DE3025233A1 - Uebertragungsvorrichtung fuer ultraschallimpulse in luft - Google Patents

Uebertragungsvorrichtung fuer ultraschallimpulse in luft

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DE3025233A1
DE3025233A1 DE19803025233 DE3025233A DE3025233A1 DE 3025233 A1 DE3025233 A1 DE 3025233A1 DE 19803025233 DE19803025233 DE 19803025233 DE 3025233 A DE3025233 A DE 3025233A DE 3025233 A1 DE3025233 A1 DE 3025233A1
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Shuhei Furuichi
Mitsuhiko Hotta
Takanori Shigihara
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J Morita Manufaturing Corp
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B06B1/00Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
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    • B06B1/0662Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element with an electrode on the sensitive surface
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Description

PAF 994
Kabushiki Kaisha Morita Seisakusho 680 Higashihama Minami-machi, Fushimi-ku, Kyoto-shi, Japan
Übertragungsvorrichtung für Ultraschallimpulse in Luft
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Übertragen von Ultraschallimpulsen in Luft. Sie befaßt sich insbesondere mit einer Vorrichtung zum Übertragen von Ultraschallwellen unter Verwendung von Ultraschalldickenschwingern in einem schmalen Raumwinkel und weitestgehend frei von Störungen, sowie mit einem Sender und einem Empfänger für eine solche Übertragungsvorrichtung.
Zum Übertragen von Ultraschallimpulsen in Luft verwendet man herkömmlicherweise einen Sender und einen Empfänger, der den über die Luft übertragenen Ultraschallimpuls erfaßt und daraus ein elektrisches Signal ableitet, das der
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-C-
Hüllkurve des Ultraschallimpulses entspricht. Um bei industriellen Anwendungen einer solchen Vorrichtung den zu übermittelnden Ultraschallimpuls hinsichtlich seiner Zeitlage genau zu halten, ist es notwendig, im Sender und im Empfänger einen optimalen mechanischen Q-Wert vorzusehen. Bisher erwies es sich jedoch als schwierig, den Sender und den Empfänger ohne unerwünschte Verminderung des mechanischen Q-Wertes zu fertigen. Infolgedessen erzeugt der von dem konventionellen Sender abgegebene Ultraschallimpuls komplizierte Schwingungen, die entsprechend Fig. 2A von langen Nachschwingungen begleitet werden. Es wurde daher als sehr schwierig erachtet, den Impuls mittels des Empfängers exakt aufzunehmen und elektrisch derart auszuwerten, daß die Zeitlage des Impulses genau aufrechterhalten bleibt. Fig. 2A zeigt schematisch den Ultraschallimpuls, den das piezoelektrische Element eines konventionellen Ultraschallsenders aufgrund eines Treiberimpulses erzeugt. Wenn ein Treiberimpuls über einen Impulsübertrager an den konventionellen Sender angelegt wird, erfolgt aufgrund des piezoelektrischen Effekts eine starke Anregung des Elements. Aufgrund der Resonanzeigenschaften des piezoelektrischen Elements wird eine Ultraschallwelle mit einer bestimmten Frequenz (fo) in die Luft emittiert. Wenn also dem piezoelektrischen Element ein Treiberimpuls zugeführt wird,
