DE2928205C2 - Optical multi-beam modulation and deflection device - Google Patents

Optical multi-beam modulation and deflection device

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DE2928205C2
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Description

Die Erfindung betrifft eine optische Vielstrahl-Modulations- und -Ablenkvorrichtung, die on akustisch-opiisches Ablenkelement zur Abnahme fines Laserlicbtstrahls und eine Treibereinnehtung zur Erzeugung mehrerer Hochfrequenz-Treibersignale für die An steuerung des Ablenkelements aufweist, und bei der das Ablenkelement durch die verschiedenen Hochf'equenz Treibersignale gleichzeitig ansteuerbar ist. um mehrere unabhängig voneinander modulierte und abgelenkte Laserstrahlen zu erzeugen, und mit einer Einrichtung, welche die Phasen der verschiedenen Hochfrequenz Treibersignale einzeln entsprechend einem vorbestimmten Phasenschema einstellt.The invention relates to an optical multi-beam modulation and deflection device, the acoustic-opiisches Deflection element for taking off a fine laser light beam and a driver device for generating it several high-frequency driver signals for the An Has control of the deflector, and in which the Deflection element through the various high frequencies Driver signals can be controlled at the same time. by several independently modulated and deflected Generate laser beams, and with a device that shows the phases of the various high frequencies Adjusts drive signals individually according to a predetermined phase scheme.

Aus der DE-OS 22 17 607 ist ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Aufzeichnen von Informationen bekannt, wobei gemäß diesem bekannten Verfahren ein Lichtbündel auf eine akusto optische Einrichtung geworfen wird, der ein die Informationen enthaltendes Schallsignal zugeführt wird, so daß in Abhängigkeit von dem Schallsignal mindestens ein durch Beugung hervorgerufenes Lichtbündel gebildet wird und dieses Lichtbündel zur Belichtung lichtempfindlichen Aufzeichnungsmaterials verwendet wird. Der aküsto-opti* sehen Einrichtung wird zur wahlweisen gleichzeitigen Erzeugung eine Mehrzahl von durch verschieden starke Beugung hervorrufenden Lichtbündeln eine Mehrzahl von Schaltsignalen unterschiedlicher Frequenz gleichzeitig zugeführt, wobei alle durch Beugung hervorgerufenen Lichtbündel gleichzeitig zur Belichtung des Aufzeichnungsmaterials auf dieses geworfen werden und eine Relativbewegung zwischen diesem und den belichtenden Lichtbündeln erzeugt wird. Bei dieser bekannten Vorrichtung wird die gegenseitige Phasenlage einzelner phasenstarrer Oszillatoren so gewählt, daß die Amplitudenscheitelwerte der resultierenden zusammengesetzten Schwingungsform verringert werden, so daß dadurch eine höhere durchschnittliche Leistung imFrom DE-OS 22 17 607 a method and a Apparatus for recording information known, according to which known method a Light beam is thrown onto an acousto-optical device, which contains the information Sound signal is supplied, so that depending on the sound signal at least one by diffraction caused light beam is formed and this light beam for exposing light-sensitive recording material is used. The aküsto-opti * see device becomes an optional simultaneous Generation of a plurality of light bundles caused by diffraction of different strengths, a plurality of switching signals of different frequencies fed simultaneously, all caused by diffraction Light bundles are thrown onto the recording material at the same time as it is exposed and a relative movement is generated between this and the illuminating light bundles. At this known device, the mutual phase position of individual phase-locked oscillators is chosen so that the amplitude peaks of the resulting composite waveform are reduced, so that thereby a higher average performance in

ίο Schwingungsverlauf erhalten werden kann, ohne daß Verzerrungen durch den Verstärker oder andere Nichtlinearitäten des Systems in Kauf genommen werden müßten. Die Anwendung eines fest eingestellten Phasenschemas der verschiedenen Oszillatoren istίο waveform can be obtained without Distortions from the amplifier or other non-linearities in the system are accepted would have to be. The application of a fixed phase scheme of the various oscillators is

V5 jedoch insofern nachteilig, als sich das Phasenschema während des Betriebes der Ablenkvorrichtung vom optimalen voreingestellten Phasenschema entfernen kann, was von der Anzahl der Ein-Zustände und Aus-Zustände der jeweils zu modulierender. Treibersignale abhängig istV5, however, is disadvantageous in that the phase scheme Remove from the optimal pre-set phase scheme during operation of the deflector can what of the number of on-states and off-states of each to be modulated. Driver signals is dependent

