DE3130329A1

DE3130329A1 - "METHOD FOR PRODUCING A LIGHT GUIDE PREFORM"

Info

Publication number: DE3130329A1
Application number: DE19813130329
Authority: DE
Inventors: Ali Saifi 08520 East Windsor N.J. Mansoor
Original assignee: Western Electric Co Inc
Current assignee: AT&T Corp
Priority date: 1980-08-07
Filing date: 1981-07-31
Publication date: 1982-04-15
Also published as: FR2488412B1; JPS5756336A; GB2081252B; GB2081252A; FR2488412A1; US4304581A; NL8103726A; CA1154579A

Description

description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung eines Faserlichtleiter-Vorform, insbesondere auf die Herstellung einer Vorform mit einer Stufe oder mit einem Gradienten im Brechungsindex.The invention relates to a method for producing a fiber light guide preform, in particular to the production of a preform with a step or with a gradient in the refractive index.

Ein Faser-Lichtleiter wird von einem massiven Glaszylinder, der Vorform, gezogen. Die Vorform hat einen zentralen Kern, der von einem ümmantelungsmaterial umgeben ist, und kann im modifizierten Dampfreaktionsniederschlagsverfahren (im englischen Sprachraum als modified chemical vapor deposition (MCVD) bekannt)' hergestellt werden. Dieses Verfahren ist beschrieben von Partus und Saifi in Western Electric Engineer, Band XXIV, Heft 1, 1980, Seiten 39 bis 47. Es werden Schichten aus erschmolzenem dotiertem Quarzglas auf der Innenwandung eines langen Quarzglasrohrs durch die Reaktion von Glasvorläuferdämpfen aufgebaut. Es entstehen dabei Partikel, die sich an der Innenwandung niederschlagen und dort erschmolzen werden. Die Zusammensetzung der Reaktionsmitteldämpfe wird automatisch gesteuert, um eine Stufe oder einen Gradienten im Brechungsindex inA fiber light guide is drawn from a solid glass cylinder, the preform. The preform has one central core, which is surrounded by a sheathing material, and can be produced in the modified vapor reaction deposition process (known as modified chemical vapor deposition (MCVD) in English-speaking countries) ' will. This procedure is described by Partus and Saifi in Western Electric Engineer, Volume XXIV, Issue 1, 1980, pages 39 to 47. There are layers of melted doped quartz glass on the inner wall of a long quartz glass tube built up by the reaction of glass precursor vapors. It is created in the process Particles that are deposited on the inner wall and melted there. The composition of the Reagent vapors are automatically controlled to a step or gradient in the refractive index in

den niedergeschlagenen Glasschichten, die den Kern der Vorform bilden werden, zu erhalten. Wenn eine Faser von der Vorform gezogen wird, wird das niedergeschlagene Glas zum Kern des Faser-Lichtleiters, während das Quarzglasrohr zur Faserummantelung wird.the deposited layers of glass that form the core of the Form preform will be obtained. When a fiber is pulled from the preform, it becomes knocked down Glass becomes the core of the fiber light guide, while the quartz glass tube becomes the fiber cladding.

Insbesondere werden Materialdämpfe, wie GeCL., SiCl., POCl₃ oder dergleichen einem Trägergas, wie Sauerstoff, beigemischt und als Dampfströmung in das Innere des Glasrohrs eingeleitet. Das Glasrohr wird gedreht, während ein Brenner wiederholt seine Länge überquert. Wenn die Gasströmung das Rohr durchquert und in die benachbart zum Brenner gelegene Heizzone gelangt, reagiert sie unter Erzeugung von Oxiden, die sich auf der Innenfläche des Rohrs niederschlagen. Nach zahlreichen Brennerdurchgängen über die Länge des Rohrs hinweg, um die Schichten niederzuschlagen, wird das Rohr erhöhten Temperaturen (z. B. 1900 bis 2000 ⁰C) durch den Brenner während mehrerer Durchgänge ausgesetzt, um das Rohr zu schrumpfen. In einem letzten Durchhang wird dann das Rohr kollabiert, was zu einer massiven stabförmigen Vorform führt.In particular, material vapors such as GeCl., SiCl., POCl ₃ or the like are mixed with a carrier gas such as oxygen and introduced into the interior of the glass tube as a steam flow. The glass tube is rotated as a burner repeatedly traverses its length. As the gas flow traverses the tube and enters the heating zone adjacent to the burner, it reacts to produce oxides which are deposited on the inner surface of the tube. After numerous burner passes along the length of the tube to deposit the layers, the tube is ^{exposed to elevated temperatures (e.g. 1900 to 2000 °} C.) through the burner for several passes in order to shrink the tube. In a final slack, the tube is then collapsed, resulting in a massive rod-shaped preform.

