JPS59122901A - 三次元計測器および／あるいはけがき器具における誤差補正方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は特許請求の範囲の第（１）項の前書きの項に記
載した種類の三次元計測器および／あるいはけかき器具
における誤差補正方法に関する。

上記の様な器具においてはその立脚構造に基づいて横送
シ台および垂直支柱にたわみが生じる・横送シ台におけ
るたわみは、周知のとおシいることによって、打ち消さ
れる。垂直支柱域においては、腕木の突出長に相応して
生じるモーメントによって曲げ変形があられｎる。この
場合支柱の屈曲は、横送シ台位置における腕木の器具土
台゛ないしはテーブル表面からの垂直距離にも関係があ
る。上記の様な２ｇ具に対して補正装置を取付けること
は公知であシ、それによって土台ｅｌｉＦｉえた支柱に
対する突出腕木の影響を少なくとも部分的べ補正するこ
とができる。

たとえばこれらの補正装置の一つは釣合いおもシです。

この釣合いおもシは、腕木に対して平行に動かすことが
できる様に、支柱上端あるいは横送シ台あるいは腕木に
取シ付けられる。これによって、腕木によって生じる、
腕木の突出長に相応した、支柱におけるモーメントが帳
消しされるというわけである。従って垂直支柱の曲げ変
形による計測間違いを妨ぐことかできるということであ
る。ところで、この様な補正装置は非常に高価なもので
あシ、従ってそれに伴って器具も実質的に高価なものと
なシ、重量も増大する。しかもこの様な装置によっても
誤差は十分に補正され得るとは限らない。たとえば同様
の誤差の原因となっているその他の影響、たとえば温度
などの器具設置場所における外的影響、使用時間の経過
とともに生じてくる器具の摩耗現象の影響、器具の、た
とえば誘導部分における、目につかない損傷の影響など
にそれぞれ対応することができない。

これに対して本発明は、定盤側辺に接しであるいは定盤
上において水平方向（Ｘ−軸）に動き得る脚部を婦えて
おシ、この脚部に支柱が定盤に対して直角に配置されて
おシ、この支柱に積送シ台が垂直方向（Ｚ−軸）に動き
得る様に配備されておシ、この横送シ台中℃腕木が水平
方向（Ｙ−軸）Ｋかつ定盤に対して平行に、さらに支柱
に対して直角に動き得る様に閂己備されておシ、この腕
木の端部に計測具ないしはけかき工具取付は部が配置さ
れている様な、そしてその場合に各閲位方向（Ｘ−１Ｙ
−、、およびＺ−軸）に対して個々に器具側に配備され
ている路程機構が計算器と連結されている様な三次元計
測器および／あるいはけかき器具における誤差補正方法
において、器具の構造上の形態に全くあるいはごく一部
しか手を加えることなく、従って新しく購入した器具の
場合と全く同様に今手もとにある器具に対しても後から
適用することができる、しかも構造上の費用が不要な、
従って器具の重量ならびに価格にも実質的に影響を及ぼ
さない、その上正確に誤差を補正することができる方法
を提供することを課題として串発した。

この課穎は、子鹿あるいは獣度個々の計測点に対して各
々の変位方向（ｘ、ｙ、ｚ）における器具による誤差（
ΔＸ１ΔＹ、ΔＺ）を各々探求し、次いでこれらの探求
誤差（ΔＸ、ΔＹ。

ΔＺ）を計算器にあたえ、修正に対して各々の変位方向
（ｘＳｙ、ｚ）における指示実値（（、Ｙ指示、Ｚ指示
）と計数的に結び付ける、特に垂直方向における誤差（
ΔＺ）は加算し、反対にその他の誤差（ΔＸ１ΔＹ）は
減算することを付加することによって解決される。

