DE3203009A1 - Wischmaterialien, geeignet fuer putzraumzwecke - Google Patents

Wischmaterialien, geeignet fuer putzraumzwecke

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Stephen M. Woodstock Ga. Englebert
Gary H. Winneconne Wis. Meitner
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Description

b Durch die Verbesserung der Herstellung hochtechnologischer Gegenstände, wie mikroelektronische Vorrichtungen, wurde es notwendig, eine saubere Raumatmosphäre einzuhalten. Diese Vorrichtungen sind im wesentlichen Mikroprozessoren, das Äquivalent der zentralen Prozessor- bzw. Hechnereinheit einer kleinen Rechenanlage bzw. eines kleinen Computers. Sie werden hergestellt unter Anwendung von "Schaltern" bzw. "Wafers", dünnen Silikonscheiben auf denen Schaltungen ausgebildet wurden. Die integrierten Schaltungen vervollständigen die elektrische Trennung und Verbindung von Transistoren und anderen Schaltelementen. Die Schaltelemente sind durch einen leitfähigen Film von verdampftem Metall verbunden, daa photograviert wurde, um das geeignete Verbindungsschema zu bilden. Eine Isolierschicht ist erforderlich, um den darunter liegenden Halbleiter von dem Metallfilm zu trennen, mit Ausnahme dort, wo ein Kontakt gewünscht wird. Diese Isolierschicht wird an der Oberfläche des Wafers ausgebildet, nachdem der Wafer verarbeitet wurde und bevor das leitende Metall darauf aufgedampft wird. Verunreinigungen, selbst durch kleinste Fusseln oder Staub, können diese Schaltungen überbrücken und führen zu Fehlern solcher Vorrichtungen; sie stellen eine Hauptausschußquelle dar. Daher besteht ein Bedürfnis danach, sämtliche Oberflächen und Werkstücke so frei von Verunreinigungen zu halten, wie dies möglich ist. Dies wird gewöhnlich teilweise erzielt durch Wischen dieser Oberflächen und es wurde eine Anzahl spezieller Wischer für diesen Zweck entwickelt. Jedoch ist es wichtig, daß der Wischer selbst zusätzlich zu seiner Fähigkeit sauber zu wischen, nicht zu dem Problem des Verstaubens oder der Fusselbildung beiträgt. Übliche Stoff- bzw. Tuchwischer und Gewebewischer sind daher nicht voll zufriedenstellend.
Es sind auch verschiedene ungewebte Wischer bzw. Vlieswischer verfügbar, von denen zwar einige gering fusselbildend sind, jedoch einer Behandlung zur Benetzbarkeit bedürfen, um die für diese Anwendungszwecke gewünschten Absorptions- und Sauber-Wisch-Charakteristika zu ergeben. Derartige Behandlungen waren am wirksamsten unter Anwendung eines anionischen Benetzungsmittels, wie Aerosol OT, das einen hohen Gehalt an Natriumionen aufweist. Diese Metallionen führen zu speziellen Problemen, da sie, wenn in hohen Konzentrationen vorhanden, die elektrischen Eigenschaften von Ketalloxidhalbleitern verändern können und die Vorrichtungen fehlerhaft machen.
Daher waren auch derartige Wischer nicht völlig zufriedenstellend. Es besteht daher ein Bedürfnis nach einem wenig fusselnden,sauber wischenden Wischer mit einem geringen Metallionengehalt für diese speziellen Anwendungszwecke sowie auch für andere AnwenduriBr.zwecko.
