DE29508525U1 - Inertialsensor-Einheit - Google Patents
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Description
Bodenseewerk Gerätetechnik GmbH, Alte Nußdorfer Straße 15,
88662 Überlingen
Inertialsensor-Einheit
Die Neuerung betrifft eine Inertialsensor-Einheit zur Messung einer inertialen Messgrösse.
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Unter inertialer Messgrösse ist dabei eine Beschleunigung oder eine Drehgeschwindigkeit gegenüber dem inertialen Raum
zu verstehen.
Inertialsensoren messen die Beschleunigung oder die Drehrate gegenüber dem inertialen Raum. Solche
Inertialsensoren können dazu dienen, eine Plattform im Raum zu stabilisieren oder die Position oder Lage eines Trägers
zu messen. Zur Messung der Beschleunigung dienen Beschleunigungsmesser. Die Drehgeschwindigkeit wird durch
Kreisel gemessen oder durch "Laserkreisel", die auf dem Sagnac-Effekt beruhen. Ein grosses Problem bei solchen
Inertialsensoren besteht darin, dass sie über einen sehr grossen Messbereich von mehreren Grössenordnungen hinweg
arbeiten müssen. Es wird ausserdem hohe Genauigkeit und Driftfreiheit gefordert. Bekannte Inertialsensoren dieser
Art sind daher höchst aufwendige und entsprechend teure Bauteile.
Es sind inertiale Sensoren bekannt, die miniaturisierte Resonatoren enthalten, wobei das Resonanzverhalten des
Resonators durch die inertiale Messgrösse beeinflusst ist. Solche inertialen Sensoren sind z.B. "Quarz-Inertialsensoren".
Diese Quarz-Inertialsensoren enthalten einen Schwingquarz. Bei einem als Drehgeschwindigkeits-Sensor
ausgebildeten Inertialsensor dieser Art (QRS) wird die Frequenz des Schwingquarzes durch die Coriolis-Kraft
beeinflusst. Bei einem als Beschleunigungsmesser ausgebildeten Inertialsensor (QAS) ist ein Schwingquarz mit
einer Masse verbunden, so dass bei einer inertialen Beschleunigung durch die Trägheitskraft ein Druck auf den
Schwingquarz ausgeübt wird. Dieser Druck verändert ebenfalls die Frequenz des Schwingquarzes. Die
Grequenzänderungen können als Mass für die jeweilige inertiale Messgrösse benutzt werden.
Solche Quarz-Inertialsensoren sind klein, einfach und preisgünstig. Sie erfüllen aber nicht die an
Inertialsensoren für Stabilisierungs- oder Navigationszwecke gestellten Anforderungen hinsichtlich
Dynamikbereich und Genauigkeit. Die Quarz-Inertialsensoren arbeiten jeweils nur in einem relativ kleinen Messbereich.
Die Genauigkeit der Quarz-Inertialsensoren ist begrenzt.
Die Messcharakteristik der Quarz-Inertialsensoren ist gekennzeichnet durch komplexe, nichtlineare, funktionale
Zusammenhänge zwischen der zu messenden, inertialen Messgrösse und den Ausgangs-Meßsignalen. Dabei sind
zusätzliche Abhängigkeiten von anderen Einflussgrössen, beispielsweise der Temperatur, zu berücksichtigten.
Ein Aufsatz von Bernstein u.a. "A Micromachined Comb-Drive
Tuning Fork Rate Gyroscope" in IEEE 1993, S. 143-147, beschreibt einen Wendekreisel in Form einer
mikromechanischen Stimmgabel aus Silizium, Polysilizium
oder Nickel. Hier ergeben sich ähnliche Probleme wie bei Quarz-Inertialsensoren.
Die DE-A-42 44 014 beschreibt ein Verfahren zum Erkennen und Identifizieren von Fehlern an Sensoren mittels eines
mehrschichtigen neuronalen Netzes.
Der Neuerung liegt die Aufgabe zugrunde, eine einfach aufgebaute Inertialsensor-Einheit zu schaffen, die den für
Stabilisierungs- und Navigationszwecke gestellten Anforderungen genügt.
Insbesondere liegt der Neuerung die Aufgabe zugrunde, eine einfach aufgebaute Inertialsensor-Einheit mit hoher
Genauigkeit und ausgedehntem Messbereich zu schaffen.
Neuerungsgemäss werden diese Aufgaben dadurch gelöst, dass
- eine Mehrzahl von inertialen Sensoren so angeordnet sind, dass sie von der gleichen inertialen Messgrösse
beaufschlagt sind,
- jeder der inertialen Sensoren einen miniaturisierten Resonator enthält, dessen Resonanzverhalten durch die
inertiale Messgrösse beinflusst ist, und
die Signale der Sensoren auf gemeinsame Signalverarbeitungsmittel zur Erzeugung eines die
inertiale Messgrösse wiedergebenden Ausgangs-Meßsignals aufgeschaltet sind.
