DE3019551A1 - Piezoelektrischer beschleunigungsaufnehmer - Google Patents

Piezoelektrischer beschleunigungsaufnehmer

Info

Publication number
DE3019551A1
DE3019551A1 DE19803019551 DE3019551A DE3019551A1 DE 3019551 A1 DE3019551 A1 DE 3019551A1 DE 19803019551 DE19803019551 DE 19803019551 DE 3019551 A DE3019551 A DE 3019551A DE 3019551 A1 DE3019551 A1 DE 3019551A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
piezo
piezo elements
carrier
thermal expansion
similar thermal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19803019551
Other languages
English (en)
Inventor
Guenther Dipl Phys Steimann
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
METRA MESS FREQUENZTECHN
Original Assignee
METRA MESS FREQUENZTECHN
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by METRA MESS FREQUENZTECHN filed Critical METRA MESS FREQUENZTECHN
Publication of DE3019551A1 publication Critical patent/DE3019551A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/09Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up
    • G01P15/0915Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up of the shear mode type

Description

  • Piezoelektrischer Beschleunigungssufnehmer
  • Die Erfindung betrifft einen piezoelektrischen Beschleunigungsaufnehmer, dessen Piezoelemente auf Scherung beansprucht werden und der einen geringen Einfluß von Temperaturänderungen auf das Meßergebnis aufweist.
  • Charakteristik der bekannten technischen Lösungen Es sind verschiedene Arten von piezoelektrischen Beschleunigungsaufnehmern mit durchweg metallischem Träger für die Piezoelemente bekannt.
  • In dem DD-AP 89031 ist ein piezoelektrischer Beschleunigungsaufnehmer beschrieben, bei dem der Grundkörper mit zwei planparallelen Flächen versehen ist. An diesen Flächen sind die Piezoelemente mit den zugehörigenseismischen Massen mittels Spannbolzen angepreßt. Der Träger £r die Piezoelemente ist hierbei durch die Ausnehmungen, welche die planparallelen Flächen begrenzen, aus dem Grundkdrper herausgearbeitet und bildet mit ihm ein Teil.
  • In der DE-OS 27 12 359 ist ein Beschleunigungsaufnehmer dargestellt, bei dem der Grundkörper einen Schlitz aufweist. In diesem Schlitz ist als Träger für die Piezoelemente mit den seismischen Massen ein Zapfen eingepaßt, der so gestaltet ist, daß beim Zusammenbau mit dem Gehäute'eine formschlüssige Verbindung entsteht.
  • Nachteilig ist bei allen Beschleunigungsaufnehmern mit metallischem Träger, daß sich durch die unterschiedlichen Temperaturausdehnungskoeffizienten der technologisch verwendbaren Metalle und der Piezokeramik bei Temperaturänderungen Störspannungen ergeben, die einer nicht vorhandenen Beschleunigung entsprechen.
  • Ziel der Erfindung Das Ziel der Erfindung besteht darin, einen piezoelektrischen Beschleunigungsaufnehmer zu entwickeln, bei dem die Storspannung durch Temperaturänderung (pyroelektric sensitivity) wesentlich reduziert wird.
  • Darstellung des Wesens der Erfindung Bei Beschleunigungsaufnehmern in Scheranregung entsteht der Hauptteil der Störspannung durch Temperaturänderung dadurch, daß mechanische Spannungen, die durch unterschiedliche Wårmoausdehnung des Systemträgers, der seismischen Massen, der Piezoelemente und der Spannelemente entstehen, bei vorhandener Restinhomogenität der Piezokeramik zu einer elektrischen Störspannung führen.
  • Aufgabe der Erfindung ist es, einen piezoelektrischen Beschleunigungsaufnehmer mit keramischem Träger zu schaffen, bei dem durch gleichen oder ähnlichen WErmeausdehnungskoeffizienten zwischen Träger und Piezoelement das angestrebte Ziel erreicht wird.
  • Merkmale der Erfindung Der erfindungsgemäße piezoelektrische Beschleunigungsaufnehmer in Scheranregung besteht aus einer Basis mit einem eingesetzten Träger und einem oder mehreren Piezoelementen mit seismischen Massen, die durch entsprechende. Mittel an dem Träger befestigt sind. Die Verbinduagen können dabei mechanisch tiber Spannbolzen oder Spannring oder unter Ausnutzung von Adhäsionskräften wie Loten, Kitten oder' Kleben erfolgen.
  • Der Träger besteht dabei aus keramischem Material mit gleichen oder ähnlichen Wrmeausdehnungskoeffizienten wie die Piezoelemente. Dadurch ergeben sich bei Temperaturänderung nur geringe mechanische Spannungen an den Grenzfläohen der Piezoelemente zum Träger und die StUrspannung verringert sich wesentlich.
  • In Ausgestaltung der Erfindung besteht der Träger aus dem gleichen Material wie die Piezoelemente. Dadurch wird erreicht, daß der Wärmeausdehnungskoeffizient von Träger und Piezoelement gleich ist.
  • In Ausgestaltung der Erfindung besitzt'der Träger auf seiner Oberseite zwei BondBlächen. Die Piezoelemente weisen dabei ebenfalls an der Oberseite zwei Bondflächen auf, die Jeweils mit den seitlichen Elektroden verbunden sind. Die Bondflächen dienen zur Aufnahme von Kontaktbrücken von den Piezoelementen zum Träger und der elektrischen Verbindungen von dem Träger a einer Anschlußbuchse.
  • Der Aufbau ist dabei auch mit einseitiges, rotationssymmetrischem oder vieleckigem Träger möglich, ohne den Erfindungsgedanken zu verlassen.
  • Aus£dhrungsbeispiel Die Erfindung ist in einem Ausführungsbeispiel und anhand einer Zeichnung näher erläutert, Dabei zeigen: Fig. 1 den piezoelektrischen Beschleunigungsaufnehmer Fig. 2 die Ansicht des Trägers Fig. 3 die Ansicht eines Piezoelementes Der in Fig.1 gezeigte Beschleunigungsaufnehmer besteht aus der Basis 1, dem Trager 2, den Piezoelementen 3 und den seismischen Passen 4. Der Träger 2 besteht dabei aus dem gleichen Material wie die Piezoelemente 3. Die Basis 1 weist einen Schlitz 5 auf, in welchem der Träger 2 eingepaßt ist. Die Verbindungen zwischen der Basis 1, dem Träger 2, den Piezoelementen 3 und den seismischen Massen 4 erfolgen dabei durch einen temperaturbeständigen Kitt 6.
  • Weiterhin befindet sich in der Basis 1 noch eine Bohrung mit Gewinde 7 zum Befestigen des Beschleunigungsaufnehmers am Prüfling.
  • Ztzrn Schutz vor äußeren Einflüssen ist nooh ein Gehäuse 8 vorgesehen.
  • Der Träger 2. besitzt auf seiner Oberseite zwei Bondflächen 9.1; 9.2, die voneinander isoliert sind, wie in Fig.2 dargestellt ist. Die Piezoelemente 3 besitzen auf der Oberseite ebenfalls zwei Bondflächen 10.1; 10.2 und zwei seitliche Elektroden 11.1; 11.2 mit Je einer Bondfläche 10.1;- 10.2 verbunden, wie in Fig.3 gezeigt ist.
  • Von den Bondflächen 9.1; 9.2 zu den Bondflächen 10.1; 10.2 führen Jeweils Kontaktbrücken 12.1; 12.2.
  • Weiterhin dienen die Bondflächen 9.1; 9.2 noch zur Aufnahme der Verbindungen 13.1; 1.3.2 zu einer Anschlußbuchse 14, die in der Basis 1 befestigt ist.
  • Zusammenfassung Die Erfindung betrifft einen piezoelektrischen Beschleunigungsaufnehmer mit keramischem Träger für die Piezoelemente. Daher besitzt der Träger den gleichen oder ähnlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten wie die Piezoelemente bzw. besteht aus dem gleichen Material. Dadurch entstehen bei Temperaturschwankungen nur noch geringe mechanische Spannungen, die bei vorhandener Restinhomogenität der Piezokeramik zu einer geringen elektrischen Störspannung führen.
  • Auft ellung der Bezugs zeichen zur Patentanmeldung t'Piezo elektrischer Beschleunigungsaufnehmer" 1 Basis 2 Träger 3 Piezoelemente 4 seismische Masse 5 Schlitz 6 temperaturbeständiger Kitt 7 Bohrung mit Gewinde 8 Gehäuse 9.1; 9.2 Bondflächen des Trägers 2 10.1; 10.2 Bondflächen der Piezoelemente 3 11.1; 11.2 seitliche Elektroden 12.1; 12.2. Kontaktbrücken 13.1; 13.2 elektrische Verbindungen-14 Anschlußuchse Leerseite