Ein Problem tritt auf, wenn das Material der Kernschich-A problem arises when the material of the core layer

ten einen flüchtigen Dotierstoff, wie Germaniumoxid und/oder Phosphorpentoxid enthält, so daß die erhöhten Temperaturen, die zur Erweichung der Rohrwandung während der Schrumpfungs- und Kollabierungsdurchgänge erforderlich sind, eine Verdampfung und Verlust des Dotierstoffs aus den niedergeschlagenen Kernschichten nach sich ziehen können. Dieses wird dort die Dotierstoff konzentration unerwünscht ändern, was zu einer entsprechenden Änderung des Brechungsindexprofils im Kern der resultierenden Vorform führt.ten a volatile dopant such as germanium oxide and / or contains phosphorus pentoxide, so that the elevated temperatures that soften the pipe wall during the shrinkage and collapse passages are required, evaporation and loss of the Dopant from the deposited core layers can result. This becomes the dopant there Change concentration undesirably, which leads to a corresponding change in the refractive index profile in the Core of the resulting preform leads.

Nach der US-PS 41 65 224 (Irven et al.) wird versucht, dieses Verdampfungsproblem zu lösen durch Hindurchschicken einer Gasmischung, die Sauerstoff und ein Halogenid oder ein Oxihalogenid des das flüchtige Oxid bildenden Elementes enthält, durch das Rohr während der Schrumpf-Durchgänge. Bei der heißen Zone reagieren beispielsweise das Chlorid und Sauerstoff zum Erhalt von Germaniumoxid und Chlor. Das solcherart gebildete Germaniumoxid neigt zur Dissoziierung und zur Bildung von Germaniummonoxid und Sauerstoff. Das überschüssige Germaniummonoxid sucht die Gleichgewichtsverdampungsreaktion in umgekehrte Richtung zu treiben und dadurch den Verlust an Germaniumoxid aus dem Oberflächenbereich der Rohrinnenwandung zu unterdrücken.According to US-PS 41 65 224 (Irven et al.) An attempt is made to solve this evaporation problem by passing through a gas mixture containing oxygen and a halide or containing an oxyhalide of the volatile oxide forming element, through the tube during the Shrink passages. In the hot zone, for example, the chloride and oxygen react to obtain Germanium oxide and chlorine. The germanium oxide thus formed tends to dissociate and form Germanium monoxide and oxygen. The excess germanium monoxide seeks to drive the equilibrium evaporation reaction in reverse and thereby to suppress the loss of germanium oxide from the surface area of the inner wall of the pipe.

Obgleich sich diese Methode als wirksam hinsichtlich eines verbesserten Brechungsindexes des Vorform-Kerns erwiesen hat, wurde die Halogenid- und Sauerstoffströmung ins Rohrinnere bewußt abgeschaltet, da es nicht länger möglich ist, weiterhin Gase durchströmen zu lassen. Demgemäß kann während des Kollabierungs-Durchgangs die Verflüchtigung von Germaniummonoxid und/oder Germaniumoxid stattfinden, was die Germaniumoxidkonzentration in der inneren Schicht des Kernes der Vorform schädlich ändert und zu einer Einsattelung im Brechungsindexverlauf führt.Although this approach is effective in improving the index of refraction of the preform core has proven, the flow of halide and oxygen into the interior of the pipe was deliberately switched off because it was not it is longer possible to continue to let gases flow through. Accordingly, during the collapse passage the volatilization of germanium monoxide and / or Germanium oxide takes place, which is the germanium oxide concentration in the inner layer of the core of the preform harmful changes and leads to a dip in the refractive index curve.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, dem abzuhelfen.The object of the invention is therefore to remedy this.

