DE3117108A1 - Gas-absorptionsfuehler - Google Patents
Gas-absorptionsfuehlerInfo
- Publication number
- DE3117108A1 DE3117108A1 DE19813117108 DE3117108A DE3117108A1 DE 3117108 A1 DE3117108 A1 DE 3117108A1 DE 19813117108 DE19813117108 DE 19813117108 DE 3117108 A DE3117108 A DE 3117108A DE 3117108 A1 DE3117108 A1 DE 3117108A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- mirror
- mirrors
- pair
- reflector
- pairs
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N21/03—Cuvette constructions
- G01N21/031—Multipass arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/314—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry with comparison of measurements at specific and non-specific wavelengths
- G01N2021/3181—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry with comparison of measurements at specific and non-specific wavelengths using LEDs
Description
Oil/
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Gas-Absorptionsfühler
nach dem Gattungsbegriff des Anspruches 1. Bei derartigen
Absorptionsfühlern ist die Empfindlichkeit und die Meßgenauigkeit
um so größer, je größer die optische Weglänge eines das Gas durchlaufenden Strahles zwischen einer Strahlenquelle und
einem Strahlenempfänger ist.
Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Gas-Absorptionsfühler
anzugeben, der bei einer geringen geometrischen
Abmessung eine große optische Weglänge aufweist. Die Lösung dieser Aufgabe gelingt gemäß der im Anspruch 1 gekennzeichneten
Erfindung. Weitere vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung
sind den Unteransp^ünhen entnehmbar.
Bei der vorliegenden Erfindung läßt sich durch Multiplikation
der optischen Weglänge zwischen einer Strahlenquelle und einem
Reflektor durch einen in geeigneter Weise ausgebildeten Spiegel
beispielsweise eine optische Gesamtweglänge von ungefähr zwei
Metern vorgeben, wenn der Krümmungsradius des sphärischen Reflektors
lediglich einen Radius von ungefähr acht Zentimetern aufweist. Dies führt bei ausreichender Weglänge zu einem sehr
kompakten Meßgerät.
Anhand eines in den Figuren der beiliegenden Zeichnung dargestellten
Ausführungsbeispieles sei im folgenden die Erfindung
näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine vereinfachte schematische Seitenansicht eines
erfindungsgemäßen Absorptionsfühlers, wobei auf
die Darstellung des elektronischen Auswerteschaltkreises
verzichtet wurde;
Fig. 2 den Strahlenweg zwischen zwei Spiegelpaaren in
einer Draufsicht;
οιιτοη
οι I / . w J
Fig. 3 eine vollständige Draufsicht auf einen Ring^-
spiegel mit einer Darstellung des Strahlenvei—
laufes zwischen einer Lichtquelle und einem
Detektor;
Fig. 4 einen Querschnitt durch ein Spiegelpaar zur Veranschaulichung
der Lichtstrahlenablenkung an den Spiegelflächen; und
Fig. 5 ein Blockdiagramm des elektronischen Auswerteschaltkreises
für den erfindungsgemäßen Absorpt ionsfühler.
Gemäß Fig. 1 umfaßt der Absorptionsfühler 110 einen spiegelnden
Reflektorteil 111 in Form eines Kugelabschnittes, Der Kugelabschnitt
kann durch eine Halbkugel gebildet werden, in welchem Fall der Reflektorteil 111 des Gehäuses direkt auf einer ebenen
Grundplatte 112 sitzt. In Fig. 1 bildet der Reflektor 111 einen
gegenüber einer Halbkugel kleineren Kugelabschnitt, so daß er
über eine geeignete Seitenwand 113 mit der Grundplatte 112 ve/—
bunden ist. Auf der Grundplatte 112 ist eine Spiegelanordnung
angeordnet, wobei eine-Draufsicht auf diese Spiegelanordnung
am besten aus Fig. 3 erkennbar ist. Die Spiegelanordnung 14
erstreckt sich kreisförmig um eine Linie L, die senkrecht zu dem Scheitelpunkt des sphärischen Reflektors 111 verläuft. Die
ringförmige Spiegelanordnung 14 umfaßt wenigstens acht Spiegelpaare.
