DE3238108A1 - Adaptives optisches system - Google Patents
Adaptives optisches systemInfo
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- 230000003044 adaptive effect Effects 0.000 title claims description 26
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 20
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 2
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 241000263296 Diodon Species 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 210000002268 wool Anatomy 0.000 description 1
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-
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B23/00—Telescopes, e.g. binoculars; Periscopes; Instruments for viewing the inside of hollow bodies; Viewfinders; Optical aiming or sighting devices
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/06—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the phase of light
Description
9286
Adaptives optisches System
Die Erfindung betrifft ein adaptives optisches System zur Korrektur von insbesondere durch atmosphärische
Störungen verursachten dynamischen Abbildungsfehlern mit mindestens einem Korrekturspiegel mit steuerbar deformierbarer
Oberfläche, einem optoelektrischen Sensor innerhalb einer Bildebene des Systems sowie einer mit dem
Sensor verbundenen Steuereinheit für den Korrekturspiegel.
Von den bisher bekanntenadaptiven optischen Systemen
(sh. z.B. John W. Hardy, "ACTIVE OPTICS: A NEW TECHNOLOGY FOR THE CONTROL OF LIGHT"; Proceedings of the IEEE,
Vol. 66, No. 6, June 1978) erlangten vornehmlich diejenigen mit einer sog. Wellenfrontkorrektur eine besondere
Bedeutung. Als Wellenfrontkorrekturelement haben sich
dabei die Spiegel mit deformierbarer Oberfläche bewährt, welche z.B. mit piezoelektrischen Stellgliedern ausgerüstet
sind. Als Sensorelement dient dabei ein sog.
Wellenfrontdetektor, von dem aus die Stellglieder des
Spiegels über einen Rechner mit Stellsignalen so versorgt werden, daß Wellenfrontdeformationen korrigiert
werden. Da mit derartigen, die Wellenfronten erfassenden und korrigierenden Systemen nicht die Güte einer erzielten
Abbildung, sondern die Deformation einer im optischen System eintreffenden Wellenfront gemessen wird, ist
eine punktförmige Referenzlichtquelle, z.B. ein Stern, erforderlich. Die Wirksamkeit von Wellenfrontsensoren in
Verbindung mit einer inkohärenten, großflächigen Lichtquelle, wie z.B. die Sonnenoberfläche, ist zumindest
fraglich.
Aus der obengenannten Schrift ist weiterhin ein adaptives
optisches System bekannt, bei welchem mittels einer Intensitätsmessung Rückschlüsse auf die Bildschärfe und
/4
JÖ IUÖ
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die Störung der Wollenfront gezogen wird. Mit Hilfe eines
Spiegels mit steuerbar de Earmi erbarer Oberfläche und
einer vorgeschalteten steuerbaren Blende wird dann ebenfalls
eine Korrektur von Wellenfrontdeformat ionen vorgeri
nommen. Auch dieses Verfahren ist: für inkohärente großflächige
Lichtquellen, wie sie z.B. die Sonnenoberfläche darstellt, nicht geeignet, da kein eindeutiger Zusammenhang
zwischen der Intensitätszunahme und der Bildgüte besteht.
Es ist daher Aufgabe der Erfindung, ein adaptives optisches System zur Korrektur von insbesondere durch
atmosphärische Störungen verursachten dynamischen Abbildungsfehlern zu schaffen, mit welchem vor allem großflächige
Lichtquellen beobachtet werden können. Diese
Aufgabe erfül l.t ein nach dem Patentanspruch 1 ausgebildetes
adaptives oplisches System.
Bei dem erf indung.sgemäßen System werden nun gerade die
Eigenschaften einer großflächigen Lichtquelle bzw. einer
entsprechenden Abbildung zur Bildoptimierung benutzt.
Mittels eines hochauflösenden Bildschärfesensors, also
z.B. eines Diodenarrays, wird nicht, wie bei dem vorher erwähnten Verfahren die Gesamtintensität, sondern die
5 Intensitätsverteilung in der Bildebene ermittelt. Anschließend wird daraus auf elektronischem Wege nach
bekannten Verfahren ein Meiß für die Bildschärfe gewonnen.
Die Steuerung der Stollglieder des Korrekturspiegels kann dann ebenfalls nach bekannten Verfahren, z.B. nach
dem Prinzip "Versuch und Irrtum" erfolgen.
Das adaptive» optische System soll im folgenden anhand
dreier teilweise schema ti sch dargestellter Ausführungsbeispiele
näher beschrieben werden. Es zeigen:
BAD ORIGINAL
Fig. 1 ein adaptive;.; optische:; System mit einem
Diodonarray-mit parallelen Ausgängen der
Signal Ic;i tungen ;
Fig. 2 ein adaptives optisches System mit einem selbstabtastenden Diodenarray;
Fig. 3 ein adaptives optisches System für den Einsatz in der Sonnenbeobachtung.
