DE29818823U1

DE29818823U1 - Fluid actuator

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Publication number: DE29818823U1
Application number: DE29818823U
Authority: DE
Original assignee: Kuhnke GmbH
Current assignee: Kuhnke GmbH
Priority date: 1998-10-22
Filing date: 1998-10-22
Publication date: 1999-01-07
Anticipated expiration: 2008-10-23

Description

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Kuhnke GmbH
Lütjenburger Straße 101
23714 MalenteKuhnke GmbH
Lütjenburger Strasse 101
23714 Malente

Fluidischer AktorFluidic actuator

Die Erfindung geht aus von einem fluidischen Aktor, bestehend aus einem Gehäuse mit wenigstens einer fluiddichten und fluiddicht verschließbaren ersten Ausnehmung zur Aufnahme eines in der Ausnehmung durch Fluiddruck begrenzt bewegbaren Kolbens, welcher mit einer Abgriffseinrichtung zusammenwirkt, weiterhin mit einem, von der ersten Ausnehmung beabstandet angeordnetem Signalgeber, welcher den Ort bzw. die Bewegung des Kolbens berührungslos detektiert und entsprechende Signale zur Verfügung stellt, wobei der Signalgeber an beliebigem Ort, bezogen auf den begrenzten Bewegungsbereich des Kolbens angeordnet ist.The invention is based on a fluidic actuator, consisting of a housing with at least one fluid-tight and fluid-tightly sealable first recess for receiving a piston that can be moved in the recess to a limited extent by fluid pressure and that interacts with a tapping device, furthermore with a signal transmitter arranged at a distance from the first recess, which detects the location or movement of the piston without contact and provides corresponding signals, wherein the signal transmitter is arranged at any location relative to the limited range of movement of the piston.

Derartige Aktoren können fluidisch betreibbare, sogenannte Zylinder sein, deren Kolben durch Fluiddruck eine translatorische, begrenzte Bewegung ausführen und eine nutzbare Kraft über eine Abgriffseinrichtung, in diesem Fall eine Kolbenstange, zur Verfügung stellen.Such actuators can be fluidically operated, so-called cylinders, whose pistons perform a limited translational movement through fluid pressure and provide a usable force via a tapping device, in this case a piston rod.

In anderer Ausführung können die Aktoren sogenannte Schwenkmotore sein, deren Kolben winkelbegrenzte Schwenkbewegungen unter Abgabe entsprechender und nutzbarer Drehmomente ausführen. Die Drehmomente werden ebenfalls über eine Abgriffseinrichtung nutzbar, in diesem Fall über eine drehbeweglich gelagerte Welle.In another design, the actuators can be so-called swivel motors, whose pistons perform angle-limited swivel movements while delivering corresponding and usable torques. The torques are also usable via a pickup device, in this case via a rotatably mounted shaft.

Es sind Zylinder bekannt, deren Kolben mit einem Hartmagneten bestückt ist, und die außerhalb eines, magnetisch nicht beeinflußbaren, Gehäuses über Signalgeber verfügen. Diese Signalgeber sind am Gehäuseäußeren beispielsweise durch Schellen, Schrauben etc. befestigt und vorzugsweise an beliebigem Ort, bezogen auf den begrenzten translatorischen Bewegungsbereich des Kolbens, angeordnet. Die Signalgeber werden durch magnetische Feldlinien des Hartmagneten beeinflußt, der dem Kolben zugeordnet ist. In Abhängigkeit von der Bewegung bzw. dem Ort des Kolbens stehen somit aus dem Signalgeber heraus Ausgangssignale zu Verfügung. - Abhängig vom Wirkprinzip des Signalgebers sind die Signale entweder elektrischer oder fluidischer oder optischer Art.Cylinders are known whose pistons are fitted with a hard magnet, and which have signal transmitters outside a housing that cannot be influenced magnetically. These signal transmitters are attached to the outside of the housing, for example, by clamps, screws, etc. and are preferably arranged at any location, relative to the limited translatory range of movement of the piston. The signal transmitters are influenced by magnetic field lines of the hard magnet that is assigned to the piston. Depending on the movement or location of the piston, output signals are therefore available from the signal transmitter. - Depending on the operating principle of the signal transmitter, the signals are either electrical, fluidic or optical.

Analog zu der Anordnung des Hartmagneten auf dem Kolben des translatorisch bewegbaren Zylinders ist auch bekannt, einen Kolben eines Schwenkmotores mit einem Hartmagneten zu bestücken. Auch hier läßt sich die Kolbenposition durch die genannten Signalgeber erfassen. Nachteilig bei diesen Ausführungen ist die hierbei jeweilige Anordnung der Signalgeber. Dieses vor allem dann, wenn die fluidischen Aktoren z. B. in Reinräumen, in der Lebensmittelindustrie oder in medizintechnischen Geräten Anwendung finden soll. Aufgrund der bekannten Anordnung der Signalgeber ist hier bei einer äußeren Reinigung derartiger fluidischer Aktoren nicht sichergestellt, daß der erfolgte Reinigungsprozeß tatsächlich die gewünschte Wirkung zeigt, da sich zwischen Signalgeber und dem Aktorgehäuse sogenannte Schmutzecken befinden, die einer Reinigung teilweise extrem schlecht oder auch gar nicht zugänglich sind.Analogous to the arrangement of the hard magnet on the piston of the translationally movable cylinder, it is also known to equip a piston of a swivel motor with a hard magnet. Here too, the piston position can be detected by the aforementioned signal transmitters. The disadvantage of these designs is the respective arrangement of the signal transmitters. This is particularly the case if the fluidic actuators are to be used in clean rooms, in the food industry or in medical devices. Due to the known arrangement of the signal transmitters, when cleaning the outside of such fluidic actuators, it is not guaranteed that the cleaning process carried out will actually have the desired effect, since there are so-called dirt corners between the signal transmitter and the actuator housing, which are sometimes extremely difficult or even impossible to clean.

Die gegenüber Umwelteinflüssen ungeschützte Anbringung eines Signalgebers auf/an dem Äußeren eines Aktors ist ebenfalls erheblich nachteilig. Ein Signalgeber in einer derartigen Anordnung, der einem Aktor zugeordnet ist, welcher in einer Anlage oder Maschine z. B. einem Reinigungsprozeß mit Wasser, Reinigungsmittel und unter Hochdruck ausgesetzt ist, verlangt eine der höchsten Schutzklassen. Es ist selbstverständlich, daß ein solcher Signalgeber sehr aufwendig, großbauend und hochpreisig ist und zudem erheblichen Einbaubzw. Anbauraum erfordert.The installation of a signal generator on/at the outside of an actuator without protection against environmental influences is also a significant disadvantage. A signal generator in such an arrangement, which is assigned to an actuator which is exposed to a cleaning process with water, cleaning agents and high pressure in a system or machine, for example, requires one of the highest protection classes. It goes without saying that such a signal generator is very complex, large and expensive and also requires considerable installation or mounting space.

Weiterhin ist von Nachteil, daß die Signalgeber entsprechenden Umweltbedingungen ungeschützt ausgesetzt sind, wodurch es u. a. auch zu ungewollten Ortsveränderungen kommt.Another disadvantage is that the signal transmitters are exposed to the corresponding environmental conditions without protection, which can lead to unwanted changes in location.