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werden starke Ultraschallschwingungen verursacht. Auch nachdem der Treiberimpuls verschwunden ist setzen sich nicht nur Nachschwingungen für eine lange Zeitspanne fort, wenn der mechanische Q-Wert unnötig hoch ist, sondern es breiten sich auch an der hinteren Stirnfläche des piezoelektrischen Dickenschwingers durch das Gehäuse hindurch Schwingungen geringfügig später als die Schwingungen an der vorderen Stirnfläche aus. Diese Schwingungen laufen zu der vorderen Stirnfläche. Sie bewirken dort Nachhall- und Echoeffekte; es kommt zu einer Störung der Impulsausbreitung. Es erwies sich infolgedessen bisher in der Praxis als schwierig, einen Ultraschallimpuls auszusenden, welcher dem Treiberimpuls entspricht und der hervorragende Dämpfungseigenschaften hat. Berücksichtigt man jedoch die Vorteile, die sowohl auf die Kennwerte von Ultraschallimpulsen, deren Ausbreitungsgeschwindigkeit wesentlich niedriger ist als diejenige von Licht, elektrischen Wellen, Laserstrahlen und dergleichen, als auch auf die Überlegenheit solcher Impulse gegenüber einer normalen Schallwelle hinsichtlich der Richteigenschaften zurückzuführen sind, ist der Einsatz von Ultraschallimpulsen als Kurzstrecken-Signalübertragungsmittel in Luft nicht nur für genaue Meß- und Steuerfunktionen attraktiv, sondern auch für Anwendungen in vielen anderen industriellen Bereichen. Es ist bekannt, daß es die Kennwerte der Ultra-
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schallwelle möglich machen, den Richtungswinkel der Ultraschallwelle durch einen kleinen piezoelektrischen Ultraschallschwinger zu verringern. Wenn es gelingt, von einem piezoelektrischen Dickenschwinger einen Ultraschallimpuls mit schmalem Richtungswinkel abzuleiten, ohne daß die günstigen Kennwerte der Ultraschallwelle verlorengehen, lassen sich die Kennwerte des Ultraschallimpulses nutzbringend anwenden, und es ist auch möglich, eine solche Ultraschallimpulsübertragung in Luft zwischen bewegbaren Körpern vorzusehen, die benachbart zu Hindernissen liegen, was bisher als ausgeschlossen erachtet wurde. Es versteht sich, daß dadurch zahlreiche neue Anwendungsgebiete erschlossen werden.
Dementsprechend liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine für industrielle Anwendungen geeignete Übertragungsvorrichtung für Ultraschallimpulse in Luft unter Verwendung eines piezoelektrischen Dickenschwingers zu schaffen. Es soll eine Ultraschallimpulsübertragung in Luft entsprechend einem 1:1-Verhältnis zu einem Treiberimpuls verwirklicht werden, indem ein Ultraschallimpuls von großer Amplitude in einem Schwingungszyklus eines piezoelektrischen Dickenschwingers erzeugt und anschließend unter Ausnutzung eines geeigneten mechanischen Q-Wertes rasch gedämpft wird. Es sollen ein Sender und ein Empfänger erhal-
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ten werden, die eine Luftübertragung solcher Ultraschallimpulse erlauben.
Diese Aufgabe wird durch die Maßnahmen der Ansprüche 1 und 2 gelöst. Bevorzugte weitere Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Die Erfindung ist im folgenden anhand von bevorzugten Ausführungsbeispielen näher erläutert. In den beiliegenden Zeichnungen zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung einer
erfindungsgemäßen Übertragungsvorrichtung für ültraschallimpulse in Luft,
Fig. 2A einen Ultraschallimpuls, wie er von
einem konventionellen Sender abgegeben wird,
Fig. 2B einen von dem Sender nach der Erfin
dung emittierten Ultraschallimpuls,
Fig. 3A . einen Schnitt durch eine erfindungs
gemäße Ausführungsform des Senders,
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Fig. 3B einen Schnitt durch eine erfin
dungsgemäße Ausführungsform des Empfängers,
Fig. 4 ein elektrisches Schaltbild der
Übertragungsvorrichtung für Ultraschallimpulse in Luft, und
Fig. 5 verschiedene Signale, die in der
Übertragungsvorrichtung nach Fig. an den Stellen (a) bis (e) auftreten .