Bei dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiol wird
das von einem nicht dargestellten Teleskop kommende Licht
über einen adaptiven Spiegel 6 geführt und ein Teil davon über einen Strahlenteiler 7 auf ein flächiges Diodenarray
1 abgebildet. Die Intensitätsverteilung innerhalb dieser Abbildung wird durch das Diodenarray 1 in elektrische
Signale umgewandelt. Diese Intensitätssignale werden in elektronischen Multiplizierern 2 quadriert und
in einem Summierverstärker 3 aufaddiert, wodurch das
Γ 2
Schärfesignal S = Jl (x,y)dxdy gebildet wird. Der adaptive
Spiegel 6 kann z.B. von der Art sein, wie er aus dem eingangs genannten Artikel von J.W. Hardy bekannt
ist und z.B. piezoelektrische Stellglieder aufweist. Die einzelnen Stellglieder des Spiegels 6 werden nun
mittels einer Steuerelektronik 5 gleichzeitig mit kleinor
Amplitude, z.B. 0,1 μπι, sinusförmig verschoben.
Phasenabhängig von dieser Verschiebung wird nun am Detektor 1 ein Änderung der Bildschärfe festgestellt und
den Stellgliedern über die Steuerelektronik 5 eiη entsprechendes
Steuersignal zugeführt. Die Unterscheidung der einzelnen Stellglieder des adaptiven Spiegels 6 erfolgt
durch unterschiedliche Wobbeifrequenzen, mit denen die Stellglieder in der obengenannten Weise sinusförmig
verschoben werden. Diese Frequenzen werden in Schärfesignale
durch phasengekoppelte, bandselektive Verstärker 4, z.B. sog. Lock-in-Verstärker, diskriminiert und nachfolgend
al.s charakl.eri st i sches Stel!signal dem ent-
sprechenden Stellglied zugeführt.
Bei dem in Fig. 2 dargestellten Ausführungsbeispiel erfolgt
die Ansteuerung der einzelnen Stellglieder eines adaptiven Spiegels 16 zci!sequentiell mit Hilfe eines
selbstabtastendcn Diodenarrays 11. Hierbei werden nun die
Stellglieder jeweils einzeln zeitlich hintereinander aus ihrer neutralen Position einmal in positiver und einmal
in negativer Richtung verschoben und jeweils anschliessend das Bild von dem Diodenarray 11 ausgelesen. In
einem nachfolgenden Rechner 12 wird für beide Positionen des jeweiligen Stellgliedes die Schärfefunktion numerisch
berechnet und die jeweiligen Schärfesignale gespeichert. Die Differenz beider SchärfesignaLe ergibt dann das
11) Stellsignal für das jeweilige Stellglied des adaptiven
Spiegels. Dieser Reellen- und Stell Vorgang wird fortlaufend
für sämtliche Stellglieder durchgeführt.
Die beiden beschriebeinen Verfahren zur Steuerung der
adaptiven Spiegel sind unabhängig von den Kohärenzeigenschaften der Lichtquelle; auch die räumliche Ausdehnung
spielt dabei keine Rolle. Schon aus dem prinzipiellen Aufbau der oben beschriebenen adaptiven optischen Systeme wird ersichtbar, daß Justierprobleme im
5 Gegensatz zu den eingangs erwähnten Wellenfrontkorrekturverfahren von untergeordneter Bedeutung sind.
Fig. 3 zeigt ein für die Sonnenbeobachtung geeignetes adaptives optisches System, welches im parallelen
Strahlengang zwischen dem Austrittsfenster eines Teleskops 30 mit einer A^xissungsoptik 31 und der Bildebene
32 angeordnet ist. Zur Korrektur der Abbildung wird diese über eine Sammeloptik 33 und einen Strahlenteiler 27 mit
einer Intensität von etwa 5 % auf einen Detektor 21 mit hoher Ortsauflösung gegeben. In einem dem Detektor 21
nachgeschalteteten Rechner 22 werden nach einem der vorher beschriebenen Verfahren Störungen der Bildschärfe und
BAD ORIGINAL
über eine Korrelat i on.srechnunq Bi I dver.sohiebunqen ermittelt.
Über eine vSteuere I < * RI ron i k ?,'■>
werden claim Üildvcischiebunqen
durch den Spieqel 28 ausgeglichen, der eine
um zwei Achsen kippbare SpLegeloberflache; aufweist,
welche mittels piezoelektrischer Stellglieder bewegt wird. Durch Störungen bedingte Hjldunschärfen werden
mittels des adaptiven Spiegels 26 nach Art der in den
Fig. 1 und 2 beschriebenen Ausführungsbeispiele korrigiert.