Es besteht die Aufgabe, den bekannten Stand der Technik dahingehend zu verbessern, daß die sogenannten Schmutzecken zwischen Signalgeber und dem Aktor auf ein Minimum reduziert werden. Weiterhin besteht die Aufgabe, daß die von dem Signalgeber eingenommene Position bezogen auf den Ort der Signalgabe, der Detektierort, sicher beibehalten bleibt. Dieses gilt sowohl bezogen auf Reinigungsprozeduren, wie auch bezogen auf den Signalgeber einwirkende Erschütterungen und ungewollte Ortsveränderungen des Detektierortes, z. B. bei Wartungsarbeiten.The aim is to improve the current state of the art so that the so-called dirt corners between the signal generator and the actuator are reduced to a minimum. The aim is also to ensure that the position assumed by the signal generator in relation to the location of the signal, the detection location, is maintained safely. This applies both to cleaning procedures and to vibrations acting on the signal generator and unwanted changes in the detection location, e.g. during maintenance work.

Weiterhin soll der Signalgeber kleinbauend, preiswert herstellbar, einsetzbar bei hohem Schutzklassenfordernissen sein, eine gewollte ortveränderliche Einstellbarkeit ermöglichen und an vorgegebenem Ort ortsfest fixiert sein.Furthermore, the signal transmitter should be small, inexpensive to manufacture, suitable for use with high protection class requirements, allow for desired mobile adjustability and be fixed in place at a given location.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß der Signalgeber in eine weitere, den Signalgeber umhüllende Ausnehmung des Gehäuses eingebracht ist. Hierbei ist die weitere Ausnehmung für das Einbringen des Signalgebers gegenüber der ersten Ausnehmung für die Aufnahme des durch Fluiddruck bewegbaren Kolbens und gegenüber der äußeren Mantelfläche des Ge-According to the invention, this object is achieved in that the signal generator is inserted into another recess in the housing that encloses the signal generator. The further recess for the insertion of the signal generator is opposite the first recess for receiving the piston that can be moved by fluid pressure and opposite the outer surface of the housing.

häuses durch je eine Wand des Gehäuses beabstandet, so daß eine umhüllende Ausnehmung innerhalb des Gehäuses ausgebildet ist. Bei entsprechender Ausgestaltung ist diese weitere Ausnehmung druckdicht. Diese Druckdichtheit läßt sich u. a. dadurch erreichen, daß bei einem translatorisch arbeitendem Zylinder die weitere Ausnehmung stirnseitig ausmündet, wobei der Zylinder in betriebsbereitem Zustand bekanntermaßen stirnseitig Deckel aufweist. Ein solcher Deckel dichtet die stirnseitige Ausmündung der Ausnehmungen, gegebenenfalls unter Zuhilfenahme von Dichtmitteln und einem Verschluß.housing by a wall of the housing, so that an enveloping recess is formed within the housing. If designed accordingly, this further recess is pressure-tight. This pressure-tightness can be achieved, among other things, by the fact that the further recess opens out at the front in a translatory cylinder, whereby the cylinder, as is known, has a cover at the front when it is ready for operation. Such a cover seals the front opening of the recesses, if necessary with the aid of sealing agents and a closure.

Mit der beschriebenen Anordnung des Signalgebers an einem Zylinder ist auch die Anordnung eines Signalgebers an einem Schwenkmotor vergleichbar. Beispielhaft soll dieses an einem Schwenkmotor erläutert werden, bei dem ein Kolben eine winkelbegrenzte Schwenkbewegung ausführt. Hierbei ist der Kolben um eine Drehachse verschwenkbar. Von der Drehachse ausgehend, bildet der Kolben zwei druckbeaufschlagbare Flächen. Der Kolben ist von einer ersten Ausnehmung des Gehäuses aufgenommen. Diese erste Ausnehmung weist im von der Drehachse entfernten Bereich eine, vorzugsweise wenigstens annähernd kreisbogenförmig ausgebildete Gehäusewand als Begrenzung auf, an der der Kolben durch Dichtmittel gedichtet, jedoch bewegbar anliegt. In der Nähe dieser kreisbogenförmigen Gehäusewand ist der Kolben mit einem Hartmagneten bestückt.The arrangement of a signal generator on a swivel motor is comparable to the described arrangement of the signal generator on a cylinder. As an example, this will be explained using a swivel motor in which a piston performs a swivel movement with a limited angle. The piston can swivel around an axis of rotation. Starting from the axis of rotation, the piston forms two surfaces that can be subjected to pressure. The piston is accommodated in a first recess in the housing. In the area remote from the axis of rotation, this first recess has a housing wall, preferably at least approximately shaped in an arc of a circle, as a boundary against which the piston rests, sealed by a sealing agent but still movable. In the vicinity of this arc-shaped housing wall, the piston is fitted with a hard magnet.

Von der Drehachse ausgehend, jedoch mit einem größeren Abstand als die dem Kolben zugeordnete kreisbogenförmige Gehäusewand, weist das Gehäuse des Schwenkmotors eine weitere Ausnehmung auf, die sich beabstandet und abstandparallel zu der dem Kolben zugeordneten kreisbogenförmigen Gehäusewand der ersten Ausnehmung erstreckt. Diese kreisbogenförmige, weitere Ausnehmung ist zur äußeren Gehäusemantelfläche hin durch eine druckdichte, vorzugsweise ebenfalls kreisbogenförmige Gehäusewand begrenzt.Starting from the axis of rotation, but at a greater distance than the circular-arc-shaped housing wall assigned to the piston, the housing of the swivel motor has a further recess which extends at a distance and parallel to the circular-arc-shaped housing wall of the first recess assigned to the piston. This circular-arc-shaped, further recess is delimited towards the outer housing surface by a pressure-tight, preferably also circular-arc-shaped housing wall.

Die den Kolben aufnehmende erste Ausnehmung des Schwenkmotores und die den Signalgeber aufnehmende weitere Ausnehmung werden gemeinsam durch einen Deckel, ggf. unter Zuhilfenahme zwischen Gehäusestirnseite und Deckel eingebrachter Dichtmittel, druckdicht verschlossen.The first recess of the swivel motor, which accommodates the piston, and the further recess, which accommodates the signal generator, are jointly sealed pressure-tight by a cover, if necessary with the aid of sealing agents inserted between the front of the housing and the cover.

In den erfindungsgemäßen Aktor ist generell in die weitere Ausnehmung eine Vorrichtung eingebracht, die mit dem Signalgeber in der Weise zusammenwirkt, daß eine Wirkstrecke der Vorrichtung mit dem Signalgeber durch die Länge der weiteren Ausnehmung begrenzt ist, die sich vorzugsweise auf die Länge der ersten Ausnehmung bei einem Zylinder, bzw. auf die Länge der kreisbogenförmigen Gehäusewand bei einem Schwenkmotor erstreckt. Die Wirkstrecke ist somit annähernd - oder wenigstens ein Teil des möglichen Bewegungsbereiches des Kolbens. Auf dieser Wirkstrecke ist der Signalgeber an beliebigem, gegebenenfalls wechselndem, Ort ortsveränderlich einstellbar und fixierbar.In the actuator according to the invention, a device is generally introduced into the further recess, which interacts with the signal generator in such a way that an effective distance of the device with the signal generator is limited by the length of the further recess, which preferably extends to the length of the first recess in a cylinder, or to the length of the circular housing wall in a swivel motor. The effective distance is thus approximately - or at least a part of - the possible range of movement of the piston. On this effective distance, the signal generator can be adjusted and fixed at any location, which may change.