Bei dem in Fig. 3 dargestellten Ausführungsbeispiel besteht
die Anordnung aus 26 gleichen Segmenten, wobei durch 24 Segmente 12 in gleichem Abstand voneinander kreisförmig um die
Linie L angeordnete Spiegelpaare gebildet werden,. Von den verbleibenden
zwei Segmenten umfaßt ein Segment zwei Strahlungsquellen S1 und S„ und das andere Segment zwei Strahlungsdetektoren
D1 und D„. Ein von den Strahlungsquellen S1 und S„ zu dem
Scheitelpunkt des Reflektors 111 gerichteter Strahl bildet einen
WinkeloL mit der senkrechten Linie L. Die Spiegele1emente A und
B bzw, E und F der Spiegelpaare 1 und 2 sind in Bezug auf die Horizontal- und Vertikai ebene jeweils verkantet. Aus Fig. 1
geht hervor, daß die Stützfläche 15 unter einem Winkel O^ gegen
die Hörizontalebene geneigt ist, so daß die Außenkante 16 der
Spiegelelemente A und F höher liegt als deren Innenkante 17.
Ferner sind die Spiegelflächen der Spiegelelemente eines jeden
Spiegelpaares unter einem Winkel 90 -oL zueinander geneigt, wie
dies aus Fig. 4 hervorgeht. Dieser Winkel errechnet sich wie folgt: cL = tan B9/L„, wobei L„ durch den Abstand zwischen
dem Scheitelpunkt des Reflektors und dem Auftreffpunkt des
Strahles auf dem Sp i egel el ement A vorgegeben ist und B., dem
halben Abstand zwischen den Auftreffpunkten auf den Spiegelelementen
A und B entspricht. Diese Größen L„ und B sind in
den Figuren 1 und 2 entsprechend dargestellt. Der Spiegel A bildet einen Winkel von 45° mit der Achse des Lichtstrahles 20'.
Die Spiegelflächen der Spiegelelemente in jedem Spiegelpaar
schließen somit einen Winkel von 90 - cC miteinander ein, so daß
die Achse eines Lichtstrahles der von dem Scheitelpunkt des
Reflektors auf das Element A fällt, zu dem Element B reflektiert
wird und zurück zu dem Scheitelpunkt des Reflektors verläuft.
Statt der Vorgabe eines Winkels von 45 zwischen der Achse des
Lichtstrahles 20'und der Fläche des Spiegelelementes A kann
gewünschtenfalls auch die Winkelhalbierende des durch das
Spiegelpaar gebildeten Winkels
des Reflektors gerichtet sein.
des Reflektors gerichtet sein.
Spiegelpaar gebildeten Winkels von 90° ^ ^L1 zu dem Scheitelpunkt
Die Strahlenquellen S1 und S„ sind unterhalb der Spiegelebene
angeordnet und sie richten einen Strahl 20 zu dem sphärischen Reflektor 111. Sie können durch Infrarot-Leuchtdioden ClRLED)
oder durch eine Laser-Lichtquelle mit geeigneter Wellenlänge
vorgegeben sein. Unter Licht sei im Zusammenhang mit der vorliegenden
Erfindung eine Strahlung irn Infrarotbereich bezeichnet
Gemäß den Figuren 2 und 3 wird die von der Strahlungsquelle aus-
0 '■ Ί ■"
01 S /
gesandte Infrarotstrahlung durch den sphärischen Spiegelreflektor
auf den Spiegelabschnitt A des Spiegelpaares 1 zurückgeworfen,
von diesem zu dem Spiege1abschnitt B reflektiert,
verläuft von dem Spiegelabschnitt B über den sphärischen
Spiege1reflektor zu dem Spiegelabschnitt E des Spiegelpaares 2,
wird von diesem zu dem Spiegelabschnitt F reflektiert, gelangt
sodann von dem Spiegelpaar 2 zu dem Spiegelpaar 3 usw. Durch Reflektion an dem sphärischen Spiegelreflektor und den einzelnen
Spiegelpaaren pflanzt sich die Strahlung bis zu dem Spiegelpaar
12 fort und erreicht den Strahlendetektor D , Ein Hohlspiegel
R, der an einem Träger 21 über der Spiegelanordnung
angeordnet ist, fängt einen kleinen Teil der von den Strahlenquellen
ausgesandten Strahlung auf und richtet diese zu dem Strahlendetektor D zur Vorgabe eines Referenzsignales, um den
Einfluß von Intensitätsänderungen der Strahlenquelle auszuschalten.