Gemäß der Erfindung ist diese Aufgabe für das Verfahren der vorausgesetzten Art mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruches 1 gelöst. According to the invention, this is the task for the method of the assumed type with the characterizing features of claim 1 solved.

Hiernach wird im Prinzip ein Verfahren zum Herstellen einer Lichtleiter-Vorform angegeben, wobei eine Mehrzahl dotierter Glasschichten, die ein flüchtiges Oxid eines Elementes enthalten, auf der Innenfläche eines Glasrohrs niedergeschlagen werden. Eine Heizzone überquert dann wiederholt die Länge des Rohrs bei erhöhterHereafter, in principle, there is a method of manufacturing a light guide preform, wherein a plurality of doped glass layers comprising a volatile oxide of an element are deposited on the inner surface of a glass tube. Crossed a heating zone then repeats the length of the tube at increased

Temperatur, um das Rohr einer Schrumpfung zu unterwerfen und während eines letzten Heizzonendurchgangs einer schließlichen Kollabierung. Eine Gasraischung, die Sauerstoff und ein Halogenid oder ein Oxihalogenid des Elements enthält, strömt während der Schrumpfungsdurchgänge von einer Gaseingangsleitung durch das Rohr. Die Gasmischung fährt während des letzten Heizzonendurchgangs fort, innerhalb wenigstens eines Teils der Gaseingangs leitung zu strömen.Temperature to subject the pipe to shrinkage and an eventual collapse during a final heat zone pass. A gas mixture, the oxygen and a halide or an oxyhalide of the element contains, flows from a gas inlet conduit through the pipe during the shrinkage passages. the Gas mixing continues during the final heating zone pass, within at least a portion of the gas inlet line to flow.

Der hiermit erreichte Vorteil ist vor allem eine praktische Beseitigung der Brechungsindexeinsattelung im Brechungsindexprofil des Kerns der resultierenden Vorform.The advantage achieved in this way is above all a practical elimination of the refractive index saddling in the Refractive index profile of the core of the resulting preform.

Nachstehend ist die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen und den begleitenden Zeichnungen beschrieben; es zeigen:The invention is described below with reference to exemplary embodiments and the accompanying drawings; show it:

Fig. 1 bis 3 den Verfahrensablauf bei der Herstellung einer Lichtleiter-Vorform,1 to 3 show the process sequence during manufacture a light guide preform,

Fig. 4 eine bei der Herstellung einer Lichtleiter-Vorform benutzten Glasdrehbank,4 shows a glass lathe used in the production of a light guide preform,

Fig. 5 ein Diagramm zur Darstellung des Germaniumoxid-Fig. 5 is a diagram showing the germanium oxide

konzentrationsprofils im Kern einer nach bekannten Methoden hergestellten Stufenindexvorform,concentration profile in the core of a known Step index preform made by methods,

Fig. 6 ein Diagramm zur Darstellung des Germaniumoxidkonzentrationsprofils im Kern einer nach dem vorliegenden Verfahren hergestellten Stufenindex-Vorform, 6 is a diagram showing the germanium oxide concentration profile in the core of a step index preform manufactured according to the present process,

Fig. 7 eine schematische Ansicht der Vorform während des Kollabierungsdurchgangs und7 is a schematic view of the preform during the collapse pass and FIG

Fig. 8 eine weitere Ausführungsform des vorliegenden VorformherStellungsprozesses.Fig. 8 shows another embodiment of the present Preform manufacturing process.