Wie vorstehend erwähnt, sind Vlieswischer zum einmaligen Gebrauch und für die begrenzte Änwendunaho.kannt. Zur Bildung von Basismaterialien für Wischer sind jegliche Vliesbildungsverfahren geeignet. Beispielsweise wurden Vliese verwendet, die hergestellt wurden durch Schmelzblasen, Spinnen, Kardieren bzw. Krempeln und !"ibrilliertechniken bzw. Paserbildungstechniken. Bei der Bildung aus synthetischen, thermoplastischen Einzelfäden sind solche Materialien normalerweise hydrophob und nicht benetzbar. Es ist daher für die meisten Anwendungszwecke erforderlich, das Vlies zu behandeln, um es benetzbar zu machen. I1Ur diesen Zweck wurden zahlreiche anionische und nicht-ionische Benetzungsmittel entwickelt und werden verwendet. Unter diesen ist Natriumdioctylsulfosuccinat, wie Aerosol OT, ein sehr bevorzugtes Mittel geworden, da es eine rasche Benetzbarkeit ergibt. Pur Anwendungszwecke mit geringeren Anforderungen wurden andere Benetzungsmittel, wie die
nachstehend identifizierten verwendet.
Für Anwendungszwecke in Putzereien haben sich derartige Vlieswischer nicht völlig zufriedenstellend erwiesen, da die Behandlungen zur Benetzbarkeit einen Kompromiß zwischen den Benetzungscharakteristika, erhalten durch Aerosol OT, und dem Bedürfnis nach einem niedrigen Metallionengehalt, erforderten. Andere spezielle Wischer wurden für diese Anwendungszwecke entwickelt. Beispielsweise wurden gewebte Textilwischer verwendet, sind jedoch kostspielig und fusseln. Langfaserige, naßgelegte Cellulosewischer neigen auch zur Pusselbildung, zu einer geringen Absorptionsfähigkeit und zur Stapelbildung.
Beispiele für Beschreibungen der Produkte und Materialien des Stands der Technik sind die US-PS 3 811 957 vom 21. 5· 1974- (Buntin) , die schmelzgeblasene Materialien und Benetzbarkeitsbehandlungen beschreibt, die US-PS 2 999 265 vom 12. 9- 1961 (Duane et al.), die ein Eeinigungs- und Desodorierkissen mit einer Behändlung mit einem oberflächenaktiven Mittel beschreibt, die US-PS 3 520 016 vom 9. 10. 1968 (Meitner), die einen Cellulosewischer beschreibt, die US-PS 3 95^· 642 und 3 956 155 vom 4. 5. bzw. vom 11. 5. 1976 (Schwuger), die Textilwischer beschreibt und die US-PS 3 978 185 vom 31- 8· 1976 (Buntin et al.), die ein schmelzgeblasenes Material, geeignet als ein Wischer, beschreibt.
Die Erfindung betrifft einen hochwirksamen, wenig fusselnden, ungewebten Wischer bzw. Vlies-Wischer (bzw. ein Wischmaterial oder Wischtuch, im folgenden als Wischer bezeichnet) mit einem geringen Natriumionengehalt, für einmalige Anwendungszwecke oder begrenzte Anwendungszwecke. Um die gewünschten Wischeigenschaften für Vlieswischer zu erzielen, die aus
hydrophoben, thermoplastischen, synthetischen fasern hergestellt sind, müssen derartige Materialien mit einem oberflächenaktiven Mittel behandelt werden, um eine Benetzbarkeit mit wäßrigen Materialien zu erzielen. Zwar ist es bekannt, derartige Vliesmaterialien mit oberflächenaktiven Mitteln einschließlich Natriumdioctylsulfosuccinat, wie Aerol OT, zu behandeln, jedoch erhöht eine derartige Behandlung den Metallionengehalt des Wischers. Pur viele Anwendungszwecke ist dies brauchbar. Jedoch für die Anwendungszwecke in Putzereien (clean room), wie sie bei der Herstellung von mikroelektronischen Vorrichtungen benötigt werden, wie vorstehend erwähnt, und dergleichen, können Wischer mit hohem Metallionengehalt nicht toleriert werden. In derartigen Fällen wurde die Behandlung mit anderen oberflächenaktiven Mitteln notwendig, obwohl die Verringerung des Gehalts an Metallionen innerhalb brauchbarer Grenzen sich sehr nachteilig auf die Wischeigenschaften auswirkt. Erfindungsgemäß hat es sich gezeigt, daß die Behandlung derartiger Vliesmaterialien mit einem speziellen Gemisch von oberflächenaktiven Mitteln, enthaltend Natriumdioctylsulfosuccinat und ein nicht-ionisches oberflächenaktives Mittel, wie Triton X-100 (Alkylphenoxyäthanol) den Metallionengehalt des Wischers auf brauchbare Grenzen verringert und dennoch die hochwirksamen Wischcharakteristika, die durch die Verwendung von Natriumdioctylsulfosuccinat-oberflächenaktivem Mittel allein erzielt werden, beibehalten oder sogar verbessert werden, üomit wird durch den erfindungsgemäßen Wischer insbesondere für Anwendungszwecke in Putzereien bei der Herstellung von mikroelektronischen Vorrichtungen, ein Produkt bereitgestellt, das bei geringer Fusselbildung wirksam wischt und einen niedrigen Metallionengehalt aufweist, der für diese Arbeitsgänge wesentlich ist.