本発明の方法では、４誤差として、計測点の、各々の変
位方向（ｘ、ｙ、ｚ）における、誤差座標（ΔＸ１ΔＹ
１ΔＺ）を、それぞれ腕木の突出長Ｃ１，ａ’）および
横送シ台に関する腕木の支柱下端からの垂直距離（ｂ）
の関数として求めることが好ましく、この際突出した腕
木の傾斜によって生じる支柱の屈曲を、支柱および腕木
の中心軸を通る垂直面において第一角（α）のもとに、
および／あるいはもう一方の、上１記に対して直角の垂
直面において第二角（β）のもとに、求めること、およ
び関係式（ΔＸ＝ｂ　　−ｔａｎ　　β　、　Δ　’ｆ
　　＝　　ｂ　　・　ｔａｎ　　α　、　Δ　Ｚ　　＝
　　ａ＠ｊａｎα）に従って個々の計測点について誤差
を求め、各座標ごとに指示値と連結すること、その場合
に（ａ）は腕木の、支柱の中立線からの重心距離であシ
、これは腕木の突出長ｉ）に依存すること、他方（ｂ）
は横送シ台に関する腕木の中立線の、支柱下端からの、
垂直距離であるのがよい。

さらに、支柱および腕木の中心軸を通る垂直面における
第一角（α）の下にあられされる支柱の屈曲を、この方
向における第一計測値記録器を用いて求め、もう一方の
、上記に対して直角の垂直面における第二角（β）の下
にあられさ扛る支柱の屈曲を、このもう一方の方向にお
ける第二計測値記録器を用いて求めるのが好ましく、ま
た、おたがいに直角を成して配置された二つの傾斜計、
特に電子式水準語を使用し、それらを腕木上、特に横送
シ台上に配置すること、そしてその場合に第一傾斜計は
腕木の変位方向（Ｙ−軸）に対して平行に、かつ他の二
つの変位方向に対して直角に配備し、第二傾斜計は支柱
の変位方向（Ｘ−軸）に対して平行に、かつ第一傾斜計
に対して直角に配備するのがよいＯ 本発明の方法では、まず既知の正確な計測基準を用いて
計測域内の複数個の、十分な個数の器具計測位置におい
て器具による誤差を求め、この様に、して求めた誤差デ
ータを計算器に入れるのがよく、誤差データーは例えば
段階式端度器（５ｔｕｆｅｎｅ”ａ’ｍａｓｓ　）　　
あるいはレー寸−干渉計によって求めることができる。

このような本発明による方法によれば誤差は原則的に計
算によって補正することができる。

各座標に対する誤差を一度求めるだけで、器具の全誤差
データをあられすことができる。こ扛によっているんな
計測状態におけるずれを捕捉することができる。次いで
この誤差データが計算器に入れられる。その後計測にお
いて計測値が計算器に与えられると、計算器は集積部に
おいてその状況に対する補正値を探し求め、集積誤差デ
ータにもとづいて計測値を補正する。この計算による方
法によれば器具に手を加える必要が全くないので、現在
使用中の器具に対しても誤差補正のためにこの方法を付
加的に採用することができる。実際の計測に先立って個
々の計測点に対する器具による誤差を求めることができ
る、この計算による誤差補正方法は、そ扛ぞれの計測点
における誤差状況にその都度新たに対処し得るので、非
常に正確である。この場合、本発明は、垂直支柱が実質
的に腕木および支柱によってできる垂直面内において腕
木の方向に屈曲するという認識にもとづいて、そしてそ
の場合にこの屈曲形状が、接線関数に従って一方では腕
木の台からの垂直距離に関して、他方では腕木の突出長
に関して算定される角度によって、近似的に把握するこ
とができるという認識にもとづいて出発、している。同
様に、第一垂直面に対して直角を成す第二垂直面内にお
ける支柱に対する第二屈曲角も接線関数に従って上記の
数値から求めることができる。本誤差補正方法において
はおたがいに直角に配置されているニイーの計測値記録
器（それらはそれぞれ水平に配置されると同時に上記の
面の内の片方に配置される）を用いることによって簡単
に屈曲角を求めることができる。この場合にこ扛は腕木
の突出長の影響を受けないという利点がある。

これによって各計測点に対して誤差が算出さ扛得る。こ
れは別個にでもあるいは計算器においても行ない得る。

そこで得られる誤差は計算器において補整される。すな
わち、計算器内において実値と誤差の関連付け、すなわ
ち加算ないしは減算が行なわれ、計算器内に集積すべき
計測データが算出される。この場合屈曲によって生じた
のではない、たとえば外的な作用、たとえば湿度や管理
系の作用によって生じる誤差も同時に補正される。また
この方法は太し次支障もなく手もとにある器具に適用す
ることができる。この場合器具に課せら扛るのは、たと
えば横送シ台の範囲に、上に述べた様に二つの計測値記
録器、望ましくは電子式水準器を配備しておかなければ
ならないということだけである。