Bekanntlich kann ein einziges akustisch-optisches Ablenkelement benutzt werden, um eine Anzahl von durch Beugung abgelenkten Lichtstrahlen zu erzeugen. Beispielsweise wird ein solches Element in jüngster Zeit in Verbindung mit Hochgeschwindigkeit-Laserdruckern verwendet, die einen Laser als Lichtquelle verwenden. Die bisherigen Laserdrucker umfa^en das akustischoptische Ablenkeiement zur Aufnahme eines Laserstrahls, eine Ansteuer- oder Treibersignalquelle zur gleichzeitigen Ansteuerung dieses Ablenkelements mit mehreren Hcch^equenzlaserstrahlen, die entsprechend den verschiedenen Hochfrequenz-Treibersignalen moduliert und abgelenkt sind, einen reflektierenden Polygonspiegel zum Reflektieren der Ausgangsstrahlen vom Ablenkelement senkrecht zum Ablenkwinkel der Ausgangsstrahlen zwecks Bildung eines Satzes paralleler Abtastlinien oder -zeilen sowie einen Ausdruck- oder Druckerabschnitt /um Fixieren der Bilder der Abtastzeilen. die durch die darauf haussierten Ausgangslaser· strahlen gebildet werde.".. Bei 'iieser Vorrichtung werden die verschiedenen Hochfrequenz-Treibersignale mit zugeordneten Druckdatensignalen einzeln ein- und ausgeschaltet, wobei die durch die Ein- und Aus-Zustände der Ausgangslaserstrahlen vom Ablenkelement gebildeten Daten gleichzeitig in Form einer Vielzahl von Punkten in Ahtast/eilen ausgedruckt werden, deren Zahl derjenigen der Treibersignale entspricht. Auf diese Weise werden zahlreiche Datenpunktlinien oder -zeilen bei der Abtastung mittels des rotierenden Polygonspie· gels parallel zueinander ausgedruckt.As is known, a single acousto-optic deflector can be used to deflect a number of to generate deflected light rays by diffraction. For example, one such element has recently been used used in conjunction with high speed laser printers that use a laser as a light source. The previous laser printers include the acousto-optical deflection element for receiving a laser beam, a control or driver signal source for the simultaneous control of this deflection element several high-frequency laser beams that are modulated according to the various high-frequency drive signals and are deflected, a reflective polygon mirror for reflecting the output beams from the deflector perpendicular to the deflection angle of the output beams to form a set of parallel ones Scan lines or lines as well as a printout or printer section / to fix the images of the scan lines. the output lasers booming on it rays are formed. "With this device, the various high-frequency drive signals with assigned print data signals individually switched on and off, with the on and off states of the output laser beams from the deflecting element simultaneously in the form of a plurality of points are printed out in ahtast / rush, their Number corresponds to that of the driver signals. To this Way will be numerous data point lines or rows printed out parallel to one another during scanning by means of the rotating polygon mirror.

Bei dieser Vorrichtung ist es zur Erhöhung der Druckgeschwindigkeit vorteilhaft, die Zahl der parallelen Druckpunkte oder die Zahl der die Hochfrequenz-Treibersignale liefernden Oszillatoren zu vergrößern.In this device it is used to increase the Printing speed advantageous, the number of parallel Pressure points or the number of the high frequency driver signals supplying oscillators.

Die Zahl der Oszillatoren ist jedoch aus noch zu erläuternder Gründen wegen der Streu- bzw .Störbeugung begrenzt, die durch das nicht lineare Ansprechen des akustisch-optischen Ablenkelements und eines zugeordneten Treiberversiarkers hervorgerufen wird.The number of oscillators, however, is due to the scattering and diffraction of interference, for reasons to be explained below limited by the non-linear response the acousto-optical deflector and an associated driver versiarker is caused.

Es ist schwierig eine Oszillatorgruppe aus einer Anzahl von F.m/eloszillatoren herzustellen, deren Schwingungsphasen ideal zufallsmäßig verteilt und Voneinander unabhängig sind, weil bei mehreren, voneinander unabhängigen Oszillatoren deren Schwingungsphasen bestrebt sind, einander mitzunehmen. Wenn mehrere Hochfrequenz-Treibersignale mit gleichen Phasen gleichzeitig an das Ablenkelement angelegt werden, kann dessen resultierendes Treibersi-It is difficult to create a group of oscillators from one Number of F.m / eloszillatoren to manufacture whose Vibration phases are ideally randomly distributed and independent of one another, because with several, independent oscillators whose oscillation phases strive to take each other with them. When multiple high-frequency drive signals with the same phase are sent to the deflector at the same time can be created, its resulting driver

gnal sehr hohe Scheitel- bzw. Spitze-Spitze-Amplituden besitzen, die groß genug sind, um das Ablenkelement zu veranlassen, in nicht-linearer Weise auf die einzelnen Treibersignale anzusprechen und dabei eine Intermodulation der Signalkomponenten herbeizuführen, wodurch neben der normalen Beugung auch Störbeugungen eingeführt werden. Dasselbe gilt für den Treiberverstärker. Hierdurch wird die Güte der ausgedruckten Daten stark verschlechtert. Die ungünstigen Einflüsse verstärken sich mit zunehmender Oszillatorzahl.gnal very high peak or peak-to-peak amplitudes that are large enough to cause the deflector to act in a non-linear manner on the individual To address driver signals and thereby bring about an intermodulation of the signal components, whereby In addition to normal diffraction, interference diffraction can also be introduced. The same goes for the driver amplifier. This severely degrades the quality of the printed data. Reinforce the adverse influences with increasing number of oscillators.

Um die Störbeugung aufgrund dieser Nichtünearität zu vermeiden, sind Techniken bekanntgeworden, um die Schdtelwertamplitudp.n des resultierenden Treibersignals zu verringern. Man hat dafür beispielsweise ein Schema für die Phasenbeziehung zwischen den Ausgangsgrößen der einzelnen Oszillatoren festgesetzt und zwar in Form von phasenstarren Oszillatoren. Diese Maßnahme führte zu einer Differenzierung der optimalen Phasenbeziehung unter den Oszillatoren in Abhängigkeit von der Zahl der Oszillatoren, die in den Ein-Zustand gebracht werden. Eine einzige Phasenbeziehung ist jedoch für eine große Anzahl von parallel gedruckten Punkten nicht ausreichend unr" es können Störausgangsgrößen in Abhängigkeit von dem verwendeten Druckschema übrigbleiben.To the interference diffraction due to this non-inearity To avoid, techniques have become known to measure the Schdtelwertamplitudp.n of the resulting drive signal to reduce. For example, one has a scheme for the phase relationship between the output variables of the individual oscillators in the form of phase-locked oscillators. These Measure led to a differentiation of the optimal phase relationship among the oscillators in Depending on the number of oscillators in the Be brought on-state. However, a single phase relationship is in parallel for a large number of The printed dots are not sufficient and there may be interference output variables depending on the used Print scheme remain.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine optische Vielstrahl-Modulations- und -Ablenkvornch tung der eingangs genannten Art zu schaffen, bei der eine optimale Phasenbeziehung zwischen den Oszillatoren in Abhängigkeit von den jeweiligen zu druckenden Zeichen auswählbar ist, um dadurch die Amplitudenscheitelwerte eines Treibersignals für das jeweils zu druckende Zeichen zu verringern und zwar unt>.r Reduzierung von Störbeugungen.The invention is therefore based on the object of providing an optical multi-beam modulation and deflection device to create device of the type mentioned, in which an optimal phase relationship between the oscillators can be selected as a function of the respective characters to be printed in order to thereby determine the amplitude peak values of a driver signal for the respective character to be printed, namely below> .r Reduction of interference.