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*■·!■
Im folgenden werden die Figuren kurz erläutert. Die Fig. 7I bis 4 veranschaulichen die Benetzbarkeitsermittlungen für verschiedene Verhältnisse der oberflächenaktiven Mittel Triton X-1OO und Aerosol OT-75 (75 % Feststoffe) im Bereich von 100 % Triton X-100 bis 75 % Aerosol OT-75.
Die ffifi·. 5 bis 8 veranschaulichen in ähnlicher Weise für Vergleichszwecke Verhältnisse unter Verwendung eines unterschiedlichen nicht-ionischen, oberflächenaktiven Mittels Igepal CO63O (Nonylphenoxypoly-(äthylenoxy)-äthanol).
Die Mp;. 9 bis 12 veranschaulichen einen ähnlichen Vergleich unter Verwendung von Sandozin D-100 (Alkylphenolpolyglykoläther) als nicht-ionische, oberflächenaktive Komponente.
Bi-e Mf3;- 1? ist eine grafische Darstellung, die die Zunahme des Natriumionengehalts in Teilen pro Million veranschaulicht, die aus der Zugabe von Aerosol OT resultiert.
25
Im folgenden werden bevorzugte Ausführungsformen beschrieben, die jedoch keine Einschränkung der Erfindung darstellen sollen.
im Rahmen der vorliegenden Beschreibung wurden verschiedene Testverfahren angewendet, um die Benetzbarkeitsund Pusselcharakteristika zu bestimmen. Die Benetzbarkeitsbestimmungen wurden durchgeführt durch Füllen einer Pfanne mit destilliertem Wasser auf eine Tiefe
35 von mindestens 2,54- cm (1 inch). Ein Quadrat von
10,16 χ 10,16 cm (4 χ A- inch) des zu untersuchenden Materials wurde sorgfältig auf die Wasseroberfläche gelegt und es wurde die Zeit gemessen, die benötigt
wurde, um etwa 90 % der oberen Oberfläche des Materials durch. Durchschlagen zu benetzen. Es wurde eine visuelle Bewertung vorgenommen.
Pusseltests wurden durchgeführt unter Verwendung eines Climet-Teilchenzählers. Bei diesem Test wurde auch ein mechanischer Teilchengenerator verwendet, der Biege-, Dreh- und Druck- bzw. Knitterkräfte auf Proben ausübt. Proben von 15»24 χ 15»24 cm (6 χ 6 inch) wurden in einen Raum von 0,028 nr eingebracht. Eine Boden-Haltevorrichtung erhebt sich 10,16 cm (4 inch) und dreht sich gleichzeitig um 180°, worauf sie zur Ausgangslage zurückkehrt und der Zyklus in etwas weniger als einer Sekunde beendet ist. Der Saum wird durch Rohre mit dem Teilchenzähler verbunden, der die Teilchen mit 20 CFH abzieht. Jede Zählung erfordert 357 Sekunden und gibt die Anzahl der Teilchen von 10/Am bzw. Mikron oder größer in 0,00028 wP (0,01 cubic feet) Luft an.
Die Natriumionenkonzentrationen wurden durch Extrahieren der gesamten in heißem Wasser löslichen Materialien aus einer Probe des Wischermaterials bestimmt. Diese wurden anschließend einer Atomabsorptionsspektroskopie unter Verwendung eines Perkins Elmer Atomic Absorptionsspektrophotometers, Modell 3505» unterzogen.
