DE3323281C2 - - Google Patents

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DE3323281C2
DE3323281C2 DE3323281A DE3323281A DE3323281C2 DE 3323281 C2 DE3323281 C2 DE 3323281C2 DE 3323281 A DE3323281 A DE 3323281A DE 3323281 A DE3323281 A DE 3323281A DE 3323281 C2 DE3323281 C2 DE 3323281C2
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Walter Ing.(Grad.) 8225 Traunreut De Schmitt
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Dr Johannes Heidenhain GmbH
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Dr Johannes Heidenhain GmbH
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Priority to DE8484105198T priority patent/DE3475649D1/de
Priority to US06/613,508 priority patent/US4678948A/en
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/36—Forming the light into pulses

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DE19833323281 1983-06-28 1983-06-28 Verfahren und anordnungen zur fehlerueberwachung bei einer messeinrichtung Granted DE3323281A1 (de)

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EP84105198A EP0133199B1 (de) 1983-06-28 1984-05-08 Anordnung zur Fehlerüberwachung bei einer Messeinrichtung
AT84105198T ATE39286T1 (de) 1983-06-28 1984-05-08 Anordnung zur fehlerueberwachung bei einer messeinrichtung.
DE8484105198T DE3475649D1 (en) 1983-06-28 1984-05-08 Arrangement for the error control of a measuring device
US06/613,508 US4678948A (en) 1983-06-28 1984-05-23 Measuring device error monitoring system
JP59130201A JPS6021413A (ja) 1983-06-28 1984-06-26 二つの対象物体の相対位置を測定する測定装置

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JP (1) JPS6021413A (US07714131-20100511-C00001.png)
AT (1) ATE39286T1 (US07714131-20100511-C00001.png)
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US4678948A (en) 1987-07-07
JPS6021413A (ja) 1985-02-02
EP0133199B1 (de) 1988-12-14
JPH0253729B2 (US07714131-20100511-C00001.png) 1990-11-19
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