こｎは問題なく付加的に行なうことができる。

特に有利な点は、構造に関する費用がほとんどかからな
いという点である。従って器具の価格は実質的に変わら
ず、同様に器具の重量並びに器具の外観形状も変わらな
い。

はじめに示した本発明の課題は、計算器に器具の実際の
誤差形状とは無関係に、おたがいに直角を成している二
つの垂直面における支柱の屈曲に対してそれ自体は公知
の関係式を入れることによっても良好に解決さ扛得る。

との補正方法の場合、計算器においてたわみに対する公
知の式にもとづいて相応の計測位置に対する補正値を算
出することによって補正を行なう。しかしこの方法の場
合はたわみによる誤差だけしか補正されず、その他の、
他の作用によって生じる誤差は補正さ扛ない。

本発明のその他の詳細並びに利点は以下の記載事項から
明らかである。ぞ４雛ｔ〆復ど避げ次に本発明を図面に
示した実施例にもとづいてさらに詳しく説明する。

第１図〜第３図には上面（１２１有する、たとえば固定
状の定盤（ＩＩ）が示されておシ、この上に計測、けが
き、および／あるいは触ｒるべき（ａｎｚｕ−ｔａｓｔ
ｅｎｄｅ　）　　工作物が広げられる。こΩ実施例の場
合定盤（１１１は、ここに見えている縦側面上とさらに
この反対側の、見えていない縦側面上に略式に描かれて
いるが、上部案内レールｕ３１および下部案内レール圓
を備えている。こ扛らは定盤（Ｉ’ｌｌの、第１図にお
いて左側の、外側面上に配備されている。案内レール（
１３１、ｔ１４１上およびそ扛らに沿って定盤（Ｉｌｌ
上に置かれる工作物の三次元計測、けがき、および／あ
るいはａｎｔａｓｔｅｎ　用器具（１５１が定盤Ｕの縦
側面に沿って運ばれる。器具日はたとえば走行台状につ
くられた脚部１６）を備えておシ、この脚部がすベシ軸
受けおよび／あるいはころが９軸受けによって全側面に
おいて案内レールＱ３１、（Ｌ４Ｊに対してささえられ
ておシ、その上で水平方向（Ｘ−軸）に楽々と走行し得
る。脚部（１６）には支柱（Ｉｎが定盤（１１１に対し
て直角を成す様に固定されてお勺、この支柱上に横送シ
台（１８）が垂直方向（Ｚ−軸）に動き得る様に配備さ
れている。横送シ台（１８１中には、前方、中央から多
少外よシにおいて、腕木（（９）が、水平方向（Ｙ−軸
方向）において台表面（１２）に平行に、かつ案内レー
ルｆ１３１、ｔ１４）の走行方向に対して直角に動き得
る様に維持されている。、腕木（１９）は内部が中空で
あるが、両端はふさがっている。腕木ｕ９）の第１図に
おいて右側先端には、そこに取付けるべき計測具、けが
き工具、および／あるいは、Ａｎｔａｓｔ　　工具用の
、たとえばさいころ状の取付は部（２０＋が設けられて
いる。

器具（１５１は補正装置（２１１を備えている。この補
正装置によって計測における器具ｔ１５１のす扛が求め
られ、それに対する対応がなされる。ところでこのずれ
は、腕木（川および横送シ台ａ＆の中立線の垂直距離が
ｂで、腕木（１９１の、支柱叩の中立線に関する、突出
長がｌの場合に、支柱（１７）が第一垂直面において角
度αだけ（第４ｂ図）および／あるいは上記第一垂直面
に対して直角の第二垂直面において角度βだけ（第３図
）屈曲していることによって生じる。第一垂直面は第１
図、第４ａ図、および第４ｂ図の図面と一致し、少くと
も支柱０７１の中立線を含んでいる。これに対して直角
の第二垂直面は第３図の図面と一致する。補正装置（２
１Ｊの構成要素は指示詣（２３）を浦えた計算）？Ｈ２
１（簡略化して示されている）であシ、これはケーブル
（２４Ｊを通して器具（１９と、すなわち器具における
、詳細には示されていないが、各変位方向（Ｘ、Ｙおよ
びＺ−軸方向）に耐曲されている路程機構と連結されて
いる。

