DE3344545A1

DE3344545A1 - Interferometer-spektrometer

Info

Publication number: DE3344545A1
Application number: DE19833344545
Authority: DE
Inventors: David S. Madison Wis. Calhoun; Jack G. Kisslinger; David I. Plaut; D. Warren Vidrine
Original assignee: Nicolet Instrument Corp
Current assignee: Thermo Electron Scientific Instruments LLC
Priority date: 1983-03-04
Filing date: 1983-12-09
Publication date: 1984-09-06
Also published as: FR2542084A1; CA1210608A; GB2136117A; JPS59164926A; GB8404808D0

Description

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Interferometer-Spektrometer sind in der Technik bekannt. In diesem Zusammenhang haben Interferometer nach Michelson besonders weit verbreitete Aufnahme gefunden, insbesondere in der Form, die einen Lichtverteiler zur Errichtung zweier unabhängiger optischer Wege verwendet, wobei wenigstens ein Weg ein bewegliches reflektierendes Element enthält. Bei solchen Instrumenten stellen die Erzeugung der gewünschten Bewegung des reflektierenden Körpers und die Feststellung seiner Lage im Raum di-e hauptsächlichen Probleme dar.

Moderne Interferometer-Spektrometer verwenden eine zusammenhängende Strahlung von einem Laser innerhalb des Interferometers, während das bewegliche reflektierende Element "Fransen" (fringes) erzeugt, die während der Bewegung des reflektierenden Elements gezählt werden. Jedoch stellt diese Grundmethode nicht die Lage des beweglichen reflektierenden Elements fest, sondern nur das Ausmaß seiner Bewegung. Bei einigen Messungen ist dies ausreichend, während bei anderen die Anforderungen höher sind.

Die Empfindlichkeit des Instruments kann durch Wiederholung einer Messung verbessert werden. Jedoch verlangt.die Wiederholung der Messung eine gewisse Bezugnahme. Nach dem Stand der Technik wurde dies durchgeführt mittels der als "Weißlicht"-Verfahren bekannten Methode, die auf der Tatsache fußt, daß ein maximales Signal besteht, wenn die Arme des Interferometers gleich sind. Während dies brauchbar war, ist es jedoch aus ver-

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schiedenen Gründen nicht voll befriedigend. Zu diesen Gründen gehört die Tatsache, daß körperlich getrennte Interferometer erforderlich sind, und zwar eines zur Erzeugung des "Weißlicht"-Signals und ein anderes zur Erzeugung des analytischen Spektrums Die Verkopplung von zwei Interferometern derart, daß Stellungsfehler zwischen ihnen ausgeschlossen sind, ist schwierig. Ein weiterer dieser Gründe besteht darin, daß der Fransenzähler an Zählung verliert, wenn das bewegliche reflektierende Element seine Richtung wechselt. Somit muß zu Beginn jeder Messung eine Beziehung aufgestellt werden, während eine Abtastung in zwei Richtungen undurchführbar gemacht wird. Außerdem verlangt das "Weißlichf-System eine hohe mechanische Präzision, was zur Kostensteigerung beiträgt und das praktische Erfordernis festschreibt, daß zu Beginn einer Meßabtastung ein einzelner Punkt gewählt werden muß. Der gewählte Punkt bildet einen Kompromiß, was die Leistung verschlechtert.

Die vorliegende Erfindung schafft ein absolutes Stellungsmeßverfahren aufgrund eines Lasers, welches besondere Anwendung findet bei der Bestimmung der Lage und der Bewegungsrichtung eines beweglichen reflektierenden Körpers innerhalb des Interferometers eines Interferometer-Spektrometers. Dies führt zu einer Bezugsstellung, die während zahlreicher Abtastungen beibehalten werden kann, während das Stellungsbezugs- oder Meßsystem in das Interferometer eingebaut werden kann, welches das Spektrum erzeugt. Es ist ein Stellungsbezug

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in zwei Richtungen gegeben, was ein Abtasten in zwei Richtungen gestattet, während eii Meßbeginn-"Markierer" (marker) an jedem beliebigen Punkt in dem Interferogramm eingesetzt werden kann, was die Abtastung jedes beliebigen Punktes des Interferogramms gestattet. Außerdem ist die Anzahl der von der vorliegenden Erfindung vorgesehenen Bezugsmarkierung doppelt so groß wie die des "Weißlichf-Systems, was ein synchronisiertes Abtasten über den zweifachen Spektralbereich gestattet.

