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Verfahren zur Fehlerkompensation bei dreidimen-
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sionalen MeB- und/oder Anreißgeräten Die Erfindung bezieht sich auf
ein Verfahren zur Fehlerkompensation bei dreidimensionalen Meß- und/oder Anreißgeräten
der im Oberbegriff des Anspruchs 1 genannten Art.
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Bedingt durch die Ständerbauweise derartiger Geräte ergeben sich im
Bereich des Querarms und der lotrechten Säule Durchbiegungen.
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Die Ouerarmdurchbiegungen lassen sich in bekannter Weise dadurch kompensieren,
daß der Ouerarm im Inneren mit besonderen, dazu parallelen sowie auch dazu schräg
verlaufenden Spann stäben verspannt wird. Im Bereich der lotrechten Säule sind Biegeverformungen
zu verzeichnen, die durch das Moment bedingt sind, welches vom Querarm entsprechend
der jeweiligen Auskraglänge ausgeübt wird. Die Abbiegung der Säule hängt dabei auch
vom jeweiligen Vertikalabstand des Querarms mit Kreuzschieber vom Gerätefuß oder
der Tischfläche ab. Es ist bekannt, bei diesen Geräten eine Kompensationsvorrichtung
einzubauen, die die Einwirkungen des auskragenden Querarms auf die Säule mit Fuß
zumindest zum Teil kompensiert. Diese Kompensationsvorrichtungen weisen z.B. ein
Ausgleichsgewicht aus, welches in einer Führung in Richtung parallel zum Querarm
so verschiebbar am oberen Ende der Säule oder am Kreuzschieber oder am Querarm selbst
gelagert ist, daß das vom Querarm auf die Säule ausgeübte, von
der
Auskraglänge abhängige Moment kompensiert werden soll.
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Damit soll Meßverfälschungen aufgrund der Biegeverformung der lotrechten
Säule entgegengewirkt werden. Der Aufwand für derartige Kompensationsvorrichtungen
ist erheblich.
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Das Gerät wird dadurch wesentlich teurer und schwerer.
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Eine nahezu völlige Fehlerkompensation ist zudem bei derartigen Vorrichtungen
nicht möglich, weil diese z.B. sich nicht an sonstige, ebenfalls Fehler verursachende
Einflüsse anpassen können, z.B. äußere Einflüsse dort, wo das Gerät steht, wie z.B.
Temperatureinflüsse, im Laufe der Betriebszeit sich zunehmend auswirkende Verschleißerscheinungen,
z.B. im Bereich von Führungen, unerkannt gebliebene Beschädigungen des Gerätes o.
dgl.
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Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Fehlerkompensation
der im Oberbegriff des Anspruchs 1 beschriebenen Art zu schaffen, das die konstruktive
Gestaltung des Gerätes überhaupt nicht oder nur geringfügig beeinträchtigt, mithin
also bei vorhandenen Geräten und nachträglich ebenso zum Einsatz kommen kann wie
bei neu erstellten und ausgelieferten Geräten, das vor allem keinen konstruktiven
Aufwand erfordert und Gewicht sowie Kosten des Gerätes praktisch nicht erhöht und
gleichwohl eine in Grenzen recht genaue Fehlerkompensation möglich macht.
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Die Aufgabe ist bei einem Verfahren der im Oberbegriff des Anspruchs
1 genannten Art erfindungsgemäß durch die Merkmale im Kennzeichnungsteil-des Anspruchs
1 gelöst. Vorteilhafte weiterbildungen dazu ergeben sich aus den Ansprüchen 2 -
7.
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Grundsätzlich wird nach dem erfindungsgemäßen Verfahren der Fehler
auf rechnerische Weise kompensiert. Werden nur einmal die Fehlerabweichungen je
Koordinate vermittelt, so wird ein die Fehler bei verschiedenen Meßpositionen festhaltendes
gesamtes Fehlerabweichungsbild des Gerätes gezeichnet und in den Rechner eingespeichert.
Wird dann bei der Abar-
beitung einer Meßaufgabe ein Meßwert in
den Rechner übernommen, sucht sich der Rechner im Speicher den Korrekturwert für
die Stelle und korrigiert den eingelesenen Meßwert anhand des gespeicherten Fehlerabweichungsbildes.
