DE2830871B2

DE2830871B2 - Vorrichtung zum Ermitteln von Fehlern in flächenhaften Mustern

Info

Publication number: DE2830871B2
Application number: DE2830871A
Authority: DE
Inventors: Daikichi Kawasaki Awamura; Yasushi Yokohama Uchiyama
Original assignee: NIPPON JIDOSEIGYO Ltd KAWASAKI (JAPAN)
Current assignee: NIPPON JIDOSEIGYO Ltd KAWASAKI (JAPAN)
Priority date: 1977-07-15
Filing date: 1978-07-13
Publication date: 1979-11-15
Also published as: US4209257A; JPS5431348B2; DE2830871C3; GB2001168B; GB2001168A; JPS5419664A; DE2830871A1

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Ermitteln von Fehlern in flächenhaften Mustern, insbesondere in Chipmustern von Photomasken, die j.ur Herstellung von integrierten Halbleiterschaltkreisen verwendet werden, gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Beim Herstellen von integrierten Schaltkreisen wird eine Siliciumplatte einem Photoätzverfahren unterworfen. Hierbei wird eine Maske mit einem gewünschten Muster auf die Siliciumplatte aufgelegt, welche zuvor mit einer Photolackschicht versehen worden ist. Mit sichtbarem oder ultraviolettem Licht wird dann die Siliciumplatte durch die Maske hindurch bestrahlt. Nach dem Entwicklen des Photolacks wird die Siliciumplatte dann geätzt, wobei sich ein Muster ergibt, das dem der Maske entspricht Fehler in der gedruckten Maske schlagen sich daher voll auf dem so hergestellten integrierten Schaltkreis nieder. Die Maske wird nämlich dadurch hergestellt, daß ein Metallfilm, beispielsweise aus Chrom, auf eine Glasplatte mit ausreichend ebener Oberfläche aufgebracht und dann ein gewünschtes Muster darauf gedruckt wird. Wenn kleine Fehler im Metallfilm vorhanden sind, dann hat gewöhnlich auch das gedruckte Muster Fehler.

Zur Erläuterung der Problematik, die der Erfindung zugrunde liegt und wie man bish'.\ gearbeitet hat, sollen die Fig.! bis 3 herangezogen weroer Es zeigt

Fig. 1 eine Draufsicht auf eine Photomaske, wie sie zur Herstellung von integrierten Schaltungen verwendet wird,

F' g. 2 eine extrem vergrößerte Darstellung eines Ausschnitts aus einer fehlerfreien Photomaske,

F i g. 3 ein ebensolches Bild, jedoch mit Fehlern.

F i g. 1 zeigt schematisch eine Photomaske 1, die zum Herstellen von integrierten Halbleiterschaltkreisen verwendet wird. In der Maske 1 sind eine große Anzahl einander identischer Chipmuster 3 ausgebildet, die durch orthogonale Linien 2 voneinander getrennt sind.

Das Mikroskopbild eines Ausschnitts aus einem Chipmuster 3 ist in F i g. 2 dargestellt. Dieser Ausschnitt weist keinen Fehler auf und ist daher perfekt. Das Muster besteht aus transparenten Teilen 4 und lichtundurchlässigen Teilen 5. Fig. 3 zeigt einen entsprechenden Ausschnitt, der Fehler aufweist. Die Fehler A und B sind Rückstände des Metallfilms. Der Fehler A überbrückt zwei benachbarte Stege, die jedoch /oneinander getrennt sein sollten. Dieser Fehler A muß daher als echter Fehler erkannt werden. Der Fehler B liegt in einer freien Fläche und beeinflußt daher in den meisten Fällen nicht die Wirkung des integrierten Schaltkreises. An der Stelle Cfehlt ein Teil eines Steges, jedoch nicht so viel, daß der Steg unterbrochen ist. Auch ein solcher Fehler berührt im allgemeinen die Wirkungsweise eines integrierten Schaltkreises nicht. Der Fehler D unterbricht jedoch einen Steg an einer Stelle, wo dies nicht sein darf. Ein solcher Fehler ist daher nicht zulässig.

Bisher sind folgerde Methoden zum Auffinden von Fehlern der oben genannten Art in Photomasken verwendet worden.

Die Maske wird mit Hilfe eine· Mikroskops untersucht. Gewöhnlich besteht ein Muster für integrierte Halblciterschaltkreise aus geraden Linien, die im rechten Winkel zueinander angeordnet sind, während die Fehler unregelmäßige Formen zeigen, wie es in F i g. 3 ausgedrückt ist. Daher fallen diese Fehler beim Betrachten des Musters schnell auf. Diese;; Verfahren erfordert jedoch eine beträchtliche Zeit und ist nicht geeignet zur Untersuchung von Photomasken, die mehrere Chipmuster enthalten.

Bei einem bekannten, automatisch arbeitenden Verfahren wird ein fehlerfreies Muster in elektrische Signale umgewandelt, welche in einem Speicher,

beispielsweise einem Magnetband, abgespeichert wer den. Das Bild einer zu untersuchenden Maske wird mit Hilfe einer Mikroskop-Fernsehaufnahmekamera abgetastet. Dieses Videosignal wird mit dem zuvor gespeicherten Signal der Mustermaske verglichen und daraus das Vorhandensein von Fehlern festgestellt. Dieses Verfahren hat den Vorteil, daO Fehler automatisch ohne Zuhilfenahme des menschlichen Auges festgestellt werden können. Die dazu benötigte Vorrichtung ist jedoch sehr groß und kompliziert und daher teuer.

Um die erwähnten Nachteile zu überwinden, hat die Anmelderin ein Gerät entworfen, das aus einer ein/igen Kameraröhre besteht, auf welches Bilder einander identischer Ausschnitte zweier zu untersuchender Muster übereinanderliegend abgebildet werden. Fehler in den Mustern drücken sich in einer Änderung der Amplitude des Video-Ausgangssignals der Kameraröh

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Grautöne im Videosignal und diese Grautöne werden mit Hilfe eines Amplitudenbegrenzers registriert. Die Genauigkeit dieser Fehlererkennungsmethode war jedoch gering, weil sich die Amplitude des Videosignals von selbst mitunter ändert. Um diesen Nachteil zu vermeiden, hat dann die Anmelderin zwei Kameraröhren eingesetzt, auf die man jeweils eines von zwei Mustern abgebildet hat. Fehler wurden durch einen Vergleich der beiden Ausgangssignalc der zwei Kameraröhren festgestellt. Bei diesem Verfahren hat man eine erhebliche Genauigkeitssteigc'ung gegenüber dem vorerwähnten Verfahren erreicht. Man hat jedoch gefunden, daß es sehr schwierig ist. die zwei Kameraröhren in ihrer Arbeitsweise e-<..ikt aufeinander abzugleichen. Außerdem muß man wegen der Restbildeffekte an den Kameraröhren den Tisch, der die Muster trägt, zwischendurch bewegen. Man braucht hierzu einen relativ komplizierten Bewegungsmechanismus. Die Arbeitsgeschwindigkeit der Kameraröhre ist außerdem verhältnismäßig gering und man braucht eine Zeitdauer von etwa 70 bis 100 ms für jedes zu untersuchende Bildfeld. Deshalb ist eine beachtliche Zeit zur Ermittlung von Fehlern in einer großen Anzahl von Masken erforderlich.