Die Neuerung gestattet die Verwendung von preisgünstig herstellbaren, miniaturisierten Inertialsensoren, z.B.
Quarz-Inertialsensoren. Durch eine Vermehrfachung solcher Sensoren und Aufschaltung der Sensorsignale auf eine
gemeinsame Signalverarbeitung kann sowohl die Genauigkeit als auch der Messbereich der gesamten Inertialsensor-Einheit
auf die Anforderungen angehoben werden, die an Inertialsensoren für Stabilisierungs- und Navigationszwecke
gestellt werden. Die Vervielfachung der Inertialsensoren wird möglich, weil jeder einzelne Intertialsensor nur einen
relativ geringen Aufwand erfordert. Statt eines aufwendigen Inertialsensors werden viele Inertialsensoren mit
geringerer Güte aber auch geringerem Preis verwendet. Dabei kann zur Messung der inertialen Messgrösse über einen
ausgedehnten Messbereich hinweg eine Mehrzahl von Sensoren mit unterschiedlichen Messbereichen vorgesehen sein, von
denen jeder in einem Teilbereich des besagten ausgedehnten Messbereiches arbeitet. Weiterhin kann zur Messung der
inertialen Messgrösse in jedem Teilbereich eine Mehrzahl von im wesentlichen übereinstimmenden Sensoren vorgesehen
sein, wobei die Messgrösse in dem Teilbereich aus Signalen aller dieser übereinstimmenden Sensoren ausgebildet ist.
Die Sensoren können aber auch alle im wesentlichen übereinstimmend ausgebildet sein, wenn es nur auf die
Genauigkeit ankommt.
Konstruktiv kann eine Inertialsensor-Einheit so aufgebaut sein, dass
- auf einem ebenen Waferträger von rechteckiger Grundform in Längsrichtung nebeneinander drei Wafer mit Gruppen
von Sensoren ausgebildet sind,
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die Eingangsachsen einer ersten und einer dazu benachbarten zweiten Gruppe bei ebenem Waferträger
zueinander parallel verlaufen,
die Eingangsachsen der dritten Gruppe bei ebenem Waferträger senkrecht zu den Eingangsachsen der ersten
und der zweiten Gruppe verlaufen und
- der Waferträger zwischen den Gruppen entlang in Querrichtung verlaufender Faltkanten um jeweils 90°
abgewinkelt sind.
Dann entsteht eine Struktur mit drei zueinander senkrechten, u-förmig angeordneten Steitenflachen, wobei
die Eingangsachsen der drei Gruppen von Inertialsensoren ein orthogonales Achsensystem bilden.
Dabei ist vorteilhafterweise ein die Signal-Verarbeitungsmittel enthaltendes Mikroelektronik-Modul in
dem von dem gefalteten Waferträger umschlossenen Hohlraum angeordnet.
Die nichtlinearen Charakteristiken der ggf. noch unterschiedlichen Inertialsensoren können dadurch
berücksichtigt werden, dass die Signalverarbeitungsmittel ein erstes neuronales Netz aufweisen, das anhand von
wirksamen inertialen Messgrössen und zugeordneten Ausgangs-Meßsignalen trainiert ist.
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Weiterhin können die Signalverarbeitungsmittel ein zweites neuronales Netz aufweisen, das auf die Erkennung von
Ausfällen von Sensoren trainiert ist und das erste neuronale Netz von dem zweiten neuronalen Netz im Sinne
einer Rekonfiguration der Sensoren beeinflussbar ist.
Es ergibt sich dann eine kompakt Inertialsensor-Einheit mit hoher Genauigkeit, grossem dynamischen Bereich und hoher
Redundanz, also Unempfindlichkeit gegen den Ausfall einzelner Sensoren.
Ausführungsbeispiele der Neuerung sind nachstehend unter Bezugnahme auf die zugehörigen Zeichnungen näher erläutert.
Figur 1 ist eine schematisch-perspektivische Darstellung
einer Inertialsensor-Einheit, die aus einer Mehrzahl von Quarz-Inertialsensoren aufgebaut ist.
Figur 2 zeigt perspektivisch ein Flugzeug und die Achsen in denen die Komponenten der inertialen
Messgrössen bestimmt werden sollen.
Figur 3 zeigt einen planen Waferträger mit drei Wafern,
die jeder eine Gruppe von Inertialsensoren tragen.
Figur 4 ist eine perspektivische Darstellung und zeigt den ersten Schritt einer Faltung des Waferträgers.
Figur 5 ist eine perspektivische Darstellung und zeigt den zweiten Schritt der Faltung des Waferträgers.