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Bei diesem rechnerischen Verfahren bedarf es überhaupt keiner Veränderungen
am Geräts so daß dieses Verfahren auch bei bereits benutzten Geräten nachträglich
zur Fehlerkompensation zum Einsatz kommen kann. Noch genauer, weil es die Fehlersituation
beim jeweiligen Meßpunkt immer neu berücksichtigt, ist das rechnerische Fehlerkompensationsverfahren,
wonach die geräteabhängigen Fehlerabweichungen für jeden einzelnen Meßpunkt vor
dem eigentlichen Messen ermittelt werden. Hier geht die Erfindung von der Erkenntnis
aus, daß die lotrechte Säule in der einen lotrechten Ebene, die im wesentlichen
vom Querarm und von der Säule aufgespannt wird, eine Abbiegung in Richtung zum Querarm
hin erfährt, wobei man dieses Biegeprofil annähernd durch einen Winkel rechnerisch
erfassen kann, der nach Tangensfunktion vom Vertikalabstand des Querarms über dem
Tisch einerseits und der Auskraglänge des Querarms andererseits bestimmt wird. Desgleichen
kann ein zweiter Abbiegungswinkel innerhalb einer lotrechten, zur ersten Ebene rechtwinklig
stehenden Ebene für die Säule ebenfalls nach Tangensfunktion und in Abhängigkeit
der genannten Größen berechnet werden. Bei diesem Fehlerkompensationsverfahren wird
in einfacher Weise mit Hilfe zweier zueinander rechtwinklig ausgerichteter Meßwertaufnehmer,
von denen jeder horizontal verläuft und in einer der genannten Ebenen liegt, der
Abbiegewinkel erfaßt. Vorteilhaft ist dabei, daß dies unabhängig von der Auskraglänge
des Querarms geschieht.
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Danach wird je Meßpunkt die Fehlerabweichung berechnet.
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Dies geschieht entweder separat oder im Rechner. Die sich ergebende
Fehlerabweichung wird dann im Rechner dadurch kompensiert, daß dieser den Ist-Wert
durch Verknüpfung,und zwar Addieren oder Subtrahieren, um die Fehlerabweichung korrigiert
und dann die ihm eingegebene Meßaufgabe berechnet. Hierbei werden auch Fehler mit
kompensiert, die nicht
von der Abbiegung hervorgerufen werden, z.B.
solche Fehler, die durch äußere Einflüsse bedingt sind, z.B. Temperatureinflüsse,
Einflüsse vom Führungssystem her o.dgl. Auch dieses Verfahren kann ohne große Schwierigkeiten
bei vorhandenen Geräten benutzt werden. Dazu müssen diese Geräte lediglich z.B.
im Bereich des Kreuzschiebers mit den genannten beiden Meßwertaufnehmern, vorzugsweise
elektronischen Richtwaagen, ausgerüstet werden. Dies kann problemlos nachträglich
geschehen.
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Von besonderem Vorteil ist der geringe konstruktive Aufwand.
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Die Kosten des Gerätes erhöhen sich praktisch nicht, desgleichen nicht
dessen Gewicht und dessen äußeres Erscheinungsbild.
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Die eingangs definierte Erfindungsaufgabe wird in vorteilhafter, alternativer
Gestaltung auch durch die Merkmale des Anspruchs 8 gelöst. Bei dieser rechnerischen
Kompensation berechnet sich der Rechner anhand bekannter Formeln für die Durchbiegung
den Korrekturwert für die entsprechende Meßstelle und korrigiert diesen. Bei-dieser
Auswertung werden allerdings nur errechnete Fehler der Durchbiegung kompensiert,
dagegen keine weiteren Fehler, die durch sonstige Einflüsse hervorgerufen sind.
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Weitere Einzelheiten und Vorteile ergeben sich aus der nachfolgenden
Beschreibung. Der vollständige Wortlaut der Patentansprüche ist vorstehend allein
zur Vermeidung unnötiger Wiederholungen nicht wiedergegeben, sondern statt dessen
lediglich durch Nennung der Anspruchsnummer darauf Bezug genommen, wodurch jedoch
alle Anspruchsmerkmale als an dieser Stelle ausdrücklich und als zur Erfindung gehörend
offenbart zu gelten haben.