Die vorliegende Erfindung ist besonders anwendbar auf ein Interferometer-Spektrometer der Art, die ein Interferometer nach Michelson verwendet. Für die Zwecke dieser Beschreibung und Ansprüche ist ein Interferometer nach Michelson ein solches, bei welchem ein Lichtverteiler zur Anwendung kommt, um erste und zweite Interferometerwege zu errichten, von denen wenigstens einer ein bewegliches reflektierendes Element enthält, um die optische Länge dieses ¥eges zu verändern. Im allgemeinen ist das reflektierende Element ein planarer Körper, der hier als Spiegel bezeichnet wird. Jedoch können andere reflektierende Elemente wie beispielsweise Eckwürfel oder andere Arten von Retro-Reflektoren innerhalb des Bereichs der Erfindung verwendet werden. Insbesondere schafft die vorliegende Erfindung eine Verbesserung in der Messung der Stellung des beweglichen Spiegels.

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Typische Vertreter der bekannten Interferometer-Spektrometer enthalten eine Quelle einer analytischen Strahlung, ein Interferometer nach Michelson zur Einwirkung .auf die Strahlung sowie einen Lichtverteiler und wenigstens einen beweglichen Spiegel und ein System zum Messen der Stellung des beweglichen Spiegels. Die "Verbesserung der vorliegenden Erfindung beinhaltet einen Quadraturphasendiskriminator mit einem optischen Weg, welcher den Lichtverteiler und den beweglichen Spiegel einschließt, um Signale zur Anzeige der Lage und Bewegungsrichtung des Abschnitts des beweglichen Spiegels innerhalb des Weges der analytischen Strahlung zu erzeugen. Der optische Weg des Quadraturphasendiskriminators kann koaxial mit dem Weg der dem beweglichen Spiegel zugeordneten analytischen Strahlung gestaltet werden. Auf diese Weise ist die von dem Quadratursystem gemessene Spiegelstellung eine Durchschnittsstellung des Abschnitts des Spiegels, auf den die analytische Strahlung auftrifft. Wahlweise kann die Lage von drei Abschnitten des Spiegels bestimmt werden, um die Ebene des Spiegels festzulegen. Hieraus kann die Durchschnittslage des Abschnitts des Spiegels innerhalb der analytischen Strahlung bestimmt werden. In diesem letzten Fall kann eine der bestimmten Stellungen eine Stellung koaxial zu dem analytischen Strahlungsbündel sein.

Bei zahlreichen im Handel erhältlichen Interferometer-Spektrometern ist die Wahl des Lichtverteilers abhängig von der erwünschten analytischen Strahlung, Da das oben

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beschriebene Quadratursystem einen Lichtverteiler gemeinsam mit der analytischen Strahlung verwendet, führt ein Wechsel in dem Lichtverteiler bei einer unterschiedlichen analytischen Strahlung zu einem Verlust des Bezugs durch das Quadratursystem. In diesem Fall sieht die Erfindung einen Anfangsbezug zur Anzeige der Lage des beweglichen Spiegels vor, der unabhängig ist von dem Lichtverteiler, und durch den die Anfangsbedingungen des Quadratursystems festgelegt werden können. In einer bevorzugten Ausführungsform kann der Anfangsbezug festgelegt werden durch ein weiteres Quadraturphasenunterscheidungssystem. Es kann effektiv ein weiteres Quadraturphasenunterscheidungssystem zusätzlich zu dem primären Quadratursystem verwendet werden, welches einen Lichtverteiler gemeinsam mit der analytischen Strahlung verwendet, wobei ein angemessenes System zum Ausgleich jeglicher Abweichungen in ihren Stellungsanzeigen vorgesehen ist.