Figur 6 ist eine auseinandergezogene, perspektivische
Darstellung einer Inertialsensor-Einheit mit dem gefalteten, die Inertialsensoren tragenden
Waferträger und der zugehörigen Elektronik, die in den von dem gefalteten Waferträger umschlossenen
Hohlraum eingeschoben ist.
Figur 7 ist ein Blockdiagramm der Signalverarbeitung.
Figur 8 ist ein etwas detaillierter dargestelltes Blockdiagramm der Signalverarbeitung.
&Bgr;··
• *
Bei der Ausführung nach Fig. 1 enthält die Inertialsensor-Einheit 10 längs einer Vorderkante N Inertialsensoren
12.11, 12.21 ... 12.Nl. Der Inertialsensor 12.11 hat einen Messbereich "1", der Inertialsensor 12.21 hat einen
Messbereich "2", der sich an den Messbereich "1" anschliesst. Die weiteren, durch Strichelung angedeuteten
Inertialsensoren haben weiter sich daran anschliessende Messbereiche bis zu dem Inertialsensor 12.Nl mit dem
Messbereich "N". Die Messbereiche "1" bis N bilden sich aneinander anschliessende Teilbereiche eines ausgedehnten
Messbereichs. Die Inertialsensoren 12.11 bis 12.Nl sprechen auf Beschleunigungen in Richtung des Pfeiles 14 an. Sie
können auch Inertialsensoren sein, die auf Drehraten um die durch den Pfeil bestimmten Eingangsachsen ansprechen. Die
Inertialsensoren 12.11 bis 12.Nl überdecken zusammen einen ausgedehnten Messbereich.
Jeder der Inertialsensoren 12.11 bis 12.Nl ist vermehrfacht vorgesehen. Ausser dem Inertialsensor 12.11 sind weitere,
im wesentlichen damit übereinstimmende und ebenfalls in dem Messbereich "1" messende Inertialsensoren 12.12 bis 12. IM
vorgesehen. Ausser dem Inertialsensor 12.21 existieren die Inertialsensoren 12.22 bis 12.2M usw. Ausser dem
Inertialsensor 12.Nl existieren im wesentlichen damit übereinstimmende Inertialsensoren 12.N2 bis 12.NM. Zur
Erhöhung der Genauigkeit wird der Mittelwert der AusgangssignaIe der Inertialsensoren 12.11 bis 12.IM
gebildet. In entsprechender Weise werden die Mittelwerte der übrigen "Spalten" der "Matrix" von Inertialsensoren bis
zu den Inertialsensoren 12.Nl bis 12.NM gebildet.
In Fig. 1 ist weiter ein Paar von Inertialsensoren 16 und 18 dargestellt. Die Inertialsensoren 16 und 18 messen die
Komponenten der Messgrösse, z.B. Beschleunigung, senkrecht zueinander und zu der Richtung der durch Pfeil 14
repräsentierten Eingangsachse. Die Eingangsachse des Inertialsensors 16 ist durch einen Pfeil 20 und die
Eingangsachse des Inertialsensors 18 ist durch einen Pfeil 22 dargestellt. Die Inertialsensor-Einheit 10 enthält
ebenfalls jeweils eine "Matrix" von Inertialsensoren der
Art von Inertialsensor 18. Auch hier haben die Inertialsensoren der "Spalten" unterschiedliche
Messbereiche, die Teilbereiche eines ausgedehnten Messbereiches bilden. Auch hier werden zur Erhöhung der
Genauigkeit die Mittelwerte der Signale der Inertialsensoren jeder Spalte gebildet.
Die "Matrizen" der Inertialsensoren 16 und 18 sind in Fig. 1 nicht dargestellt. Es versteht sich, dass die
Inertialsensoren nicht notwendig, wie dargestellt, in einer rechteckigen "Matrix" angeordnet sein müssen.
Die Inertialsensoren sind zusammen mit der zugehörigen Schaltung in einem Baustein integriert.
Für Stabilisierungs- oder Navigationszwecke ist es erforderlich, inertiale Messgrössen (Beschleunigungen,
Drehgeschwindigkeiten) in drei zueinander senkrechte Achsen zu messen. Bei einem Flugzeug 24, wie es in Fig. 2
dargestellt ist, sind diese Achsen die Flugzeug-Längsachse xF, die Querachse yF und die Hochachse zF. Fig. 3 bis 6
zeigen den Aufbau einer Inertialsensor-Einheit, welche inertiale, vektorielle Messgrössen in drei Achsen zu messen
gestattet.