Die Anmelderin hat weiterhin ein Prüfgerät entwikkelt. das die oben erwähnten Nachteile vermeidet und mit dem es möglich ist, Fehler in Muslern genau und schnell mit einer einfachen Vorrichtung zu ermitteln. Dieses Gerät besteht aus einer Einrichtung zum Erzeugen eines Abtastlichtstrahls, einem optischen System, mit welchem dieser Abtastlichtstrahl auf zwei einander identische Unterbereiche miteinander zu vergleichender Muster gerichtet wird, zwei Lichtempfängern, von denen jeder jeweils einen der von den Mustern ausgehenden Lichtstrahlen empfängt, einem Schaltkreis zum Umkehren der Phasenlage des Ausgangssignals von einem der beiden Lichtempfänger und einem Schaltkreis zum Mischen des so invertierten Ausgangssignals mit dem nichtinvertierten Ausgangssignal des anderen Lichtempfängers. Mit einem solchen Gerät können benachbarte Muster 3 auf der Photomaske 1 in Fig. 1 miteinander verglichen und Fehler darin mit hoher Genauigkeit gefunden werden. Nach verschiedenen Versuchen wurde weiterhin gefunden, daß Muster mitunter als fehlerhaft erkannt werden, wenn nur die relative Lage zweier miteinander zu vergleichender Muster leicht von der Soli-Lage abweicht und/oder die Muster sich nur geringfügig voneinander unterscheiden. Dies hat zur Folge, daß unnötigerweise Masken als fehlerhaft ausgeschieder werden. Damit soll gesagt werden, daß leichte Abweichungen der Muster von der Soll-Lage und/odei kleine Unterschiede in den Mustern als Fehler erkann

*' werden, obgleich solche Masken im HerstellungsprozeC nicht zu fehlerhaften Produkten führen. Solche Masker sollten daher nicht als fehlerhaft ausgeschieden werden.

Die Gründe, die zur Erzeugung der erwähnter

Pseudo-Fehlersignale führen können, lassen sich wit

ι» folgt angeben:

1. Die zwei optischen Systeme, die die Bilder der /i vergleichenden Muster erzeugen, haben voneinan der abweichende Verzcichniingscigenschaftcn.

2. Der Rahmen, der die Masken mit den miteinanelei zu vergleichenden Mustern trägt, rotiert leich während der Fortbewegung, so daß die /we er/engten Bilder leicht voneinander abweichen.

3. Die Distanz bzw. die Teilung /wischen aufeinander folgenden Chips weist einen Fehler (ungefähr 0.5 μ auf. der aus einer Ungenauigkeit der Kopiervor richtung bei der Herstellung der Photomasks stammt.

4. Die Konturen der Musterbilder sind unschar aufgrund von Rauschen in den Bildsignalen.

5. Wenn die die Photomaske tragende Glasplatte nicht ausreichend eben ist. dann können die /we optischen Systeme nicht gleichzeitig exakt fokus siert sein.

i" Von den oben erwähnten Ursachen sind die an erste, und dritter Stelle genannten bedeutsam bzw. ernst. Da¹ Problem bezüglich der Kopiervorrichtung ist unter den Druck der Forderung nach immer feineren Mustere inzwischen weitgehend gelöst worden.

si Die Anmelderin hat weiterhin eine verbesserte Prüfvorrichtung entwickelt, die wirksam die Pscudofeh ler. die nicht echte Fehler erkannt werden sollen ausscheiden kann. Diese den Ausgangspunkt clei vorliegenden Erfindung nach dem Oberbegriff cle<

^Jn Patentanspruchs I bildende Vorrichtung ist in dei DE-OS 26 53 590 beschrieben. Diese Vorrichtung besteht aus einer Abtasteinrichtung mit einem optischer System zum gleichzeitigen Richten des Abtastlichtstrahls auf einander identische Bereiche zweiei

⁴' miteinander zu vergleichender Muster, optischer Wandlern, die den von den Mustern ausgehender Lichtstrahlen entsprechende elektrische Signale erzeugen, einem Schaltkreis zum Subtrahieren des einen Signals vom anderen Signal, die ein Differenzsignal bildet, das den Abweichungen zwischen den Mustern entspricht, einer Verzögerungseinrichtung zum Verzögern des Differenzsignals und einem Schaltkreis, dem das verzögerte Differenzsignal und das unverzögerte Differenzsignal gleichzeitig zugeführt sind, so daß sich ein Fehlerausgangssignal ergibt, in welchem Pseudo- Fehler, deren Abmessungen kleiner als eine von der Verzögerungszeit vorgegebene Größe sind, unterdrückt sind.

Soweit eine Nachbarschaft von Musterkonturen

betroffen ist, werden hier die Muster miteinander verglichen, nachdem ihre Konturen um ein vorbestimmtes Maß dünner gemacht worden sind. Daher können leichte Registrierfehler und kleine Fehler an den Konturen vernachlässigt werden.