Das Substratmaterial für den erfindungsgemäßen Wischer ist nicht kritisch und es können zahlreiche synthetische Fasergewirke (fibrous webs) verwendet werden. Aus Kostengründen sind Vliesmaterialien, die hergestellt wurden durch Spinnen oder Schmelzblasen von thermoplastischen Polyolefinmaterialien, wie Polypropylen und Polyäthylen, bevorzugt. Besonders bevorzugt zum sauberen Wischen bzw. Putzen und aufgrund der Absorptionseigenschaften sind schmelzgeblasene Polypropylenmaterialien, wie sie beispielsweise beschrieben werden in
der US-PS 3 959 421 vom 25. 5. 1976 (Weber et al.). Solche Materialien bestehen aus Mikrofasern mit einem fj durchschnittlichen Durchmesser von im allgemeinen 10 um bzw. Mikron oder weniger und wenn sie zur Benetzbarkeit behandelt werden, sind sie sehr wirksam zur Absorption von sowohl wäßrigen als auch öligen Materialien. Im allgemeinen weist das Substratmaterial
P P
ein Basisgewicht im Bereich von 8,5 g/m (0,25 oz/yd )
2 2 2
bis 204 g/m (6 oz/yd ), vorzugsweise 13,6 g/m (0,4 oz/ yd ) bis 102 g/m (3 oz/yd ) auf und wird gebunden zur Erzielung von Festigkeitseigenschaften von mindestens 64 g/g (4 lbs/oz) KD-Griffzug und ausreichend für den beabsichtigten Wischzweck. Zugergebnisse wurden im wesentlichen gemäß ASTM D-111?-74 erhalten. Proben von 10,16 χ 15>24 cm (4 χ 6 inch) wurden hergestellt, wobei jeweils fünf ihre Länge in den "Maschinen"- und "Quer"-Richtungen aufwiesen. Eine Instron-Vorrichtung wurde verwendet, mit einem Backenkopf von 2,54 cm im Quadrat(1 inch square) und dem anderen von 2,54 χ 5,08 cm (1 χ 2 inch) oder größer, wobei die längere Abmessung senkrecht zur Beschickungsrichtung liegt. Bei einer Querkopfgeschwindigkeit von 30,48 cm (12 inch) pro Minute wurde die volle Belastung aufgezeichnet und wie folgt mittels eines Faktors multipliziert: Ablesungen kg (lbs): 0,907 (2), 2,27 (5), 4,54 (10), 9,07 (20), 22,7 (50); Faktoren (jeweils): 0,0048, 0,012, 0,024, 0,048, 0,120. Die Ergebnisse wurden in Krafteinheiten
(z. B. kg bzw. lbs) angegeben, die erforderlich waren, um die Folie zu brechen. Die Bindung kann nach jeglicher üblichen Verfahrensweise ex-zielt werden, wie durch Wärme- und Druckanwendung in Form eines Musters, Nadelung, Klebstoffe oder unter Ausnutzung der thermopla-
35 stischen Eigenschaften der Einzelfäden selbst.
Die Verfahrensweise zur Einarbeitung des Oberflächengemischs gemäß der Erfindung ist nicht kritisch. So
kann das Oberflächengemisch nach, üblichen Techniken zugesetzt werden, wie Sprühen, Tauchen, Beschichten, Imprägnieren und Bedrucken. Im allgemeinen wird die Menge des Gemische durch das Verhältnis der Bestandteile, den zulässigen Natriumionengehalt und das Ausmaß der gewünschten Benetzbarkeit, bestimmt. Für die meisten Anwendungszwecke führt dies zu einer Zugabe des oberflächenaktiven Gemischs im Bereich von etwa 0,2 bis 0,7 Gew.-%, basierend auf dem Gewicht des Vliessubstrats, und vorzugsweise im Bereich von 0,3 bis 0,5 Aus Kosten- und Leistungsfähigkeitsgründen wird das oberflächenaktive Gemisch vorzugsweise mittels des Abschreck-Sprays (quench spray) zugesetzt, das in der vorstehend genannten US-PS 3 959 4-21 vom 25· 5· 1976 (Weber et al.) beschrieben wird.