Die weitere Ausnehmung für die Aufnahme des Signalgebers ist so gestaltet, daß der Signalgeber radial verdrehsicher und axial ortsveränderlich einstellbar, in zweckbestimmender Weise gelagert ist. Eine derartige Ausgestaltung der weiteren Ausnehmung kann beispielsweise eine im Querschnitt angenähert rechteckige Formgebung sein. Die Vorrichtung zum Einstellen des Signalgebers auf einen beliebigen Ort ist bei einem Zylinder vorzugsweise eine Gewindespindel, deren Gewindelänge annähernd der ortsveränderlichen möglichen einstellbaren Strecke des Signalgebers entspricht, also annähernd der Wirkstrecke. Die Vorrichtung ist bei einem Zylinder achsparallel zum Gehäuse bzw. zur Kolbenstange angeordnet und wirkt mit einem korrespondierenden Innengewinde des Signalgebers zusammen. Durch Drehen dieser Spindel um ihre Längsachse - und in Abhängigkeit von der zugehörigen Gewindesteigung wird somit der Signalgeber innerhalb der weiteren Ausnehmung bei einem Zylinder achs-parallel ortsverschoben und durch die Selbsthemmung des Gewindes erschütterungsfest und sicher gegen ungewollte Ortsveränderungen fixiert.The further recess for the reception of the signal generator is designed in such a way that the signal generator is mounted in a way that is radially non-rotatable and axially adjustable, in a way that is appropriate for the purpose. Such a design of the further recess can, for example, be an approximately rectangular shape in cross-section. The device for setting the signal generator to any location in a cylinder is preferably a threaded spindle, the thread length of which corresponds approximately to the variable, possible adjustable distance of the signal generator, i.e. approximately to the effective distance. In a cylinder, the device is arranged axially parallel to the housing or piston rod and works together with a corresponding internal thread of the signal generator. By rotating this spindle around its longitudinal axis - and depending on the associated thread pitch - the signal generator is thus displaced axially parallel within the further recess in a cylinder and is fixed in a way that is vibration-proof and secure against unwanted changes in location by the self-locking of the thread.

Analog hierzu ist auch der Signalgeber eines Schwenkmotors radial verdrehsicher in der zugehörigen kreisbogenförmigen weiteren Ausnehmung gelagert. Als Verstellvorrichtung dient hier z. B. eine spiralförmig gewickelte biegsame Welle, deren äußere Mantelfläche gewindeähnliche Konturen aufweist und die mit einem korrespondierenden Innengewinde des Signalgebers zweckbestimmend zusammenwirkt. Aufgrund dieser Ausgestaltung durchfährt der Signalgeber beim Drehen der biegsamen Welle um ihre Längsachse die kreisbogenförmige weitere Ausnehmung auf einer winkelbegrenzten kreisbogenförmigen Strecke, der Wirkstrecke.Similarly, the signal generator of a swivel motor is mounted in a radially twist-proof manner in the associated circular recess. The adjustment device used here is, for example, a spiral-wound flexible shaft, the outer surface of which has thread-like contours and which interacts with a corresponding internal thread of the signal generator. Due to this design, when the flexible shaft rotates about its longitudinal axis, the signal generator passes through the circular recess on an angle-limited circular arc-shaped path, the effective path.

Die Einstellung des Signalgebers auf einen vorgegebenen Ort innerhalb der Wirkstrecke kann manuell oder auch motorisch vorgenommen werden. Zur Unterstützung der manuellen Verstellbarkeit ist die Vorrichtung endseitig, mindestens einseitig, mit einer Werkzeugaufnahme z. B. für einen Schraubendreher versehen.The signal generator can be set to a specified location within the effective range manually or by motor. To support manual adjustability, the device is provided with a tool holder, e.g. for a screwdriver, at one end, or at least on one side.

In einer anderen Ausführung ist die Vorrichtung so gestaltet, daß die ortsveränderliche Einstellung manuell, jedoch ohne Hilfsmittel vorgenommen werden kann.In another version, the device is designed in such a way that the mobile setting can be carried out manually, but without any aids.

Eine motorische Einstellung des Signalgebers auf einen bestimmten Ort läßt sich beispielsweise elektromotorisch realisieren. Abhängig von dem elektromotorischen Antrieb ist es möglich, durch geeignete Meßmittel, &zgr;. &Bgr;. einen zugeordneten Winkeldekoder, den jeweiligen Ort des Signalgebers zu erfassen. Eine weitere Möglichkeit ist, die elektromotorische Einstellung der Vorrichtung durch einen Schrittmotor vorzunehmen und hierbei die Anzahl und Richtung der jeweiligen Schritte zu erfassen und auszuwerten. Auch diese Ausführung gibt Auskunft über den Ort des Signalgeber. Der motorische Antrieb ist vorzugsweise in den Aktor integriert.A motor setting of the signal generator to a specific location can be implemented using an electric motor, for example. Depending on the electric motor drive, it is possible to record the respective location of the signal generator using suitable measuring devices, ζ. β. an associated angle decoder. Another option is to carry out the electromotor setting of the device using a stepper motor and to record and evaluate the number and direction of the respective steps. This version also provides information about the location of the signal generator. The motor drive is preferably integrated into the actuator.

In einer weiteren Ausführung ist entlang der Wirkstrecke eine elektrisch leitende Widerstandsbahn mit sich über die Wirkstrecke änderndem Widerstand in die weitere Ausnehmung eingebracht. Parallel hierzu verläuft eine elektrisch leitende Kontaktbahn mit möglichst geringem elektrischen Widerstand. Der Signalgeber ist in diesem Fall derart ausgebildet, daß bei Einwirkung der Feldlinien des Hartmagneten beispielsweise ein Kontakt innerhalb des Signalgebers geöffnet oder geschlossen wird. Aufgrund des sich über die Länge der Widerstandsbahn ändernden Widerstandes ist somit auch eine Aussage über den Ort des Signalgebers möglich. Dieses ist u. a. dann von Bedeutung, wenn auch eine ungewollte Ortsveränderung des Signalgebers erkannt werden muß oder der Signalgeber motorisch auf seiner Wirkstrecke verfahrbar ist. Hierbei weist der Signalgeber elektrische Kontaktmittel, z. B. sogenannte Schleifkontakte auf, die mit der Widerstands- und mit der Kontaktbahn entsprechend elektrisch leitend korrespondieren und die Signale auf diese Bahnen übertragen.In a further design, an electrically conductive resistance track with a resistance that changes over the effective distance is introduced into the further recess along the effective distance. An electrically conductive contact track with the lowest possible electrical resistance runs parallel to this. In this case, the signal generator is designed in such a way that, for example, a contact within the signal generator is opened or closed when the field lines of the hard magnet are applied. Due to the resistance changing over the length of the resistance track, it is also possible to determine the location of the signal generator. This is important, among other things, if an unwanted change in the location of the signal generator must also be detected or if the signal generator can be moved along its effective distance by motor. The signal generator has electrical contact means, e.g. so-called sliding contacts, which correspond electrically conductively with the resistance and contact tracks and transmit the signals to these tracks.

In einer anderen Ausführung sind in die Ausnehmung für den Signalgeber zwei parallel laufende widerstandsarme Kontaktbahnen auf der Länge der Wirkstrecke eingebracht. Ist der Signalgeber mit zu den Kontaktbahnen korrespondierenden Kontaktmitteln, z. B. Schleifkontakten, versehen, erübrigt sich eine Kabelverbindung als Signalleitung vom Signalgeber hin zur weiteren Signalverarbeitung. Hierbei ist selbstverständlich, daß die Kontaktbahnen zur weiteren Signalverarbeitung entsprechende elektrische Anschlußmittel aufweisen.In another design, two parallel, low-resistance contact tracks are inserted into the recess for the signal generator along the length of the effective path. If the signal generator is provided with contact means corresponding to the contact tracks, e.g. sliding contacts, a cable connection as a signal line from the signal generator to the further signal processing is unnecessary. It goes without saying that the contact tracks have corresponding electrical connection means for further signal processing.