Entsprechend Fig. 1 stehen ein Sender S und ein Empfänger R einander auf einer Geraden gegenüber. Empfänger und Sender sind in gleicher Weise aufgebaut. Ein Treiberimpuls wird an ein piezoelektrisches Element des Senders S angelegt, der durch Wahl eines passenden Q-Wertes ausgezeichnete Dämpfungseigenschaften hat. Das piezoelektrische Element wird entsprechend Fig. 2B zu einer Grundschwingung mit erhöhter Amplitude angeregt. Durch Herabsetzen der Zeitkonstante der Hüllkurve der gedämpften Schwingung des piezoelektrischen Elements oder Schwingers 1 wird der an das piezoelektrische Element angelegte Treiberimpuls mit der von dem Treiberimpuls ausgelösten Ultraschallimpulsschwingung in ein Verhältnis von im wesentlichen 1:1 ge-
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bracht. Der Ultraschallimpuls wird von dem Sender S emittiert sowie von dem Empfänger R aufgenommen und dann in ein elektrisches Signal umgewandelt. Die Übertragungszone, innerhalb deren bei der vorliegenden Übertragungsvorrichtung die Ultraschallimpulse übermittelt werden, läßt sich sehr klein machen. Sie entspricht dem in Fig. 1 mit X bezeichneten Raum, der zwei Raumzonen umfaßt. Die eine ist die Raumzone, innerhalb deren der Sender S Ultraschallimpulse unter kleinem Richtungswinkel, d.h. stark gebündelt, emittiert. Die andere ist die Raumzone, innerhalb deren der Empfänger R, welcher den gleichen Aufbau wie der Sender S hat uri<^ der dem Sender S gegenübersteht, emittierte Ultraschallimpulse erfassen kann.
Weil die mit ihren Hauptachsen einander gegenüberstehenden Empfänger und Sender vollkommen gleich aufgebaut sind, ist nachstehend zur Vermeidung von Wiederholungen nur der Sender S näher erläutert. Entsprechend Fig. 3A weist der Sender das piezoelektrische Element in Form eines Dickenschwingers 1 auf, das mit Ausnahme seiner frontseitigen Stirnfläche von einem schwingungsabsorbierenden oder schwingungsdämpfenden Bauteil 2 hermetisch ur..schlossen ist. Das Bauteil 2 sitzt seinerseits mit Ausnahme seines vorderen Außenumfangs in einem Gehäuse 3 und steht mit diesem in Kontakt.
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Auf den vorderen Außenumfang des schwingungsabsorbierenden oder schwingungsdämpfenden Bauteils 2 ist eine Frontabdeckung 4 aufgesetzt, die mit dem Gehäuse 3 in Kontakt steht und einen frontseitigen Schutzfilm 40 von guter Schalldurchlässigkeit aufweist. Zwischen dem Schutzfilm 40 und der frontseitigen Stirnfläche des piezoelektrischen Schwingers 1 ist eine schwingungsübertragende Klebstoffschicht 5 eingebracht. Eine schwingungsdämpfende Klebstoffschicht 6 befindet sich in dem Grenzbereich zwischen dem Gehäuse 3 und der Frontabdeckung 4. Leitungen 8 und 9 sind mit einer Elektrode 11 bzw. einer Elektrode 10 verbunden. Bei der veranschaulichten Ausführungsform steht eine schwingungsabsorbierende oder schwingungsdämpfende, dichtende rückseitige Deckschicht 7 mit der Rückseite 31 des Gehäuses 3 in Kontakt.