Ausgehend von der Vielsirahl-Modulations- und -Ablenkvorrichtung der eingangs definierten Art wird diese Aufgabe erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die die Hochfrequenz-Treibersignaie erzeugenden Oszillatoren mit einem gemeinsamen Bezugsoszillator verbun den sind, um den Oszillatoren eine Bezugsphase aufzuprägen, daß eine mit allen Oszillatoren verbundene Phasenschema-Bestimmungsschaltung vorgesehen ist, in der mehrere verschiedene Phasenschemata gespeichert sind, daß die Phasenschema-Bestimmungsschaltung mit Meßfühlern verbunden ist, die die Zahl der im Ein-Zustand und im Aus-Zustand befindlichen ?u modulierenden Treibersignale totstellen, wobei in Abhängigkeit von dem Meßergebnis der Meßfühler ein optimales Phasenschema ausgewählt und eingestellt wird.Based on the Vielsirahl modulation and Deflection device of the type defined at the outset, this object is achieved according to the invention in that the the oscillators generating the high-frequency driver signals are connected to a common reference oscillator those are to impress a reference phase on the oscillators, that one associated with all the oscillators Phase scheme determination circuit is provided in which several different phase schemes are stored that the phase scheme determination circuit is connected to sensors that determine the number of on-state and off-state? u modulating driver signals, whereby in Depending on the measurement result of the sensors, an optimal phase scheme is selected and set will.

Vorteilhaft kann c'.ie Phasensteuereinnchtung die Phasen der verschiedenen Hochfrequenz-Treibersigna-Ie in Übereinstimmung ,nit Phasenschemata steuern, die für die jeweiligen Ein/Aus-Schemata der ansteuernden Hochfrequenz-Treibersignale vorherbestimmt worden sind.The phase control device can advantageously use the Phases of the various high-frequency driver signals in accordance, nit phase schemes control the has been predetermined for the respective on / off schemes of the driving high-frequency driver signals are.

Im folgenden ist eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung im Vergleich zum Stand der Technik anhand der Zeichnung näher erläutert Es zeigtThe following is a preferred embodiment the invention in comparison to the prior art explained in more detail with reference to the drawing. It shows

Fig. 1 eine schematische Darstellung eines bisherigen Laserdruckers mit einem Lasergerat als Lichtquelle,Fig. 1 is a schematic representation of a previous one Laser printer with a laser device as a light source,

Fi g. 2a eine graphische Darstellung der Frequenzabhängigkeit der Diffraktions- bzw. Beugungsleistung des akustisch-optischen Ablenkelements gemäß Fig. I1 Fi g. 2a is a graph showing the frequency dependency of the diffraction or diffraction efficiency of the acousto-optical deflector shown in FIG. I 1

Fi g. 2b eine graphische Darstellung der Wellenform eines Vielfrequenz-Signals aus einer Vielzahl von Hochfrequenz-Treibersignalkomponenten mit gleichen Phasen,Fi g. 2b is a graphical representation of the waveform of a multi-frequency signal of a plurality of High frequency drive signal components with equal phases,

Fig.3 ein Blockschaltbild einer anderen herkömmlichen optischen Vielstrahl-Modulations- und -Ablenkvorrichtung,
Fig.4 eine graphische Darstellung zur Erläuterung der Anordnung nach Fig. 3 und
Fig. 3 is a block diagram of another conventional multi-beam optical modulating and deflecting device;
4 shows a graphic representation to explain the arrangement according to FIGS. 3 and

F i g. 5 ein Blockschaltbild einer Ausführungsform einer Vielstrahl-Modulations- und -Ablenkvorrichtung mit Merkmalen nach der Erfindung.
Bei dem in Fig. 1 dargestellten, bisherigen Laser-
F i g. 5 shows a block diagram of an embodiment of a multi-beam modulation and deflection device with features according to the invention.
In the previous laser shown in Fig. 1

)0 drucker wird das von einer Laserlichtquelle 10 emittierte Laserlicht durch ein Strahlformsystem 12 geleitet, um zu einem gewünschten Lichtstrahl oder -bündel umgesetzt zu werden, der bzw. das wiederum auf ein akustisch-optisches Ablenkelement 14 fällt, welches durch eine allgemein mit 16 bezeichnete Treibersignalquelle angesteuert wird. Letztere enthält mehrere Oszillatoren, bei der dargestellten Anordnung drei Oszillatoren 18,20 und 22, die jeweils verschiedene Schwingfrequenzen besitzen. Von den Oszillatoren 18—22 abgegebene Hochfrequenz-Treibersignaie werden einer Addierschaltung 24 eingegeben und in dieser zu einem Vielfrequenz-Treibersio tal 26 zusammengesetzt. Nach der verstärkung durch eu.an Verstärker 28 wird dieses Treibersignal 26 an das genannte Ablenkelement 14 angelegt, um dieses mit den im Treibersignal enthaltenen Hochfrequenz-Treibersignalen gleichzeitig anzufeuern.) 0 printer gets this from a laser light source 10 emitted laser light passed through a beam shaping system 12 in order to form a desired light beam or -bundle to be implemented, which in turn falls on an acousto-optical deflection element 14, which is controlled by a generally designated 16 driver signal source. The latter contains several oscillators, in the arrangement shown three oscillators 18, 20 and 22, each different Have oscillation frequencies. High frequency drive signals emitted by the oscillators 18-22 are an adder 24 input and in this to form a multi-frequency driver 26 composed. After reinforcement by eu. To amplifier 28 this drive signal 26 is applied to the said deflection element 14 to this with the in the drive signal to fire contained high-frequency driver signals at the same time.