Ist der Signalgeber mit einem Kabel als Signalleitung versehen, dann weist die Signalleitung vorteilhafterweise eine dem Längenausgleich dienende Schleife in der weiteren Ausnehmung auf. Die Länge der Signalleitung innerhalb der Ausnehmung ist dann so bemessen, daß der Signalgeber auf seiner Wirkstrekke innerhalb der Ausnehmung ungehindert durch die Signalleitung ortsveränderlich durch die Vorrichtung einstellbar ist. Damit eine Ortsveränderung durch Einstellung des Signalgebers auf einen anderen vorgesehenen Ort in engsten Toleranzbereichen realisierbar ist, ist die Vorrichtung radial und axial spielfreiIf the signal generator is provided with a cable as a signal line, then the signal line advantageously has a loop in the further recess to compensate for the length. The length of the signal line within the recess is then dimensioned such that the signal generator can be moved along its effective path within the recess using the device without being hindered by the signal line. So that a change in location can be achieved by setting the signal generator to another intended location within the narrowest tolerance ranges, the device is free of radial and axial play.

gelagert. In einem Ausführungsbeispiel ist die Vorrichtung mit einem Toleranzausgleichsmittel versehen, welches die Vorrichtung unter mechanisch axial gerichtete Vorspannung setzt. Dieses Toleranzausgleichsmittel kann u. a. eine Druckfeder oder ein entsprechend komprimiertes Elastomer sein, deren Druckkraft spielausgleichend auf die Vorrichtung einwirkt.stored. In one embodiment, the device is provided with a tolerance compensation means which places the device under mechanical axial preload. This tolerance compensation means can be, among other things, a compression spring or a correspondingly compressed elastomer, the pressure force of which acts on the device to compensate for play.

Zweckmäßigerweise ist die Vorrichtung gegen umweltbedingter Unzulässigkeiten geschützt, z. B. durch Dichtmittel. So ist die jeweilige Lagerstelle vorzugsweise durch einen Verschluß geschützt. Im Bereich der Werkzeugaufnahme läßt sich dieser Verschluß bedarfsweise entfernen und wieder einbringen. Somit ist die Werkzeugaufnahme in einem Raum angeordnet, der gegenüber äußeren Einflüssen ebenfalls durch den genannten Verschluß verschlossen ist. Um Beeinflussung durch die Umwelt auszuschließen, weist wenigstens eine Lagerstelle der Vorrichtung umfänglich wirkende Dichtmittel auf, so daß diese Lagerstelle auch nach Entfernen eines Verschlusses, z. B. zur Ortsveränderung des Signalgebers, gegenüber schädlichen Umwelteinflüssen geschützt sind.The device is expediently protected against environmental impermissibility, e.g. by sealing means. The respective bearing point is preferably protected by a closure. In the area of the tool holder, this closure can be removed and reinserted as required. The tool holder is thus arranged in a space that is also closed off from external influences by the aforementioned closure. In order to exclude influences from the environment, at least one bearing point of the device has sealing means that act all around, so that this bearing point is protected against harmful environmental influences even after a closure has been removed, e.g. to relocate the signal transmitter.

Wie bereits vorn erwähnt, wird die jeweilige Position des Kolbens durch die Wirkung eines im bzw. am Kolben befindlichen Hartmagneten auf den Signalgeber detektiert.As already mentioned above, the respective position of the piston is detected by the effect of a hard magnet located in or on the piston on the signal generator.

Der Signalgeber kann wahlweise unterschiedliche Wirkprinzipien aufweisen, so daß er Signale elektrischer oder optischer oder fluidischer Art abgibt. In einer weiteren Ausgestaltung des Signalgebers ist es auch möglich, daß die Signale Wellenänderungen sind, die z. B. als Infrarotstrahlung, als Ultraschallwellen oder als elektromagnetische Wellen zur Verfügung gestellt werden. In einer diesbezüglichen anderen Ausführung überbrücken die Wellen eine Luftstrecke und werden von einem geeigneten Empfänger, der sich ortsfern vom Signalgeber befindet, empfangen, ausgewertet und weiter verarbeitet.The signal generator can optionally have different operating principles, so that it emits electrical, optical or fluidic signals. In a further design of the signal generator, it is also possible for the signals to be wave changes, which are made available, for example, as infrared radiation, as ultrasound waves or as electromagnetic waves. In another design in this regard, the waves bridge an air gap and are received, evaluated and further processed by a suitable receiver located away from the signal generator.

Weitere Ausgestaltungsmöglichkeiten finden sich in Unteransprüchen. Im folgenden wird der fluidische Aktor anhand der Zeichnung beschrieben. Es zeigen:Further design options can be found in the subclaims. The fluidic actuator is described below using the drawing. The drawing shows:

Fig. 1 einen fluidischen Aktor, als translatorisch arbeitenden Zylinder mit einem Teilschnitt durch das Gehäuse im Bereich der SignalgeberanordnungFig. 1 a fluidic actuator, as a translationally operating cylinder with a partial section through the housing in the area of the signal generator arrangement

Fig. 2 einen fluidischen Aktor als Zylinder im Axialschnitt.Fig. 2 a fluidic actuator as a cylinder in axial section.

Fig. 3 zeigt einen fluidischen Aktor als geöffneten Schwenkmotor,Fig. 3 shows a fluidic actuator as an open swivel motor,

Fig. 4 den zum Schwenkmotor gehörenden Deckel.Fig. 4 the cover belonging to the swivel motor.

Der fluidische Aktor 1 ist gemäß Fig. 1 als translatorisch arbeitender Zylinder ausgebildet. Er besteht u. a. aus einem Gehäuse 2, dessen Gehäusestimseite 2.1 sichtbar ist, da der diesseitige Deckel 12 noch nicht montiert ist. Das Gehäuse 2 weist eine erste Ausnehmung 3 zur Aufnahme eines Kolbens auf, der mit einer Abgriffseinrichtung 10 verbunden ist. In diesem dargestellten Beispiel entspricht die Abgriffseinrichtung 10 einer Kolbenstange, die den Deckel 12 in bekannter Weise durchgreift. In der Praxis ist der Deckel 12 im Bereich der Kolbenstange mit einem Dichtmittel versehen, welches die Kolbenstange an ihrem Außenumfang dichtend umgreift, so daß die erste Ausnehmung 3 mit montiertem Deckel bei Druckbeaufschlagung auch auf der Kolbenstangenseite fluiddicht ist.The fluidic actuator 1 is designed as a translatory cylinder according to Fig. 1. It consists, among other things, of a housing 2, the front side 2.1 of which is visible because the cover 12 on this side is not yet mounted. The housing 2 has a first recess 3 for receiving a piston, which is connected to a tapping device 10. In this example shown, the tapping device 10 corresponds to a piston rod, which passes through the cover 12 in a known manner. In practice, the cover 12 is provided with a sealing agent in the area of the piston rod, which seals around the piston rod on its outer circumference, so that the first recess 3 with the cover mounted is also fluid-tight on the piston rod side when pressure is applied.