Der piezoelektrische Dickenschwinger 1 ist in bekannter Weise von zylindrischer Form. Werkstoff und Gestalt des Schwingers 1 können in bekannter Weise gewählt sein. Die Aufgabe des schwingungsabsorbierenden oder schwingungsdämpfenden Bauteils 2 besteht im wesentlichen darin, in Radialrichtung des Schwingers 1 erzeugte Radialschwingungen sowie von der Rückseite des Schwingers 1 erzeugte Dickenschwingungen zu absorbieren oder zu dämpfen und den Schwinger 1 zu haltern. Das Bauteil 2 kann zweckmäßig
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aus- Polyurethanschaum oder anderen Schaumstoffen und/oder aus Glasfasern und dergleichen gefertigt sein. Mittels des Gehäuses 3 werden diese unerwünschten Radial- und Dickenschwingungen, soweit sie von dem Bauteil 2 nicht absorbiert sind, weiter gedämpft. Das Gehäuse 3 dient ferner der Verstärkung des Bauteils 2 und verhindert die Weitergabe von externen Schwingungen nach innen. Das Gehäuse 3 besteht beispielsweise aus Polyacetal oder anderen harten Kunstharzen. Die Frontabdeckung 4 überdeckt mit ihrem frontseitigen Schutzfilm 40 die Vorderseite des Schwingers 1, um das Eindringen von Staub und Feuchtigkeit zu verhindern. Die Frontabdeckung 4 umfaßt außerdem den freiliegenden vorderen Außenumfang des Bauteils 2. Ihre Funktion entspricht dort derjenigen des Gehäuses 3. Der frontseitige Schutzfilm 40 schwingt in Resonanz mit den Dickenschwingungen der Stirnseite des piezoelektrischen Schwingers 1, wodurch die vor dem Film 40 befindliche Luft, in Schwingungen versetzt wird. Der Schutzfilm 40 besteht vorzugsweise aus Polystyrol oder anderen hochpolymeren weichen Kunstharzen. Die Klebstoffschicht 5 verbindet den Schwinger 1 mit dem Film 40. Die Schicht besteht aus einem Schwingungen nicht absorbierenden Kleber. Die schwingungsdämpfende Klebstoffschicht 6 sorgt für ein Anhaften der Frontabdeckung 4 an dem Gehäuse 3. Sie absorbiert Schwingungen und verhindert, daß Nachhall und Echo störende
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Schwingungen bewirken. Bei dem Nachhall- und Echoeffekt handelt es sich um ein Phänomen, das auf Schwingungen zurückgeht, die das Bauteil 2 nicht absorbiert hat, die sich durch das Gehäuse 3 hindurch ausbreiten und die mit den Dickenschwingungen der vorderen Stirnfläche des Schwingers 1 in Wechselwirkung treten. Die Schicht 6 ist infolgedessen wesentlich, um eine eng gebündelte Ultraschallwelle zu erzielen. Die Klebstoffschicht 6 ist in Form eines abgestuften Flanschrings veranschaulicht, dessen Durchmesser in der Richtung des Durchmessers des Schwingers 1 stufenweise zunimmt. Als Werkstoff für die Schicht 6 wird vorzugsweise Silikonkautschuk oder ein anderer viskoelastischer Klebstoff auf Kautschukbasis benutzt. Die rückseitige Deckschicht 7 unterdrückt in Verbindung mit der Rückseite 31 des Gehäuses 3 Dickenschwingungen, die vom hinteren Teil des Gehäuses 3 ausgehen. Die Deckschicht 7 dichtet ferner die Leitungen 8, 9 ab. Die Deckschicht 7 besteht aus einem Bitumen, beispielsweise Steinkohlenteerpech. Die Deckschicht 7 kann gegebenenfalls weggelassen werden, wenn die Schwingungsabsorption oder -dämpfung durch das Gehäuse 3 ausreicht und die Leitungen 8, 9 auf andere Weise geeignet abgedichtet sind. Der Ultraschallwellenempfänger R ist in genau der gleichen Weise, wie vorstehend erläutert, aufgebaut. Für den Empfänger R sind infolgedessen
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in Fig. 3B die gleichen Bezugszeichen vorgesehen wie für den Sender S.