Das Verhältnis der Komponenten des oberflächenaktiven Gemischs muß innerhalb bestimmter Grenzen liegen, um die Vorteile der Erfindung zu erzielen. Die maximale Menge an Natriumdioctylsulfosuccinat wird bestimmt durch den zulässigen Gehalt an Natriumionen in dem Wischer. Im allgemeinen sollte für Putzraum-Anwendungszwecke, wie bei der Herstellung von mikroelektroninchen Vorrichtungen, der Natriumionengehalt 70 Teile pro Million nicht überschreiten und liegt vorzugsweise bei weniger als 60 Teile pro Million. Entsprechend Fig. erfordert dies einen zugesetzten Gewichtsprozentsatz an Aerosol OT-75 in dem Wischer von bis zu 0,20 und vorzugsweise 0,16 oder weniger. Um die wirksamsten Wischeigenschaften zu erzielen, wird eine Benetzbarkeit, bestimmt durch die Sinkzeit, von weniger als 5 Sekunden und vorzugsweise weniger als 3 Sekunden, benötigt.
Aus den i'ig. 1 bis 4 ist ersichtlich, daß die Verwendung von 25 % Aerosol OT-75 im Gemisch einen prozentualen Zusatz von nahezu 1 % erfordert, um eine ij.i ivkvicyU,
* -to
von 3 Sekunden zu erzielen. Im Gegensatz hierzu erfordert ein Verhältnis von 50/50 weniger als 1/2 % Zusatz, wie dies ein Verhältnis von 25 % Triton X-100 und 75 % Aerosol OT-75 tut. Bei dem 75 % Aerosol-OT-75-Gehalt jedoch würde der Natriumionenzusatz über dem bevorzugten Gehalt liegen. Dementsprechend liegt die Menge an Aerosol OT-75 in dem erfindungsgemäßen Gemisch im Bereich von 25 bis 75 % und vorzugsweise im Bereich von 40 bis 60 %. Ideal sind die Bestandteile in etwa gleichen Anteilen enthalten.
Beispiele 1 bis 4
Eine Reihe von Wischmaterialien wurde mit verschiedenem Gehalt an Zusätzen unter Verwendung der folgenden oberflächenaktiven Zusammensetzungen hergestellt: 1OO % Triton X-100, 75 % Triton X-100 und 25 % Aerosol OT-75 (75 % Feststoffe), 50 % Triton X-100 und 50 % Aerosol OT-75, und 25 % Triton X-100 und 75 % Aerosol OT-75. Das Substrat war ein schmelzgeblasenes Vlies, wie allgemein beschrieben in der US-PS 3 959 421 vom 25· 5· 1976 (Weber et al.) mit einem Basisgewicht von 85 g/m Diese Materialien wurden auf die Benetzbarkeit nach der Sinkzeit-Methode untersucht und die Ergebnisse sind in den Fig. 1 bis 4 dargestellt.
Beispiele 5 bis 8 30
Zu Vergleichszwecken wurde das schmelzgeblasene Vliesmaterial der Beispiele 1 bis 4 in gleicher Weise mit folgenden oberflächenaktiven Zusammensetzungen behandelt. 100 % Sandozin D-100, 75 % Sandozin D-100und Vb 25 % Aerosol OT-75, 50 % üandozin D-100 und 50 % Aerosol OT-75, und 25 % Sandozin D-100 und 75 % Aerosol OT-75· Diese Materialien wurden auch auf die Benetzbarkeit nach der Sinkzeit-Methode untersucht und
die Ergebnisse sind in den Fig. 5 "bis 8 dargestellt. Beispiele 9 bis 12
Das schmelzgeblasene Vliesmaterial der Beispiele 1 bis 4 wurde zu Vergleichszwecken mit folgenden oberflächenaktiven Zusammensetzungen behandelt:1OO % Igepal CO63O, 75 % Igepal C06J0 und 25 % Aerosol OT-75, 50 % Igepal CO63O und 50 % Aerosol OT-75, und 25 % Igepal C0630 und 75 % Aerosol OT-75· Diese Materialien wurden auf die Benetzbarkeit nach der Sinkzeit-Methode untersucht und die Ergebnisse sind in den Pig. 9 bis 12
15 dargestellt.