An der Stirnseite 2.1 des Gehäuses 2 befinden sich Ausnehmungen 4.1 bis 4.4, die mit Deckelbefestigungsmitteln 4.5 bis 4.8 entsprechend korrespondieren. Diese Deckelbefestigungsmittel können Schrauben sein, wobei dann die Ausnehmungen 4.1 bis 4.4 mit Innengewinde versehen sind. Die Deckel 11 undOn the front side 2.1 of the housing 2 there are recesses 4.1 to 4.4, which correspond to cover fastening means 4.5 to 4.8. These cover fastening means can be screws, in which case the recesses 4.1 to 4.4 are provided with an internal thread. The covers 11 and

12 weisen jeweils einen Druckfluidanschluß 5.1 und 5.2 auf, durch welche die beiden veränderbaren Druckräume 8, 9 - s. Fig. 2 -, die durch einen Kolben 7 innerhalb der ersten Ausnehmung 3 gebildet sind, druckbeaufschlagbar bzw. druckentlastbar sind. Die Stirnseite 2.1 zeigt weitere Ausnehmungen 6.1 bis 6.4, die vorzugsweise der Aufnahme eines Signalgebers 13 dienen. Der Signalgeber 13 weist eine Signalleitung 14 auf und ist mit dieser gemeinsam, unter Bildung einer Schleife 14.1, in die weitere Ausnehmung 6.1 eingebracht. Eine Vorrichtung 15, beispielsweise eine Spindel mit Außengewinde, wirkt mit einem korrespondierenden, nicht dargestellten Innengewinde des Signalgebers12 each have a pressure fluid connection 5.1 and 5.2, through which the two variable pressure chambers 8, 9 - see Fig. 2 -, which are formed by a piston 7 within the first recess 3, can be pressurized or depressurized. The front side 2.1 shows further recesses 6.1 to 6.4, which preferably serve to accommodate a signal generator 13. The signal generator 13 has a signal line 14 and is introduced together with this, forming a loop 14.1, into the further recess 6.1. A device 15, for example a spindle with an external thread, works with a corresponding internal thread (not shown) of the signal generator

13 zusammen. Wird die Vorrichtung 15 um ihre Längsachse gedreht, verändert sich der Ort des Signalgebers 13 entsprechend der Anzahl der Umdrehungen und der zugehörigen Gewindesteigung.13 together. If the device 15 is rotated about its longitudinal axis, the location of the signal generator 13 changes according to the number of revolutions and the associated thread pitch.

In Fig. 2 ist der fluidische Aktor ebenfalls ein translatorisch arbeitender Zylinder, hier jedoch im Axialschnitt dargestellt. Es ist erkennbar, daß die erste Ausnehmung 3 durch den Kolben 7 in die veränderbaren Druckräume 8 und 9 aufgeteilt ist. Der Rauminhalt eines jeden dieser Druckräume 8, 9 ist abhängig von dem augenblicklichen Ort, der Position, des Kolbens 7 innerhalb seines, in diesem Fall durch die Deckel 11 und 12 begrenzten, Bewegungsbereiches. Das Gehäuse 2, die Deckel 11 und 12 bestehen aus magnetisch nichtleitenden Werkstoff. Für die Abgriffseinrichtung, in diesem Fall die Kolbenstange 10, ist vorzugsweise ebenfalls ein Werkstoff gewählt, der weitgehenst magnetisch nichtleitend ist.In Fig. 2, the fluidic actuator is also a translatory cylinder, but shown here in axial section. It can be seen that the first recess 3 is divided into the variable pressure chambers 8 and 9 by the piston 7. The volume of each of these pressure chambers 8, 9 depends on the current location, the position, of the piston 7 within its range of movement, which in this case is limited by the covers 11 and 12. The housing 2, the covers 11 and 12 are made of a magnetically non-conductive material. For the tapping device, in this case the piston rod 10, a material that is largely magnetically non-conductive is also preferably selected.

Der Kolben 7 ist mit der Kolbenstange 10 z. B. durch Schraub- oder Nietverbindung schlüssig verbunden, so daß von der Kolbenstange 10 eine translatorische Bewegung und eine Kraft abgegriffen werden kann. Weiterhin ist der Kolben 7 mit einem Hartmagneten 30 bestückt, dessen Feldlinien 31 die Wandungen des Gehäuses 2 nach außen hin durchdringen und den Signalgeber dahingehend beeinflussen, daß dieser ein Signal zur Verfügung stellt. Je nach Ausgestaltung des Signalgebers kann dieses eine 1 oder O-Signal sein. DerThe piston 7 is connected to the piston rod 10, e.g. by means of a screw or rivet connection, so that a translational movement and a force can be picked up from the piston rod 10. The piston 7 is also equipped with a hard magnet 30, whose field lines 31 penetrate the walls of the housing 2 to the outside and influence the signal generator so that it provides a signal. Depending on the design of the signal generator, this can be a 1 or 0 signal. The

IfIf

Signalgeber kann u. a. auch ein Wechsler sein, der dann bei einem Schaltvorgang mindestens zwei sich invertierende Signale gleichzeitig ausgibt.The signal generator can also be a changeover switch, which then outputs at least two inverting signals simultaneously during a switching process.

Das Gehäuse 2 des Zylinders weist neben der ersten Ausnehmung 3 eine weitere Ausnehmung 6.1 auf, die sich in diesem Fall achsparallel über die Länge des Gehäuses 2 von Deckel 11 zu Deckel 12 hin erstreckt. Zur ersten Ausnehmung 3 hin ist die weitere Ausnehmung 6.1 durch eine Wand 2.4 druckdicht getrennt. Eine Wand 2.5 trennt die Ausnehmung 6.1 ebenfalls vorzugsweise druckdicht gegenüber der äußeren Mantelfläche 40 des Gehäuses 2.In addition to the first recess 3, the housing 2 of the cylinder has a further recess 6.1, which in this case extends parallel to the axis over the length of the housing 2 from cover 11 to cover 12. The further recess 6.1 is separated from the first recess 3 by a wall 2.4 in a pressure-tight manner. A wall 2.5 also preferably separates the recess 6.1 from the outer surface 40 of the housing 2 in a pressure-tight manner.

Die Ausnehmung 6.1 nimmt den Signalgeber 13 radial verdrehsicher gelagert, jedoch axial durch die Vorrichtung 15 ortsveränderbar einstellbar, auf. Der Signalgeber 13 ist mit einer Signalleitung 14 verbunden, deren druckdicht aus dem Zylinder herausgeführtes Ende in Signalleitungsanschlüsse 14.2 ausmündet. Signalgeberseitig ist auch die Signalleitung 14 in die Ausnehmung 6.1 eingebracht. Innerhalb der Ausnehmung 6.1 weist die Signalleitung 14 eine Schleife 14.1 auf, die bei Ortänderung des Signalgebers 13 ebenfalls entsprechend ihren Ort innerhalb der Ausnhemung 6.1 ändert. In ihrer Gesamtlänge ist die Signalleitung 14 mit ihrer Schleife 14.1 innerhalb der Ausnehmung 6.1 so bemessen, daß der Signalgeber 13 auf vorgesehener Wirkstrecke innerhalb der Ausnehmung 6.1 ungehindert durch die Signalleitung 14 ortsveränderlich einstellbar ist.The recess 6.1 accommodates the signal transmitter 13 in a radially rotation-proof manner, but can be adjusted axially using the device 15. The signal transmitter 13 is connected to a signal line 14, the end of which, which is led out of the cylinder in a pressure-tight manner, opens into signal line connections 14.2. On the signal transmitter side, the signal line 14 is also inserted into the recess 6.1. Within the recess 6.1, the signal line 14 has a loop 14.1, which also changes its location within the recess 6.1 when the location of the signal transmitter 13 changes. The total length of the signal line 14 with its loop 14.1 within the recess 6.1 is dimensioned such that the signal transmitter 13 can be adjusted to a different location on the intended effective path within the recess 6.1 without being hindered by the signal line 14.