Quadratursysterne zur Abstandsmessung sind in der Technik bekannt. Ein Beispiel eines solchen Systems ist offenbart in dem US-Patent 3 hO9 375 von Hubbard vom 5. November 1968 unter dem Titel "Gauging Interferometer Systems", welches hiermit durch Bezugnahme in diese Anmeldung aufgenommen wird. Es zeigen:

Fig. 1 einen Interferometerabschnitt eines bekannten Interferometer-Spektrometers unter Verwendung eines Interferometers nach Michelson mit planaren reflektierenden Oberflächen,

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Fig. 2 den Einbau eines Quadraturphasenunterscheidungssystems in das optische System des in Fig. 1 gezeigten bekannten Spektrometers,

Figuren 3 bis 5 bevorzugte Ausführungsformen einiger der

optischen Elemente des bekannten Spektrometers nach Fig. 1, besonders angepaßt an die Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung und

Figuren 6 und 7 Abwandlungen eines Teils der Ausführungs- ■ form nach Fig. 2.

Fig. 1 zeigt schematisch ein Interferometer nach Michelson bei Verwendung in einem bekannten Interferometer-Spektrometer. Bei 10 wird eine Quelle einer analytischen Strahlung einschließlich zugeordneter optischer Elemente zum Sammeln, der analytischen Strahlung und zum Richten derselben auf das
Interferometer gezeigt. Der Weg der analytischen Strahlung durch das Interferometer wird durch eine einzelne Linie 11 dargestellt, wobei ein Kreis 12 um die Leitung 11 zur Darstellung der Tatsache dient, daß der gesammelte Strahl der analytischen Strahlung eine bedeutende Dimension hat. Bei
zahlreichen im Handel erhältlichen Instrumenten der hier in Rede stehenden Art kann das gesammelte Strahlungsbündel einen Durchmesser in der Größenordnung von zwei Zoll und mehr haben. Die analytische Strahlung folgt der Richtung des Pfeilkopfes

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auf Linie 11 zu einem Lichtverteiler 13» welcher das Strahlungsbündel auf einen ersten Weg 14 zu und von einem festen Spiegel 15 und auf einem zweiten Weg 16 zu und von einem beweglichen Spiegel I7 verteilt. Die Bewegungsrichtung des beweglichen Spiegels 17 ist angezeigt durch die Pfeile 18, während der Mechanismus zur Lagerung und zur Erteilung der Bewegung für den Spiegel I7 allgemein bei 19 bezeichnet ist. Die reflektierte analytische Strahlung von den Spiegeln 15 und 17 wird erneut durch den Lichtverteiler I3 kombiniert, um auf der Linie 20 aus dem Interferometer auszutreten, wobei das Ausmaß des der Linie 20 folgenden Strahles wiederum durch den Kreis

12 angedeutet ist. Die der Linie 20 folgende analytische Strahlung wird in bekannter Weise und für leicht erkennbare Zwecke zu einem Tastabteil gelenkt,

Fig. 2 zeigt die optischen Elemente 13, 15 und 17 nach Fig. gemeinsam mit deren Anpassung gemäß der vorliegenden Erfindung. Der Ausgang eines Lasers 25 wird durch ein Reflexionselement 26 dem Lichtverteiler I3 zugeführt. Der Lichtverteiler

13 teilt den Laserausgang in die beiden Arme des Interferometers (längs zwei optischen Wegen, von denen einer den beweglichen Spiegel 17 und der andere den festen Spiegel 15 enthält). Die von den Spiegeln I5 und 17 reflektierte Laserstrahlung wird durch den Lichtverteiler wieder kombiniert, um auf dem bei 27 angedeuteten Weg zu einem Detektor 28 zu gehen. Der in Fig. 2 gezeigte Kreis 29 zeigt die Größe des Laserstrahls relativ zu dem durch einen Kreis 12 angedeuteten

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analytischen Strahlungsbündel.

Typische Vertreter der Lichtverteiler sind linear zweifarbig. Die Wirkungen der Zweifarbigkeit des Lichtverteilers können "genullt" werden durch die richtige Laserwahl und Orientierung in bekannter Weise. Jedoch wird in eine Polarisation des Laserausgangs eine Verzögerung eingeführt durch die Verzögerungsplatte, die in einem Arm des Interferometers in Stellung gebracht ist. In der Ausführungsform nach Fig. 2 ist die Verzögerungsplatte bei 27 mit einer Dicke gezeigt, die so gewählt ist, daß die gewünschte Verzögerung festgelegt wird. Der Detektor 28 enthält einen polarisierenden Lichtverteiler, welcher die Polarisationen des kombinierten Strahlungsbündels trennt, sowie einen Detektor für jede Polarisation.