Zum Aufbau einer Luftübertragung von Ultraschallimpulsen werden der Sender und der Empfänger entsprechend Fig. 1 einander gegenüberstehend angeordnet. Ein Ultraschallimpuls gemäß Fig. 5c wird zwischen dem Sender und dem Empfänger durch Luft hindurch übermittelt, wobei der in Fig. 5e gezeigte Empfangsimpuls mit dem Signalimpuls gemäß Fig. 5a in einem Verhältnis von im wesentlichen 1:1 steht. Entsprechend Fig. 4 sind dabei eine Sendeschaltung I bestehend aus einer Ultraschallimpulstreiberschaltung 42 und dem Sender S sowie eine Empfangsschaltung II vorgesehen, die den Empfänger R, eine Verstärker-Detektorschaltung 43 für das empfangene Signal und eine Former schaltung 44 für das verstärkte Signal aufweist. Die Ultraschallimpulstreiberschaltung 42 regt den piezoelektrischen Schwinger 1 mittels eines Signalimpulses an, der mittels eines Multivibrators 41 in einen Treiberimpuls umgewandelt wird, der die zum Anregen des Schwingers 1 erforderliche Breite hat..Auf diese Weise wird von dem Sender S ein Ultraschallimpuls unter einem schmalen Ausbreitungswinkel abgestrahlt. Bei dem Multivibrator 41 handelt es sich um einen astabilen Multivibrator, der bei Zuführung eines Signalimpulses
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einen Impuls erzeugt, dessen Periode von einem veränderbaren Widerstand 412 bestimmt wird. Der Signalimpuls wird hinsichtlich seiner Schwingungsperiode so bestimmt, daß der Signalimpuls zu einem einzelnen Treiberimpuls führt, der sich für das Anregen des piezoelektrischen Schwingers 1 optimal eignet. Der Sender S soll einen dem Signalimpuls entsprechenden Ultraschallimpuls in einem Verhältnis von im wesentlichen 1:1 zu dem gegenüberstehenden Empfänger R übermitteln, der den Ultraschallimpuls aufnimmt. Mittels der Verstärker-Detektorschaltung 43 wird die Spannung, die der Empfänger R aufgrund des piezoelektrischen Effekts erzeugt, erfaßt und verstärkt. Die Schaltung 43 ist derart aufgebaut, daß ein Signal von im wesentlichen konstanter Amplitude selbst dann auftritt, wenn sich der Abstand L zwischen dem Sender und dem Empfänger eignet. Für diesen Zweck ist die Schaltung 43 mit einem logarithmischen Verstärker oder einem Verstärker mit automatischer Verstärkungsregelung ausgestattet. Die Aufgabe der Formerschaltung 44 besteht darin, die Spannung, welche der Hüllkurve des von der Verstärker-Detektorschaltung 43 erfaßten und verstärkten Ultraschallsignals entspricht, weiter zu verstärken und zu einem Rechteckimpuls zu formen. Dieser Rechteckimpuls soll ein Verhältnis von im wesentlichen 1:1 zu dem Signalimpuls haben, der auf die Ultraschallimpulstreiberschaltung 42 gegeben wird.
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Wenn an den Multivibrator 41 ein Impulssignal (Fig. 5a) angelegt wird, wandelt der Multivibrator 41 das Impulssignal in ein Treiber signal (Fig. 5b) um, das eine zur Anregung des piezoelektrischen Schwingers 1 optimale. Breite hat. Der Treiberimpuls wird der Ultraschallimpulstreiberschaltung 42 zugeführt. Dabei wird ein Transistor Ql stromführend gemacht. Der Schwinger 1 wird über einen Impuls übertrager Pl angeregt. Es wird ein Ultraschallimpuls mit besonders günstigen Dämpfungseigenschaften (Fig. 5c) erzeugt. Dieser Ultraschallimpuls wird von dem Empfänger R aufgenommen, mittels der Verstärker-Detektorschaltung 43 verstärkt und in eine Spannung umgewandelt, deren Kurvenverlauf in Fig. 5d dargestellt ist. Die Spannung mit einem Verhältnis von 1:1 zu dem mittels der Verstärker-Detektorschaltung 43 erfaßten Signalimpuls wird weiter geformt und als Rechteckempfangsimpuls (Fig. 5e) abgegeben. Der Signalimpuls (Fig. 5a) wird also in einen Ultraschallimpuls (Fig. 5c) umgewandelt. Der resultierende Ultraschallimpuls eignet sich zur Übermittlung eines Signals, bei welchem der Ultraschallimpuls dem Empfangsimpuls (Fig. 5e) in einem Verhältnis von 1:1 entspricht.