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Die Erfindung ist nachfolgend anhand von in den Zeichnungen gezeigten
Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen: Fig. 1 eine schematische, zum
Teil geschnittene Seitenansicht eines Gerätes zum dreidimensionalen Messen und/oder
Anreißen und/oder Antasten von Werkstücken, Fig. 2 eine schematische Draufsicht
des Gerätes in Pfeilrichtung II in Fig. 1, Fig. 3 eine schematische Seitenansicht
des Gerätes in Pfeilrichtung III in -Fig. 1, Fig. 4a und 4b jeweils schematische
vereinfachte Darstellungen des Gerätes in Fig. 1, einmal ohne Abbiegung der Säule
und zum anderen mit Abbiegung der Säule.
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In Fig. 1 - 3 ist eine z.B. stationäre Richtplatte 11 mit oberer Planfläche
12 gezeigt, auf der zu messende, anzureißende und/oder anzutastende Werkstücke aufspannbar
sind.
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Die Richtplatte 11 trägt bei diesem Beispiel auf der sichtbaren Längsseite,
und ferner auf der nicht sichtbaren, gegenüberliegenden Längsseite, eine nur schematisch
angedeutete obere Führungsschiene 13 und untere Führungsschiene 14. Beide sitzen
auf der in Fig. 1 nach links weisenden Außenseite der Richtplatte 11. Auf und entlang
den Führungsschienen 13, 14 ist ein Gerät 15 zum dreidimensionalen Messen, Anreißen
und/oder Antasten von auf der Richtplatte 11 liegenden Werkstücken entlang der Längsseite
der Richtplatte 11 verfahrbar. Das Gerät 15 weist einen z.B. als Laufwagen ausgebildeten
Fuß 16 auf, der mit Gleitlagern und/ oder Lagerrollen an den Führungsschienen 13,
14 nach allen Seiten hin abgestützt ist und darauf leichtgängig in der einen Holizontalrichtung
(X-Achse) verfahrbar gelagert ist.
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Der Fuß 16 trägt eine daran feste,zur Richtplatte 11 rechtwinklig
stehende Säule 17, auf der ein Kreuzschieber 18 in vertikaler Richtung (Z-Achse)
verschiebbar ist. Im Kreuzschieber 18 ist vorn, etwas außerhalb der Mitte ein quer
arm 1.9 in horizontaler Richtung (Y-Richtung) und parallel zur Planfläche 12 und
dabei rechtwinklig zum Verlauf der Führungsschienen 13, 14 verstellbar gehalten.
Der Querarm 19 ist innen hohl und an beiden Stirnenden verschlossen.
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Am in Fig. 1 rechten Stirnende trägt der Querarm 19 einen z.B. als
Würfel gestalteten Aufnahmekopf 20 für die darin aufzunehmenden Meß-, Anreiß- und/oder
Antastwerkzeuge.
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Das Gerät 15 ist mit einer Kompensationsvorrichtung 21 ausgerüstet,
mittels der Fehler des Gerätes 15 beim Messen ermittelt und berücksichtigt werden,
und zwar solche Fehler, die bei dem jeweiligen Vertikalabstand b der neutralen Faser
des Querarms 19 und Kreuzschiebers 18 und bei der jeweiligen Auskraglänge 1, mit
der der Querarm 19 in Bezug auf die neutrale Faser der Säule 17 auskragt, eine Abbiegung
der Säule 17 um den Winkel rX in der einen lotrechten Ebene (Fig. 4b) und/oder um
den Winkel ß in der dazu rechtwinklige-n, zweiten lotrechten Ebene (Fig. 3) zur
Folge haben. Die -erste lotrechte Ebene deckt sich gemäß Fig.1, 4a und 4b mit der
Zeichenebene und enthält die neutrale Faser zumindest der Säule 17. Die zweite,
dazu rechtwinklig stehende lotrechte Ebene deckt sich mit der Zeichenebene gemäß
Fig. 3. Bestandteil der Kompensationsvorrichtung 21 ist ein nur schematisch angedeuteter
Rechner 22 mit Anzeige 23, der über Kabel 24 mit dem Gerät 15 verbunden ist, und
zwar dort mit den einzelnen, nicht weiter sichtbaren und je Verschieberichtung (X-,
Y- und Z-Achse) vorgesehenen Wegmeßsystemen.