Fig. 1 bis 3 zeigen generell die Schritte bei der Vorformherstellung im MCVD-Verfahren. So zeigt Fig. 1 ein Teil eines Quarzglasrohrs 11, dessen Wandstärke etwa 2 mm, dessen Außendurchmesser 16 mm und dessen Länge etwa 100 cm betragen. Fig. 2 zeigt das Rohr 11 nach seiner Beschichtung mit einer Mehrzahl dotierter Schichten 12 auf der Innenseite. Die Schichten haben bei Herstellung einer Vorform mit Brechungsindexstufenprofil sämtlich praktisch denselben Brechungsindex. Bei Herstellung einer Vorform mit einem Gradienten im Brechungsindexprofil nimmt der Brechungsindex in aufeinanderfolgend niedergeschlagenen Schichten zu. Fig. 3 zeigt das RohrFigures 1 through 3 generally show the steps involved in preform making in the MCVD process. Thus, Fig. 1 shows a Part of a quartz glass tube 11, the wall thickness of which is approximately 2 mm, its outer diameter 16 mm and its length be about 100 cm. 2 shows the tube 11 after it has been coated with a plurality of doped layers 12 on the inside. The layers all have a refractive index step profile when a preform is made practically the same index of refraction. When producing a preform with a gradient in the refractive index profile the refractive index increases in successively deposited layers. Fig. 3 shows the tube

_ Q —_ Q -

mit den hierin niedergeschlagenen Schichten nach der Kollabierung zum Erhalt einer massiven Lichtleiter-Vorform 13, aus der dann ein Faser-Lichtleiter gezogen werden kann.with the layers deposited here after Collapse to obtain a solid light guide preform 13, from which a fiber light guide is then drawn can be.

Fig. 4 zeigt in schematischer Abbildung eine Glasdrehbank 14, wie diese zur Herstellung der Lichtleiter-Vorform 13 benutzt wird. Das Ausgangsglasrohr 11 wird zwischen synchron drehbaren Einspannfuttern 21-21 eingespannt. Während des Rohr 11 gedreht wird, wird es durch einen Gas-Sauerstoff-Brenner 22 erhitzt, der die Länge des Rohrs von links nach rechts langsam überquert und nach dem Durchgang wieder rasch nach links verbracht wird, wonach dann das Ganze so oft wie nötig wiederholt wird. Reaktionsmitteldämpfe und Gas passieren eine Gasexngangsleitung 23 und gelangen in das Innere des Rohrs 11. Wenn der Reaktionsmitteldampf die vom Brenner 22 erzeugte Heizzone (etwa 1500 bis 1600 C) erreicht, werden Oxide erzeugt, die sich vor der Heizzone, d. h. stromabwärts hiervon, auf der kühleren Innenfläche des Rohrs 11 niederschlagen. Dampf und nicht niedergeschlagene Partikel verlassen des Rohr durch das Abzugsrohr 24. Es werden eine Vielzahl solcher Durchgänge (beispielsweise 50) durchgeführt, bis eine vorbestimmte Dicke der Schicht 11 erreicht ist.Fig. 4 shows a schematic illustration of a glass lathe 14, as used to manufacture the light guide preform 13. The starting glass tube 11 is clamped between synchronously rotating chucks 21-21. While the tube 11 is rotated, it will heated by a gas-oxygen burner 22, which the Slowly crossed the length of the pipe from left to right and quickly moved to the left again after the passage after which the whole thing is repeated as often as necessary. Reactant vapors and gas pass a gas outlet line 23 and pass into the interior of the pipe 11. When the reactant vapor the heating zone generated by burner 22 (approx. 1500 to 1600 C) reached, oxides are generated, which are in front of the heating zone, i. H. downstream of this, on the cooler one Precipitate the inner surface of the tube 11. Steam and undeposited particles leave the pipe through the flue pipe 24. A plurality of such passes (e.g. 50) are made until one predetermined thickness of the layer 11 is reached.