In Fig. 3 ist ein langgestreckt-rechteckiger Waferträger 26
dargestellt. Auf dem Waferträger 26 sitzen in Längsrichtung des Waferträgers 26 nebeneinander ein "X-Wafer" 28, ein "Z-Wafer"
30 und ein "Y-Wafer" 32. Auf dem X-Wafer 28 ist eine erste Gruppe 34 von Inertialsensoren ausgebildet. Die
Gruppe 34 von Inertialsensoren besteht beispielsweise aus Quarz-Drehgeschwindigkeitssensoren 36. Die Quarz-Drehgeschwindigkeitssensoren
(QRSs) 36 sind in einer Matrix aus Zeilen und Spalten auf dem X-Wafer ausgebildet. Die
Eingangsachsen der Quarz-Drehgeschwindigkeitssensoren 36 liegen sämtlich in Richtung des Pfeiles 38.
Die Quarz-Drehgeschwindigkeitssensoren 36 auf dem Wafer 28 können sämtlich im wesentlichen übereinstimmend ausgebildet
sein. Vorteilhafterweise sind jedoch die jeweils in einer Zeile der Matrix angeordneten Quarz-Drehgeschwindigkeitssensoren
36 wie bei der Ausführung nach Fig. 1 für unterschiedliche Messbereiche ausgelegt, die
Teilbereiche eines ausgedehnten Messbereiches bilden.
Die in einer Spalte der Matrix angeordneten Quarz-Drehgeschwindigkeitssensoren
36 sind jeweils untereinander im wesentlichen übereinstimmend. Es können auch auf dem X-Wafer
28 zusätzlich Quarz-Beschleunigungsmesser ausgebildet sein. Auch deren Eingangs- oder Empfindlichkeitsachsen
liegen in der Richtung des Pfeiles 38.
In entsprechender Weise ist der Z-Wafer 30 mit der zweiten Gruppe 42 von Quarz-Drehgeschwindigkeitssensoren 40
ausgebildet. Die Eingangs- oder Empfindlichkeitsachsen der Quarz-Drehgeschwindigkeitssensoren 40 liegen sämtlich in
Richtung des Pfeiles 44, also in Fig. 3 senkrecht zu den durch den Pfeil 38 repräsentierten Eingangs- oder
Empfindlichkeitsachsen der Quarz-
Drehgeschwindigkeitssensoren 36 der ersten Gruppe 34.
Der Y-Wafer 32 weist eine dritte Gruppe 46 von Quarz-Drehgeschwindigkeitssensoren
48 auf. Die Quarz-Drehgeschwindigkeitssensoren 48 der dritten Gruppe 46 sind in gleicher Weise in einer Matrix angeordnet wie die Quarz-
&iacgr;&ogr;
Drehgeschwindigkeitssensoren der zweiten Gruppe 42. Die Eingangs- oder Empfindlichkeitsachsen der Quarz-Drehgeschwindigkeitssensoren
48 liegen in Richtung des Pfeiles 50 parallel in Fig. 3 zu den Eingangs- oder Empfindlichkeitsachsen der Quarz-Geschwindigkeitssensoren
40 der zweiten Gruppe 42.
Der langgestreckt-rechteckige Waferträger 26 ist in der in
Fig. 4 und 5 dargestellten Weise längs der Faltkanten 52 und 54 abgewinkelt. Zunächst wird der Waferträger 26
zwischen den Wafern 28 und 30 und Gruppen 34 bzw. 42 längs der Faltkante 52 um 90° abgewinkelt. Das ist in Fig. 4
dargestellt. Dann erfolgt eine Abwinklung um weitere 90° längs der Faltkante 54. Es entsteht ein im Querschnitt uförmiges
Gebilde mit drei Abschnitten 56, 58, 60 des Waffenträgers 26. Aus Fig. 5 ist erkennbar, dass die
Richtungen der Eingangs- oder Empfindlichkeitsachsen der Quarz-Inertialsensoren 36, 40 und 48, wie sie in Fig. 4 und
5 durch die Pfeile 38, 44 bzw. 50 repräsentiert sind, zueinander orthogonal sind. Sie können in einem Flugzeug 24
in Richtung der Achsen xF, zF bzw. yF ausgerichtet werden.
Fig. 6 zeigt die konstruktive Ausbildung der Inertialsensor-Einheit.
Mit 62 ist eine Montageplatte bezeichnet. Auf der Montageplatte 62 sitzen die Abschnitte 56, 58 und 60 des
Waferträgers 26. Davon liegt der Abschnitt 60 auf der
Montageplatte 62 auf. Die Abschnitte 58 und 56 bilden die Rückwand bzw. Oberseite eines rechteckigen Gehäuses 64. Das
Gehäuse 64 ist an einer Stirnseite durch eine Gehäusewand 66 geschlossen. Auf der gegenüberliegenden Stirnseite ist
das Gehäuse 64 offen. Auf der Vorderseite, gegenüber dem Abschnitt 58 ist das Gehäuse 64 durch eine lösbare
Abdeckplatte 68 verschlossen. Von der offenen Stirnseite
her wird in das Gehäuse 64 ein Mikroelektronik-Modul 70 eingeschoben.