Es hat sich herausgestellt, daß bei der Ermittlung von Fehlern mit einer solchen Vorrichtung, bei der die Pseudo-Fehler in der Nähe der Musterkonturen unterdrückt werden, es notwendig ist, die Breite der

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Konturbereiche zu vergrößern, wenn die zwei Linsensystemc der Abtasteinrichtung Unterschiede in ihren Charakterislika. wie beispielsweise in der optischen Verzeichnung und Vergrößerung aufweisen, was zur Folge hat, daß die Fehlererkennungsempfindlichkeit entsprechend verringert ist. Mit anderen Worten, es ist unmöglich, die maximale Auflösung der gesamten Voij-r^htung aus optischem System und elektronischem Gerät auszunutzen, die Effektivauflösung wird verhältnismäßig niedrig. Um die optische Verzeichnung des l.inscnsystems herabzusetzen, ist es no.wendig. sehr komplexe und teure l.insensystcme zu verwenden. Da das Abtastsystem zwei vollständige l.inscnsysieme aufweist, die simultan Abtastlichtstrahlen auf einantler identische Musterbereiche richten, führen die Unterschiede in der optischen Verzeichnung und/oder der Vergrößerung zwischen den zwei Linsen zu einem Passafchler der zwei abgetasteten Mustcrberciche. der Tisch 22. Weiterhin ist eine Flying Spot-Kathodenstrahlröhre 23 vorgesehen. Das Rasterbild der Flying Spot-Röhre 2.3 soll hierbei auf einander identische Bereiche der Masken 20A und 20ß projiziert werden. Ein Abtastrasterbild von der Flying Spot-Röhre 23 wird auf einem Teil des Musters 2OA der Maske 20 mit Hilfe einer gemeinsamen Linse 24 und einer ersten Linse 27 abgebildet. Auf einem entsprechenden Teil des Musters 2OS, das nahe dem Muster 2OA liegt, wird mit Hilfe der gleichen gemeinsamen Linse 24 und einer zweiten Linse 30 ebenfalls das Abtastrasterbild der Flying Spot-Röhre 23 fokussiert. Um die einander identischen Bereiche der Muster 2OA und 20S untersuchen zu können, ist die Entfernung zwischen den optischen Achsen der Linsen 27 und 30 mit Hilfe von Einstellschrauben 33 und 34 veränderbar.

Wenn die Maske 20A keinen Fehler in dem betroffenen Bereich aufweist, dann sind die beiden

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wird.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine !■"ehlercrkcnnungsvorrichiung anzugeben, bei welcher die Verringerung der Fehlcrcrkcnnungsempfindlichkeit. die aus Unterschieden im optischen System resultieren, kompensiert sind.

Diese Aufgabe wird mit Hilfe einer elektrischen Kompensation durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruchs I gelöst. Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.

Die Erfindung soll nachfolgend unter Bezugnahme auf :.ic Zeichnungen näher erläutert werden. Es zeigt

1 i g. 4 eine schematische Darstellung der optischen Teile eines Fehlererkennungsgeräts.

F i g. 5 ein Blockdiagramm eines bekannten elektrischen Schaltkreises eines Fehlererkennungsgcrätes, bei Ji dem die Erfindung angewandt ist.

[■" i g. 6a bis bc verschiedene Wcllcnformcn zur Erläuterung der Betriebsweise des Geräts nach F i g. 5.

Fig. 7a und 7b schematische Darstellungen eines ilbcrwachungsbildschirnics. an denen die Abweichungen der Musterbcrciche erklärt w erden sollen.

Fig. 8 ein elektrisches Blockschaltbild einer Aiisführungsform eines Korrekturkreises nach der Erfindung.

F i g. 9a und 9b Kurvenformen von Korrektursignalen.

Fig. 10 ein Blockdiagramm einer Ausführungsform eines variablen Verzögerungskreises in dem Korrekturkreis.

F i g. 11 eine schematische Darstellung eines Überwachungsbildschirmes zur Darstellung vertikaler Abweichungen in den Musterbildern.

Fig. 12 ein Blockdiagramm einer Ausführungsform für einen variablen Verzögerungskreis für einen Korrekturkreis für vertikale Abweichungen,

Fig. 13a und 13b Kurvenformen von Vertikalabweichungs-Korrektursignelen.

Fig. 14 ein Blockdiagramm einer anderen Ausführungsform für einen variablen Verzögerungskreis in dem Horizontalabweichungs- Korrekturkreis und

Fig. 15 verschiedene Kurvenformen zur Erläuterung der Betriebsweise des Verzögerungskreises nach Fig. 14.

Fig.4 zeigt eine Prinzipdarstellung eines optischen Systems zum Erkennen von Fehlern in einer Maske in einer Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung. Hierbei ist mit 2OA eine zu untersuchende Maske und mit 20S eine Vergleichsmaske bezeichnet, welch letztere fehlerfrei ist Beide Masken ruhen auf einem

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Wandler 31 und 32 einander gleich. Wenn die Maske 20.4 jedoch einen Fehler aufweist, dann sind die beiden Aiisgangssignale voneinander verschieden. Durch einen Vergleich dieser Ausgangssignale kann daher eine Aussage darüber erhalten werden, ob die Maske 2OA Fehler aufweist oder nicht. Diese Aussage erfolgt mit hoher Genauigkeit.

In den oben beschriebenen optischen Abtastsystemen wird der Abtastlichtstrahl simultan auf die einander identischen Bereiche der Muster mit Hilfe von zwei l.insensystcmen 27 und 30 gerichtet. Im allgemeinen weisen diese Linsensysteme 27 und 30 Unterschiede in ihren optischen Eigenschaften, beispielsweise in der Verzeichnung und in der Vergrößerung auf. so daß die gleichzeitig erzeugten Bildsignale der zwei Musterbereiche voneinander abweichen.

F-i g. 5 zeigt den Prinzipaufbau eines elektrischen Schaltkreises bei einer Vorrichtung der vorliegenden Erfindung. F i g. 6 zeigt Wellenformen an verschiedenen Punkten des Schaltkreises nach F i g. 5. Dabei zeigt F i g. ba die Wellenform eines Ausgangssignals des ersten photoelektrischcn Wandlers 31. der den Abtastlichtstrahl empfängt, der das Muster 204 durchläuft. F i g. 6b zeigt die Wellenform eines Ausgangssignals des zweiten photoelektrischen Wandlers 32. der das Licht empfängt, das durch das zweite Muster 20S fällt. Es sei nun angenommen, daß eines der Muster, beispielsweise 20A. fehlerfrei ist. während das andere Muster 2OS Fehler zeigt. Ein Impuls- S im Wellenzug nach F i g. 6b wird durch den Fehler S. wie er in F i g. 3 dargestellt ist. erzeugt. Der Fehler D entspricht dem Impuls D in Fig. 3. Das vom ersten photoelektrischen Wandler 31 gelieferte Signal wird von einem Verstärker 35 verstärkt. Das vom zweiten photoelektrischen Wandler 32 gelieferte Signal wird von einem Verstärker 36 verstärkt und dann von einem Inverter 37 in seiner Polarität umgekehrt. Das verstärkte Signal (F i g. 6c) aus dem Verstärker 35 und das verstärkte und invertierte Signal (Fig. 6d) werden dann gemeinsam einer Fehlerdiskriminierschaltung 38 zugeführt. Das Ausgangssignal dieser Schaltung 38 ist in Fig.6e dargestellt. Wie man hieraus sieht, ist der Pegel des Ausgangssignals in denjenigen Bereichen, in denen kein Fehler in den Mustern vorhanden ist, gleich Null, während das Ausgangssigiial ungleich Null an denjenigen Stellen ist. an denen Fehler enthalten sind. Hier weist das Ausgangssignal Impulse ß'und D' auf. Diese fehleranzeigenden Impulse B' und D' weisen einander entgegengesetzte Polaritäten auf. Diese Impulse wer-