Sodann wird das Rohr 11 mit den niedergeschlagenen dotierten Glasschichten 12 auf erhöhte Temperatur (z. B. auf 1900 bis 2000 °C) erhitzt, um ein Erweichen, Schrumpfen und schließliches Kollabieren des Rohrs zu veranlassen und die massive Lichtleiter-Vorform 13 (Fig. 3) zu erzeugen. Dieses wird bewerkstelligt durch Erhöhen der Temperatur des Brenners 22 um eine lokalisierte, verstärkte Heizzone zu erzeugen, die langsam (z. B. mit O,5 bis 2 mm pro Sekunde) längs des Rohrs 11 bewegt wird, um ein lokalisiertes Erweichen der Rohrwandung zu bewirken.Eine Reihe (z. B. 6) Überquerungen der intensivierten Heizzone längs des Rohrs 11 führt zu einem progressiven Schrumpfen des Rohrdurchmessers bis bei einem schließlichen Kollabierungsdurchganq, bei dem die Heizzone von rechts nach links bewegt wird, das Rohr mit seiner Innenbeschichtung 12 vollständig kollabiert, und so die massive Vorform 13 erhalten wird.Then the tube 11 is doped with the precipitated Glass layers 12 heated to an elevated temperature (e.g. to 1900 to 2000 ° C) in order to soften, To cause shrinkage and eventual collapse of the tube and the solid light guide preform 13 (Fig. 3) to generate. This is accomplished by increasing the temperature of the burner 22 by a localized, to generate a reinforced heating zone that slowly (e.g. at 0.5 to 2 mm per second) along the pipe 11 is moved to cause localized softening of the pipe wall. A series (e.g. 6) crossings the intensified heating zone along the pipe 11 leads to a progressive shrinkage of the pipe diameter until at a final collapse pass, in which the heating zone is moved from right to left, that Tube with its inner coating 12 completely collapsed, and so the solid preform 13 is obtained.

Ein Problem tritt auf, wenn das Kernmaterial einen flüchtigen Dotierstoff wie Germaniumoxid (Germania - GeO„) Phosphorpentoxid oder dergleichen enthält. Die zur Erweichung der Rohrwand erforderlichen erhöhten Temperaturen können auch nennenswerte Verflüchtigung und Verluste des flüchtigen Dotierstoffes aus den niedergeschlagenen Schichten verursachen, wodurch das Brechungs-A problem arises when the core material contains a volatile dopant such as germanium oxide (Germania - GeO ") Contains phosphorus pentoxide or the like. The softening ones The elevated temperatures required of the pipe wall can also cause significant volatilization and losses of the volatile dopant from the deposited layers, whereby the refractive

indexprofil der resultierenden Vorform 13 geändert wird.index profile of the resulting preform 13 is changed.

Die vorstehend genannte US-PS 41 65 224 beschreibt die Minimalisierung einer solchen Dotierstoffverflüchtigung, wobei eine Mischung von Sauerstoff und einem Halogenid des flüchtigen DotierStoffs während der Schrumpfungsdurchgänge durch das Rohr 11 geschickt wird. So werden vor dem Kollabieren eines Quarzglasrohrs 11, das mit germaniumdotierten Siliciumoxidschichten 12 innenbeschichtet ist, während den Schrumpfungsdurchgängen Germaniumtetrachlorid und Sauerstoff von der Gaseingangsleitung 23 durch das Rohr 11 hindurchgeschickt. Diese Methode unterdrückt den Verlust an Germaniumoxid von der Oberflächenzone der im Rohr 11 niedergeschlagenen Schichten 12 und führt zu einer praktisch konstanten Germaniumoxidkonzentration von etwa 12 Gew.-% mit einer schmalen, nahezu O Gew.-% erreichenden Einsattelung (Fig. 5) bei der Herstellung einer Stufenindexfaser-Vorform 13. Diese zurückbleibende Einsattelung rührt daher, daß während des letzten Kollabierungsdurchgangs das Germaniumtetrachlorid daran gehindert ist, durch das Rohr 11 weiterzuströmen, wenn dieses beim Kollabierungsdurchgang anfänglich (rechts in Fig. 7) verschlossen wird. Deshalb wurde bisher der Germa-The aforementioned US-PS 41 65 224 describes the minimization of such dopant volatilization, wherein a mixture of oxygen and a halide of the volatile dopant during the Shrinking passages are sent through the tube 11. Before a quartz glass tube 11, which is internally coated with germanium doped silicon oxide layers 12 during the shrinkage passes Germanium tetrachloride and oxygen are sent from the gas inlet line 23 through the pipe 11. This method suppresses the loss of germanium oxide from the surface zone of the layers 12 deposited in the pipe 11 and leads to a practically constant one Germanium oxide concentration of about 12% by weight with a narrow depression reaching almost 0% by weight (FIG. 5) in the production of a step-index fiber preform 13. This remaining dip is due to the fact that during the last collapse pass the germanium tetrachloride is prevented from flowing further through the pipe 11 when this is initially closed during the collapse passage (on the right in FIG. 7). That is why the German

niumtetrachlordifluß während des Kollabierungsdurchganges abgeschaltet, was zu Verdampfung von Germaniumoxid aus der Innenfläche der Rohrwandüng führt.nium tetrachloride flow during the collapse passage switched off, which leads to evaporation of germanium oxide from the inner surface of the Rohrwandüng.