Das Mikroelektronik-Modul 70 enthält eine Schnittstelle 72, eine Ausleseelektronik 74, die Signalverarbeitungs-Schaltung
76, die Stromversorgung 78 sowie Verkabelung und Anschlüsse 80. Das Mikroelektronik-Modul 70 ist mit den die
Quarz-Inertialsensoren 36, 40 und 48 bildenden Wafern 28,
30 bzw. 32 über ein Flachbandkabel 82 verbunden. Dadurch ergibt sich eine sehr kompakte Inertialsensor-Einheit mit
Quarz-Drehgeschwindigkeitssensoren (QRS) und Quarz-Beschleunigungssensoren (QAS), die Drehgeschwindigkeiten
und Beschleunigungen in drei zueinander senkrechten Richtungen misst.
Die Signalverarbeitung solcher Quarz-Inertialsensoren bietet besonsere Probleme.
Quarz-Inertialsensoren liefern sehr stark nichtlineare Ausgangssignale in Form von Frequenzen. Diese Frequenzen
hängen stark nichtlinear z.B. von der Drehgeschwindigkeit ab. Mit einem bestimmten Quarz-Inertialsensor kann jeweils
nur ein begrenzter Bereich der inertialen Messgrösse um einen Arbeitspunkt herum erfasst werden. Dieser Bereich
hängt von der Dimensionierung des Quarz-Inertialsensors ab.
Ausserhalb dieses Bereiches ergibt sich praktisch keine Abhängigkeit von der Drehgeschwindigkeit. Auf der einen
Seite des Bereiches ist bei der gegebenen Dimensionierung die Empfindlichkeit zu gering. Auf der anderen Seite des
Bereiches tritt eine Sättigung ein. Und auch innerhalb des Bereiches ist die Charakteristik des Quarz-Inertialsensors
nichtlinear.
Es gilt nun, aus einer Matrix solcher Quarz-Inertialsensoren
und den von diesen gelieferten Signalen ein Meßsignal zu erzeugen, das
- über einen ausgedehnten Messbereich hinweg eine lineare Charakteristik zeigt, also einen linearen Zusammenhang
zwischen der wirksamen inertialen Messgrösse und dem durch Signalverarbeitungsmittel erzeugten Ausgangs-Meßsignal,
und
- eine gegenüber der Genauigkeit eines einzelnen Quarz-Inertialsensors
durch die Verarbeitung der Signale mehrerer im wesentlichen übereinstimmender Quarz-Inertialsensoren
für jeden Teilbereich des ausgedehnten Messbereichs erhöhte Genauigkeit besitzt.
Das wird gemäss Fig. 7 mittels eines neuronalen Netzes 84,
des "Signal-NNET", erreicht, welches einen Teil der Signalverarbeitung 76 in Fig. 6 bildet.
Das neuronale Netz 84 erhält die Signale sämtlicher Quarz-Inertialsensoren
36, 40, 48. Das neuronale Netz kann weiterhin von Signalen beaufschlagt sein, die weitere
Einflussgrössen, z.B. Temperaturen, darstellen. Das neuronale Netz 84 wird trainiert. Hierzu wird die
Inertialsensor-Einheit in Form eines Sensorblocks 86 verschiedenen inertialen Messgrössen und z.B. Temperaturen
unterworfen. Die dabei erhaltenen Ausgangssignale werden mit "Sollwerten" einer gewünschten Charakteristik
verglichen. Die Gewichte des neuronalen Netzes 84 werden nach Massgabe dieses Vergleichs nach einem vorgegebenen
Algorithmus verändert.
Ein solches Trainieren eines neuronalen Netzes ist an sich bekannte Technik und daher hier nicht im einzelnen
beschrieben.
Nach dem Trainieren des neuronalen Netzes 84 erfolgt durch das neuronale Netz
die Kompensation der komplexen, nichtlinearen Messcharakteristik der einzelnen Quarz-Inertialsensoren,
- die Kompensation der anderen Einflussgrössen, z.B. der
Temperatur,
- die Zusammenfassung der Signale von verschiedenen Quarz-Inertialsensoren, die in je einem Teilbereich des
ausgedehnten Messbereiches wirksam sind, zu einem Ausgangssignal, welches in dem gesamten ausgedehnten
Messbereich die inertiale Messgrösse wiedergibt,
- die Bildung eines die inertiale Messgrösse mit höherer Genauigkeit wiedergebenden Ausgangssignals aus
redundanten Signalen, die durch eine Mehrzahl von gleichartigen Quarz-Inertialsensoren erzeugt werden,
wobei durch Mittelwertbildung eine Erhöhung der Genauigkeit um einen Faktor 4n erzielt wird, wenn N
die Anzahl der jeweils gleichartigen Quarz-Inertialsensoren ist, und
- eine Kompensation von Montagefehlern in der Plazierung der Quarz-Inertialsensoren 36, 40, 48 auf den Wafern
28, 30,32, in der Orientierung der Wafer 28, 30, 32 auf den Abschnitten 56, 58, 60 des Waferträgers 26 sowie
von Orientierungsfehlern, die bei der Faltung des
Waferträgers 26 gemäss Fig. 4 und 5 bei der Herstellung
des Sensorblocks 86 entstehen.