腕木（１９）および支柱（１７）は器具（１５）の土台
の構造に相応してたわみを生じる。これは個々のてこ腕
に関して働く力によって生じる。

腕木ｕ９１はほとんどの場合内部に配備されている、中
立線に対して平行な、さらにはそれに対して斜めの横控
え線によって腕木（Ｉ９）が屈曲しない様にささえられ
ている。従って以下の説明においては腕木ケ９）の屈曲
による誤差は生じないものと仮定することができる。同
様に横送シ台（１８）は腕木ｕ９］に対するささえとし
ても、又支柱［７）上におけるささえとしても非常に安
定であるのでこの範囲においては計測の精度を狂わせる
ずｎは生じない。従って腕木（Ｉ９）を備えた横送シ台
（１８）の垂直距離すがいず扛であっても、横送シ台（
１８）の範囲においては常に直角が維持されると結論づ
けることができる。

第４ａ図に明確に示さ扛ている様に、重心（２５ｊにか
かる腕木α９）の全重量はてこ腕ａ下、垂直方向にＦＱ
　なる力で作用する。ここでａは支柱（１７）の中立線
からの距離である。この距離は腕木（１９）の突出長に
依存する。第４ｂ図から明らかなように、この場合支柱
（１７）に丸して大きさがＦＱ−ａなるモーメントが働
く。このモーメントの作用によって支柱（１′７）は前
述の第一垂直面（ここでは図面と一致する）内において
右の方へ角度αだけ屈曲する。この屈曲の大きさは垂直
距１ｉｌｌｂ１すなわち腕木ｕ９）および横送り台１ｒ
８）の中立線の台表面１１２１からの距離に依存する。

同様に、腕木＋１９１は支柱（１７１の中立線から少し
ずれた位置において横送シ台（１８）に配備されてお９
、そのために重心にかかる重量による力は支柱Ｕηの中
立線から少し左にずれたてと腕上に作用するので、はと
んどの場合支柱ｕ’ｎは左の方向に角度β（第３図）屈
曲する。

支柱（１７）が角度α屈曲することによって、（第４ｂ
図）計測開始前に零の状態に調整されている取付は部シ
υ）の中心部分において、Ｚ−軸方向にΔＺ、Ｙ−軸方
向にΔＹのずれが生じる。他方支柱ａ′７）が角度β屈
曲することによって（第３図）、Ｘ−軸方向にΔＸのず
れが生じるが、このよびｂとの関係をあられす角関数に
よって算出することができる。角関数は次の通シである
。

ΔＸ＝ｂ、１ａ、β；ΔＹ＝ｂ−ｔａｎα；ΔＺ＝’ａ
　　・　ｔａｎ　　α 仮に第４ａ図に示さｎている、完全にずれのない理想的
な器具（１５）を用いた場合、ＸＩ、Ｙｌ、およびＺｌ
なる座標を有する計測点における計測および工作物のＡ
ｎｔａｓｔｅｎ　　においては誤差が生じない。しかし
実際には支柱（］７）は角度α屈曲し、そのために計測
にずれが生じる。この場合この誤差ΔＹおよびΔＺは、
支柱（１７）が角度β屈曲することによって生じる誤差
ΔＸよりも明らかに注目に値する程大きい。とシあえず
第４ｂ図において誤差ΔＹおよびΔＺについてのみ考察
すると、工作物をＡｎｔａｓｔｅｎ　ｊた場合上記の様
なずれにもとづいてＺ一方向における計測指示寸法Ｚｌ
は、ず扛のない場合に比べてΔＺだけ小さくなシ、Ｙ一
方・向における寸法￥１はΔＹだけ大きくなる。同様に
Ｘ一方向における寸法ＸＩば、ずれのない場合に比べて
ΔＸだけ大きくなる。

すなわち、三つの座標方向すべてにおいてそれぞ扛誤差
が確認されているならば、実１磨の計測値Ｚｌには垂直
方向における誤差ΔＺを加算し、計測値ＹｌないしＸＩ
からばそ扛ぞれ誤差ΔＹないしはΔＸを減算することに
よって補正を行なうととができる。