den über einen Doppelbegrenzer 39 zu einem Fehlererkennungs- und Verarbeitungskreis 40 geleitet. Das Ausgangs-Fehlersignal aus der Diskriminierschaltung 38 kann auch über einen Schalter 41 einem Überwachungsbildschirm 42 zugeführt werden, an welchem die Deckungsgleichheit der zwei Muster 2OA und 2QB überwacht werden kann. Der Benutzer der Vorrichtung kann während des Beobachtens des Schirmes 42 an den Einstellschrauben 33 und 34 die Deckungsgleichheit der Muster 2OA und 20ß einstellen. Dabei können die vollständigen Muster auf dem Schirm 42 abgebildet werden. Darüber hinaus ist es möglich, auch nur eines der Muster 2OA und 203 auf dem Schirm darzustellen, indem über den Schalter 41 die Ausgangssignale aus den Verstärkern 35 oder 36 auf den Schirm 42 gegeben werden.

Bei der Aiisführungsform nach F i g. 4 werden jeweils zwei Muster 2OA und 20ßder gleichen zu untersuchenden Maske 20 miteinander verglichen. Diese Methodik basiert aul der latsache, dali die Maske eine große Anzahl identischer Muster aufweis! und daß die Wahrscheinlichkeit, daß in zwei Mustern Fehler an identischen Stellen vorhanden sind, vernachlässigbar klein ist. Daher können Fehler sehr genau ermittelt werden, ohne daß es dazu notwendig ist, eine eigene Vergleichsmaske zu verwenden. Bei diesem Verfahren ist die Anzahl der Vergleiche von Mustern, die nahe dem Rand der Maske liegen, sehr klein und die Genauigkeit der Feststellung von Fehlern in diesem Randbereich kann verringert sein. Im allgemeinen werden jedoch nur Muster der Maske, die in dem von der gesirichelten Linie Γ in Fig. 1 umschlossenen Bereich liegen, für die Herstellung von integrierten Halbleiterschaltungen verwendet, die äußeren Bereiche bleiben ungenutzt. Auf diese Weise stellt die geringere Genauigkeit der Ermittlung im Randbercich kein ernstes Problem dar.

Bei dem oben genannten Aiisführungsbeispiel wird das Signal, das aus dem Muster 20ä(Fig. 6d) erzeugt wird, von dem Signal, das für das Muster 2OA steht (Fig. 6c) abgezogen. Zusätzlich hierzu kann das Signal nach F i g. 6c auch von dem vorherigen Signal nach F i g. 6d abgezogen werden, so daß Impulssignale erzeugt werden, die umgekehrte Polarität zu demjenigen haben, das in F i g. 6e dargestellt ist. Diese zwei Impulssignale werden einem Gleichrichterkreis zugeführt, um Impulssignale zu erzeugen, die beispielsweise eine positive Polarität haben. Wenn ein solches Impulssignal dem Überwachungsbildschirm 42 zugeführt wird, dann werden die Fehler als weiße Bilder auf dem Schirm dargestellt. Anstelle einer solchen Messung kann auch das Impulssignal nach Fig. 6e einem Ganzwellen-Gleichrichterkreis zugeführt werden.

Bei der oben gegebenen Erläuterung war davon ausgegangen worden, daß die Fehler relativ große Flächen aufweisen und als echte Fehler erkannt werden sollen. Im praktischen Fehlererkennungsprozeß wird jedoch eine Anzahl sehr kleiner Fehlersignale erzeugt, speziell Pseudo-Fehlersignale, die von der Abweichung vom ersten und zweiten Bildsignal voneinander aufgrund der Unterschiede in den Linsensystemen 27 und 30 herrühren. Diese Abweichungen in den Bildsignalen sollen durch den erfindungsgemäßen Korrekturkreis 43 beseitigt werden.

Die F i g. 7a und 7b zeigen Schirmbilder zweier Musterbilder 2OA und 20ß. Wie man aus diesen Figuren ersehen kann, weisen die dargestellten Bilder horizontale Verschiebungen der Musterspuren gegeneinander auf, die aus einem Unterschied in der Verzerrung zwischen den beiden diese Bilder erzeugenden Linsensystemen, bei.pielsweise den Linsensystemen 27 und 30 in Fig. 4 herrühren. Bei den Bildern ist, wie ersichtlich, im mittleren Bereich die Abweichung der Bilder voneinander relativ gering, gegen die rechten und linken Ränder werden sie jedoch noch größer, wobei sich die Abweichungsrichtungen noch voneinander unterscheiden. Wenn sich solche Bildabweichungen ergeben, dann werden große Pseudo-Fehler registriert, obgleich die miteinander verglichenen Muster keine echten Fehler aufweisen. Die Funktionsfähigkeit der Fehlererkennungsvorrichtung hann hierdurch völlig verlorengehen. Gemäß der Erfindung werden die oben beschriebenen Abweichungen in den Bildsignalen korrigiert, indem wenigstens eines der Bildsignale durch einen Verzögerungskreis geleitet wird, dessen Verzögerungszeil sich in Übereinstimmung mit einer bestimmten Position im Bildraster ändert. Beispielsweise kann die Verzögerungszeit während der horizontalen Zeilenabtastperiode nach einer Parabelfunktion verlaufen.

F i g. 8 zeigt ein Blockdiagramm einer Aiisführungsform eines Korrekturkreiscs 43 zur Kompensation horizontaler Verzerrungen. In diesen Ausführungsbeispielen werden die Verzeichnungseigenschaften des Linsensystems 30 der optischen Abtasteinheit nach F i g. 4 an die Verzeichnungseigenschaften des anderen Linsensystems 27 elektronisch angeglichen. Zu diesem Zweck wird das erste Bildsignal ;;, das man durch Abtastung des Musters 20/4 erhält, direkt von einem Eingangsanschluß 44 A an einen Ausgangsanschluß 45/4 des Kreises 43 durchgeleitet. Dieses Signal λ durchläuft also den Kreis 43 ohne Verzögerung. Das andere Bildsignal b. das man durch Abtastung des anderen Musters 20ß erhalten hat. wird einem Vcrzögerungskreis 46 mit variabler Verzögerungszeit über einen Eingangsanschluß 44ß drs Kreises 43 zugeleitet und gelangt vom Verzögerungskreis 46 zu einem Ausgangsanschluß 45ß. Außerdem ist in dem Kreis 43 ein Verzögerungszeit-Stcucrkreis 47 vorhanden, der Horizontal- und Vertikal-Synchronisiersignale Hsync und Vsync des Bildsignals erhält und dem Verzögerungskreis 46 ein Steuersignal zuführt, das die ν erzögerungszeit des Verzögerungskreises als Funktion der Lage auf der horizontalen Abtastlinie des Rasters, gesehen in horizontaler Richtung, ändert.