Im vorliegenden Verfahren wird nun die Germaniumtetrachlorid- und Sauerstoffströmung durch ein Regulierventil 31 in wenigstens einem Teil der Eingangsgasleitung 23 während des Kollabierungsdurchgangs aufrechterhalten. Dieses führt - überraschenderweise - zu einer praktisch vollständigen Beseitigung der Einsattelungsstelle im Germaniumkonzentrationsverlauf von etwa 12 Gew.-%, was sich direkt in einem entsprechenden Brechungsindexprofil der Vorform 13 äußert (Fig. 6). In Fig. 7 ist eine Aüsführungsform zur Durchführung dieses Verfahrens bei Einleitung des Kollabierungsdurchganges dargestellt. Hierbei bewegt sich der Brenner vom Abzugsrohr 24 zur Eingangsgasleitung 23 hin, und die Brennertemperatur ist etwa 2000 ⁰C. Die Größe der Bohrungsöffnung des Rohrs 11 wird während der vorausgegangenen Schrumpfungsdurchgänge auf einen Durchmesser von etwa 3 mm reduziert, bevor mit dem Kollabierungsdurchgang begonnen wird.In the present method, the flow of germanium tetrachloride and oxygen is now maintained through a regulating valve 31 in at least part of the inlet gas line 23 during the collapse passage. This leads - surprisingly - to a practically complete elimination of the dip point in the germanium concentration profile of about 12% by weight, which is expressed directly in a corresponding refractive index profile of the preform 13 (FIG. 6). FIG. 7 shows an embodiment for carrying out this method when the collapse passage is initiated. Here, the torch moves from the discharge pipe 24 to the inlet gas line 23 back, and the burner temperature is about 2000 ⁰ C. The size of the bore opening of the tube 11 is reduced mm during the previous shrinking passes to a diameter of about 3, before starting the Kollabierungsdurchgang.

Obgleich der Mechanismus nicht voll verstanden wird, scheint eine Unterbrechung des Germaniumtetrachlorid-Although the mechanism is not fully understood, an interruption of the germanium tetrachloride

dampfflusses im Gaseingangsrohr 21 zu einer Verflüchtigung von Germaniumoxid aus der letzten im Rohr 11 niedergeschlagenen Schicht 12 zu resultieren, was zu der Brechungsindexeinsattelung (Fig. 5) führt. Es wird angenommen, daß durch Aufrechterhalten des Germaniumtetrachlorid- und Sauerstoff flusses durch wenigstens einen Teil der Gaseingangsleitung 23 jeglicher Dampf der aus dieser Leitung in die Bohrung diffundiert und/oder fließt, während das Rohr 11 kollabiert, Germaniumtetrachlorid enthalten wird, was zu einer stationären Germaniumtetrachlorid- und GeO₂~Umgebung in der Bohrung des Rohrs 11 führt. Von einer solchen Gasatmosphäre wurde gefunden, daß sie den Verlust an Germaniumoxid aus der zuletzt niedergeschlagenen Schicht 12 im Rohr 11 praktisch vollständig beseitigt.vapor flow in the gas inlet pipe 21 to result in volatilization of germanium oxide from the last layer 12 deposited in the pipe 11, which leads to the refractive index saddling (FIG. 5). It is believed that by maintaining the flow of germanium tetrachloride and oxygen through at least a portion of the gas inlet line 23, any vapor that diffuses and / or flows from this line into the wellbore while the tube 11 is collapsing will contain germanium tetrachloride, resulting in stationary germanium tetrachloride - And GeO ₂ ~ environment in the bore of the tube 11 leads. Such a gaseous atmosphere has been found to virtually completely eliminate the loss of germanium oxide from the last deposited layer 12 in the tube 11.