Die Funktionen dieses neuronalen Netzes 84 brauchen nicht programmiert zu werden. Es ist daher nicht erforderlich,
die oben geschilderten Effekte zu modellieren. Vielmehr lernt das neuronale Netz in einer Kalibrierphase die
mathematischen Zusammenhänge zwischen den funktional beteiligten Variablen.
Bei der Herstellung des Sensorblocks 86 brauchen deshalb keine besonderen Genauigkeiten eingehalten zu werden. Der
Sensorblock 86 enthält Quarz-Drehgeschwindigkeitssensoren und Quarz-Beschleunigungssensoren. Die Signale aller
Sensoren sind auf das neuronale Netz 84 auf geschaltet. Das neuronale Netz 84 liefert an einem Ausgang 88 ein die
Drehgeschwindigkeiten repräsentierendes Ausgangssignal und an einem Ausgang 90 ein die Beschleunigungen (in drei
Achsen) repräsentierendes Ausgangssignal.
Die Quarz-Inertialsensorenin den "Spalten" jeder Matrix
sind im wesentlichen jeweils übereinstimmend. In den "Zeilen" der Matrix sind daher mehrere im wesentlichen
übereinstimmende Sätze jeweils unterschiedlichen Quarz-Inertialsensoren vorgesehen. Die Information wird dadurch
redundant geliefert, Ausser zur Erhöhung der Genauigkeit durch Mittelwertbildung kann diese Redundanz auch dazu
ausgenutzt werden, Ausfälle solcher Quarz-Inertialsensoren
zu erkennen und durch Rekonfiguration zu kompensieren.
Bei der Ausführung nach Fig. 7 wird dies durch ein weiteres neuronales Netz 92 bewirkt, ein "FDIR-NNET" (Netz für
Fehler-Detektion,-Identifikation und Sensor-Rekonfiguration)
. Das neuronale Netz 92 ist nach Art der oben erwähnten DE-A 42 44 014 aufgebaut. Dem fehlererkennenden
neuronalen Netz 92 werden die gleichen Signale von den Quarz-Inertialsensoren 36, 40, 48 zugeführt wie dem
signalverarbeitenden, neuronalen Netz 84. Das fehlererkennende neuronale Netz 92 ist darauf trainiert,
bei einem Ausfall eines Quarz-Inertialsensors oder eines
Satzes von Quarz-Inertialsensoren an einem Ausgang 94 einen "Status" zu liefern, d.h. einen Signalvektor, der angibt,
an welchem Quarz-Inertialsensor der Ausfall eintrat.
Der "Status"-Vektor ist ausserdem, wie durch einen Ausgang 96 angedeutet ist, als weiterer Eingang auf das neuronale
Netz 84 aufgeschaltet und beeinflusst dieses neuronale Netz 84. Das ist durch einen Pfeil 98 symbolisiert. Das
signalverarbeitende neuronale Netz 84 ist auch mit abgeschalteten Sensorsignalen und entsprechenden Status-Vektoren
trainiert, auf Ausfall von Quarz-Inertialsensoren zu reagieren und solche Ausfälle bei der Bildung der
Drehgeschwindigkeits- und Beschleunigungs-Signale an den
Ausgängen 88 bzw. 90 zu berücksichtigen.
Fig. 8 zeigt den Aufbau der neuronalen Netze 84 und 92.
Die auf dem Wafer 26 angeordneten Gruppen 34, 42 und 46 von Quarz-Inertialsensoren 36, 40 bzw. 48 liefern Meßsignale an
Ausgängen 100, 102 bzw. 104 getrennt für die Komponenten in Richtung der X-Achse, der Z-Achse bzw. der Y-Achse. Die
Ausgänge 100, 102 und 104 sind in Fig. 7 durch einen Bus 106 dargestellt. Die Ausgänge sind mit dem Flachkabel 82
von Fig. 6 verbunden.