Die Abweichung, die in den F i g. 7a und 7b dargestellt ist, kann durch Verändern der Verzögerungszeil nach einer Parabelfunktion während der horizontalen Abtastperiode kompensiert werden. Aus diesem Grunde erzeugt der Steuerkreis 47 ein periodisches parabelförmiges Signal, dessen Periodendauer gleich der Horizontalabtastperiode H ist. wie die F i g. 9a und 9b zeigen. Beispielsweise kann der Verzögerungskreis 46 aus einer η -Kettenschaltung aus Induktivitäten und Kapazitätsdioden bestehen, so daß die Verzögerungszeit durch Beeinflussung der Diodenkapazität verändert werden kann, indem man an die Kapazitätsdioden eine parabelförmig verlaufende Steuerspannung legt. Auf diese Weise kann die Abweichung der zwei Bildsignale aufgrund von Unterschieden in der Verzerrung der Linsensysteme des optischen Abtastsystems wirksam kompensiert werden, so daß man Pseudo-Fehlersignale, die aus solchen Abweichungen entstehen könnten, wirksam unterdrückt.

Wenn weiterhin ein Unterschied im Vergrößerungsfaktor der beiden Linsensysterrse vorliegt, dann ergeben sich auch hieraus Abweichungen der dargestellten Bilder, woraus Pseudo-Fehlersignale resultieren kön-

n<_n. Um diese Unterschiede im Vergrößerungsfaktor zu korrigieren, wird ein sägezahnförmiges Steuersignal, wie es in Fig.9b dargestellt ist, vom Steuerkreis 47 erzeugt, und dieses Steuersignal wird dem Verzögerungskreis 46 zusammen mit dem parabolischen Steuersignal nach Fig. 9a zugeführt. Auf diese Weise werden die Bildunterschiede, die sowohl durch Verzerrungsunterschiede als auch durch Verzögerungsfaktorunterschiede zwischen den zwei Linsensystemen hervorgerufen werden, kompensiert und es ergibt sich eine genaue Fehlererkennung, die keine Pseudo-Fehler registriert.

Fig. 10 zeigt ein Blockdiagramm für eine Ausfiihrungsform eines Verzögerungskreises 46 mit variabler Verzögerungszeit. Bei dieser Ausführungsforni wird das Steuersignal zur Beeinflussung U'.-r Verzögerungs/eit aus dem Steuerkreis 47 zuerst von einem Analog/Digital-Wandler 50 in ein 4-Bit-Digitalsignal umgewandelt, und dann einem Decoder 51 zugeleitet. Das Bildsignal b, das am hingangsanschluU 44 W zur Vertilgung steht, wird durch dio aus zwölf Verzögerungselementen 52-1 bis 52-9 bestehende Verzögerungsleitung geleitet, von der jedes Verzögerungselement eine Verzögerungszeit aufweist, die ein Bruchteil der Horizontalabtastperiode ist, (I. h. die Verzögerungs/eit eines solchen Verzögerungselements beträgt hier 0.05 j.is. Weiterhin wird das iinverzögerte Bildsignal h einer Torschaltung 53-1 zugeleitet. Die Ausgant'ssignale der verschiedenen Verzögerungselemente 52-1 bis 52-9 werden ebenfalls entsprechenden Torschaltun_e'en 53-2 bis 53-10 zugeieitet. Diese Torschaltungcn 5 S-1 bis 53-10 werden weiterhin von entsprechenden Ausgängen des Decoders 51 angesteuert. Die Ausgänge der Torschalliingen sind miteinander am Bildsignal-Aiisgangsanschluü 45fl verbunden.

Je nach der Amplitude des aus dem parabolischen und dem sägezahnförmigen Signal zusammengesetzten Steuersignals, das vom Stcuerkreis 47 zugeführt wird. erzeugt der Decoder 51 an seinen Ausgängen Steuersignale, beispielsweise an einem dritten Ausgang. gerechnet von oben, der die zugehörige Torschaltung 53-3 leitfähig macht. Das Bildsignal wird in diesem Falle von den Verzögerungselementen 52-1 und 52-2 um insgesamt 0,1 μβ verzögert dem Ausgangsanschluß 45B zugeleitet. Auf diese Weise kann das Bildsignal b in digitaler Weise um gegebene Zeitdauern als Funktion einer bestimmten Lage auf der horizontalen Abtastlinie verzögert werden.

Wie Fig.4 zeigt, sind die beiden optischen Systeme 27 und 30 der optischen Abtasteinrichtung Seite an Seite so in Richtung der horizontalen Abtastrichtung angeordnet, so daß Unterschiede in der Verzeichnung in horizontaler Richtung relativ groß, in vertikaler Richtung jedoch relativ klein werden. In manchen Anwendungsfällen ist es daher ausreichend, die Korrektur der Verzeichnung nur in horizontaler Richtung vorzunehmen. Wenn jedoch der Verzeichnungsunterschied zwischen den beiden Linsensystemen auch in vertikaler Richtung groß ist, dann ist es notwendig, eine Korrektur auch in vertikaler Richtung vorzunehmen, was nachfolgend erläutert werden soll.

Fig. 11 zeigt einen Bildschirm, auf welchem zwei Bildsignale der Muster 2OA und 205, die in vertikaler Richtung voneinander abweichen, dargestellt sind. Die durchgezogene Linie steht für das Bild des Musters 20.4, die gestrichelte Linie für das des Musters 2OS. Eine solche Abweichung erzeugt Pseudo-Fehlersignale, die jedoch nicht als Echtfehler registriert werden sollten.

Gemäß der Erfindung können solche Abweichungen dadurch korrigiert werden, daß man das eine der Bildsignale gegenüber dem anderen um eine Zeit verzögert, deren Länge sich mit der jeweiligen Lage des Bildpunktes auf dem Raster ändert.