この方法においては補正に対してまず器具１１５）によ
るずれが問題となる。そこでまず個々の計測点Ｙｌ、’
Ｚｌ、ＸＩに対しそれぞ扛の変位方向Ｙ、ＺないしはＸ
における器具による誤差、なかんずくΔＹおよびΔＺ１
さらにはそれらよシは小さいがΔＸが求められる。次い
で求めらｆした誤差ΔＹ１ΔＺおよびΔＸは計算器（２
２）に入れられ、補正の；ｔめに計算上Ｙ−１Ｚ−１な
いしはＸ方向における実際に示される実値と連結される
。この場合誤差ΔＺは計測指示値＋２１１に加算さｎ１
他方他の誤差ΔＹおよびΔＸはそｔぞ扛の計測指示値Ｙ
ｌないしはＸＩがら差し引かれる・この場合側々の計測
点の誤差ΔＹ１ΔＺ１およびΔＸはそｎぞれ上に述べた
角関数、すなわち腕木；１９）の突出長ｌないしはａｌ
および横送シ台（１８）に関する腕木ケ９）の垂直距離
すの関数によって求めら扛る。

第−垂直面における第一角αであられさ扛る、支柱［７
１の屈曲は、第一計測値記録器（１）によって求めら扛
る。他方第二角βであられされる、支柱旺の屈曲は、第
一計測値記録器（２）によって求められる。計測値記録
器（１）および（２）はいずｔも傾斜計、特に電子式水
準器から成っている。これらはいずれも横送り一台（１
８）上におたがいに直角に配備さｎている。その場合第
一水準器（１）は腕木（１９）の変位方向（Ｙ−軸方向
）に対して平行に他の二つの変位方向（Ｘ−軸方向およ
びＺ−軸方向）に対して直角に配置されている。他方第
二水準器（２）は支柱（１７１の変位方向（Ｘ−軸方向
）に対して平行に、かつ第一水準器（１）に対して直角
に配置されている二電子式水準器の代りに他の適当な計
測値記録器を使用してもよい。電子式水準ａｇは突出長
ｌにかかわシなく非常に正確に傾斜を求めるとと示でき
るという畏所を持っている。計算によって誤差補正を行
なうこの方法は、角αおよび／あるいはβであられされ
る屈曲によって生じる誤差だけではなくて、その他の原
因によって生じる誤差も、たとえばＸ−軸方向において
脚部ｕ６１と案内レール０．３１，１４１の間の誘導機
構によって生じる誤差、器具（１５）が置かｎでいる計
測域における温度の変動ないしは温度の作用によって生
じる誤差、使用時間の経過とともに生じる摩耗による誤
差、さらに不当な状態による、たとえば器具（１５１の
傷損あるいは腕木Ｕを無理に引出したことによって生じ
る過加重による誤差なども、補正し得るという利点を持
っている。計測を行なう場合、計測に先立って器具１５
）の機械零点を零に合わせて置くことが第一である。こ
の調整は必要である。すなわちこれによって計算器（２
２１においてＲｅ５ｅ（ｆｕｎｋＬ　ｉｏｎを調整する
ことができ、常に機械零点に関して算定を行なうことが
できる。誤差補正がない場合、計算器（ハ）は計数値か
らそれぞれの座標値を読み取シ、そｎによって計算器に
入れる計測データを算定する。誤差補正を行なう場合は
、後者に先立ってなすべきととがある。すなわち計算器
に入れるデータを算定する前に、計算器において上記の
ようにして得られた座標値を補正する必要がある。すな
わち実際の指示値を探求誤差ΔＹ１ΔＺおよびΔＸと計
数的に連結して置く必要がある。

図には示されていないが、電子式水準器（１）および（
２）を使用しない実施形態もある。この場合は電子式水
準器を使用する代シに、まず、すなわち計測点の計測時
にではなくて、計測範囲内における器具（１５１の複数
でかつ十分な数の計測位置に対して既知の正確な計測基
準を用いて誤差を求め、この様にして求めらｆした誤差
形状を計算器に入扛る。この場合、たとえば段階式端境
、Ｅ　＆　−、ｒ　７’　％　”／　：宿状を求めるこ
とができる。こ牡は多数の段階の面を持っておシ、台表
面（１２１上に据え付けられる。この計測基準に対して
誤差のない実測値が得られるので、これからそれぞれの
誤差を求めることができ、そｎによって器具ｕ５１の完
全な誤差形状又はデータを計算器に蓄積することができ
る。誤差の探求にはこの他にレーザー干渉計を用いるこ
ともできる。

計測デークー集積後計算器に計測値を入しると、計算器
においてはその蓄積部において位置Ｘｌ５ＹｌおよびＺ
’ｌに対する修正値が探し求められ、それによって計測
値が修正される。