Es ist die Aufgabe der Spiegelpaare, den wirksamen Ort der
Strahlenquelle radial zu verschieben, so daß der Strahl in der
Nähe des Zentrums des sphärischen Reflektors reflektiert wird. Im dargestellten Ausführungsbeispiel ergibt sich eine Multiplikation
der in etwa durch den Radius r des sphärischen Reflektors 111 vorgegebenen Weglänge mit einem Faktor 24.
Bei einem Reflektorradius von 8 cm beträgt somit die optische
Wegstrecke ungefähr zwei Meter.
Die Infrarot-Leuchtdioden S1 und S„ strahlen mit eng benachbarten
WeI 1 en 1 ängen Λ.1 und 7\2, wobei diese Wellenlängen nicht
mit dem Absorptionsband des zu messenden Gases zusammenfallen.
Sie müssen auf dem gleichen Träger angeordnet sein oder so dicht wie möglich nebeneinander integriert sein, so daß die von
beiden Dioden ausgehende Strahlung auf einen entsprechend dimensionierten Detektor auftrifft.
Oi i .' - - -υ
-T-
Ein Blockdiagramm eines elektronischen Auswerteschaltkreises
ist in Fig. 3 dargestellt. Das mittlere Strahlungsband der
Leuchtdioden liegt bei den Wellenlängen TV 1 und "\. 2 und die
Leuchtdioden werden abwechselnd durch eine Rechteckwellen-Treiberschaltung
30 angesteuert. Wenn kein absorbierendes Gas
in der Zelle vorliegt, so ist das Antwortsignal der Detektoren
D1 und D„ für beide WeI 1 enl ängen TV. 1 und1\,2 gleich groß und es
entsteht kein Wechselspannungssignal am Ausgang des Wechselspannungs-Di
f f erenzverstärkers 32. Die WeI 1 enl ängen7\,1 und TV. 2
sind eng genug beieinander gewählt, so daß durch Staub·»- und
Feuchtigkeitsänderungen nahezu gleiche Signaländerungen hervor—
gerufen werden. Das Vorliegen eines die Strahlung mit der Wellenlänge "^, 1 absorbierenden Gases dämpft die von der Strahlenquelle
mit der WeI1enlängeK1 ausgesandte Strahlung, während die von
der Strahlenquelle mit der WeI1enlänge \ 2 ausgesandte Strahlung
nicht gedämpft wird. Hierbei tritt ein Wechselspannungssignal
am Ausgang des Verstärkers 32 auf, dessen Amplitude der Konzentration
des absorbierenden Gases proportional ist und das auf der Anzeigeeinrichtung 34 angezeigt werden kann.
Der Aufbau des Gerätes 10 kann so getroffen werden, daß sowohl die Strahlenquellen S1 und S„ als auch die Strahlendetektoren
D1 und D„ durch Infrarotfilter in Form von vorgesetzten Fenstern
geschützt sind, so daß sie von dem durch das Gerät fließenden Gas abgetrennt sind. Das Gas kann über nicht dargestellte EIn-
und Auslaßanschlüsse zugeführt werden oder auch das Gerät fre!
durchströmen, was von dem jeweiligen Anwendungsfall abhängt.