Das in Fig. 2 gezeigte System erläutert ein Quadratursystera^ durch welches eine Phasendiskriminierung eingesetzt werden kann, um die Stellung und Bewegungsrichtung des Spiegels 17 relativ zu dem Spiegel 15 festzulegen, und zwar durch Verwendung geeigneter Zähler in Verbindung mit dem Detektor 28. Beispielsweise stellt, wenn die Verzögerungsplatte 27 eine i/8 Wellenplatte ist, der Ausgang von den zwei Detektoren innerhalb des Detektors 28 Sinuswellen dar, die um etwa 90 voneinander versetzt sind. In der einen Richtung der Spiegelbewegung bleibt ein Detektorausgang hinter dem anderen zurück, übernimmt jedoch während der Spiegelbewegung in der entgegengesetzten Richtung die Führung des anderen. Es liegt im Bereich

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des fachmännischen Könnens des durchschnittlichen Fachmanns auf diesem Gebiet, diese Signale und Phasenbeziehungen zur Unterscheidung zwischen Bewegungsrichtungen zu verwenden und einen Zweirichtungszähler zu benutzen, um eine Zählung zur Anzeige der Stellung des beweglichen Spiegels 17 aufrechtzuerhalten.

Bei Überlagerung über das System der analytischen Strahlung nach Fig. 1 liegen bei dem Bezugs- und Meßsystem nach Fig. 2 der Laserstrahl der Fig. 2 und der analytische Strahl nach Fig. 1 allgemein koaxial zueinander. Auf diese Weise geben die Ausgangssignale von dem Detektor 28 eine Anzeige der Lage- und Bewegungsrichtung des Abschnitts des Spiegels 17 innerhalb des analytischen Strahlungsbündels. Das heißt, daß bei Annahme eines planaren Spiegels 17 der geometrische Mittelpunkt des analytischen Strahlungsbündels an der "Durchschnitts"-Stellung des Abschnitts des Spiegels liegt, auf den das analytische Strahlenbündel auffällt. Somit kann jegliches "Kippen" des Spiegels 17 durch Messung der Stellung des geometrischen Mittelpunktes des analytischen Strahlungsbündels auf dem Spiegel ausgeglichen werden. Dies wird mittels eines koaxialen Systems durchgeführt.

Es ist festgestellt worden, daß die geringe Größe, des Laserstrahls relativ zu dem analytischen Strahlungsbündel die Empfindlichkeit des analytischen Instruments nicht übermäßig

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beeinflußt. Der Detektor 28 und das reflektierende Element können so ausgelegt werden, daß sie die Laserstrahlung weitestgehend auf den Interferometerabschnitt des Instruments beschränken, während die analytische Strahlung um sie "herumgeht". Die Verzögerungsplatte 27 kann in jedem Arm des Interferometers in Stellung gebracht und in beliebiger Weise gelagert werden. Bei der dargestellten Ausführungsform ist die Platte 27 direkt an dem Spiegel 15 beispielsweise durch Verklebung befestigt, was jegliche Lagerstruktur und deren Behinderung mit Bezug auf das analytische Strahlenbündel ausschließt.

Eine bestimmte gewünschte analytische Strahlung kann unter Uniständen einen Wechsel in dem Lichtverteiler erforderlich, machen. Da das Quadraturphasenunterscheidungssystem nach Fig. 2 einen gemeinsamen Lichtverteiler mit der analytischen Strahlung des Instruments verwendet, führt ein Wechsel in dem Lichtverteiler zu einem Verlust des Bezugs in dein in Fig. 2 gezeigten Quadraturphasenunterscheidungssystem. Fig. 3 zeigt eine Lichtverteilerform zur Überwindung dieser Schwierigkeit, gemeinsam mit einer Abwandlung des Quadratursystems der Fig. Z₁ wobei der Lichtverteiler durch zwei Lichtverteiler 30 und 31 gebildet ist. Der Lichtverteiler 30 entspricht dem Lichtverteiler 13 nach Fig. 1 und 2 und ist ein gemeinsamer Lichtverteiler für die in diesen Figuren gezeigte analytische Strahlung und die Laserstrahlung. Der Lichtverteiler 31 ist fest in dem Instrument angeordnet, um