Der auf das Ablenkelement 14 fallende Laserstrahl wird in Abhängigkeit von den einzelnen, das Vie'.frequenz-Treibersignal 26 am Ablenkelement 14 bildenden Hochfrequenz-Treibersignalen gebeugt und dabei in mehrere, im vorliegenden Fall drei Ausgangsstrahlen 30, 32 und 34 aufgeteilt, die jeweils Beugungswinkel entspreche nd der Frequenz der Treibersignale besitzen.The laser beam falling on the deflection element 14 is dependent on the individual, the Vie'.frequency drive signal 26 on the deflection element 14 forming high-frequency drive signals and thereby in several, in the present case three output beams 30, 32 and 34 divided, each of which is an angle of diffraction corresponding to the frequency of the driver signals.

Die abgelenkten ^usgangsstrahlen 32, 34 und 36 werden durch ein fokussierendes optisches System 36 geleitet und soda'in senkrecht zum Ablenkwinkel durch einen rotierenden Polygonspiegel 38 abgetastet, um auf einem Druckerteil 40 nicht dargestellte, längsveilaufende Abtast;?eilen zu bilden, deren Zahl derjenigen der Treibersignale entspricht. Der Druckerteil 40 bewirkt Hie Fixierung der durch die Abtastzeilen geformten Bilder.The deflected output beams 32, 34 and 36 are made by a focusing optical system 36 passed and soda'in perpendicular to the angle of deflection a rotating polygon mirror 38 is scanned to on a printer part 40, not shown, longitudinally To form scanning lines, the number of which corresponds to that of the drive signals. The printer part 40 effects Here fixation of the images formed by the scanning lines.

Bei dieser beschriebenen V ^richtung können also durch Ein und Ausschalten der betreffenden Oszillatoren mittels zugeordneter Drucksignple durch die ElN- oder AUS· Zustände der Ausgangsstrahlen vom Ablenkelement dargestellte Daten in Form einer Vielzahl von Punkten gleichzeitig in den Abtastzeilen ausgedruckt werden.In this described V ^ direction so can by switching the relevant oscillators on and off by means of assigned pressure signals through the ON or OFF states of the output beams from the deflection element displayed data is printed out in the form of a plurality of dots in the scanning lines at the same time will.

Bisherige Verfahren bzw. Vorrichtungen, wie die vorstehend anhjnd von Fig. I beschriebene, stellen fortschrittliche Möglichkeiten zur Gewährleistung der Modulation eines Laserstrahls mit hoher Geschwmdig-Previous methods and devices, such as those described above in connection with FIG advanced ways to ensure the Modulation of a laser beam with high speed

5S ktit bei verringerter Drehzahl des rotierenden Polygonspiegels 3-B dar. um die modulierten Strahlen mit hoher Zeilenabtastfrequenz abzutasten, wobei d,e Eigenschaften der vorhandenen akustisch-optischen Ablenkelemente bestmöglich genutzt werden. Da eine Abweichung der Drehachse des Drehspiegel unmittelbar die Positionsgenauigkeit, mit welcher die Abtastung der Laserstrahlen im System erfolgt, beeinflußt, wird der Drehspiegel vorteilhaft mit möglichst niedriger Drehzahl angetrieben, um dadurch seine Stabilität zu5S ktit at a reduced speed of the rotating polygon mirror 3-B. Around the modulated beams with high Scan line scan frequency, where d, e properties the existing acoustic-optical deflection elements can be used in the best possible way. There is a deviation the axis of rotation of the rotating mirror directly determines the positional accuracy with which the scanning of the If laser beams occur in the system, the rotating mirror is advantageously operated at the lowest possible speed driven to thereby increase its stability

verbessern und seine Betriebslebensdauer zu verlängern. improve and extend its operating life.

Zu diesem Zweck wird vorzugsweise die Zahl der die parallelen Druckzeilen bildenden Punkte oder die ZahlFor this purpose, it is preferable to use the number of dots forming the parallel print lines or the number

der in der Treibersignalquelle 16 enthaltenen Oszillatoren innerhalb des zulässigen Frequenzbands des verwendeten Ablenkelements auf eine möglichst große Zahl vergrößert. Bei einer Vergrößerung der Zahl von Oszillatoren werden jedoch tatsächlich die Schwingphasen der einzelnen Oszillatoren mitgezogen bzw. aneinander angekoppelt. Aus diesem Grund erwies es sich bisher als schwierig, eine Gruppe von Oszillatoren zu bilden, deren Schwingphasen ideal zufallsmäßig verteilt und voneinander unabhängig sind.the oscillators contained in the drive signal source 16 within the permissible frequency band of the deflection element used to as large as possible Number enlarged. However, when the number of oscillators is increased, the oscillation phases actually become of the individual oscillators are dragged along or coupled to one another. Because of this, it turned out So far it has been difficult to form a group of oscillators whose oscillation phases are ideally random distributed and independent of each other.