Claims (7)
1. Gas-Absorptionsfühler mit einer von dem Gas gefüllten
Sensorkammer, in der eine Strahlenquelle und ein Strahlendetektor
angeordnet ist, gekennzeichnet durch folgende Merkmale:
die Sensorkammer C113) ist teilweise als sphärischer
Reflektor (111) ausgebildet; und
ein aus einer Vielzahl von Spiegelpaaren CA, B; E, F) bestehender
Ringspiegel (114) ist den Reflektor (111) gegenüber angeordnet,
wobei die Spiegelflächen der Spiegelpaare einen
annähernd rechten Winkel miteinander einschließen, sodaß
ein von der Strahlenquelle (S) ausgehender Strahl zuerst
zu dem Krümmungsscheitel des Reflektors, von dort zu einer
Empfangs-Spiegelfläche (A) eines ersten Spiegelpaares, dann
zu einer Reflexions-Spiegelfläche (B) des ersten Spiegelpaares,
von dort über den Reflektor zu einer Empfangsspiegelfläche (E) eines zweiten Spiegelpaares, dann zu
einer Reflexions-Spiegelfläche (F) des zweiten Spiegelpaares,
von dort über den Reflektor zu einem dritten Spiegelpaar usw. bis zum Empfang nach Durchlauf aller Spiegelpaare
durch den Strahlendetektor (D) verläuft.
/2
Oi I / i JU
2. Fühler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Spiegelflächen CA, B; E,F) eines jeden Spiegelpaares einen
Winkel von 90 - &1 zwischen sich einschließen, wobei
Ck = tan B„/L„ ist und B„ denn halben Abstand zwischen den
Strahlenauftreffpunkten auf den Spiegelflächen eines Spiegelpaares
entspricht und L„ die Stι
fläche und Reflektor darstellt.
fläche und Reflektor darstellt.
paares entspricht und L„ die Strahllänge zwischen Spiegel-
3. Fühler nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensorkammer O 13) einen den. Ringspiegel CiI1O tragenden
Basisabschnitt C112) aufweist.
4. Fühler nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der
Reflektor C111) haibkugelfömig ausgebildet ist und sich
direkt auf dem Basisabschnitt C112) abstützt.
5. Fühler nach einem der Ansprüche 1 bis k, dadurch gekennzeichnet,
daß der Ringspiegel C14) wenigstens acht Spiegelpaare
aufweist.
6. Fühler nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Ringspiegel
Ci1O zwölf Spiegelpaare aufweist.
7. Fühler nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet,
daß der Strahlendetektor CD) und die Strahlenquelle
CS) symmetrisch zu der Trennlinie der beiden Spiegelflächen
eines Spiegelpaares angeordnet sind.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US06/146,818 US4322621A (en) | 1980-05-05 | 1980-05-05 | Folded path absorption cell gas sensor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3117108A1 true DE3117108A1 (de) | 1982-03-04 |
Family
ID=22519120
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19813117108 Withdrawn DE3117108A1 (de) | 1980-05-05 | 1981-04-30 | Gas-absorptionsfuehler |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4322621A (de) |
JP (1) | JPS573031A (de) |
CA (1) | CA1153904A (de) |
DE (1) | DE3117108A1 (de) |
FR (1) | FR2481803A1 (de) |
GB (1) | GB2075213B (de) |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4380076A (en) * | 1980-12-31 | 1983-04-12 | International Business Machines Corporation | Apparatus for four side transverse irradiation of a region |
US4785184A (en) * | 1986-05-27 | 1988-11-15 | Spectral Sciences, Inc. | Infrared trace element detection system |
US4899053A (en) * | 1987-10-21 | 1990-02-06 | Criticare Systems, Inc. | Solid state non-dispersive IR analyzer using electrical current-modulated microsources |