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Die vorstehend erläuterte Vorrichtung zur Übertragung von Ultraschallimpulsen hat insbesondere die folgenden Vorteile:
. Es ist eine Luftübertragung von Ultraschallimpulsen für industrielle Anwendungen möglich. Eine solche Übertragung eignet sich als Signalübermittlungsstrecke für Meßzwecke, Steuerzwecke und dergleichen über vergleichsweise kurze Abstände. Die Übertragung wird durch Hindernisse, die in der Nachbarschaft von Sender und Empfänger liegen, nicht beeinträchtigt. Es brauchen lediglich der Sender und der Empfänger einander gegenüberstehend angeordnet zu werden, wobei ihre Hauptachsen vorzugsweise miteinander fluchten. Lediglich zwischen Sender und Empfänger darf sich kein Hindernis befinden.
2. Die Vorrichtung erlaubt es, Ultraschallimpulse mit hoher Wiedergabetreue und unbeeinflußt durch externe Störsignale über die Luft zu übermitteln, selbst wenn der Sender und der Empfänger bewegt werden. Durch die Verwendung eines piezoelektrischen Elements mit ausgezeichnetem mechanischem Q-Wert im Sender und im Empfänger wird eine Übertragungsvorrichtung für Ultraschallimpulse in Luft erhalten, die hervorragende Selektivi-
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tat und hohe Empfindlichkeit hat. Der beschriebene Sender und der damit übereinstimmende Empfänger führen desweiteren zu den folgenden bemerkenswerten Effekten:
A) Eine industrielle Anwendung der Emission von Ultraschallimpulsen mit schmalem Ausbreitungswinkel und unbeeinflußt durch externe Störsignale wird unter Verwendung eines piezoelektrischen Dickenschwingers im Sender ermöglicht.
B) Dadurch daß der piezoelektrische Dickenschwinger mit einzelnen Treiberimpulsen angeregt wird, können für industrielle Anwendungen Ultraschallimpulse in Luft mit einem Verhältnis von im wesentlichen 1:1 zu dem Treiberimpuls übertragen werden. Es werden hervorragende Dämpfungseigenschaften erzielt .
C) Der Empfänger, der den gleichen Aufbau wie der Sender hat, kann die Ultraschallimpulse unbeeinflußt von externen Störsignalen aufnehmen.