Claims (3)

  1. Erfindungs anspruch Pi ezo elektriscber Beschleunigungsaufnehmer in Scheranregung, bestehend aus einer Basis mit einem eingesetzten Träger, einem oder mehreren Piezoelementen und seismischen Massen, gekennzeichnet dadurch, daß der Träger' (2) aus keramischem Material mit gleichen oder ähnlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten wie die Piezoelemente (3) besteht.
  2. 2. Piezoelektrischer Beschleunigungsaufnehmer nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß der Träger (2) aus dem gleichen Material wie die Piezoelemente (3) besteht.
  3. 3. Piezoelektrischer Beschleunigungsaufnehmer nach Punkt 1, gekennzeichnet«dadurch, daß der Träger (2) auf seiner Oberseite zwei Bondflächen (9.1; 9.2) und daß die Piezoelemente (3) auf der Oberseite zwei Bondflächen (10.1; 10.2), die mit den seitlichen Elektroden (11.1; 11.2) verbunden sind, aufweisen.
DE19803019551 1979-07-13 1980-05-22 Piezoelektrischer beschleunigungsaufnehmer Withdrawn DE3019551A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD21432179A DD144482A1 (de) 1979-07-13 1979-07-13 Piezoelektrischer beschleunigungsaufnehmer