Zur weiteren Veranschaulichung der Erfindung wurde das Material der Beispiele 1 bis 4 mit verschiedenen Zusatzgehalten an Aerosol OT-75 allein und Triton X-100 allein behandelt. Es wurden Benetzbarkeitsuntersuchungen nach der Sinkzeit-Methode durchgeführt und die Ergebnisse sind in der Tabelle I aufgeführt. Ebenfalls zu Vergleichszwecken einbezogen sind die Ergebnisse, die mit dem 50/50-Gemisch gemäß der Erfindung erhalten wurden. Es ist ersichtlich, daß die mit dem Gemisch erzielten Benetzbarkeitsergebnisse nahezu gleich denen sind, die mit Aerosol OT-75 allein erhalten wurden und wesentlich besser sind als die mit Triton X-100 allein
bei höheren Zusatzproζentgehalten erhalten wurden. 30
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Zu Vergleicliszwecken sind in der nachstehenden Tabelle II die Ergebnisse von Fusseltests aufgeführt, die an den bevorzugten erfindungsgemäßen Wischer durchgeführt wurden, der das Gemisch von 50/50 Triton X-100 und Aerosol OT-75 enthält, zusammen mit verschiedenen handelsüblichen Wischmaterialien einschließlich solcher, wie sie für Putzraumzwecke verwendet werden.
Einbezogen sind auch Messungen des Natriumionengehalts. Der Wischer A ist ein üblicher schmelzgeblasener behandelter Wischer. Der Wischer B ist ein Beispiel für einen Putzraum-Langfasercellulosewischer. Der Wischer C ist ein trocken gekreppter Gewebewischer.
Der Wischer D ist ein gewebter Stoffwischer für Putzraumzwecke. Der Wischer E ist ein kardiertes thermisch gebundenes Polypropylengewirk. Es ist ersichtlich, daß der erfindungsgemäße Wischer unter den untersuchten Wischern hinsichtlich der Bereitstellung eines geringen Metallionengehalts und geringer .Fusselergebnisse herausragt. Der Gegensatz hierzu ist der Wischer E, der eine geringe Benetzbarkeit und schlechte Wischeigenschaften aufweist und daher nicht für Putzraum-
anwendungszwecke geeignet ist. 25
ω ο
bo
cn
to O
CJ1
Tabelle II
Dpm Na+ < 10 yum I1Us selte ilchen < 0,5 /um 4 Zyklen 5 Zyklen
heißes
Wasser
kaltes
Wasser
1 Zyklus 3 Zyklen 213 290
0,4 2 Zyklen 155 2115 2444
Wischer A 161,7 104,9 0,4 98 1688 5134 6179
Wischer B 141,0 133,7 0,6 978 3774 448 393
Wischer C 104,8 96,0 5,0 2185 441 25 24
Wischer D 31,4- 22,7 1,4 406 35 285 418
Wischer E 3,9 4,0 4,0 29 214
Wischer gem. 60,0
der Erfindung
40,0 135
00 K) CD CO CD CD CD
Es ist somit ersichtlich, daß erfindungogemäß ein verbesserter Vlieswischer mit geringer I'usselwirkung bereitgestellt wurde, der einen verringerten Metallionengehalt aufweist und die Gegenstände, Ziele und Vorteile, die vorstehend erläutert wurden, voll zufriedenstellend ergibt. Die Erfindung wurde anhand spezieller Ausführungsformen beschrieben, es ist jedoch ersichtlich, daß im Rahmen der vorgegebenen Lehre Modifikationen durchgeführt v/erden können.

Claims (1)

  1. GRÜNECKER, KlNKELDEY, STOCKMAlR & PARTWER ' PATENTANWÄLTE
    EUfJO 1. AN PATF^T AI TO^NF V^
    A GRUNECKER. an. ing
    DH H KINKELOf.:Y. r»pi ·/-.