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bei Entfernung des Lichtverteilers 30 und Ersatz desselben durch einen anderen an seinem Platz zu bleiben. Somit kann der Lichtverteiler 3I benutzt werden, um einen stabilen Bezugspunkt mit einem doppelten oder zusätzlichen Quadraturphasenunterscheidungssystem zu bilden. Dies ist durchführbar nach Fig. 6 durch Gabelung des Ausgangs des Lasers 25 durch einen Lichtverteiler 32, "wobei ein Teil unmittelbar zu einem reflektierenden Element 33 und der andere Teil über ein reflektierendes Element 35 ^Ζ1* einem reflektierenden Element Jk geht. Die von dem reflektierenden Element 33 in Richtung des Pfeiles 36 reflektierte Laserstrahlung kann direkt der in Fig. 2 gezeigten Laserstrahlung entsprechen, während die von dem reflektierenden Element "}k in Richtung des Pfeiles 37 reflektierte Laserstrahlung zu dem Lichtverteiler 31 vacid. in die zwei Arme des Interferometers nach Fig. 2 gelenkt werden kann. In diesem Fall kann der Spiegel I7 so ausgebildet sein, wie bei kO in Fig. k gezeigt, wobei der Abschnitt des Spiegels kO innerhalb des analytischen Weges durch die gestrichelte Linie h^ dargestellt und der Bereich der Wechselwirkung zwischen der Laserstrahlung 36 und dem Spiegel 40 bei 42 als mit dem Bereich *H koaxial dargestellt ist. Das heißt, die Laserstrahlung, die in Richtung des Pfeiles 36 gerichtet ist (siehe Fig. 6) trifft auf den Spiegel bei k2 auf, nachdem sie geteilt und in den Interferometerarm gelenkt wurde, der den Spiegel ko enthält. Ein Teil der bei dem Pfeil 37 gezeigten Laserstrahlung wix-d durch den Lichtverteiler 3I zum

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Auftreffen auf den Spiegel 4o gelenkt, wie bei 43 angedeutet. Eine Spiegelanordnung für den "festen" Arm des Interferometers wird in Fig. 5 gezeigt, mit einem ersten Spiegel 45, der gemeinsam mit einem zweiten Spiegel 46 gelagert ist. Der Spiegel 45 trägt die Verzögerungsplatte 27 auf dem Weg der analytischen Strahlung, die durch die gestrichelte Linie hf angedeutet ist. Der Auftreffpunkt der Laserstrahlung auf dem Spiegel 45 ist bei 48 angedeutet.

Der Abschnitt der Laserstrahlung bei 37» der durch den Lichtverteiler 31 in den festen Arm des Interferometers hineingelenkt wird, trifft auf den Spiegel 46 bei 49 auf. Die in Fig, 5 gezeigte Gestalt gestattet es der Verzögerungsplatte 27, an dem Spiegel 45 befestigt und durch Drehung des Spiegels 45 relativ zu der Laserstrahlung ausgerichtet oder orientiert zu werden, ohne Verschiebung einer reflektierenden Fläche aus dem Bereich des Spiegels 46 heraus. Die einfache Spiegelkonstruktion nach Fig. 4 verbessert Lagefehler, die aufgrund der doppelten beweglichen Spiegel entstehen könnten. In einigen Fällen schränkt die Beschaffenheit der analytischen Strahlung oder der durch sie bedingte Lichtverteiler die Verwendbarkeit eines Laserquadraturphasendiskriminierungssystems gemeinsam mit dem Lichtverteiler ein. In diesem Fall kann der Lichtverteiler mit einem Bereich ausgestattet werden, der besonders angepaßt ist an die Funktion als Laserliehtverteiler, wobei der Umgebungsbereich als Lichtverteiler für die analytische Strahlung dient. Ein solcher Bereich ist in Fig. 3 bei

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50 gezeigt. Natürlich wird ein gesonderter Detektor, wie beispielsweise der bei 28 in Fig. 2 gezeigte für die Laserstrahlung erforderlich zur Bildung des gesonderten Quadratursystems in Verbindung mit dem Lichtverteiler 31 einschließlich des zugeordneten Verarbeitungsschaltkreises.