Die von den einzelnen Oszillatoren (18^22) gelieferten Hochfrequcnz-Treibersignale lassen sich ausdrücken durchThe ones supplied by the individual oscillators (18 ^ 22) High frequency drive signals can be expressed by

Fn = An sin (2 η fnt + 'Pn), F n = A n sin (2 η f n t + 'P n ),

worin An und f„ Amplitude bzw. Frequenz der Treibersignale und η = 1. 2 .., Λ/ bedeuten, und zwar tjnter der Voraussetzung, daß die Phasen </>„ dieser Signale phasengleich sind, nämlich ζ. Β. Φη = 0 gilt. Unter diesen Bedingungen besitzt ersichtlicherweise ein resultierendes Signal F=ZFn hohe Scheitel- bzw. Spitze-Spitze-Amplituden.where A n and f " mean the amplitude or frequency of the drive signals and η = 1, 2 .., Λ /, on the condition that the phases </>" of these signals are in phase, namely ζ. Β. Φ η = 0 applies. Under these conditions, it can be seen that a resulting signal F = IF n has high peak or peak-to-peak amplitudes.

Beispielsweise sei angenommen, daß N = 8 gilt, so daß das resultierende Signal bzw. Vielfrequenz-Signal 26 acht Frequenzsignalkomponenten enthält, und daß das akustisch-optische Ablenkelement 14 eine von der Frequenz abhängige Beugungsleistung gemäß F i g. 2a besitzt, in welcher die Beugungsleistung η auf der Ordinate gegenüber der Frequenz auf der Abszisse aufgetragen ist. Gemäß F i g. 2a besitzt die Beugungsleistung oder -größe η einen Wert von 0,75 bei der Mittenfrequenz Fc und einen solchen von 0,5 an der oberen und unteren Grenze /"mj, bzw. fm,ndcr Arbeitsfrequenzbandbreite des Ablenkeiements 14. Unter den angenommenen Voraussetzungen wird mittels eines elektronischen Rechners die Amplitude des resultierenden Signals F mit den Amplituden An der acht Signalkomponenten mit jeweils gleicher Bengungsleistung und mit Null betragenden Phasen Φο simuliert bzw. nachgebildet. Das Ergebnis dieser Nachbildung ist in Fig.2b veranschaulicht, in welcher auf der Ordinate die augenblickliche Amplitude des Signals Fund auf der Abszisse die Zeit aufgetragen sind. Gemäß Fig.2b entsteht dabei eine sehr große Scheitelamplitude.For example, it is assumed that N = 8, so that the resulting signal or multi-frequency signal 26 contains eight frequency signal components, and that the acousto-optical deflection element 14 has a frequency-dependent diffraction power according to FIG. 2a, in which the diffraction power η is plotted on the ordinate versus the frequency on the abscissa. According to FIG. 2a, the diffraction power or size η has a value of 0.75 at the center frequency F c and a value of 0.5 at the upper and lower limits / " mj , or f m , n of the working frequency bandwidth of the deflection element 14. Among the Assumed conditions, the amplitude of the resulting signal F is simulated or simulated by means of an electronic computer with the amplitudes A n of the eight signal components, each with the same Bengungsleistungs and with zero phases Φ ο . The result of this simulation is illustrated in Fig.2b, in which the instantaneous amplitude of the signal Fund is plotted on the ordinate and the time on the abscissa.

Wenn das resultierende Treibersignal 26 gemäß F i g. 2b eine hohe ScheitelampHtude besitzt, wird der Verstärker 28 durch diese hohe Scheitetamplitude des Signals 26 gesättigt, so daß er nicht mehr linear auf die Eingangssignale Fn (mit n = 1, 2, ..„ N) anzusprechen vermag. Infolgedessen entsteht im Verstärker 28 und im Ablenkelement 14 Nichtlinearität wobei Intermodulation zwischen den Treibersignalkomponenten auftritt. Aus diesem Grund erzeugt das Ablenkelement 14 Streuoder Störausgangsstrahlen gebeugten Lichts zusätzlich zu den normalen Ausgangsstrahlen, die mit den Komponenten des Vielfrequenzsignals 26 gebeugt wurden. Diese Beugungsstreu- oder -störstrahlen beeinträchtigen die Güte der ausgedruckten Daten sehr stark.When the resulting drive signal 26 as shown in FIG. 2b has a high peak amplitude, the amplifier 28 is saturated by this high peak amplitude of the signal 26, so that it is no longer able to respond linearly to the input signals F n (with n = 1, 2, ... “ N) . As a result, non-linearity occurs in amplifier 28 and deflector 14, with intermodulation occurring between the drive signal components. For this reason, the deflector 14 generates scattered or spurious output beams of diffracted light in addition to the normal output beams diffracted with the components of the multi-frequency signal 26. These diffraction stray or interference rays have a very strong impact on the quality of the printed data.

Beim Verstärker 28 könnte der Bereich des linearen Ansprechens bei der Verstärkung des resultierenden Treibersignals 26 mit hoher Scheitelamplitude verbreitert werden, doch erfordert diese Maßnahme einen mit sehr hoher Leistung arbeitenden Verstärker, so daß sie nicht wirtschaftlich ist Da außerdem der Dynamikbereich des Ablenkelements 14 endlich ist, kann nicht erwartet werden, daß dieses Laserausgangsstrahlen liefert, die mit dem resultierenden Treibersignal mit hohen Scheiielamplituden linear sind, außer dann, wenn die Amplitude jedes Treibersignals An ziemlich kleinIn the case of the amplifier 28, the range of linear response in amplifying the resulting drive signal 26 with a high peak amplitude could be broadened, but this measure requires a very high-powered amplifier, so that it is not economical. this cannot be expected to provide laser output beams that are linear with the resulting drive signal having high beam amplitudes unless the amplitude of each drive signal A n is quite small

gehalten wird. Diese Maßnahme erfordert die Verwendung einges Lasers Wesentlich größerer Leistung, so daß sie ebenfalls unwirtschaftlich ist. Je größer die Zahl der Oszillatoren (z. B. 18—22) ist, um so deutlicher werden diese ungünstigen Auswirkungen.is held. This measure requires the use of a laser with a significantly greater power, so that it is also uneconomical. The greater the number of oscillators (e.g. 18-22), the clearer it is will these adverse effects.