Fig. 12 zeigt das Blockdiagramm eine, Ausführungsform eines Verzögerungskreises mit variabler Verzögerungszeit zur Korrektur der oben erwähnten Abweichungen in vertikaler Richtung. Um die Vertikalvprzeichnung zu korrigieren, die in Fi g. 11 dargestellt ist, wird ein Steuersignal verwendet, das in Fig. 13a dargestellt ist. Dieses Steuersignal weist eine Amplitude auf, die sich sägezahnartig während der Horizontalabtastperioden H ändert, wobei Neigungsrichtung der Sägezahnfhinken und Amplitude sich während der Vertikalabtastperiode V ände/n, wie deutlich aus Fig. 13a ersichtlich ist. Dieses Steuersignal wird dem Korrekturkreis für die Vertikalverzeichnung nach Fig. 12 zugeführt. In diesem Kreis wird das Steuersignal von einem Analog/Digitai-Wandler 60 in ein 4-Bit-Digitalsignal umgewandelt, das Digitalsignal wird dann einem Decoder 61 zugeführt. Das /v verzögernde Bildsignal b wird dem Eingang 62 des Korrekturkreises zugeführt und läuft von dort durch Verzögerungselemente 63-1 und 63-2. von denen jedes eine Verzögerungszeit einer horizontalen Abtastperiode H hat. Das iinverzögerte Bildsignal b wird einer Torschaltung 64-1 zugeführt. Die um eine und um zwei Horizontalabtastperioden verzögerten Bildsignale werden weiteren Torschaltungen 64-2 bzw. 64-3 zugeführt. Die Steuereingange dieser Torschaltungen 64-1.64-2 und 64-3 sind mit den Ausgängen des Decoders 61 verbunden. Die Ausgänge der Torschaltungen 64-1. 64-2 und 64-3 sind gemeinsam mit dem Allsgangsanschluß 65 des Korrekturkreises verbunden.

Der Decoder 61 erzeugt an einem seiner drei Ausgänge ein Signal in Abhängigkeit der jeweiligen Amplitude des ihn ansteuernden Steuersignals des Analog/Digital-Wandlers 60. Die mit dem entsprechenden Ausgang des Decoüi.rs61 verbundene Torschaltung wird dann leitfähig. Am Ausgangsanschlnß 65 sieht dann ein Bildsignal zur Verfügung, das entweder unverzögert, um eine horizontale Abtastperiode oder um zwei solche Perioden verzögert ist. Auf diese Weis«, kann das Bildsignal b um eine Zeiteinheit von // in Übereinstimmung mit der Position eines Bildpunktes auf dem Bildraster \ erzögert werden, so daß sich hierdurch eine Kompensation von Verzeichnungsunterschieden in vertikaler Richtung zwischen den beiden Linsensystemen ergibt.

In vertikaler Richtung können auch Bildunterschiede, die aus einem Unterschied der Vcrgrößerungslaktoren der zwei Linsensysteme resultieren, korrigiert werden. Für diesen Zweck läßt sich ein Steuersignal sägezahnförmiger Gestalt verwenden, das in Fig. 13b dargestellt ist, welches dem Steuersignal nach Fig. 13a überlagert wird.

Fig. 14 zeigt ein Blockdiagramm einer anderen Ausführungsform für einen Verzögerungskreis mit veränderbarer Verzögerungszeit, der zur Korrektur von Unterschieden in Verzeichnung und/oder Vergrößerungsfaktor in horizontaler Richtung verwendet werden kann. Gemäß der Erfindung wird der Passafehler zweier Muster aufgrund der Unterschiede in den optischen Eigenschaften der Linsensysteme der Abtasteinrichtung korrigiert. Diese Korrektur wird nur ein einziges Mal bei der Herstellung und Einstellung der Vorrichtung durchgeführt. Wird eines der Linsensvste-

me einmal ersetzt, muß selbstverständlich eine erneute Einstellung der Korrektur vorgenommen werden. Aus diesem Grunde braucht bei der vorliegenden Ausführungsform der Erfindung die Verzögerungszeit nach erstmaliger Einstellung nicht mehr verändert zu werden. Mit anderen Worten, Eingriffe in die Verzögerungszeit sind nur während der erstmaligen Korrektureinstellung möglich, danach ist sie fest

Wie F i g. 14 zeigt, sind fünf Verzögerungselemente 70-1 bis 70-5 vorhanden, von denen jedes eine Verzögerungszeit von einem Bruchteil der horizontalen Abtastperiode hat, im vorliegenden Fall 0,01 μ$. Es ist auf diese Weise möglich, verschiedene Verzögerungszeiten in Schritten zu 0,01 us bis zur Maximalverzögerungszeit von 0,05 us zu erhalten. Der Maximalwert der Verzögerungszeit ist auf einen solchen Wert festgesetzt, daß auch die zu erwartende Maximalverzeichnung eines der Linsensysteme kompensiert werden kann. Das Bildsignal wird den Verzögerungselementen vom Eingangsanschluß 71 aus nacheinander zugeleitet, d. h. des durchläuft bei Maximaiverzögerung sämtliche Verzögerungselemente. Das unverzögerte Bildsignal und die verschieden lang verzögerten Bildsignale werden Torschaltungen 72-1 bis 72-6 zugeführt. Die Ausgänge dieser Torschaltungen sind gemeinsam an einen Bildsignalausgang 75 angeschlossen. Weiterhin sind fünf monostabile Multivibratoren 73-1 bis 73-5 in Kaskade an den Eingangsanschluß 71 angeschlossen. Diesen monostabilen Multivibratoren wird ein Triggerimpuls über einen Anschluß 74 vom Steuerkreis mit einer Wiederholungsperiode H zugeführt, so daß sich während einer horizontalen Zeilenabtastpcriode H aus den Multivibratoren 73-1 bis 73-5 die in Fig. 15 dargestellten fünf Impulse ergeben. Diese Impulse teilen die horizontale Abtastperiode H in fünf gleiche Teile. Die Anzahl der Multivibratoren kann auch vergrößert werden, um die Periode H in noch mehr Teile zu teilen.

Während der Einstellung der Vorrichtung werden die Ausgangsimpulse der Multivibratoren 73-1 bis 73-5 den Steuersignaleingängen der verschiedenen Torschallungen 72-1 bis 72-6 so zugeführt, daß sich ein optimaler Zustand ergibt, in welchem der Unterschied zwischen den Verzeichnungen der Linsensysteme auf ein Minimum kompensiert wird. Sodann werden die Ausgänge der Multivibratoren mit den Steuercingängen der so gegebenen Torschaltungen dauerhaft, beispielsweise durch Löten, verbunden. In der Ausführungsform nach Fig. 14 sind die Multivibra'oren 73-1 und 73-5 mit derTorschaltung 72-1. die Multivibratoren 73-2 und 73-4 mit der Torschaltung 72-2. und der Multivibrator 73-3 mit der Torschaltung 72-3 verbunden.