Es sind offensichtlich im Lichte der obigen Lehren zahlreiche Abwandlungen und Veränderungen der vorliegenden Erfindung möglich. Beispielsweise können die zwei Quadratursysteme, die durch die abgewandelte Ausführungsform nach Fig. 6 dargestellt sind, zur Bildung eines anfänglichen Bezuges über das der Laserstrahlung 37 zugeordnete Quadratürsystem benutzt werden, wobei das der Laserstrahlung "}6 zugeordnete Qxiadratursystera die primäre Meßfunktion beistellt. Wahlweise können die beiden Systeme redundant unter Verwendung geeigneter Ausgleichsnäherungen benutzt werden, falls Abweichungen zwischen ihnen auftreten. Natürlich kann der anfängliche Bezug auch in anderer ¥eise als durch Verwendung eines zweiten Quadratursystems festgelegt werden. Als weitere Alternative kann die Durchschnittsstellung des beweglichen Spiegalabschnitts innerhalb des optischen Weges der analytischen Strahlung durch Bestimmung der Lage von drei Punkten auf dem Spiegel festgelegt werden, sowie durch Bestimmung einer Durchschnittsstellung relativ zu dem analytischen Strahlungsweg. Es können einer oder mehrere Laserstrahlungswege innerhalb des analytischen Strahlungsweges liegen, oder es können alle außerhalb desselben liegen. Einer der drei Laserstrahlungswege

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kann mit dem analytischen Strahlungsweg koaxial sein. Ein vierter Laserstrahlungsweg kann vorgesehen sein zur Zusammen-.wirkung mit einem gesonderten Lichtverteiler, wie beispielsweise der in Fig. 3 bei 3I gezeigte, wobei die anderen drei Laserstrahlungswege jeweils einen gesonderten Quadratursystemweg vorsehen und einen gemeinsamen Lichtverteiler teilen. Die Realisierung eines solchen Systems ist in Fig. 7 gezeigt, und zwaT mit Lichtverteilern 51 bis 53 und reflektierenden Elementen 5k bis 57. Die Laserstrahlung von den Elementen 53 bis 55 kann innerhalb gesonderter Quadratürsysteme verwendet werden, die einen Lichtverteiler mit der analytischen Strahlung gemeinsam haben, während ein Quadratursysteni aufgiund der Laserstrahlung von dem optischen Element 56 einen gesonderten Lichtverteiler verwenden kann. Wenn mehrfache Quadratursysteme verwendet werden, dann können auch mehrfache Laser verwendet werden. Jedoch wird aus Gründen, die im Stand der Technik hinreichend bekannt sind, ein einseines Laser mit Lichtverteilern bevorzugt. Es ist daher darauf hinzuweisen, daß die Erfindung innerhalb des Bereichs der beigefügten Ansprüche auch anders als hier im einzelnen beschrieben zur Durchführung gelangen kann.

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Leerseite

Claims

/ 1 .JZEnterferometer-Spektrometer mit einer analytischen Strahlungsquelle und optischen Elementen zur Bildung eines Michelson-Interferometers zur Einwirkung auf die Strahlung, wobei die optischen Elemente einen Lichtverteiler zur Lenkung der analytischen Strahlung auf ersten und zweiten Interferometerwegen entlang und bewegliche reflektierende Einrichtungen auf einem der ersten und zweiten Wege zur Veränderung der optischen Länge dieses einen Weges enthalten, und mit Einrichtungen zum Messen der Lage der beweglichen reflektierenden Ein-