Im kolbenstangenseitigen Deckel 12 ist die Vorrichtung 15 durch eine radiale Lagerung 16 aufgenommen, wobei die Vorrichtung 15 im Bereich des Deckels 12 vorzugsweise auch mit einem ein axial und radial wirkenden Dichtmittel 17 versehen ist. Im Bereich der Lagerung 16 ist diese so ausgebildet, daß die Lagerung und Abdichtung der Vorrichtung 15 in einem zur Atmosphäre hin abgedichteten bzw. abdichtbaren Raum 24 erfolgt, der durch einen Verschluß 19 gegenüber der Atmosphäre verschließbar ist. Innerhalb dieses Raumes 24 weist die Vorrichtung 15 eine Werkzeugaufnahme 18 auf, beispielsweise einenThe device 15 is accommodated in the piston rod-side cover 12 by a radial bearing 16, whereby the device 15 in the area of the cover 12 is preferably also provided with an axially and radially acting sealing means 17. In the area of the bearing 16, this is designed so that the storage and sealing of the device 15 takes place in a space 24 that is sealed or sealable from the atmosphere and that can be closed off from the atmosphere by a closure 19. Within this space 24, the device 15 has a tool holder 18, for example a

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Schlitz zum Eingreifen mittels eines Schraubendrehers. Auf der Länge des Gehäuses 2 ist die Vorrichtung 15 als Spindel mit Außengewinde ausgebildet; innerhalb der Bereiche, in denen die Enden der als Spindel ausgebildeten Vorrichtung 15 in die Zylinderdeckel 11,12 eintauchen ist zum Zwecke der jeweiligen endseitigen Lagerung vorteilhafterweise kein Gewinde auf die Spindel aufgebracht. Innerhalb des Zylinderdeckels 11 ist die Vorrichtung 15 in einem Radiallager 20 gelagert und durch einen Sicherungsring in axialer Richtung gesichert. Slot for engaging with a screwdriver. Along the length of the housing 2, the device 15 is designed as a spindle with an external thread; in the areas in which the ends of the device designed as a spindle 15 penetrate into the cylinder covers 11, 12, advantageously no thread is applied to the spindle for the purpose of the respective end-side bearing. Within the cylinder cover 11, the device 15 is mounted in a radial bearing 20 and secured in the axial direction by a locking ring.

Auf die Vorrichtung 15 wirkt ein federndes Toleranzausgleichsmittel 22, dessen Federkraft axial gerichtet ist. Das Toleranzausgleichsmittel 22 ist beispielhaft als Druckfeder oder ein entsprechend vorgespanntes, eine Druckkraft abgebendes Elastomer, das zwischen dem Verschluß 23 und der zugehörigen Stirnfläche der Vorrichtung 15 eingespannt ist, gewählt.A resilient tolerance compensation means 22, whose spring force is directed axially, acts on the device 15. The tolerance compensation means 22 is selected, for example, as a compression spring or an appropriately pre-tensioned elastomer that releases a compressive force and is clamped between the closure 23 and the associated end face of the device 15.

Zwischen den Stirnflächen 2.1 und 2.2 des Gehäuses 2 und dem jeweiligen, diesen Stirnflächen zugeneigten Flächen der Deckel 11 und 12 ist je ein Dichtmittel 35 derart eingebracht, daß jeweils sowohl die erste Ausnehmung 3, wie auch die weitere Ausnehmung 6.1 gegenüber der Atmosphäre fluiddicht abgedichtet sind. Durch entsprechende Ausgestaltung der endseitigen Lagerungen der Vorrichtung 15 innerhalb der Deckel 11 und 12 und durch Einbringen geeigneter Dichtmittel 17, sowie der Verschlüsse 19 und 23 sind der Signalgeber 13 mit der Signalleitung 14 und der zugehörigen Vorrichtung 15 gegen äußere Umwelteinwirkungen hermetisch geschützt. Hierbei ist selbstverständlich, zeichnerisch jedoch nicht dargestellt, daß auch die Signalleitung 14 im Bereich ihrer Durchdringung durch den Deckel 11 ebenfalls abgedichtet ist.A sealing agent 35 is inserted between the end faces 2.1 and 2.2 of the housing 2 and the respective surfaces of the covers 11 and 12 inclined towards these end faces in such a way that both the first recess 3 and the further recess 6.1 are sealed fluid-tight against the atmosphere. By appropriately designing the end bearings of the device 15 within the covers 11 and 12 and by introducing suitable sealing agents 17 and the closures 19 and 23, the signal transmitter 13 with the signal line 14 and the associated device 15 are hermetically protected against external environmental influences. It is self-evident, but not shown in the drawing, that the signal line 14 is also sealed in the area where it penetrates the cover 11.

Fig. 3 zeigt einen geöffneten fluidischen Aktor, der als Schwenkmotor ausgebildet ist. Dieser Schwenkmotor besteht u. a. aus einem Gehäuse 2.0, das eine erste Ausnehmung 3.0 aufweist, die durch einen schwenkbeweglich gelagerten Kolben 7.0 in die Druckräume 8.0 und 9.0 unterteilt ist. Der Kolben 7.0 trenntFig. 3 shows an open fluidic actuator, which is designed as a swivel motor. This swivel motor consists, among other things, of a housing 2.0, which has a first recess 3.0, which is divided into the pressure chambers 8.0 and 9.0 by a pivotally mounted piston 7.0. The piston 7.0 separates

die beiden Druckräume 8.0, 9.0 druckdicht durch entsprechend bekannte Dichtmaßnahmen, z. B. durch angepaßte Formdichtmittel.the two pressure chambers 8.0, 9.0 are pressure-tight using appropriate sealing measures, e.g. using adapted molded sealants.

Dem Druckraum 8.0 ist ein Druckmittelanschluß 5.20 zugeordnet, dem Druckraum 9.0 ein Druckmittelanschluß 5.10. Der Kolben 7.0 ist mit einer Abgriffseinrichtung, die hier als Welle 10.0 ausgebildet ist, drehmomentübertragend, schlüssig verbunden.A pressure medium connection 5.20 is assigned to the pressure chamber 8.0, and a pressure medium connection 5.10 is assigned to the pressure chamber 9.0. The piston 7.0 is connected in a torque-transmitting, locking manner to a tapping device, which is designed here as a shaft 10.0.

Der Kolben 7.0 ist mit einem Hartmagneten 30 in unmittelbarer Nähe einer Wand 2.6 bestückt. Dessen Feldlinien durchdringen die Wand 2.6, wodurch ein Signalgeber 13 an geeignetem Ort signalgebend beeinflußt wird.The piston 7.0 is fitted with a hard magnet 30 in the immediate vicinity of a wall 2.6. Its field lines penetrate the wall 2.6, whereby a signal generator 13 is influenced to emit a signal at a suitable location.