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Claims (5)

PATENTANWALT DlPL-INC. CcRHAKD SCHWAN ELFENSTRASSE 32 . D-8000 MÜNCHEN 83 PAF 994 Ansprüche
1.J Übertragungsvorrichtung für Ultraschallimpulse in Luft mit einem Ultraschallsender und einem Ultraschallempfänger, dadurch gekennzeichnet, daß der Ultraschallsender (S) und der Ultraschallempfanger (R) jeweils einen piezoelektrischen Dickenschwinger (1) aufweisen, der mit Ausnahme seiner frontseitigen Stirnfläche von einem schwingungsabsorbierenden oder schwingungsdämpfenden Bauteil (2) hermetisch umschlossen ist, das seinerseits mit Ausnahme seines vorderen Außenumfangs in einem Gehäuse (3) sitzt und mit diesem in Kontakt steht, daß auf den vorderen Außenumfang des schwingungsabsorbierenden oder schwingungsdämpfenden Bauteils (2) eine Frontabdeckung (4) aufgesetzt ist, die mit dem Gehäuse (3) in Kontakt steht und einen frontseitigen Schutzfilm (40) von guter Schalldurchlässigkeit aufweist, daß zwischen dem Schutzfilm (40) und der frontseitigen Stirnfläche des Schwingers (1) eine schwingungsübertragende Klebstoffschicht (5) sowie im Grenzbereich zwischen dem Gehäuse (3) und der Frontabdeckung (4) eine schwin-
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FERNSPRECHER: 089/6012039 · TELEX: 521589 elp» i · KABEL: ELECTRICPATENT MÜNCHEN
gungsdämpfende Klebstoffschicht (6) eingebracht sind, daß der Sender (S) und der Empfänger (R) einander auf einer Geraden gegenüberstehend angeordnet sind, daß der Sender intermittierend mit Signalimpulsen beaufschlagbar ist, um einen dem Signalimpuls entsprechenden Ultraschallimpuls in einem schmalen Winkel von der frontseitigen Stirnfläche des in dem . Gehäuse (3) untergebrachten Dickenschwingers (1) abzustrahlen, sowie daß mittels des Schwingers (1) des Empfängers (R) aus dem empfangenen Ultraschallimpuls eine diesem Impuls entsprechende Spannung ableitbar ist.
2. Ultraschallgerät zur Verwendung als Ultraschallsender und Ultraschallempfänger in einer Vorrichtung zum Übermitteln von Ultraschallimpulsen in Luft, dadurch gekennzeichnet, daß Sender (S) und Empfänger (R) paarweise derart angeordnet sind, daß ihre Hauptachsen einander im wesentlichen auf einer Geraden gegenüberstehen, sowie jeweils einen piezoelektrischen Dickenschwinger (1) aufweisen, der mit Ausnahme seiner frontseitigen Stirnfläche von einem schwingungsabsorbierenden oder schwingungsdämpfenden Bauteil (2) hermetisch umschlossen ist, das seinerseits mit Ausnahme seines vorderen Außenumfangs in einem Gehäuse (3) sitzt und mit diesem in Kontakt steht, daß auf den vorderen
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Außenumfang des schwingungsabsorbierenden oder schwingungsdämpfenden Bauteils (2) eine Frontabdeckung (4) aufgesetzt ist, die mit dem Gehäuse (3) in Kontakt steht und einen frontseitigen Schutzfilm (40) von guter Schalldurchlässigkeit aufweist, und daß zwischen dem Schutzfilm (40) und der .frontseitigen Stirnfläche des Schwingers (1) eine schwingungsübertragende Klebstoffschicht (5) sowie im Grenzbereich zwischen dem Gehäuse (3) und der Frontabdeckung (4) eine schwingungsdämpfende"Klebstoffschicht (6) eingebracht sind.
3. Ultraschallgerät nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine mit dem Gehäuse (3) in Kontakt stehende, schwingungsabsorbierende, dichtende rückseitige Deckschicht (7) vorgesehen ist.
4.' Ultraschallgerät nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß das schwingungsabsorbierende oder schwinungsdämpfende Bauteil (2) aus Polyurethanschaumstoff, einem anderen weichen Schaumstoff, Schwammstoff und/oder Glasfasern, das Gehäuse (3) aus PoIyacetal oder einem anderen harten Kunstharz, die Frontabdeckung (4) aus Polyäthylen, Polystyrol oder anderen hochpolymeren weichen Kunstharzen, die schwingungsübertragende Klebstoffschicht (5) aus einem har-
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ten Kleber ohne Schwingungsabsorptionsvermögen und die schwingungsdämpfende Klebstoffschicht (6) aus Silikonkautschuk oder einem anderen viskoelastischen Klebstoff auf Kautschukbasis bestehen.
5. Ultraschallgerät nach Anspruch 3 oder A1 dadurch gekennzeichnet, daß die rückseitige Deckschicht (7) aus Bitumen gefertigt ist.
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