    DW W SrOCKMAII-t.un ·«..«■!
    OF< K SiCHlJMANr 1 imi .*..·.
    F* H JAKOFi Mn .ι».
    DK G Ub^ULL). un Wh/
    W. MEISTER, α«, .ms
    H. HILGERS. an. if-ö
    DR H. MEYER-PLATH. rm. ing
    KIMBERLY-CLABK CORPORATION
    North Lake Street
    Neenah, Wisconsin 54-956
    JJ S Ji 8000 MÜNCHEN 22
    MAXlMIUANST£>ASSf: "3
    P 16 986
    Wischmaterialien, geeignet für PutzraxaKwecke
    Patentansprüche
    Wischer aus einem Vliessubstrat mit einem Basisgewicht
    2 2
    im Bereich von 8,5 s/m ΐ>18 204 g/m , enthaltend behandelte hydrophobe thermoplastische Fasern, wobei dieses Substrat 0,2 bis 0,7 Gew.-% Natriumdioctylsulfosuccinat und ein nicht-ionisches oberflächenaktives Mittel als ein Gemisch enthält, das 25 bis 75 Gew.-% Natriumdioctylsulfosuccinat enthält, der Wischer einen JNatx-iumionengehalt von weniger als 100 Teilen ρχ·ο Million aufweist und eine Benetzbarkeit, bestinmt noch der Üinkzeit-Methode von weniger als 5 Sekunden besitzt.
    2. Wischer nach Anspruch 1, in dem die thermoplastischen Fasern Polypropylen sind.
    J. Wischer nach Anspruch 1 oder 2, in dem die thermoplastischen Fasern schmelzgeblasen sind.
    τιηκγιηλμμιι ΜΟΝΛΓ'ΛI *
    4·. Wischer nach Anspruch 1, 2 oder 3, in dem das nichtionische oberflächenaktive Mittel ein Alkylphenoxyäthanol ist.
    5- Wischer nach Anspruch 3» in. dem das nicht-ionische oberflächenaktive Mittel ein Alkylphenoxyäthanol ist.
    10
    6. Wischer nach Anspruch 5 oder einem der Ansprüche 1 bis 4-, in dem das Gemisch 40 bis 60 Gew.-% Natriumdioctylsulfosuccinat enthält.
    7· Wischer nach Anspruch 6, in dem das Gemisch etwa gleiche Anteile an Natriumdioctylsulfosuccinat und einem Alkylphenoxyäthanol enthält.
    8. Wischer nach Anspruch 7 oder einem der Ansprüche 1 bis 6, in dem das Basisgewicht im Bereich von 13,6 g/ m2 bis 102 g/m2 liegt.
    9- Wischer nach Anspruch 8 oder einem der Ansprüche 1 bis 7> in dem das Substrat 0,3 "bis 0,5 °/° des oberflächenaktiven Gemische enthält.
    10. Wischer nach Anspruch 9 oder einem der Ansprüche 1 bis 8, in dem die Benetzbarkeit weniger als 3 Sekunden beträgt.
    11. Wischer aus einem schmelzgeblasenen Polypropylensubstrat mit einem durchschnittlichen Faserdurchmesser im Bereich von bis zu etwa 10yum und einem
    Basisgewicht im Bereich von etwa 13»6 g/m bis
    102 g/m2, wobei das Substrat 0,3 bis 0,5 Gew.-% eines oberflächenaktiven Gemische enthält, das Natriumdioctylsulfosuccinat und ein Alkylphenoxyäthanol enthält, worin das Natriumdioctylsulfosuccinat
    in einer Menge von 40 bis 60 °/o enthalten ist, und der Wischer einen Natriumionengehalt von weniger als 77 ppm und eine Benetzbarkeit von weniger als 3 Sekunden aufweist.
    12. Wischer nach Anspruch 11, in dem das Natriumdioctylsulfosuccinat und das Alkylphenoxyathanol in dem Gemisch in im wesentlichen gleichen Anteilen vorhanden sind.
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