Zwischen den Wänden 2.6, 2.7 ist eine weitere Ausnehmung 6.0 ausgebildet, die einen ortsveränderbar angeordneten Signalgeber 13 aufnimmt. Die weitere Ausnehmung 6.0 weist z. B. einen rechteckähnlichen Querschnitt auf. Die Ortsveränderung des Signalgebers 13 innerhalb der Ausnehmung 6.0 erfolgt durch eine Vorrichtung 15.0, die als biegsame Welle ausgebildet ist. Diese biegsame Welle 15.0 kann u. a. aus entsprechend englagig gewickeltem Draht mit rundem Drahtquerschnitt bestehen, so daß deren äußere Mantelfläche eine annähernd gewindeförmige äußere Kontur aufweist. Diese gewindeförmige Kontur wirkt mit einer entsprechend korrespondierenden Innengewindekontur im Signalgeber 13 als Außen- und Innengewinde beim Drehen der biegsamen Welle um ihre Längsachse ortsverändernd auf den Signalgeber.A further recess 6.0 is formed between the walls 2.6, 2.7, which accommodates a signal transmitter 13 arranged in a positionally variable manner. The further recess 6.0 has, for example, a rectangular cross-section. The change in position of the signal transmitter 13 within the recess 6.0 is carried out by a device 15.0 which is designed as a flexible shaft. This flexible shaft 15.0 can consist, among other things, of a correspondingly tightly wound wire with a round wire cross-section, so that its outer surface has an approximately thread-shaped outer contour. This thread-shaped contour acts with a corresponding internal thread contour in the signal transmitter 13 as an external and internal thread to change the position of the signal transmitter when the flexible shaft is rotated about its longitudinal axis.

Die Vorrichtung ist ebenfalls beiderseits endseitig gelagert, 16, 20 und durch eine Sicherung 21 axialverschiebbar fixiert. Stirnseitig der Lagerung 20 ist ein Toleranzausgleichsmittel 22 zugeordnet, das sich einerseits hier abstützt, andererseits an der in das Gehäuse 2.0 hineinragenden Stirnseite des Verschlusses 23. Hierdurch steht das Toleranzausgleichsmittel 22 unter axialer Vorspannung. Die Vorrichtung 15.0 weist auf der dem Verschluß 23 gegenüberliegenden Stirnseite eine Werkzeugaufnahme 18 auf, um in beschriebenerThe device is also supported on both ends, 16, 20 and fixed axially displaceably by a safety device 21. A tolerance compensation device 22 is assigned to the front side of the bearing 20, which is supported on the one hand here, and on the other hand on the front side of the closure 23 protruding into the housing 2.0. As a result, the tolerance compensation device 22 is under axial prestress. The device 15.0 has a tool holder 18 on the front side opposite the closure 23 in order to

Weise die Vorrichtung 15.0 um ihre Längsachse zu drehen. Von der Werkzeugaufnahme 18 ausgehend, folgt ein radial und axial wirkendes Dichtmittel 17, dann folgend eine Lagerung 16 der Vorrichtung. Durch einen in das Gehäuse 2.0 eingebrachten Verschluß 19 ist der Bereich der WerkzeugaufnahmeWay to rotate the device 15.0 around its longitudinal axis. Starting from the tool holder 18, there is a radially and axially acting sealing means 17, then a bearing 16 of the device. The area of the tool holder is closed by a closure 19 inserted into the housing 2.0

18 gegenüber Umwelteinflüssen hermetisch abgedichtet. Wird der Verschluß18 hermetically sealed against environmental influences. If the closure

19 entfernt und mittels eines Werkzeuges die Vorrichtung 15.0 um ihre Längsachse gedreht, ändert sich der Ort des Signalgebers 13 entsprechend innerhalb der Ausnehmung 6.0. Diese Ortsänderung des Signalgebers 13 erfolgt auf einem Kreisbogen, dessen Radius vorzugsweise auf der Drehachse 7.01 der Welle 10.0 liegt. Die kreisbogenförmige Strecke auf der der Signalgeber 13 ortveränderlich einstellbar ist, ist dessen Wirkstrecke.19 is removed and the device 15.0 is rotated around its longitudinal axis using a tool, the location of the signal generator 13 changes accordingly within the recess 6.0. This change in location of the signal generator 13 takes place on an arc, the radius of which preferably lies on the axis of rotation 7.01 of the shaft 10.0. The arc-shaped path on which the signal generator 13 can be adjusted to change its location is its effective path.

Der Signalgeber 13 ist in vorn beschriebener Weise ebenfalls mit einer Signalleitung 14 und einer zeichnerisch nicht dargestellten Schleife versehen. Deren Ausgestaltung und Länge ist so bemessen, daß ungehinderte Einstellmöglichkeiten, also Ortsänderungen, des Signalgebers innerhalb der weiteren Ausnehmung 6.0 gegeben ist. In anderen Ausgestaltungen ist die weitere Ausnehmung 6.0 mit Widerstands- und/oder Kontaktbahnen ausgeführt.The signal generator 13 is also provided with a signal line 14 and a loop not shown in the drawing, as described above. Its design and length are dimensioned such that the signal generator can be adjusted without hindrance, i.e. moved to another location, within the additional recess 6.0. In other designs, the additional recess 6.0 is designed with resistance and/or contact tracks.

Durch den Deckel 11.0, gemäß Fig. 4, wird der Aktor 1.0 druckdicht verschlossen. Hierzu ist zwischen der Gehäusestirnseite 2.3 und der hiermit korrespondierenden Seite des Deckels 11.0 vorzugsweise ein geeignetes Dichtmittel eingebracht. Die Welle 10.0 durchgreift den Deckel 11.0 in bekannter Weise ebenfalls druckdicht. Durch Deckelbefestigungsmittel 4.5 bis 4.8, die mit korrespondierenden Ausnehmungen 4.9 bis 4.11 im Gehäuse 2.0 zusammenwirken, ist der Deckel 11.0 unter entsprechender Vorspannung druckdicht mit dem Gehäuse 2.0 des Aktors 1.0 verbunden.The actuator 1.0 is sealed pressure-tight by the cover 11.0, as shown in Fig. 4. For this purpose, a suitable sealing agent is preferably inserted between the housing front side 2.3 and the corresponding side of the cover 11.0. The shaft 10.0 passes through the cover 11.0 in a known manner, also in a pressure-tight manner. The cover 11.0 is connected pressure-tight to the housing 2.0 of the actuator 1.0 under appropriate pre-tensioning by cover fastening means 4.5 to 4.8, which interact with corresponding recesses 4.9 to 4.11 in the housing 2.0.

Die erwähnte Druckdichtheit bezieht sich bei einem Schwenkmotor ebenso, wie bei einem translatorisch arbeitenden Zylinder sowohl auf die Druckräume 8, 9, 8.0 und 9.0 untereinander, aber auch auf das von der Atmosphäre umgebene Aktoräußere, gleichzeitig auch auf die Ausnehmung 6, 6.0. Auch unter Einwirkung eines Fluiddruckes in den Räumen 8, 9, 8.0 und 9.0 läßt sich eine Ortsänderung des Signalgebers 13 herbeiführen, wenn der Verschluß 19 aus dem Deckel 12 bzw. aus dem Gehäuse 2.0 entfernt, somit die Vorrichtung 15, 15.0 zugänglich und mit Hilfe eines Werkzeuges um deren Längsachse gedreht wird. Nach anschließendem Einbringen des Verschlusses 19 sind der Signalgeber 13 und die Vorrichtung 15, 15.0 wieder gegen von außen einwirkende Einflüsse hermetisch dicht und mechanisch geschützt.The pressure tightness mentioned refers to a swivel motor, as well as to a translatory cylinder, both to the pressure chambers 8, 9, 8.0 and 9.0 among each other, but also to the actuator exterior surrounded by the atmosphere, and at the same time to the recess 6, 6.0. The location of the signal generator 13 can also be changed under the influence of fluid pressure in the chambers 8, 9, 8.0 and 9.0 if the closure 19 is removed from the cover 12 or from the housing 2.0, thus making the device 15, 15.0 accessible and rotating it around its longitudinal axis with the aid of a tool. After the closure 19 has been subsequently inserted, the signal generator 13 and the device 15, 15.0 are again hermetically sealed and mechanically protected against external influences.