In Fig.3, in welcher den Teilen von Fig. 1In Fig.3, in which the parts of Fig. 1

ίο entsprechende Teile riiit denselben Bezugsziffern wie dort bezeichnet sind, ist eine herkömmliche Ausführungsform einer optischen Vielstrahl-Modulations- und -Ablenkvorrichtung dargestellt. Diese Vorrichtung unterscheidet sich von derjenigen nach F ί g. I durch die Schaltungskonfiguration der Treibersignalquelle 16.ίο corresponding parts have the same reference numbers as denoted therein is a conventional embodiment of a multi-beam optical modulation and Deflection device shown. This device differs from that according to FIG. I through the Circuit configuration of the drive signal source 16.

Die Treibersignalquelle 16 enthält mehrere phasengeregelte Oszillatoren 20-M-20·ΛΜ, die jeweils an Modulatoren 20-Iß— 20-NBangeschlossen sind, an die wiederum die einzelnen Drucksignale 42-1—42-Λ/ angelegt werden, sowie einen mit aiien oszillatoren 20-M — 2Q-NA verbundenen Bezugsoszillator 44, um erstercn eine Bezugsphase aufzuprägen.The driver signal source 16 contains several phase-controlled oscillators 20-M-20 ·, which are each connected to modulators 20-Iß-20- NB , to which the individual pressure signals 42-1-42-Λ / are applied, as well as one with aiien oscillators 20-M- 2Q-NA connected reference oscillator 44 to first impress a reference phase.

Die Modulatoren 20-lß— 20-NB sind gemeinsam an eine Addierschaltung 24 und über diese an einen Verstärker 28 angeschlossen. Das resultierende bzw. kombinierte Treibersignal 26 von der Addierschaltung 24 wird durch den Verstärker 28 verstärkt und dann an das akustisch-optische Ablenkelement 14 angelegt.The modulators 20-13-20 -NB are jointly connected to an adder circuit 24 and via this to an amplifier 28. The resulting or combined drive signal 26 from the adder circuit 24 is amplified by the amplifier 28 and then applied to the acousto-optic deflector 14.

Gemäß F i g. 3 sind die phasengeregelten Oszillatoren 20-1Λ—20-NA vorgesehen, um eine Phasenregelung jedes Hochfrequenz-Treibersignals für die Ansteuerung des Ablenkelemtnts 14 zu gewährleisten und dadurch die gewünschte Wirkung zu erzielen.According to FIG. 3, the phase-controlled oscillators 20-1Λ— 20-NA are provided in order to ensure phase control of each high-frequency driver signal for controlling the deflection element 14 and thereby to achieve the desired effect.

Die phasengeregelten Oszillatoren können beispielsweise aus an sich bekannten Phasenregelkreis-Oszillatoren bestehen.The phase-locked oscillators can, for example, consist of phase-locked loop oscillators known per se exist.

Zur Verdeutlichung der Wirkung der Phasenregelung ist die Wellenform des resultierenden Treibersignals 26 mittels eines elektronischen Rechners, mit Ausnahme der Schwingphasen der Oszillatoren, unter denselben Bedingungen nachgeahmt worden, wie sie vorher für die Wellenform nach Fig. 2b vorausgesetzt wurden. Insbesondere wurde vorausgesetzt, daß das resultierende Treibersignal 26 acht Frequenzsignalkomponenten enthält (d. h. N = 8) und daß das Ablenkelement 14 die in Fig. 2a veranschaulichte Frequenzabhängigkeit seiner Beugungsleistung besitzt Die acht Frequenzsignalkomponenten von den einzelnen Oszillatoren 20-lA— 20-NA wurden jedoch auf die jeweiligen Phasen Φπ vonTo illustrate the effect of the phase control, the waveform of the resulting drive signal 26 has been simulated by means of an electronic computer, with the exception of the oscillation phases of the oscillators, under the same conditions as were previously assumed for the waveform according to FIG. 2b. In particular, it has been assumed that the resulting drive signal 26 includes eight frequency signal components (ie, N = 8) and that the deflector 14, the illustrated in Fig. 2a frequency dependence of its diffraction efficiency has the eight-frequency signal components from the individual oscillators 20-la-20-NA, however, were on the respective phases Φ π of

so st. π. 0. 0, 0. 0. α und 0 in Radianten eingestellt Das Ergebnis dieser Nachahmung ist in F i g. 4 veranschaulicht, in welcher die Achsen von Ordinate und Abszisse dieselbe Bedeutung wie in Fig.2b besitzen und in dieselben Maßeinheiten wie dort unterteilt sind.so st. π. 0. 0, 0. 0. α and 0 set in radians. The result of this mimicking is shown in FIG. 4 illustrates in which the axes of the ordinate and abscissa have the same meaning as in FIG. 2b and are divided into the same units of measurement as there.

Aus Fig.4 geht hervor, daß die Amplitude des resultierenden Treibersignals frei ist von jeder hohen Scheiteiampütude. Dies beruht auf der vorstehend beschriebenen Phasenanordnung bzw. dem Phasenschema. From Figure 4 it can be seen that the amplitude of the resulting driver signal is free from any high level of confusion. This is based on the above described phase arrangement or the phase scheme.

ω Diese Phaseneinstellung kann durch eine Schätzfunktion bestimmt werden, die entweder durch VP oder durch Av/P gebildet wird, wobei P den absoluten Scheitelwert der Amplitude des resultierenden Treibersignais und A ρ deren Mittelwert bezeichnen. Genauerω This phase setting can be determined by an estimator which is formed either by V P or by Av / P , where P denotes the absolute peak value of the amplitude of the resulting drive signal and A ρ denotes its mean value. More accurate

gesagt: die Größe von '/p oder A v/P wird für jede einzelne Phasen-Anordnung für jeden der EIN- und AUS-Zustände der WDrucksignale berechnet.said: the magnitude of '/ p or A v / P is calculated for each individual phase arrangement for each of the ON and OFF states of the W pressure signals.