Die Ausgänge 100, 102, 104 sind einmal mit dem signalverarbeitenden neuronalen Netz 84 verbunden, wie in
Fig. 7 durch einen Bus 108 dargestellt ist. Wie aus Fig. 8 ersichtlich ist, enthält das neuronale Netz 84 seinerseits
drei getrennte neuronale Netze 110, 112 und 114 für die x-
Komponenten, die y-Komponenten bzw. die z-Komponenten der
vektoriellen Messgrössen. Der tatsächlich von einer Mehrzahl von Signalausgängen gebildete Ausgang 100 ist über
eine Verbindung 116 mit dem neuronalen Netz 110 verbunden. Der Ausgang 102 ist über eine Verbindung 118 mit dem
neuronalen Netz 112 verbunden. Der Ausgang 104 ist über eine Verbindung 120 mit dem neuronalen Netz 114 verbunden.
Das fehlererkennende neuronale Netz 92 ist ebenfalls aus drei getrennten neuronalen Netzen 122, 124 und 126 für die
Quarz-Inertialsensoren 36, 40 bzw. 48 aufgebaut. Der
Ausgang 100 ist über eine Verbindung 126 mit dem neuronalen Netz 122 verbunden. Der Ausgang 102 ist über eine
Verbindung 128 mit dem neuronalen Netz 124 verbunden. Der Ausgang 104 ist über eine Verbindung 130 mit dem neuronalen
Netz 126 verbunden. Durch die neuronalen Netze 122, 124 und 126 werden Status-Vektoren für die Quarz-Inertialsensoren
36, 40 bzw. 48 erzeugt. Diese Status-Vektoren sind über Verbindungen 132, 134 bzw. 136 als weitere Eingangsgrossen
auf die jeweils zugehörigen, signalverarbeitenden neuronalen Netze 110, 112 bzw. 114 aufgeschaltet. Die
Verbindungen 132, 134 und 136 entsprechen dem Ausgang 96 von Fig. 7.
Jedes der neuronalen Netze 110, 112 und 114 liefert einmal
an einen ersten Ausgang 138, 140 bzw. 142 die betreffende Komponente &ohgr;&khgr;, &ohgr;&zgr;, &ohgr;&ggr; der Drehgeschwindigkeit und an einem
zweiten Ausgang 144, 146 bzw. 148 die betreffende Komponente ax, az bzw. yy der Beschleunigung. Die Ausgänge
138, 140 und 142 von Fig. 8 sind in dem Ausgang 88 von Fig.7 zusammengefasst.
Bei der beschriebenen Inertialsensor-Einheit werden die einzelnen Komponenten der Messgrössen unabhängig
voneinander verarbeitet.
Statt der beschriebenen Quarz-Inertialsensoren können in
ähnlicher Weise auch andere mikromechanische Inertialsensoren benutzt werden. Solche mikromechanischen
Inertialsensoren können Stimmgabel-Kreisel aus Silizium oder Polysilizium sein. Auch andere miniaturierte
Resonatoren wie Mikrooptik-Kreisel (MOGs) können für diese Anwendung in Frage kommen.
Claims (15)
1. Inertialsensor-Einheit zur Messung einer inertialen Messgrösse, dadurch gekennzeichnet, dass
- eine Mehrzahl von inertialen Sensoren (12;36;40;48) so
angeordnet sind, dass sie von der gleichen inertialen Messgrösse beaufschlagt sind,
- jeder der inertialen Sensoren (12;36;40;48) einen . miniaturisierten Resonator enthält, dessen
Resonanzverhalten durch die inertiale Messgrösse beinflusst ist, und
- die Signale der Sensoren (12;36;40;48) auf gemeinsame
Signalverarbeitungsmittel (70) zur Erzeugung eines die inertiale Messgrösse wiedergebenden Ausgangs-Meßsignals
aufgeschaltet sind.
2. Inertialsensor-Einheit nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zur Messung der inertialen
Messgrösse über einen ausgedehnten Messbereich hinweg eine Mehrzahl von Sensoren (12.11...12.Nl) mit
unterschiedlichen Messbereichen vorgesehen ist, von denen jeder in einem Teilbereich des besagten
ausgedehnten Messbereiches arbeitet.
3. Inertialsensor-Einheit nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass zur Messung der inertialen
Messgrösse in jedem Teilbereich eine Mehrzahl von im wesentlichen übereinstimmenden Sensoren (12.11...12.1M)
vorgesehen ist, wobei die Messgrösse in dem Teilbereich aus Signalen aller dieser übereinstimmenden Sensoren
ausgebildet ist.
4. Inertialsensor-Einheit nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensoren im wesentlichen
übereinstimmend ausgebildet sind.
5. Inertialsensor-Einheit nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensoren
(12;36;40;48) von Quarz-Inertialsensoren gebildet sind.
6. Inertialsensor-Einheit nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Quarz-Inertialsensoren Quarz-Beschleunigungsmesser
(QAS) sind.
7. Inertialsensor-Einheit nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Quarz-Inertialsensoren Quarz-Drehgeschwindigkeits-Sensoren
(QRS) sind.
