung von vielen Seiten (Pfeile)

möglich ist. Werden nun die Federelemente 1, 1' auseinandergespreizt, z. B. durch den in FIG. 2 dargestellten Schieber 5, so ist es möglich, den Körper 3 zu entnehmen oder einzulegen, z. B. mit Hilfe einer sog. Saugpipette. Dabei bleibt die goometrische Orientierung des Körpers 3 erhalten. Dieses ist insbesondere wichtig bei Glaskugeln, die mit Antireflexschichten bedampft sind, denn diese Schichten sind schlecht sichtbar·. Andererseits ist es aber bei nachfolgenden Mon-• tagevorgä'ngen besonders wichtig, den Ort der Schichten zu kennen.

FIG. 2 zeigt eine kammförmige Anordnung der Halteelemente gemäß FIG. 1. Diese Anordnung ermöglicht die Beschichtung einer Vielzahl von Körpern 3. Das erforderliche Einlegen sowie Herausnehmen der Körper erfolgt mit Hilfe des erwähnten Schiebers 5, der in einer Führungsnut 7 geführt wird und der auf seiner Oberfläche mindestens eine Erhebung 6 besitzt, z. B. einen aufgeklebten Kugelabschnitt. Durch Bewegen des Schiebers 5 in Richtung des Doppelpfeiles ist es möglich, lediglich die Federelemente eines einzigen Halteelementes zu spreizen, so daß ein Be- und Entladen eines einzigen Körpers möglich ist. Weitare Körper, die in der Vorrichtung vorhanden sind, werden vorteilhafterweise durch diesen Vorhang nicht in ihrer Lage geändert.

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Die Form der Ausnehmungen (Bohrungen) ist so gewählt, daß ein guter Wärmekontakt zwischen den Federelementen 1, I¹ und den Körpern 3 vorhanden ist, so daß deren Beheizung ermöglicht wird.

Di.c ICi'findung ist nicht auf das beschriebene Ausführungsbeispiel beschränkt, sondern sinngemäß auf weitere anwendbar. Beispielsweise ist es möglich, die erwähnten Ausnehmungen derart zu formen, daß lediglich eine punktförmige Halterung der Körper erfolgt. In einem derartigen Fall ist nahezu die ganze Oberfläche des Körpers bedampfbar.

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Claims

Patentansprüche

1. Vorrichtung zur Halterung fester·Körper, insbesondere zur Halterung mindestens eines Körpers, der in einer Vakuumapparatur beschichtet wird, dadurch gekennzeichnet,

- daß mindestens zwei Halteelemente kammförmig angeordnet sind,

daß jedes Halteelement mindestens zwei streifenförmig© Fedoi-olemen te (l, 1') enthält, die im wesentlichen parallel zueinander angeordnet sind mit einem Abstand, der kleiner ist als der zu haltende Körper (3)j

- daß ein Abstandshalter (2) vorhanden ist, welcher die
Federelemente (l, 1') in ihrem Mittenbereich zusammenhalt derart, daß bei den Federelementen (l, 1') frei federnde Enden (4, 4¹) vorhanden sind und -

- daß im Bereich der Enden (4, 4") in den Federelementen (l, I¹) Ausnehmungen vorhanden sind derart, daß ein zwischen die Federelemente (l, 1') geklemmter Körper (3)
innerhalb der Ausnehmungen gehalten wird.

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2. Vorrichtulis aur Halterung fester Körper nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß die Porin der Ausnehmungen derart an die Form des Körpers (3) angepaßt ist, daß zwischen mindestens einem Federelement (l) und dem Körper (3) ein wärmeleitender Kontakt vorhanden ist.

3. Vorrichtung zur Halterung fester Körper nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet," daß die geome trische Form der Federelemerite (1, 1') sowie die darin befindlichen Ausnehmungen derart ausgebildet sind, daß ein bestimmbarer Oberflächenanteil des Körpers (3) bedampfbar ist.

4. Vorrichtung zur Halterung fester Körper nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein Schieber (5) vorhanden ist, der zwischen die Federelemente (1, 1·) schiebbar ist und der auf seiner Oberfläche mindestens eine Erhebung (6) besitzt, die lediglich bei einem einzigen Halteelement ein Spreizen der Federelemente (l, 1') ermöglicht derart, daß ein Einlegen oder Herausnehmen des Körpers (3) möglich ist.

5. Vorrichtung zur Halterung fester Körper nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine Führungsnut (7) vorhanden ist zur Aufnahme des Schiebers (5) (FIG. 2).

6. Vorrichtung zur Halterung fester Körper nach einem der vorhergehenden Ansprüch'e, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest die Federelemente (l, l^f) sowie der Abstandshalter aus einem Material bestehen, das für eine Vakuumbeschichtungsanlage geeignet ist.

7. Vorrichtung zur Halterung fester Körper nach einem der

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vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der
Körper (3) kugelförmig ausgebildet ist, daß die Federelemente (l, I¹) Blattfedern sind mit einex- Dicke, die wesentlich kleiner ist als der Durchmesser des Körpers (3), und daß die Ausnehmungen als Bohrungen ausgeführt sind, deren Durchmesser lediglich geringfügig kleiner ist ala der Durchmesser
des Körpers (3 ) ♦