最初に述べた方法と比較した場合、この二番目の誤差補
正方法は、たとえば器具を長く使用しているうちに生じ
てくる誤差は捕捉され得ないという点で多少不利である
。捕捉され得ない誤差には温度の作用による誤差、ある
いは誘導機構の摩耗による誤差が含まれる。これらの誤
差も一緒に捕捉するには、相応に短期間のうちに繰返し
誤差データの修正を行なう必要がある。

最終的には、おたがいに直角を成している二つの垂直面
における支柱（１１の屈曲に対してそれ自体公知の関係
式を計算器ｃ！２に入ｎ−Ｃおくことによって、すなわ
ち器具（１５１の実際の誤差形状とは無関係に誤差補正
を行なうことも可能である。

この場合は計算器内においてαおよびβなる屈曲に対す
る公知の関係式にもとづいて該当の計測位置に対する修
正値が求めも扛、こ扛によって計測値の修正がなさｎる
。しかしこの場合は屈曲による誤差だけが補正され、七
扛以外の、たとえば温度作用、誘導機構におけるゆるみ
ないしは摩耗などによる誤差は補正され得ない。

【図面の簡単な説明】

第１図は工作物の三次元計測および／あるいはけがきお
よび／あるいはＡｎｔａｓｔｅｎ　　用語具の略式側面
図であるが、部分的に断面が示されている。 第２図は第１図に示さｎている器具を矢印■の方向から
見た場合の略式平面図である。 第３図は第１図に示されている器具を矢印■の方向から
見た場合の略式側面図である。 第４ａ図および第４ｂ図はそれぞれ第１図に示されてい
る器具において、一方は支柱が屈曲していない場合の、
他方は支柱が屈曲している場合の簡略図式図である。 ＋ｔｎ・・・・・定盤 け６つ・・・・・脚部 （１７１・・・・・支柱 Ｕ晩′・・・・・横送シ台 Ｕ・・・・・腕木 ｃ！０）・・・・・取付は部 （２２１・・・・・計算器 図面の浄書（内容に変更なし） Ｆｉｇ且　　　　　　　　−Ｅｉｑ且 ５ 手続補正書（２） ■、事件の表示　　　　昭和５８年特許願第２０５’７
１７　　号３、補正をする者 事件との関係　　　　　　特許出願人 氏名（名称）　　　　　チェー、シュテイーフエルメイ
ヤーコマンヂットゲゼルシャフト ４、代　理　人 ６、補正により増加する発明の数