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Bedingt durch die ersichtliche Ständerbauweise des Gerätes 15 erfahren
der Querarm 19 und die Säule 17 Durchbiegungen, die durch mit den einzelnen Hebelarmen
wirkende Kräfte hervorgerufen werden.
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Der Querarm 19 ist in der Regel durch im Inneren angeordnete, parallel
zur neutralen Faser und auch schräg dazu verlaufende Duerverspannungen so vorgespannt,
daß eine Durchbiegung des Querarms 19 damit kompensiert ist. Bei der nachfolgenden
Erörterung kann daher der Querarm 19 hinsichtlich einer evtl. Durchbiegung als fehlerfrei
angenommen werden. Der Kreuzschieber 18 ist sowohl hinsichtlich der Lagerung für
den Querarm 19 als auch der Lagerung auf der Säule 17 derart biegesteif, daß in
diesem Bereich ebenfalls keine die Meßgenauigkeit in dem Maße beeinträchtigenden
Feh--1er vorkommen. Im jeweiligen Vertikalabstand b des Kreuzschiebers 18 mit Querarm
19 kann daher jeweils von einem bleibenden rechten Winkel im Bereich des Kreuzschiebers
18 ausgegangen werden.
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Wie in Fig. 4a verdeutlicht ist, wirkt das im Schwerpunkt 25 massierte
Gesamtgewicht des Duerarmes 19 dort mit der lotrecht gerichteten Gewichtskraft FQ
unter einem Hebelarm a, der den Abstand von der neutralen Faser der Säule 17 angibt.
Der Abstand a ist abhängig von der jeweiligen Auskraglänge 1 des Querarms 19. Wie
in Fig. 4b verdeutlicht ist, wirkt also an der Säule 17 ein Moment der Größe FQ
æ a.
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Unter der Wirkung dieses Momentes wird die Säule 17 in der genannten
ersten lotrechten Ebene, die hier mit der Zeichenebene zusammenfällt, nach rechts
hin um den Winkel « abgebogen. Die Größe der Durchbiegung ist abhängig vom Vertikal
abstand b, den die neutrale Faser des Querarms 19 und Kreuzschiebers 18 von der
Planfläche 12 hat. In gleicher Weise erfährt die Säule 1-7 eine Abbiegung unter
dem Winkels (Fig. 3) in der Regel nach links, schon deswegen, weil der Querarm 19
im Kreuzschieber 18 mit Abstand von der neutralen Faser der Säule 17 angeordnet
ist und damit im Massenschwerpunkt wirksame Gewichtskräfte unter einem Hebelarm
in Abstand links der neutralen Faser der Säule 17 wirken.
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Die Abbiegung der Säule 17 um den Winkel gemäß Fig. 4a hat im Bereich
des Mittelpunktes des Aufnahmekopfes 20, auf
den das Gerät 15 vor
Beginn der Messungen genullt wird, einen Fehler h Z in Z-Richtung sowie einen Fehler
A y in Y-Richtung zur Folge. Die Säulenabbiegung unter dem Winkel (Fig. 3) hat einen,
demgegenüber wesentlich kleineren, Fehler A x in X-Richtung zur Folge.
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Die genannten Fehlerabweichungen #Y, #Z sowie #X lassen sich durch
Winkelfunktionen in Abhängigkeit der jeweiligen Ist-Werte von a und b errechnen,
und zwar wie folgt: # Y = b . tan # # Z = a . tan α # X = b . tan ß.
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Geht man von einem idealisierten, völlig fehlerfreien Gerät 15 nach
Fig. 4a aus, ergeben sich beim Antasten eines Werkstückes und Messen eines Meßpunktes
mit den Koordinaten X1, Y1 und Z1 keine Fehlerabweichungen. Tatsächlich ist aber
eine Abbiegung der Säule 17 unter dem Winkel « gegeben, die zu Meßverfälschungen
führt, wobei diese Fehlerabweichungen # Y und #Z beachtlicher und deutlich größer
als die Fehlerabweichung #X sind, die durch die Säulenabbiegung unter dem Winkel
ß (Fig. 3) bedingt ist. Betrachtet man zunächst nur die Fehlerabweichungen t Y und
b Z in Fig.