European Patent Attorneys Zugelassene Vertreter beim Europäischen Patentamt

richtung, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßeinrichtungen einen Quadraturphasendiskriminator mit einem optischen Weg einschließlich des Lichtverteilers und der beweglichen reflektierenden Einrichtung enthält zur Erzeugung von Signalen zur Anzeige der Lage und der Bewegungsrichtung des Abschnitts der beweglichen reflektierenden Einrichtung innerhalb des einenTfeges.
2. Interferometer-Spektrometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Quadraturphasendiskriminator Mittel mit einem optischen Weg enthält, von dem wenigstens ein Teil allgemein koaxial mit dem ersten Weg verläuft.
3. Interferometer-Spektrometer nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßeinrichtung weitere Mittel zur Bildung von Signalen zur Anzeige der Stellung und Bewegungsrichtung der beweglichen reflektierenden Einrichtung unabhängig 'von dem Lichtverteiler enthält.
h* Interferometer-Spektrometer nach Anspruch 3» dadurch gekennzeichnet, daß die weitere Einrichtung einen Quadraturphasendiskriminator enthält.
5, Interferometer-Spektrometer nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßeinrichtung weitere Einrichtungen zur Bildung einer AufangsbeZiehung zur Anzeige

der Lage der beweglichen reflektierenden Einrichtung unabhängig von dem Lichtverteiler enthält.
6. Interferometer-Spektroraeter nach Anspruch 51 dadurch gekennzeichnet, daß die weitere Einrichtung einen Quadraturphasendiskriminator enthält,
ο Interferometer-Spektrometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Quadraturphasendiskriminator Einrichtungen zur Bildung von Signalen zur Anzeige der Lage und Bewegungsrichtung von Abschnitten der beweglichen reflektierenden Einrichtung außerhalb des Abschnitts der beweglichen reflektierenden Einrichtung innerhalb des einen Weges enthält.
8. Interferometer-Spektrometer nach Anspruch 7» dadurch gekennzeichnet, daß der Quadraturphasendiskriminator Einrichtungen mit einem optischen Weg enthält, von dem wenigstens ein Abschnitt allgemein koaxial zu dem einen Weg liegt.
9. Interferometer-Spektrometer nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßeinrichtung weitere Einrichtungen zur Bildung von Signalen zur Anzeige der Lage und Bewegungsrichtung der beweglichen reflektierenden Einrichtung unabhängig von dem Lichtverteiler enthält.
10. Interferometer-Spektrometer nach Anspruch °, dadurch gekennzeichnet, daß die weiteren Einrichtungen einen Quadraturphasendiskriminator enthalten.
11. Interferometer-Spektrometer nach Anspruch 7» dadurch gekennzeichnet, daß die Meßeinrichtung weitere Einrichtungen zur Bildung einer Anfangsbeziehung zur Anzeige der Lage der beweglichen reflektierenden Einrichtung unabhängig von dem Lichtverteiler enthält.
12. Interferometer-Spektrometer nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die weitere Einrichtung einen Quadraturphasendiskriminator enthält.
13· Interferometer-Spektrometer nach Anspruch 7> dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Bildung der Signale eine Einrichtung zur Bildung von Signalen zur Anzeige der Lage und Bewegungsrichtung von drei Abschnitten der beweglichen reflektierenden Einrichtung enthält.
14. Interferometer-Spektrometer nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßeinrichtung weitere Einrichtungen zur Bildung von Signalen zur Anzeige der Lage und Bewegungsrichtung der beweglichen reflektierenden Einrichtung unabhängig von dem Lichtverteiler enthält.

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15. Interferometer-Spektrometer nach Anspruch i4_f dadurch gekennzeichnet, daß die weitere Einrichtung einen Quadraturphasendiskriminator enthält.
1-6. Interferometer-Spektrometer nach Anspruch 13» dadurch gekennzeichnet, daß die Meßeinrichtung weitere Einrichtungen zur Bildung einer Anfangsbeziehung zur Anzeige der Lage der beweglichen reflektierenden Einrichtung unabhängig von dem Lichtverteiler enthält.
17· Interferometer-Spektrometer nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß die weitere Einrichtung einen Quadra-' turphasendiskrirninator enthält.
18. Interferometer-Spektrometer nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die drei Abschnitte der beweglichen reflektierenden Einrichtung außerhalb des einen Weges liegen,
19. Interferometer-Spektrometer nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßeinrichtung weitere Einrichtungen zur Bildung einer Anfangsbeziehung zur Anzeige der Lage der beweglichen reflektierenden Einrichtung unabhängig von dem Liehtverteiler enttiält.
20. Interferometer-Spektrometer nach Anspruch 19_f dadurch gekennzeichnet, daß die weitere Einrichtung einen Quadraturphasendiskriininator enthält.

COPY ABORIGINAL.