DE29624250U1 - Vorrichtung zum Positionieren von Halbleiterchips - Google Patents

Vorrichtung zum Positionieren von Halbleiterchips

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Claims (10)

1. Vorrichtung zum Positionieren eines Halbleiterchips, mit einem in mehreren Raumrichtungen beweglichen Chip­ aufnehmer, der eine Unterdruckgreifvorrichtung für den Halbleiterchip enthält, dadurch gekennzeichnet, daß der Chipaufnehmer (1) außerdem eine mechanische Greifvor­ richtung für den Halbleiterchip (14) enthält, die mit der Unterdruckgreifvorrichtung (3, 4, 5) zusammenwirkt und die wenigstens zwei einander gegenüberliegende Greifbacken (6, 7) enthält, die zum einen in der An­ saugrichtung (P) der Unterdruckgreifvorrichtung relativ zu der Unterdruckgreifvorrichtung hin und her beweglich sind und die zum anderen senkrecht zur Ansaugrichtung der Unterdruckgreifvorrichtung aufeinander zu und von­ einander weg beweglich sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Chipaufnehmer (1) zwei Greifbacken (6, 7) ent­ hält, wobei eine Greifbacke (6) senkrecht zur Ansaug­ richtung der Unterdruckgreifvorrichtung (3, 4, 5) fest­ stehend ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Greifbacken (6, 7) in der An­ saugrichtung der Unterdruckgreifvorrichtung (3, 4, 5) gemeinsam beweglich sind.
4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterdruckgreifvorrich­ tung ein Saugrohr (3) mit einer Saugspitze (5) enthält und daß auf zwei Seiten des Saugrohres und in der Nähe der Saugspitze jeweils eine Greifbacke (6, 7) angeord­ net ist.
5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest in einer Raumrichtung der Außendurchmesser des Saugrohres (3) zu der Saugspitze (5) hin aufeinanderfolgend kleiner wird.
6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in einer Raumrichtung der Außendurchmesser des Saugrohres (3) zu der Saugspitze (5) hin aufeinanderfolgend kleiner wird und daß in der dazu senkrechten Raumrichtung der Außendurchmesser des Saugrohres zur Saugspitze hin aufeinanderfolgend größer wird.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Saugrohr (3) ungefähr die Form eines Tetraeders hat, dessen eine Kante die Saugspitze (5) bildet.
8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung wenigstens eine Lichtdurchtrittsöffnung (18, 19) enthält, die an das Saugrohr (3) angrenzt und deren Querschnitt in Richtung auf die Saugspitze (5) aufeinanderfolgend kleiner wird.
9. Vorrichtung nach Anspruch 7 und Anspruch 8, dadurch ge­ kennzeichnet, daß zwei ungefähr pyramidenförmige Licht­ durchtrittsöffnungen (18, 19) vorgesehen sind, wobei jeweils eine Pyramidenfläche der Lichtdurchtrittsöff­ nungen durch eine Tetraederfläche des Saugrohres (3) gebildet wird.
10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß gegenüber der Unterdruck­ greifvorrichtung (3, 4, 5) ein spitzer Stempel (15) an­ geordnet ist, der in der Ansaugrichtung (P) der Unter­ druckgreifvorrichtung beweglich ist.
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