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4b, so ist aufgrund dieses Fehlers beim Antasten eines Werkstückes
das gemessene und angezeigte Maß Z1 in Z-Richtung um # Z kleiner und das.Maß Y1
in Y-Richtung um # Y größer als ohne Fehler. Gleich-ermaßen ist das Maß X1 um #
X größer als ohne Fehler.
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Zur Korrektur wären also, wenn die einzelnen Fehlerabweichungen in
allen drei Koordinatenrichtungen bestimmt und bekannt sind, die Fehlerabweichung
d Z in der vertikalen Meßrichtung zum tatsächlichen Meßwert Z1 hinzuzuaddieren,
hingegen die beiden anderen Fehlerabweichungen a Y bzw. a X vom jeweiligen Meßwert
Y1 bzw. X1 abzuziehen.
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Nach diesem Verfahren wird bei dem Gerät 15 zur rechnerischen Kompensation
der Fehler vorgegangen. Man geht dabei so vor, daß man die geräteabhängigen Fehlerabweichungenl
vor allem 4 Y und Z, aber auch die kleinere Fehlerabweichung t X, in den einzelnen
Verschieberichtungen Y, Z bzw.
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X für jeden einzelnen Meßpunkt Y1, Z1, X1 ermittelt. Sodann gibt man
die ermittelten Fehlerabweichungen A Y, 4Z, n X in den Rechner 22 ein und verknüpft
diese zur Korrektur mit dem in Y-, Z- bzw. X-Richtung jeweils angezeigten tatsächlichen
Ist-Wert auf rechnerischem Wege. Dabei wird die Fehlerabweichung C\ Z dem gemessenen
Anzeigewert Z1 hinzuaddiert, während die übrigen Fehlerabweichungen Ay Y und aX
vom jeweils gemessenen, angezeigten Wert Y1 bzw. X1 subtrahiert werden. Die einzelnen
Fehlerabweichungen AY, AZ und t X jedes einzelnen Meßpunktes werden dabei jeweils
gemäß den vorgenannten Winkelfunktionen ermittelt, also als Funktion einzelner Auskraglängen
1 bzw. a des Querarmes 19 und einzelner Vertikalabstände b des Duerarmes 19 mit
Kreuzschieber 18.
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Die Abbiegung der Säule 17 unter dem ersten Winkel « (Fig.4b) in der
einen lotrechten Ebene ermittelt man mit Hilfe eines ersten Meßwertaufnehmers 1,
während die Abbiegung der Säule 17 unter dem zweiten Winkel ß mit Hilfe eines zweiten
MeB-wertaufnehmers 2 ermittelt wird. Die beiden Meßwertaufnehmer 1 und 2 bestehen
aus Neigungsmessern, insbesondere aus elektronischen Richtwaagen, die zueinander
rechtwinklig ausgerichtet sind und auf dem Kreuzschieber 18 aufgelegt sind.
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Dabei ist die erste Richtwaage 1 parallel zur Verschieberichtung (Y-Achse)
des Querarms 19 und quer zu den beiden anderen Verschieberichtungen (X-Achse, Z-Achse)
ausgerichtet.
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Die zweite Richtwaage 2 ist parallel zur Verschieberichtung (X-Achse)
der Säule 17 und dabei rechtwinklig zur ersten Richtwaage 1 ausgerichtet. Statt
der elektronischen Richtwaagen können auch andere geeignete Meßwertaufnehmer verwendet
werden. Elektronische Richtwaagen haben den Vorteil,
daß diese
unabhängig von der jeweiligen Auskraglänge 1 hochpräzis die jeweilige Neigung ermitteln.
Von Vorteil ist bei dieser Methode der rechnerischen Fehlerkompensation, daß dabei
nicht nur von der Durchbiegung unter dem Winkel « und/ oder R hervorgerufene Fehlerabweichungen
kompensiert werden, sondern auch sonstige, sich auswirkende Fehler, z.B.
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solche, die von dem Führungssystem zwischen Fuß 16 und Führungsschienen
13, 14 in X-Richtung hervorgerufen werden, ferner Fehler bedingt durch Temperaturschwankungen
oder Temperatureinflüsse im Meßraum, wo das Gerät 15 steht, ferner erst im Laufe
des Betriebs sich einstellende, verschleißbedingte Fehler oder auch -Fehler, bedingt
durch unsachgemäße Behandlung, z.B. durch Beschädigung des Gerätes 15 oder Belastung
mit äußeren Kräften durch übergebührliches Herunterziehen des frei auskragenden
Querarms 19 o. dgl.