Die Wellenform gemäß Fig.4 wurde mit einerThe waveform according to Figure 4 was with a

Phasenanordnung (π, π, 0, 0, 0, 0, st, 0) ermittelt, die so eingestellt war, daß sich für die Schätzfunktion aus A v/P in bezug auf die acht Treibersignalkomponenten eine maximale Größe ergab.Phase arrangement (π, π, 0, 0, 0, 0, st, 0) determined, which was set so that a maximum size resulted for the estimator from A v / P with respect to the eight driver signal components.

F i g. 5 veranschaulicht ein Ausführungsbeispiel einer Vielstrahl-Modulätions- und -Ablenkvorrichtung nach der Erfindung, bei welcher das optimale Phasenschema für jeden einzelnen der verschiedenen Drucksignalsätze bbütunmt wird. Bei dieser Anordnung werden die Drucksignale 42-1 —42-Λ/nicht nur an die zugeordneten Modulatoren 20-1 b—20-NB, sondern auch an einen ersten Meßfühler 46 zur Messung der Zahl der im EIN-Zustand vorliegenden Drucksignale und an einen zweiten Meßfühler 48 zur Bestimmung der im AUS-Zustand befindlichen Drucksignale angelegt. Die beiden Meßfühler 46,48 sind an eine Phasenschema-Bestimmungsschaltung 50 angeschlossen, die ihrerseits mit allen phasengeregelten Oszillatoren 20-1Λ—20-NA verbunden ist und in welcher mehrere verschiedene Phasenschemata gespeichert sind, rmc-!i denen die Schwingphasen aller Oszillatoren entsprechend den verschiedenen Größen der Zahl sowie der Muster oder Schemata der im EIN-Zustand befindlichen Drucksignale optimal angeordnet werden, welche durch die eine öder andere der oben beschriebenen Schätzfunktionen bestimmt werden. Diese Schaltung 50 vermag das optimale der gespeicherten Phasenschemata in Abhängigkeit von den von beiden Meßfühlern 46 und 48 gemessenen Größen zu wählen und die Schwingphasen der Oszillatoren 20-1.4—20-NA entsprechend dem gewählten Schema zu regeln. Infolgedessen können alle Oszillatoren mit den optimalen Phasen schwingen, die entsprechend dem Zustand der Drucksignale 42-1 — 42-Λ/eingestellt werden.F i g. Figure 5 illustrates an embodiment of a multi-beam modulation and deflection device according to the invention, in which the optimal phase scheme is determined for each one of the various pressure signal sets. In this arrangement, the pressure signals 42-1 -42-Λ / are not only to the associated modulators 20-1 b- 20- NB, but also to a first sensor 46 for measuring the number of pressure signals present in the ON state and to one second sensor 48 is applied to determine the pressure signals in the OFF state. The two sensors 46,48 are connected to a phase scheme determination circuit 50, which in turn is connected to all phase-controlled oscillators 20-1Λ- 20-NA and in which several different phase schemes are stored, rmc-! I which the oscillation phases of all oscillators according to the various sizes of the number as well as the patterns or schemes of the pressure signals in the ON state can be optimally arranged, which are determined by one or the other of the estimation functions described above. This circuit 50 is able to select the optimal one of the stored phase schemes as a function of the quantities measured by the two measuring sensors 46 and 48 and to regulate the oscillation phases of the oscillators 20-1.4-20-NA in accordance with the selected scheme. As a result, all of the oscillators can vibrate with the optimal phases, which are set according to the state of the pressure signals 42-1 - 42-Λ /.

Aus der vorstehenden Beschreibung geht hervor, daß die Treibersignalquelle gemäß F i g. 5 ein resultierendes Treibersignal mit einer Wellenform liefert, die — verglichen mit der Anordnung nach Fig.3 — weiter unterdrückte Scheitelamplituden besitzt und sich daher der idealen Wellenform annähert Hierdurch wird das Ansprechverhalten der Vorrichtung in vorteilhafter Weise linoarisiertFrom the above description it can be seen that the drive signal source shown in FIG. 5 a resulting Provides the drive signal with a waveform which - compared with the arrangement according to FIG has suppressed peak amplitudes and therefore approximates the ideal waveform The response behavior of the device is advantageously linearized

Es hat sich gezeigt, daß es nicht unbedingt nötig ist, in der Phasenschema-Beslimmungsschaltung 50 für alle Kombinationen der Drucksignale besonders günstige Phasenschemata zu speichern, vielmehr können in der Schaltung 50 mit zufriedenstellendem Ergebnis nur ein 5 oder einige wenige Phasenschemasälze für jede Größe der Zahl von Drucksignaien in deren EIN-Zustand gespeichert Sein. Ebenso hat es sich gezeigt, daß für eine kleine Zahl von im EIN-Zustand vorliegenden Drucksignalen ein einziges vorbestimmtes Schema ausreichend sein kann.It has been shown that it is not absolutely necessary in the phase scheme determination circuit 50 is particularly favorable for all combinations of the pressure signals To store phase schemes, rather only one can be used in the circuit 50 with a satisfactory result 5 or a few phase scheme salts for each size of the number of pressure signals in their ON state being saved. It has also been shown that for a small number of ON-state pressure signals, a single predetermined scheme is sufficient can be.

