DE3208195C2 - - Google Patents

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DE3208195C2
DE3208195C2 DE19823208195 DE3208195A DE3208195C2 DE 3208195 C2 DE3208195 C2 DE 3208195C2 DE 19823208195 DE19823208195 DE 19823208195 DE 3208195 A DE3208195 A DE 3208195A DE 3208195 C2 DE3208195 C2 DE 3208195C2
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DE
Germany
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workpiece
sonotrode
abrasive suspension
cleaned
ultrasound
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DE19823208195
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German (de)
English (en)
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DE3208195A1 (de
Inventor
Rainer 7900 Ulm De Schmieg
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SCHMIEG, RAINER, 7900 ULM, DE
Original Assignee
Telefunken Systemtechnik AG
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Publication date
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
    • B08B3/12—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration by sonic or ultrasonic vibrations

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  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
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