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE3019551A1 true DE3019551A1 (de) 1981-01-29

Family

ID=5519204

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19803019551 Withdrawn DE3019551A1 (de) 1979-07-13 1980-05-22 Piezoelektrischer beschleunigungsaufnehmer

Country Status (3)

Country Link
DD (1) DD144482A1 (de)
DE (1) DE3019551A1 (de)
DK (1) DK292180A (de)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2550145A1 (fr) * 1983-08-04 1985-02-08 Bosch Gmbh Robert Dispositif de declenchement pour systeme de retenue dans des vehicules automobiles
DE4011910A1 (de) * 1990-04-12 1991-10-17 Busch Dieter & Co Prueftech Vorrichtung und verfahren zur beschleunigungsmessung durch piezo-elektrische umformer
DE4440078A1 (de) * 1994-11-10 1996-05-15 Telefunken Microelectron Piezoelektrischer Beschleunigungsaufnehmer
CN108369244A (zh) * 2015-12-04 2018-08-03 基斯特勒控股公司 加速度测量仪和用于制造这种加速度测量仪的方法
EP3230749B1 (de) * 2014-12-11 2019-06-19 Brüel & Kjaer Sound & Vibration Measurement A/S Piezoelektrisches sensorelement für einen scher-modus-beschleunigungsmesser

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2700037C1 (ru) * 2015-12-04 2019-09-12 Кистлер Холдинг Аг Устройство для измерения ускорения и способ изготовления такого устройства для измерения ускорения

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2550145A1 (fr) * 1983-08-04 1985-02-08 Bosch Gmbh Robert Dispositif de declenchement pour systeme de retenue dans des vehicules automobiles
DE4011910A1 (de) * 1990-04-12 1991-10-17 Busch Dieter & Co Prueftech Vorrichtung und verfahren zur beschleunigungsmessung durch piezo-elektrische umformer
DE4440078A1 (de) * 1994-11-10 1996-05-15 Telefunken Microelectron Piezoelektrischer Beschleunigungsaufnehmer
US5631421A (en) * 1994-11-10 1997-05-20 Temic Telefunken Microelectronic Gmbh Piezoelectric acceleration transducer
EP3230749B1 (de) * 2014-12-11 2019-06-19 Brüel & Kjaer Sound & Vibration Measurement A/S Piezoelektrisches sensorelement für einen scher-modus-beschleunigungsmesser
CN108369244A (zh) * 2015-12-04 2018-08-03 基斯特勒控股公司 加速度测量仪和用于制造这种加速度测量仪的方法
CN108369244B (zh) * 2015-12-04 2020-08-07 基斯特勒控股公司 加速度测量仪和用于制造这种加速度测量仪的方法

Also Published As

Publication number Publication date
DD144482A1 (de) 1980-10-15
DK292180A (da) 1981-01-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3631647C2 (de) Anordnung zur Aufnahme von Biegungen und Deformationen in einem mechanischem Teil oder einer Struktur
DE2700342A1 (de) Messwandler
EP0806643B1 (de) Kraft- und/oder Momentmessanordnung
EP0116810B1 (de) Duales Accelerometer, Verfahren zu dessen Herstellung und Anwendung desselben
DE2906407C2 (de) Piezoelektrisches Wandlerelement zum Einbau in Druck-, Kraft- oder Beschleunigungsaufnehmer
DE3930314A1 (de) Piezoelektrischer sensor zur ueberwachung einer kinetischen bewegungsgroesse
EP0736758B1 (de) Modellträger für Windkanalmodelle
EP0042371A1 (de) Messwertaufnehmer zur Messung von Verformungen an Hohlkörpern
DE19930779A1 (de) Mikromechanisches Bauelement
DE1228448B (de) Beschleunigungsmessgeraet mit Temperaturkompensation
DE1200585B (de) Halterung fuer ein piezoelektrisches Element in einem Beschleunigungsmesser
EP1307750B1 (de) Mikromechanisches bauelement
EP0478737B1 (de) Vorrichtung zur beschleunigungsmessung durch piezoelektrische umformer
DE2829425A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum messen von beschleunigungen an schwingenden koerpern
CH666127A5 (de) Messwertaufnehmer zur messung heisser medien, sowie verfahren zu seiner montage.
DE3019551A1 (de) Piezoelektrischer beschleunigungsaufnehmer
DE2939096A1 (de) Anordnung zur messung und ueberpruefung der spannkraft einer schraubenverbindung
DE2712359C2 (de) Elektromechanischer Kraftmesser
DE3740688A1 (de) Mikromechanischer beschleunigungssensor mit hoher achsenselektivitaet
DE2426331C2 (de) Piezoelektrisches Lichtstrahlablenksystem
EP0014744B1 (de) Verfahren zum Herstellen eines piezoelektrischen Wandlerelementes
DE3643956A1 (de) Klopfsensor
DE4439297A1 (de) Piezoelektrischer Sensor
DE10354281A1 (de) Sensor
DE2237002C3 (de) Piezoelektrischer Beschleunigungsmesser

Legal Events

Date Code Title Description
8139 Disposal/non-payment of the annual fee