US5220402A (en) * | 1989-06-21 | 1993-06-15 | Harvey C. Nienow | Multiple-path gas-absorption cell |
US5468961A (en) * | 1991-10-08 | 1995-11-21 | Fisher & Paykel Limited | Infrared gas analyser and humidity sensor |
US5459566A (en) * | 1994-04-22 | 1995-10-17 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Multiple pass gas absorption cell utilizing a spherical mirror opposite one or more pair of obliquely disposed flat mirrors |
US5742399A (en) * | 1996-04-18 | 1998-04-21 | American Air Liquide, Inc. | Method for stabilizing the wavelength in a laser spectrometer system |
US5963336A (en) * | 1995-10-10 | 1999-10-05 | American Air Liquide Inc. | Chamber effluent monitoring system and semiconductor processing system comprising absorption spectroscopy measurement system, and methods of use |
US5818578A (en) * | 1995-10-10 | 1998-10-06 | American Air Liquide Inc. | Polygonal planar multipass cell, system and apparatus including same, and method of use |
EP0856153A1 (de) * | 1995-10-20 | 1998-08-05 | Orbisphere Laboratories Neuchatel Sa | Zelle mit mehrfachdurchgang und analyseverfahren |
US5949537A (en) | 1996-04-18 | 1999-09-07 | American Air Liquide Inc. | In-line cell for absorption spectroscopy |
US5880850A (en) * | 1996-04-18 | 1999-03-09 | American Air Liquide Inc | Method and system for sensitive detection of molecular species in a vacuum by harmonic detection spectroscopy |
US6084668A (en) * | 1997-07-10 | 2000-07-04 | American Air Liquide Inc. | In-line cell for absorption spectroscopy |
US5835230A (en) * | 1997-07-10 | 1998-11-10 | American Air Liquide Inc. | Method for calibration of a spectroscopic sensor |
FR2767195A1 (fr) * | 1997-12-15 | 1999-02-12 | Commissariat Energie Atomique | Cuve d'absorption pour systeme d'analyse de gaz |
GB2349207A (en) | 1999-04-22 | 2000-10-25 | Shimadzu Research Lab | Measuring attenuation in the intensity of electromagnetic radiation |
US6190327B1 (en) * | 1999-05-05 | 2001-02-20 | Nonin Medical, Inc. | Disposable airway adapter for use with a carbon dioxide detector |
US6442736B1 (en) | 2000-10-03 | 2002-08-27 | L'air Liquide Societe Anonyme A Directoire Et Conseil De Surveillance Pour L'etude Et L'expolitation Des Procedes Georges Claude | Semiconductor processing system and method for controlling moisture level therein |
AU2002306560A1 (en) * | 2001-02-22 | 2002-09-12 | Ion Optics, Inc. | Multi-pass cell for absorption spectroscopy |
US7215428B2 (en) * | 2005-04-08 | 2007-05-08 | Ion Optics, Inc. | Absorption spectroscopy apparatus and method |
WO2008067282A2 (en) * | 2006-11-27 | 2008-06-05 | Nano-Proprietary, Inc. | Sono-photonic gas sensor |
US7777887B2 (en) * | 2007-04-13 | 2010-08-17 | Ion Optics, Inc. | Absorption spectroscopy apparatus and method |
KR101411428B1 (ko) * | 2012-07-12 | 2014-06-24 | 한국과학기술원 | 집광식 휴대용 형광 검출 시스템 |
US9651532B2 (en) * | 2014-02-27 | 2017-05-16 | Honeywell International, Inc. | Multi-point gas detector |
US10451540B2 (en) * | 2015-01-19 | 2019-10-22 | Entegris, Inc. | Multi-pass gas cell with mirrors in openings of cylindrical wall for IR and UV monitoring |
GB2593195B (en) * | 2020-03-18 | 2023-02-22 | Thermo Fisher Scient Ecublens Sarl | Multipass cell |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3319071A (en) * | 1964-11-27 | 1967-05-09 | Gen Motors Corp | Infrared gas analysis absorption chamber having a highly reflective specular internal surface |