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. （１）定盤ＵＤ側辺に接しであるいは定盤（１］Ｊ上に
   おいて水平方向爪Ｘ−＠　）に動き得る脚部１１６１を
   備えておシ、この脚部に支柱ｔｔ７）が定盤（１１１に
   対して直角に配備されておシ、この支柱に横送シ台（１
   ８）が垂直方向（′Ｚ！−軸）に動き得る様に配備され
   ておりこの横送シ台中に腕木（１９１が水平方向（Ｙ−
   軸）にかつ定盤（ｉｌｌに対して平行に、さらに支柱ｔ
   ｌ力に対して直角に動き得る様に配備されており、この
   腕木（１９の端部に計測具ないしはけかき工具取付は部
   シ０）が配備されている様な、そしてその場合に各変位
   方向（Ｘ−１Ｙ−およびか軸）に対して個々に器具側に
   配備されている路程機構が計算器（２２１と連結されて
   いる様な三次元計測器および／あるいはけかき器具にお
   ける誤差補正方法において、まず、個々の計測点に対し
   て各々の変位方向（ｘ、ｙｌｚ）における器具による誤
   差（ΔＸ１ΔＹ、ΔＺ）を各々探求し、次いでこれらの
   探求誤差（ΔＸ１ΔＹ、ΔＺ）を計算器＠にあ次え、修
   正に対して各々の変位方向（ｘ、ｙ、ｚ）における指示
   実値（Ｘ指示、Ｘ指示、Ｚ指示）と計数的に結び付ける
   。特に垂直方向における誤差（Δ２）は加算し、反対に
   その他の誤差（ΔＸ１ΔＹ）は減算する、ことを特徴と
   する誤差補正方法。
2. （２）誤差として、計測点の、各々の変位方向（Ｘ１ｙ
   、ｚ）における、誤差座標（ΔＸ１ΔＹ１ΔＺ）をそれ
   ぞれ腕木（Ｌ９）の突出長ｉ、ａ）および横送フ台（１
   ＆に関する腕木αωの支柱下端からの垂直距離（ｂ）の
   関数として求めることを特徴とする特許請求の範囲第（
   １）項に記載の誤差補正方法。
3. （３）突出した腕木（ｌ鐵の傾・斜によって生じる支柱
   ａ力の屈曲を、支柱ａηおよび腕木α９の中心軸を通る
   垂直面において第一角（α）のもとに、および／あるい
   はもう一方の、上記に対して直角の垂直面において第二
   角（β）のもとに、求めること、および関係式（ΔＸ＝
   ｂ−ｔａｎβ、ΔＹ＝ｂ　奉ｔａｎ　ａ、ΔＺ＝ａ−ｔ
   ａｎα）に従って個々の計測点について誤差を求め、各
   座標ごとに指示値と連結すること、その場合に（ａ）は
   腕木（１９の、支柱（１７１の中立線からの、重心距離
   であ勺、これは腕木ａωの突出長ＣＵ　）に依存するこ
   と、他方（ｂ）は横送シ台賭に関する腕木時の中立線の
   、支柱下端からの、垂直距離であることを特徴とする特
   許請求の範囲第（２）項に記載の誤差補正方法。
4. （４）　　支柱αηおよび腕木（１９）の中心軸を通る
   垂直面における第一角（α）の下にあられされる支柱（
   １７）の（任曲を、この方向における第一計測値記録（
   ｄ器を用いて求め、もう一方の、上記に対して直角の垂
   直面における第二角（β）の下にあられされる支柱ｕｎ
   の屈曲を、このもう一方の方向における第二計測値記録
   器（２）を用いて求めることを特徴とする特許請求の範
   囲第（３）項に記載の誤差補正方法。
5. （５）　　おたがいに直角を成して配置された二つの傾
   斜計（１，２）、特に電子式水準器を使用し、それらを
   腕木α９）上、特に横送シ台ｔｔａ＋上に配備すること
   、そしてその場合に第一傾斜計（１）は腕木−＋１９）
   の゛変位方向（Ｙ−軸）に対して平行に、かつ他の二つ
   の変位方向に対して直角に配備し、第二傾斜計（２）は
   支柱鰭の票位方向（Ｘ−軸）に対して平行に、かつ第一
   傾斜計＋１１に対して直角に配備することを特徴とする
   特許請求の範囲第（４）項に記載の誤差補正方法。
6. （６）　　まず既知の正確な計測基準を用いて計測域内
   の複数個の、十分な個数の器具ＵＳ＋、計測位置におい
   て器具による誤差を求め、この様にして求めた誤差デー
   タを計算器（２２＋に入れることを特徴とする特許請求
   の範囲第（１）項に記載の誤差補正方法。
7. （７）誤差データを段階式端度詣あるいはレーザー干渉
   計によって求めることを特徴とする特許請求の範囲第（
   ６）項に記載の誤差補正方法。
8. （８）　　定盤＋１１＋側辺に接しであるいは定盤［１
   １１上において水平方向（Ｘ−軸）に動き得る脚部’ｔ
   １６１を隔えておシ、この脚部に支柱αｎが定盤（ｉｌ
   ｌに対して直角に配備されてお勺、この支柱に横送シ台
   旺が垂直方向（Ｚ−軸）に動き得る様に配備されておシ
   、との横送シ台中に腕木（１９）が、水平方向（Ｙ−軸
   ）におよび定盤（１１１に対して平行にさらに支柱（ｌ
   力と交差して動き得る様に、配備されておシ、この腕木
   Ｕの端部に計測具ないしはけかき工具取付は部（２０）
   が設けられている様な、そしてその場合に各変位方向（
   Ｘ−１Ｙ−１およびＺ−軸）に対して器具側に個々に配
   備されている路程機構が計算器（２２１と連結されてい
   る様な三次元計測器および／あるいはけがき器具におけ
   る誤差補正方法において、計算器（２２１に、器具（１
   ５１の実際の誤差形状とは無関係に、おたがいに直角を
   成している二つの垂直面における支柱（ｉ力の屈曲に対
   してそれ自体は公知の関係式を入れることを特徴とする
   誤差補正方法。