Während des ersten Fünftels der Zeilenabtastperiode H, d. h. während einer Periode, in der der Impuls nach Fig. 15 vom Multivibrator 73-1 vorhanden ist, wird nur die Torschaltung 72-1 leitfähig und das unverzögerte Bildsignal wird dem Ausgangsanschluß 75 zugeführt. Während der zweiten Fünftel-Periode der horizontalen Zeilenperiode H ist nur die Torschaltung 72-2 leitfähig, so daß das Bildsignal um 0,01 μ5 verzögert zum Ausgangsanschluß 75 gelangt. Man kann auf diese Weise am Ausgangsanschluß 75 ein Bildsignal erhalten,

das in gewünschter Weise in Übereinstimmung mit der Lage eines Bildpunktes auf der horizontalen Abtastlinie verzögert ist

Wie oben erläutert wurde, ist es mit der erfindungsgemäßen Fehlererkennungsvorrichtung möglich, die Abweichung abgetasteter Bilder aufgrund von Unterschieden in der Verzeichnung und/oder dem Verzögerungsfaktor oder zwei Linsensysteme zu korrigieren oder zu kompensieren. Es ist daher möglich, Pseudo-Fehlersignale zu unterdrücken und auf diese Weise die Fehlererkennungsempfindlichkeit erheblich zu steigern so daß die Gebrauchsfähigkeit der Vorrichtung erheblich verbessert werden kann.

Es sei betont, daß die vorliegende Erfindung nicht aul die erläuterten Ausführungsformen beschränkt ist, sondern daß verschiedene Abänderungen durchgeführt werden können, ohne daß man den von der Erfindung umrissenen Rahmen verläßt. Beispielsweise können zwei Bildsignale verzögert werden, um Abweichungen von zwei Bildern zu kompensieren. In diesem Falle ist jedoch der Aufbau der Korrekturkreise etwas kompliziert. Um Pseudo-Fehler. die in der Umgebung von Musterkonturen auftreten können, zu unterdrücken, kann man dariib-r hinaus einen Kreis verwenden, der einen ein Kontursignal erzeugenden Kreis enthält, das für einen Konturbereich gegebener Breite steht, und einen Steuerkreis, der die Fehlererkennungsempfindlichkeit in Übereinstimmung mit dem Vorhandensein dieses Kontursignals herabsetzt. Mit Hilfe eines solchen K>eises können kleine Fehler in Bereichen, die den Konturen fern liegen, effektiv festgestellt werden. Derartige Maßnahmen sind in der anhängigen Patentanmeldung P 28 30 846.5-33 vom gleichen Tage beschrieben.

Bei der Ausführungsform nach Fig. 4 wird eine Flying Spot-Kathodenstrahlröhre zum Abtasten der Muster in Rasterform verwendet, man kann jedoch auch eine Zeilenabtastung mit einem Laserstrahl und Rcflcktorspiegcln oder einem Fcstkörperzeilenabtaster verwenden. In einem solchen Fall ist zur Erzeugung einer zweidimensionalen Abtastung erforderlich, daß man die Abiasteinrichtung quer zur Abtastrichtung gegenüber den Mustern bewegt.

Bei der Ausführungsform nach F i g. 14 wird eine Kaskadenschaltung aus monostabilen Multivibratoren verwendet, um die Impulse für die Torschaltungen /ti erzeugen, die die horizontale Abtastperiode in Einzelabschnitte gleicher Zeitdauer unterteilt. Diese den Torschaltungen zugeführten Impulse können jedoch auch durch andere bekannte Schaltkreise erzeugt werden. Darüber hinaus ist es nicht immer notwendig. Torschaltungsimpulse zu erzeugen, die die horizontale Abtastperiode in gleich große Teile unterteilen.

Hierzu 9 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Vorrichtung zum Ermitteln von Fehlern in flächenhaften Mustern, insbesondere in Chipmustern von Photomasken für die Herstellung von integrierten Halbleiterschaltkreisen, durch Vergleich von jeweils einander identischen Bereichen zweier Muster, mit einer zwei im wesentlichen gleiche Abtastlinsensysteme umfassenden Einrich- ι ο tung zur Erzeugung zweier, die beiden jeweils zu vergleichenden Muster synchron zeilenweise abtastender Lichtbündei, mit zwei jeweils das von einem der Muster ausgehende Licht aufnehmenden photoelektrischen Wandlern und mit einer Fehlerdiskriminierschaltung, die eine an ihren beiden Eingängen von den Ausgangssignalen der Wandler abhängigen Signalen beaufschlagte Substraktionseinrichtung enthält, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen die photoelektrischen Wandler (31,32) und die Feblerdiskriminierschaltung (38) ein Korrekturkreis (43) zwischengeschaltet ist, in dem zumindest die Ausgangssignale eines der beiden Wandler (31, 32) einem Verzögerungskreis (46) mit veränderbarer Verzögerungszeit zugeführt werden, der von einem Steuerkreis (47) ein mit dem durch das abtastende Lichtbündel gebildeten Abtastraster synchronisiertes Steuersignal erhält, und der so aufgebaut ist, daß sich in Abhängigkeit von dem synchronisierten Steuersignal seine Verzögerungszeit als Funktion der Lage des jeweils abgetasteten Bildpunktes (2OA, 20B) im ^.veidimensionalen Raster derart ändert, daß eine relative Abweichung der Ausgangssignale der beiden Wandler (31,32) aufgrund von Verzeichnungs- und/oder Vergröß? -ungsfaktorunterschieden der beiden Abtastlinsensysteme (27, 30) verringert wird.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Steuerkreis (47) so aufgebaut ist, daß sich die Amplitude des Steuersignals als *o Funktion des Abtastzeitpunktes innerhalb des Bildabtastzyklus proportional mit den aufgrund der Verzeichnungs- und/oder Vergrößerungsfaktorunterschiede erfolgenden horizontalen bzw. vertikalen Verschiebungen der Bildmusterspuren ändert.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2. dadurch gekennzeichnet, daß das Steuersignal aus dem Steuerkreis (47) von im wesentlichen parabolischem Verlauf ist und eine Wiederholungsperiodendauer hat, die gleich der Horizontalbildabtastperiode (H)\si.

4. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Steuersignal aus dem Steuerkreis (47) von im wesentlichen sägezahnförmigem Verlauf ist und eine Wiederholungsperiodendauer hat, die gleich der Horizontalbildabtastperiode (H)\s\.

5. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß dem Steuersignal aus dem Steuerkreis (47) ein sägezahnförmiges Signal nach Anspruch 4 überlagert ist.