US3394253A (en) * | 1965-10-22 | 1968-07-23 | Philips Corp | Infra-red gas analysis apparatus having a cylindrical sample chamber with a smooth reflecting inner surface |
US3792272A (en) * | 1973-01-12 | 1974-02-12 | Omicron Syst Corp | Breath test device for organic components, including alcohol |
US4111531A (en) * | 1976-06-16 | 1978-09-05 | Jersey Nuclear-Avco Isotopes, Inc. | Multi-dimensional corrective system for long radiation beams |
DE2707090A1 (de) * | 1977-02-18 | 1978-08-24 | Siemens Ag | Gasanalysator |
-
1980
- 1980-05-05 US US06/146,818 patent/US4322621A/en not_active Expired - Lifetime
-
1981
- 1981-03-31 CA CA000374297A patent/CA1153904A/en not_active Expired
- 1981-04-23 GB GB8112543A patent/GB2075213B/en not_active Expired
- 1981-04-30 DE DE19813117108 patent/DE3117108A1/de not_active Withdrawn
- 1981-05-01 JP JP6678981A patent/JPS573031A/ja active Pending
- 1981-05-04 FR FR8108810A patent/FR2481803A1/fr active Granted
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
US-Z.: Applied Optics 10, 1971, S. 1892-1898 * |
US-Z.: Applied Optics 5, 1966, S. 1236-1237 * |
US-Z.: The Review of Scientific Instruments 37, 1966, S. 1087-1088 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4322621A (en) | 1982-03-30 |
FR2481803A1 (fr) | 1981-11-06 |
JPS573031A (en) | 1982-01-08 |
CA1153904A (en) | 1983-09-20 |
FR2481803B1 (de) | 1984-12-28 |
GB2075213A (en) | 1981-11-11 |
GB2075213B (en) | 1983-10-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3117108A1 (de) | Gas-absorptionsfuehler | |
DE3119688C2 (de) | ||
DE60030631T2 (de) | Vermessungssystem | |
EP0458223A2 (de) | Vorrichtung zur Messung der Absorption von transparenten Proben mit ungünstiger Aussenform | |
DE3007125A1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur bestimmung der brechungseigenschaften einer testlinse | |
DE2447328A1 (de) | Verfahren zur bestimmung einer speziellen eigenschaft von in einem fluid suspendierten teilchen und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens | |
DE78062T1 (de) | Geraet zur kruemmungsmessung. | |
CH618266A5 (en) | Spectrophotometer. | |
DE3131335C2 (de) | Vorrichtung zur Fernbestimmung eines Stellungsparameters eines Körpers im Raum | |
DE3705143A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur integralen optischen pruefung schaedlicher mechanischer spannungen im bodenteil von flaschen und hohlglaesern | |
DE102012007452A1 (de) | Optische Verschiebungsmesseinrichtung | |
DE3433024C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Fehlerprüfen von Photomasken | |
DE3208737A1 (de) | Optisches mehrstrahl-gasmessgeraet | |
DE2739676C3 (de) | Laser-Anemometer | |
DE3149869C2 (de) | ||
DE1953630C3 (de) | Vorrichtung zum Messen der Geschwindigkeit von Partikeln in einem Strömungsmittel | |
EP0043522B1 (de) | Refraktometer | |
DE3336210A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur fuellstandsmessung | |
DE2421851C3 (de) | Verfahren zur Messung des Mittelwerts der Steigung von gedrehten Fäden | |
DE69721910T2 (de) | Verfahren zur Kalibrierung eines spektroskopischen Gerätes | |
DE2608176C2 (de) | ||
DE10131724B4 (de) | Optisches Absorptions-Messgerät | |
DE3643842C2 (de) | Anordnung zur berührungslosen Bestimmung der räumlichen Lage eines auf der Oberfläche eines Körpers befindlichen Objektpunkts | |
DE1909841C3 (de) | Spektrometer | |
DE4201024A1 (de) | Tragbares spektralphotometer zur in situ untersuchung des absorptionsspektrums eines stoffes |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8130 | Withdrawal |