Erfindungsgemäße fluidische Aktoren weisen vorzugsweise ein äußerlich glattes Gehäuse auf, so daß diese Aktoren reinraumgeeignet sind. Sie lassen sich weiterhin bestens in Vorrichtungen und Maschinen integrieren, die extremen Umweltedingungen ausgesetzt sind und/oder strengen Reinigungsprozessen unterliegen.Fluidic actuators according to the invention preferably have a smooth external housing, so that these actuators are suitable for cleanrooms. They can also be easily integrated into devices and machines that are exposed to extreme environmental conditions and/or are subject to strict cleaning processes.

Handelt es sich aufgabenbezogen bei dem Signalgeber um ein elektrisches Schaltmittel, ist auch dieses einfach im Aufbau und muß als solches keiner hohen Schutzklasse unterliegen. Aufgrund der erfindungsgemäßen Ausgestaltung der Aktoren ergibt sich eine prinzipbedingte, sehr hohe, Schutzklasse.If the signal generator is an electrical switching device, this is also simple in design and as such does not have to be subject to a high protection class. Due to the inventive design of the actuators, a very high protection class results in principle.

Durch die beschriebene Anordnung des Signalgebers innerhalb des Aktorgehäuses ist weiterhin eine vergleichsweise kleine Bauweise des Aktors, somit Ersparnis an erforderlichen Bauraum und ein erheblich gefälligeres Aussehen erreichbar. Hierdurch kann das Design einer Vorrichtung, Maschine oder Anlage ansprechender und somit verkaufsfördemder gestaltet werden.The described arrangement of the signal generator within the actuator housing also allows a comparatively small design of the actuator, thus saving the required installation space and a significantly more pleasing appearance. This makes the design of a device, machine or system more attractive and therefore more sales-promoting.

Claims

Protection claims:

1. Fluidic actuator, consisting of a housing with at least one fluid-tight and fluid-tightly closable first recess for receiving a piston that can be moved in the recess to a limited extent by fluid pressure, which cooperates with a tapping device, furthermore with a signal transmitter arranged at a distance from the first recess, which detects the location or movement of the piston without contact and provides corresponding signals, wherein the signal transmitter is arranged at any location, relative to the limited range of movement of the piston, characterized in that the signal transmitter (13) is introduced into a further recess (6.1, 6.0) of the housing (2, 2.0) that encloses the signal transmitter.

2. Fluidic actuator according to claim 1, characterized in that the further recess (6.1, 6.0) is spaced from the first recess (3, 30) and from the outer surface (40, 40.0) by a pressure-tight wall (2.4, 2.5, 2.6, 2.7) of the housing (2, 2.0).

3. Fluidic actuator according to claims 1 and 2, characterized in that the recess (6.1, 6.0) is designed to accommodate the signal generator (13), the signal line (14) and the device (15, 15.0).

4. Fluidic actuator according to one of the preceding claims, characterized in that the recess (6.1, 6.0) opens out of the housing (2, 2.0) and is closed in a pressure-tight manner.

5. Fluidic actuator according to one of the preceding claims, characterized in that the signal generator (13) interacts with a device (15, 15.0) arranged within the recess (6.1, 6.0), and their common effective path preferably extends approximately to the length of the recess (6.1, 6.0) and that the signal generator (13) can be adjusted and fixed in a positionally variable manner by the device (15, 15.0) within the recess (6.1, 6.0) on the effective path.

6. Fluidic actuator according to claim 5, characterized in that the change of location is carried out manually.

7. Fluidic actuator according to claim 5, characterized in that the change of location is carried out by a motor.

8. Fluidic actuator according to claim 7, characterized in that the location of the signal transmitter (13) is detected by measuring means.

9. Fluidic actuator according to claim 7 and 8, characterized in that the change of location is carried out by a stepper motor, whereby the number and direction of the steps are recorded and evaluated and this evaluation provides information about the location of the signal transmitter (13) on its effective path.

10. Fluidic actuator according to one of the preceding claims, characterized in that the signal transmitter (13) is mounted so as to be radially rotationally secured and axially displaceable.

11. Fluidic actuator according to one of the preceding claims, characterized in that the signal line (14) of the signal generator (13) is within the

Recess (6.1, 6.0) has a loop (14.1) serving to compensate for the length and that the length of the signal line (14) within the recess (6.1, 6.0) is dimensioned such that the signal transmitter (13) can be adjusted to a different location by the device (15, 15.0) on the effective path within the recess (6.1, 6.0), unhindered by the signal line (14).

12. Fluidic actuator according to one of the preceding claims, characterized in that the signal line is at least one contact track which is connected in a positionally movable manner in an electrically conductive manner to the signal transmitter (13) via electrical contact means assigned to the signal transmitter (13), and in that the contact track is introduced in a fixed position into the recess (6, 6.0).

13. Fluidic actuator according to claim 12, characterized in that the contact path is a resistance path whose resistance changes over the length of the contact path.

14. Fluidic actuator according to one of the preceding claims, characterized in that the device (15) is a spindle provided with an external thread, the usable thread length of which corresponds at least to the effective length and that the spindle interacts with a corresponding internal thread of the signal generator (13), changing its position relative to the signal generator.

15. Fluidic actuator according to one of the preceding claims, characterized in that the device (15.0) is a spirally wound flexible shaft, the outer surface of which has a thread-like contour and the usable thread length of which corresponds at least to the effective length and that the flexible shaft is provided with a corresponding

Internal thread contour of the signal generator (13), relative to the signal generator changing position, interacts.

16. Fluidic actuator according to one of the preceding claims, characterized in that the recess (6.1, 6.0) is sealed pressure-tight.

17. Fluidic actuator according to one of the preceding claims, characterized in that the device (15, 15.0) is mounted radially and axially without play.

18. Fluidic actuator according to one of the preceding claims, characterized in that the device (15, 15.0) has a tool holder (18) for adjusting the change in location of the signal transmitter (13).

19. Fluidic actuator according to one of the preceding claims, characterized in that the tool holder (18) is arranged in a space (24) which is closed against environmental influences by a closure (19).

20. Fluidic actuator according to one of the preceding claims, characterized in that the signal generator (13) provides signal changes based on magnetic field changes.

21. Fluidic actuator according to one of the preceding claims, characterized in that the signals of the signal generator (13) are of an electrical nature.

22. Fluidic actuator according to one of the preceding claims, characterized in that the signals of the signal generator (13) are of an optical nature.

23. Fluidic actuator according to one of the preceding claims, characterized in that the signals of the signal generator (13) are of a fluidic nature.

24. Fluidic actuator according to one of the preceding claims, characterized in that the signals of the signal generator (13) are wave changes.

25. Fluidic actuator according to one of the preceding claims, characterized in that the signals of the signal generator (13) are transmitted via at least one
transmitted over the air and received by a signal receiver remote from the sending location and subjected to signal detection, evaluation and processing
be supplied.