Bei einer weiteren Ausführungsform des Verfahrens wird nach dem Niederschlagen der Schichten 12 ein Teil des Rohrs 11 kollabiert, und zwar der Teil, der beim der Eingangsgasleitung 23 gegenüberliegenden Ende liegt, wie dieses in Fig. 8 dargestellt ist. Der Brenner, der die erhöhte Temperatur liefert, wird dann auf die Eingangsleitung 23 hin bewegt und sodann rasch nach rechts zurückgeführt. Dieser Durchgang wird dann wiederholt (etwa 6 Durchgänge), um das Rohr 11 zuIn a further embodiment of the method is after the deposition of the layers 12 a part of the tube 11 collapsed, namely the part that at the end opposite the inlet gas line 23, as shown in FIG. Of the Burner providing the elevated temperature is then moved towards input line 23 and then quickly returned to the right. This pass is then repeated (about 6 passes) to close the tube 11

schrumpfen und schließlich zu kollabieren. Während dieser Durchgänge, kann das Germaniumtetrachlorid nicht das Rohr 11 passieren, aber seine Strömung durch einen Teil der Gaseingangsleitung 23 wird durch öffnen des Ventils 31 aufrechterhalten. Von dieser Methode wurde gefunden, daß sie die Brechungsindexeinsattelung im Kern der resultierenden Vorform 13 wesentlich verringert. shrink and eventually collapse. During these passes, the germanium tetrachloride cannot pass the pipe 11, but its flow through one Part of the gas inlet line 23 is maintained by opening the valve 31. From this method was found that it significantly reduces the refractive index saddleback in the core of the resulting preform 13.

Das Verfahren ist nicht auf Vorformen beschränkt, die im MCVD-Verfahren hergestellt werden. Jedes Verfahren, bei dem Glasschichten mit einem flüchtigen Dotierstoff auf der Innenseite eines zu kollabierenden Glasrohrs zwecks Herstellung einer Lichtleiter-Vorform niedergeschlagen werden, kann gleichermaßen angewandt werden.The process is not limited to preforms that are produced using the MCVD process. Any procedure at the glass layers with a volatile dopant the inside of a glass tube to be collapsed for the purpose of producing a light guide preform can be applied equally.

Claims

BLUMBACH. WESER: - BERGEN.- · KHAMER ZWIRNER - HOFFMANN

PATENT LAWYERS IN MUNICH AND WIESBADEN

Patenlconsult RadeckeslraBe 43 8000 Mündien 60 Telephone (089) 883603/883604 Telex 05-212313 Telegrams Patentconsult Patentconsult Sonnenborger StraOe 43 6200 Wiesbaden Telephone (06121) 562943/561998 Telex 04-186237 Telegrams Palentconsult

Western Electric Company, Incorporated

New York, NY _f USA Saifi 3

Process for the production of a light guide

Preform

Claims

i, Method of making a light guide preform by

- Deposition of a large number of doped glass layers that contain a volatile oxide of an element, on the inner wall of a glass tube,

- repeated routing of a heating zone along the pipe, to shrink the pipe and eventually collapse during one final heat zone pass, and

- Flowing out a gas mixture containing a halide or an oxyhalide of the element a gas inlet line during the shrinkage

Munich: R. Kramer Dipl.-Ing. · W. Weser Dipl.-Phys. Dr. rer. nat. · E. Hoflmann Dipl.-Ing. Wiesbaden: P. G. Blumbach Dipl.-Ing. · P. Bergen Prof. Dr. jur. Dipl.-Ing., Pat.-Ass., Pat.-Anw. until 1979 G. Zwirner Dipl.-Ing. Dipl.-W.-Ing.

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passages through the pipe,
marked by

- Go on! the gas mixture flow within at least part of the gas inlet line during the last heat zone passage.

Gate driver according to claim * _r characterized in that σ e k e η η

- a gas mixture is used that contains oxygen and germanium tetrachloride.