BAD ORIGINAL
Claims (5)
- Ottobrunn, den 11.10.1982BTO1 - Mn/bk - 9286 -Adaptives optisches SystemPatentansprücheAdaptives optisches System zur Korrektur von insbesondere durch atmosphärische Störungen verursachten dynamischen Abbildungsfehlern mit mindestens einem Korrekturspiegel mit steuerbar deformierbarer Oberfläche, einem optoelektrischen Sensor innerhalb einer Bildebene des Systems sowie einer mit dem Sensor verbundenen Steuereinheit für den Korrekturspiegel, dadurch gekennzeichnet , daß der Sensor als Bildschärfesensor (1,11) mit hoher Ortsauflösung ausgebildet ist, mit welchem räumliehe und zeitliche Veränderungen der Abbildung in Form von Schärfesignalen erfaßt und aus den Schärfesignalen Steuersignale zur Betätigung des Korrekturspiegels (6,16) gebildet werden.
- 2. Adaptives optisches System nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch je einen im parallelen Strahlengang des Systems hintereinander angeordneten ersten Spiegel (28) mit um zwei Achsen kippbarer Spiegelfläche und einen zweiten in eine Vielzahl von Spiegelelementen unterteilten Spiegel (26) , wobei die Spiegelelemente über Stellglieder senkrecht zur Spiegelebene bewegbar sind.• « «I
- 3. Adaptives optisches System nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet , daß die einzelnen Spiegelelemente des zweiten Spiegels (26) gleichzeitig mit unterschiedlichen Frequenzen periodisch bewegt, daß aus den Schärfesignalen die unterschiedlichen Frequenzen diskriminiert und, daß aus den derart diskriminierten Signalen jeweils Steuersignale • für das zugehörige Stellglied gebildet werden.
- 4. Adaptives optisches System nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet , daß die einzelnen Spiegelelemente mittels der Stellglieder sequenziell aus ihrer Ruhelage um jeweils gleiche Beträge einmal in positiver und einmal in negativer Richtung verschoben, jeweils ein Schärfesignal des Gesamtbildes berechnet und aus der Differenz beider Schärfesignale ein Steuersignal für das jeweilige Stellglied gebildet wird.
- 5. Adaptives optisches System nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet , daß mittels eines Korrelators fortlaufend die Bildverschiebung zwischen je zwei Zeitpunkten ermittelt und daraus ein Stellsignal für den ersten Spiegel (28) gebildet wird.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19823238108 DE3238108A1 (de) | 1982-10-14 | 1982-10-14 | Adaptives optisches system |
GB08326088A GB2128733A (en) | 1982-10-14 | 1983-09-29 | An adaptive optical system |
FR8316232A FR2534701A1 (fr) | 1982-10-14 | 1983-10-12 | Systeme optique adaptatif |
ES526502A ES8405959A1 (es) | 1982-10-14 | 1983-10-14 | Sistema optico de adaptacion para la correccion de aberraciones dinamicas de imagen producidas por interferencias atmosfericas |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19823238108 DE3238108A1 (de) | 1982-10-14 | 1982-10-14 | Adaptives optisches system |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3238108A1 true DE3238108A1 (de) | 1984-04-19 |
Family
ID=6175716
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19823238108 Withdrawn DE3238108A1 (de) | 1982-10-14 | 1982-10-14 | Adaptives optisches system |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3238108A1 (de) |
ES (1) | ES8405959A1 (de) |
FR (1) | FR2534701A1 (de) |
GB (1) | GB2128733A (de) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4773748A (en) * | 1984-10-09 | 1988-09-27 | Hughes Aircraft Company | Dynamically controlled mirror for reduction of projected image distortion |
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JP2002277736A (ja) * | 2001-03-21 | 2002-09-25 | Olympus Optical Co Ltd | 撮像装置 |
US6803994B2 (en) | 2002-06-21 | 2004-10-12 | Nikon Corporation | Wavefront aberration correction system |
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Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL7206376A (de) * | 1972-05-11 | 1973-11-13 |
-
1982
- 1982-10-14 DE DE19823238108 patent/DE3238108A1/de not_active Withdrawn
-
1983
- 1983-09-29 GB GB08326088A patent/GB2128733A/en not_active Withdrawn
- 1983-10-12 FR FR8316232A patent/FR2534701A1/fr not_active Withdrawn
- 1983-10-14 ES ES526502A patent/ES8405959A1/es not_active Expired
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Proceedings of the IEEE, Vol. 66, Nr. 6, Juni 1978, S. 651-697 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
ES526502A0 (es) | 1984-06-16 |
ES8405959A1 (es) | 1984-06-16 |
FR2534701A1 (fr) | 1984-04-20 |
GB8326088D0 (en) | 1983-11-02 |
GB2128733A (en) | 1984-05-02 |
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---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
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|
8130 | Withdrawal |