8. Inertialsensor-Einheit nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Inertialsensoren in
einen Schaltungsbaustein integriert sind.
9. Inertialsensor-Einheit nach einem der Ansprüche 1 bis
7, dadurch gekennzeichnet, dass
die Sensoren (36,40,48) in Gruppen (34,42,46) auf der Oberfläche von Wafern (28,30,32) ausgebildet
sind, die auf einem flachen Waferträger (26)
sitzen,
die Eingangsachsen (38,44,50) der Sensoren (36,40,48) einer Gruppe (34,42,46) jeweils
zueinander parallel verlaufen und
der Waferträger (26) zwischen den Gruppen
(34,42,46) abgewinkelt ist.
10. Inertialsensor-Einheit nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass auf einem ebenen Waferträger (26)
von rechteckiger Grundform in Längsrichtung nebeneinander drei Wafer (28,30,32) mit Gruppen
(34,42,46) von Sensoren (36,40,48) ausgebildet sind, 10
- die Eingangsachsen (44,50) einer ersten und einer dazu benachbarten zweiten Gruppe (42 bzw. 46) bei ebenem
Waferträger (26) zueinander parallel verlaufen,
- die Eingangsachsen (38) der dritten Gruppe (34) bei ebenem Waferträger (26) senkrecht zu den Eingangsachsen
(44,50) der ersten und der zweiten Gruppe (42,46) verlaufen und
- der Waferträger (26) zwischen den Gruppen (34,42,46)
entlang in Querrichtung verlaufender Faltkanten (52,54) um jeweils 90° abgewinkelt sind.
11. Inertialsensor-Einheit nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass jede Gruppe (34,42,46) von
Sensoren (36,40,48) eine rechteckige Matrix von Sensoren bildet, wobei die Sensoren jeder "Spalte" der
Matrix im wesentlichen übereinstimmen und die Sensoren jeder zu den Spalten senkrechten Zeile in
unterschiedlichen Messbereichen arbeiten.
12. Inertialsensor-Einheit nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass ein die Signal-Verarbeitungsmittel
enthaltendes Mikroelektronik-Modul
(70) in dem von dem gefalteten Waf erträger (26) umschlossenen Hohlraum angeordnet ist.
13. Inertialsensor-Einheit nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die
Signalverarbeitungsmittel ein erstes neuronales Netz (84) aufweisen, das anhand von wirksamen inertialen
Messgrössen und zugeordneten Ausgangs-Meßsignalen trainiert ist.
10
10
14. Inertialsensor-Einheit nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass
die Signalverarbeitungsmittel ein zweites neuronales Netz aufweisen, das auf die Erkennung
von Ausfällen von Sensoren trainiert ist und
- das erste neuronale Netz von dem zweiten neuronalen Netz im Sinne einer Rekonfiguration der Sensoren
beeinflussbar ist.
15. Inertialsensor-Einheit nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass sie mehrere Sätze von
Sensoren für verschiedene inertiale Messgrössen aufweist.
Priority Applications (2)
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---|---|---|---|
DE29508525U DE29508525U1 (de) | 1995-05-23 | 1995-05-23 | Inertialsensor-Einheit |
IT96MI001002A IT1282728B1 (it) | 1995-05-23 | 1996-05-17 | Unita' a sensori inerziali |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE29508525U DE29508525U1 (de) | 1995-05-23 | 1995-05-23 | Inertialsensor-Einheit |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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ID=8008443
Family Applications (1)
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Country | Link |
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DE (1) | DE29508525U1 (de) |
IT (1) | IT1282728B1 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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1995
- 1995-05-23 DE DE29508525U patent/DE29508525U1/de not_active Expired - Lifetime
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1996
- 1996-05-17 IT IT96MI001002A patent/IT1282728B1/it active IP Right Grant
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US6462530B1 (en) | 2001-01-25 | 2002-10-08 | Bei Technologies, Inc. | Redundant rate sensor and method |
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DE102011115971A1 (de) * | 2011-10-13 | 2013-04-18 | Lfk-Lenkflugkörpersysteme Gmbh | Verfahren zur Bestimmung von inertialen Messgrößen |
Also Published As
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ITMI961002A1 (it) | 1997-11-17 |
ITMI961002A0 (de) | 1996-05-17 |
IT1282728B1 (it) | 1998-03-31 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R207 | Utility model specification |
Effective date: 19961031 |
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R150 | Utility model maintained after payment of first maintenance fee after three years |
Effective date: 19981120 |
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R151 | Utility model maintained after payment of second maintenance fee after six years |
Effective date: 20010927 |
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R152 | Utility model maintained after payment of third maintenance fee after eight years |
Effective date: 20030829 |
|
R071 | Expiry of right |