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Beim Messen geht man dabei so vor, daß vor dem Beginn der Messung
das Gerät 15 in seinem Maschinennullpunkt auf Null gestellt wird. Diese Einstellung
ist nötig, damit der Rechner 22 vorzunehmende Resetfunktionen korrigieren kann und
seine Berechnungen -immer auf den Maschinennullpunkt bezogen ausführt. Im Fall ohne
die beschriebene rechnerische Fehlerkompensation übernimmt der Rechner 22 die einzelnen
Koordinatenwerte aus dem Zähler und berechnet damit die ihm vorgegebene Meßaufgabe.
Bei der erläuterten rechnerischen Fehlerkompensat-ion ist letztere vorgeschaltet.
Der Rechner muß die ihm gelieferten Koordinatenwerte in der erläuterten Weise erst
korrigieren, d.h. die tatsächlichen Anzeigewerte rechnerisch mit den ermittelten
Fehlerabweichungen 6 Y, 4Z und a X verknüpfen, bevor die eingegebene Aufgabe berechnet
wird.
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Bei einem anderen, nicht gezeigten Ausführungsbeispiel bedarf es der
elektronischen Richtwaagen 1 und 2 nicht. Statt dessen geht man so vor, daß man
die geräteabhängigen Fehlerabweichungen einmal, also nicht beim Messen jedes einzelnen
Meßpunktes, mit einem genau bekannten Meßnormal in mehreren, hinreichend vielen
Meßpositionen des Gerätes 15
im Meßraum ermittelt und das so ermittelte
Fehlerabweichungsbild in den Rechner einspeichert. Hierbei kann man das Fehlerabweichungsbild
z.B. mit einem Stufenendmaß ermitteln, das auf die Planfläche 12 aufgelegt wird
und verschiedene abgestufte Flächen hat, die so, als wollte man mit dem Gerät 15
messen, abgetastet und gemessen werden. Da man den fehlerfreien tatsächlichen Meßwert
für dieses Meßnormal kennt, kann man daraus die jeweilige Fehlerabweichung ermitteln
und so ein komplettes Fehlerabweichungsbild des Gerätes 15 in den Rechner einspeichern.
Zur Ermittlung kann man auch ein Laserinterferometer verwenden.
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Wird dann bei der Abarbeitung einer Meßaufgabe ein Meßwert in den
Rechner übernommen, sucht sich der Rechner im Speicher den für die Stelle X1, Y1
und Z1 zugeordneten Korrekturwert und korrigiert so den eingelesenen Meßwert.
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Im Vergleich zum erstgenannten Verfahren ist dieses zweite Verfahren
zur rechnerischen Fehlerkompensation insoweit etwas ungünstiger,als z.B. im Laufe
der Betriebszeit des Gerätes auftretende Fehler hier nicht berücksichtigt werden.
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Dies können Fehler durch Temperatureinflüsse oder durch Verschleiß
der Führungssysteme sein. Will man diese Fehler mit erfassen, so muß die Erstellung
des Fehlerabweichungsbildes in entsprechend kleinen Zeitabständen und häufiger erfolgen.
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Schließlich kann eine Fehlerkompensation auch in der Weise vorgenommen
werden, daß man in den Rechner 22 an sich bekannte, formelmäßige Abhängigkeiten
für die Durchbiegung der Säule 17 in den beiden zueinander rechtwinkligen, lotrechten
Ebenen einspeichert, und zwar unabhängig vom tatsächlichen Fehlerabweichungsbild
des Gerätes 15. Hier berechnet sich der Rechner 22 anhand bekannter Formeln für
die Durchbiegung X und ß den Korrekturwert für die entsprechende Meßstelle und korrigiert
diesen. Dabei erfolgt aber nur eine Kompensation der errechneten Fehler unter
Berücksichtigung
der Durchbiegung, nicht dagegen anderer Fehler, z.B. bedingt durch Temperatureinflüsse,
Spiel oder Verschleiß in den Führungssystemen o.dgl.
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