6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Yerzögerungskreis (46) eine ^-Kettenschaltung aus Induktivitäten und Kapazitätsdioden aufweist und das Steuersignal den Kapazitätsdioden zur Beeinflussung von deren Kapazität zugeführt ist. &s

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Verzögerungskreis (46) einen Bildsignaleingang (44ß,), eine an diesen angeschlossene Kette von Verzögerungselementen (52-1 bis 52-9) mit jeweils fester Verzögerungszeit einer einem Bruchteil der Horizontalzeilenabtastperiode (H) entsprechenden Zeitdiauer, eine Mehrzahl von Torschaltungen (53-1 bis 53-10), von denen eine mit dem Bildsignaleingang (44JJJl die anderen jeweils mit den Ausgängen einer der Verzögerungselemente (52-1 bis 52-9) verbunden s;ind und deren Ausgänge gemeinsam an einen Bildsignalausgang '45B) angeschlossen sind, und einen Steuerimpulsgenerator (50, 51) für die Torschaltungen (53-1 bis 5.3-10) enthält, der in Abhängigkeit von der Amplitude des vom Steuerkreis (47) gelieferten Steuersignals eine der Torschaltungen (53-1 bis 53-10) in den Leitfähigkeitszustand versetzt

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Steuerimpulsgenerator aus einem Analog/Digital-Wandler (50) zum Umsetzen des Steuersignals in ein Digital und einem Decoder (51) zum Decodieren des Digitalsignals und zum Erzeugen einer Ausgangssteuerspannung an einem seiner mehreren Ausgänge bestehL

9. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Steuerkreis (47) ein Steuersignal erzeugt, das sich periodisch mit einer Periodendauer wiederholt, die gleich der horizontalen Zeilenabtastdauer (H) ist, um den Horizontalbildfehler zu kompensieren.

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Verzögerungskreis (46) einen Bildsignaleingang (71) zur Entgegennahme des zu verzögernden Bildsignals, mehrere in Reihe geschaltete Verzögerungselemente (70-1 bis 70-5) mit jeweils einer Verzögerungszeit von einem Bruchteil der Horizontalbildabtastperiode (H), mehrere Torschaltungen (72-1 bis 72-G), deren Eingänge mit dem Eingang jeweils eines der Verzögerungselemente (70-1 bis 70-5) und deren Ausgänge gemeinsam an einen Büdsignalausgang (75) angeschlossen sind, und einen Toniiipulsgenerator (73-1 bis 73-5) aufweist, welcher das Steuersignal aus dem Steuerkreis (47) empfängt nind an einer Mehrzahl von Ausgängen Impulssignale bereitstellt, die die Horizontalbildabtastperiode (H) in mehrere Intervalle teilt, wobei die Steuereingänge ausgewählter Torschaltungen (72-1 bis 72-6) fest mit ausgewählten Ausgängen des Torimpulsgenerators (73-1 bis 73-5) verbunden sind, so daß am Bildsignalausgang (75) sin in gewünschter Weise verzögertes Bildsignal zur Verfügung steht.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Torimpulsgenerator aus einer Kaskadenschaltung von monostabilen Multivibratoren (73-1 bis 73-5) besteht, der das Steuersignal als Triggersignal mit einer Wiederholungsperiode zugeführt ist, die der Horizontalbildabtastperiode (H) entspricht.

12. Vorrichtung nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß das Steuersignal eine Wiederholungsperiode aufweist, die gleich der Vertikalabtastperiode der zweidimensionalen Bildabtastung ist, um Vertikalbildabweichungen zu kompensieren.

13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Verzögerungskreis (46) einen Bildsignaleingang (62) zur Aufnahme des zu verzögernden Bildsignals, mehrere in Kette an den Bildsignaleingang (62) angeschlossene Verzögerungselemente (63-1, 63-2) mit einer einem ganzzah-

ligen Vielfachen der Horizontalbildabtastperiode (H) entsprechenden Verzögerungszeit, mehrere Torschaltungen (64-1 bis 64-3), die mit dem Bildsignaleingang (62) bzw. den Ausgängen der Verzögerungselemente (63-1, 63-2) verbunden und deren Ausgänge gemeinsam an einen Bildsignalausgang (65) angeschlossen sind, sowie einen Torimpulsgenerator (60,61) aufweist, dem das Steuersignal vom Steuerkreis (47) zugeführt ist und eine der Torschaitungen (64-1 bis 64-3) als Funktion der Amplitude des Steuersignals in den Durchlaßzustand versetzt.

14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß der Torimpulsgenerator aus einem Analog/Digital-Wandler (60) und einem von diesem angesteuerten Decoder (61) besteht, der an einem seiner mehreren Ausgänge einen Torsteuerimpuls bereitstellt

15. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß das Steuersignal vom Steuerkreis (47) einen sägezahnförmigen Verlauf mit einer der Horizontalbildabtastperiode (H) entsprechenden Periodendauer aufweist und dessen Amplitude sich während der Vertikalabtastperiode ändert.

16. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß das Steuersignal vom Steuerkreis (47) einen sägezahnförmigen Verlauf mit einer der Vertikalabtastperiode entsprechenden Periodendauer aufweist.

17. Vorrichtung nach Anspruch !5, dadurch gekennzeichnet, daß dem Steuersignal ein sägezahnförmiges Steuersignal nach Anspruch 16 überlagert ist.

18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß die optische J5 Abtasteinrichtung einen den Prüfling (20) mit der Vielzahl der zu vergleichenden Muster (20A 20ß^ tragenden Tisch (22) und eine Flying Spot-Kathodenstrahlröhre (23) aufweist, von der das Licht auf die beiden Abtastlinsensysteme (27,30) fällt.

19. Vorrichtung nach Anspruch I. dadurch gekennzeichnet, daß die Fehlerdiskriminierschaltung (38) einen Kreis zur UnterdrücKung von nahe den Musterkonturen registrierten Pseudo-Fehlern enthält.

20. Vorrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß der die Fseudo-Fehler unterdrückende Kreis (39) einen Verzögerungskreis zum Verzögern des Fehiersignals und eine UND-Schaltung zur Aufnahme des unverzögerten und des verzögerten Fehlersignals aufweist.

21. Vorrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß der die Pseudo-Fehler unterdrückende Kreis (39) einen Kreis zum Erzeugen eines Kont'irsignals entsprechend eines Konturbe- ■» reichs vorgegebener Breite und einen Steue-kreis zum Empfang des Kontursignals und zur Verringerung der Fehlererkennungscmpfindlichkeit im Konturbereich aufweist.