Der Verstärker 28 liefert dem Ablenkelement 14 (Fig. I) das resultierende Treibersigna! mit den Signalkomponenten, weiche das vorher in Verbindung mit Fig.4 beschriebene Phasenschema besitzen. Darts aufhin liefert das Ablenkelement 14 eine Anzahl von unter Beugung abgelenkten Laserlichtstrahlen. Wie im Fall der bisherigen Laserdrucker werden die modulierten, abgelenkten Laserstrahlen vom Ablenkelement 14 durch das optische Fokussiersystem 26 geleitet undThe amplifier 28 supplies the deflection element 14 (FIG. I) with the resulting drive signal! with the Signal components that have the phase scheme previously described in connection with FIG. darts the deflection element 14 then delivers a number of diffraction deflected laser light beams. Like in In the case of the previous laser printers, the modulated, deflected laser beams are deflected by the deflection element 14 passed through the optical focusing system 26 and

ΐο anschwuScnd 'auf die in Verbindung mit Fig.! beschriebene Weise verarbeitet ΐο swelled on the in connection with Fig.! processed in the manner described

Aus der vorstehenden Beschreibung geht hervor, daß mit der Erfindung für die Parallelansteuerung eines akustisch-optischen Ablenkelements mittels einer Anzahl von Hochfrequenz-Treibersignalen eine Einrichtung zur Regelung oder Einstellung der Phasen dieser Signale geschaffen wird, um die Scheitelamplitude eines resultierenden Treibersignals aus den verschiedenen Hochfrequenzsignalen zu unterdrücken. Hierdurch kann das nichtlineare Verhalten des Ablenkelements und eines zugeordneten Verstärkers verringert werden, so daß die Vorrichtung stabil und mit hoher Beugungsleistung des Ablenkelements sowie mit verringertem Leistungsbedarf für den Verstärker betrieben werden kann. Erfindungsgemäß wird mithin unter bestmöglicher Ausnutzung der Eigenschaften der vorhandenen akustisch-optischen Ablenkelemente eine hochqualitative Modulation und Ablenkung eines Laser(Iicht)strahls mit überhoher Geschwindigkeit gewährleistet Die Wirkung der beschriebenen Phasenregelung wird um so deutlicher, je größer die Zahl der paraHelen Treibersignale istFrom the above description it can be seen that with the invention for the parallel control of a Acousto-optic deflector means a device by means of a number of high frequency drive signals to control or adjust the phases of these signals is created to adjust the peak amplitude of a to suppress the resulting drive signal from the various high-frequency signals. Through this the non-linear behavior of the deflector and an associated amplifier can be reduced, so that the device is stable and with high diffraction power of the deflector and with reduced Power requirement for the amplifier can be operated. According to the invention is therefore under the best possible utilization of the properties of the existing acoustic-optical deflection elements High quality modulation and deflection of a laser (light) beam guaranteed at extremely high speed The effect of the phase control described becomes clearer, the greater the number of paraHelen driver signals

Hierzu 3 Blatt ZeichnungenFor this purpose 3 sheets of drawings

1» 225/40*1 »225/40 *

Claims (2)

Patentansprüche:Patent claims: 1. Optische Vielstrahl-Modulations- und -Ablenkvorrichtung, die ein akustisch-optisches Ablenkelement zur Abnahme eines Laserlichtstrahls und eine Treibereinrichtung zur Erzeugung mehrerer Hochfrequenz-Treibersignale für die Ansteuerung des Ablenkelements aufweist, und bei der das Ablenkelement durch die verschiedenen Hochfrequenz-Treibcrsignale gleichzeitig ansteuerbar ist, um mehrere unabhängig voneinander modulierte und abgelenkte Laserstrahlen zu erzeugen, und mit einer Einrichtung, weiche die Phasen der verschiedenen Hochfrequenz-Treibersignale einzeln entsprechend einem vorbestimmten Phasenschema einstellt, dadurch gekennzeichnet, daß die die Hochfrequenz-Treibersignale erzeugenden Oszillatoren (20-1Λ 1. Optical multi-beam modulation and deflection device, an acousto-optic deflection element for picking up a laser light beam and a Driver device for generating several high-frequency driver signals for controlling the Having deflector, and wherein the deflector by the various high frequency drive signals can be controlled at the same time to several independently modulated and deflected Generate laser beams, and having a device that softens the phases of the various high frequency drive signals individually adjusts according to a predetermined phase scheme, thereby characterized in that the high-frequency drive signals generating oscillators (20-1Λ 20-NA) mit einem gemeinsamen Bezugsoszillator (44) verbunden sind, um den Oszillatoren eine Bezugsphase aufzuprägen, daß eine mit allen Oszillators verbundene Phasenschema-Bestimmungsschaltung (50) vorgesehen ist, in der mehrere verschiedene Phasenschemata gespeichert sind, daß die Phasenschema-Bestimmungsschaltung (50) mit Meßfühlern (46, 48) verbunden ist, die die Zahl der im Ein-Zustand und im Aus-Zustand befindlichen zu modulierenden Treibersign&'.e feststellen, wobei in Abhängigkeit von dem Meßergebnis der Meßfühler (46,48) ein optimales Phasenschema ausgewählt und eingestellt wird.20- NA) are connected to a common reference oscillator (44) in order to impress a reference phase on the oscillators, that a phase scheme determination circuit (50) connected to all oscillators is provided, in which several different phase schemes are stored, that the phase scheme determination circuit ( 50) is connected to measuring sensors (46, 48) which determine the number of driver signals to be modulated in the on-state and in the off-state, with an optimal phase scheme depending on the measurement result of the measuring sensors (46, 48) is selected and set. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet. _aß die Phaseneinstellung durch eine Schätzfunktion bestimmt is- die entweder durch 1Zp oder durch Av/Pgebildet ist. wobei Pden absoluten Scheiielwert der Ampütudf des resultierenden Treibersignals und A Vderen Mittelwert bezeichnen.2. Apparatus according to claim 1, characterized. _that the phase setting is determined by an estimation function - which is formed either by 1 Zp or by Av / P. where P denotes the absolute shift value of the ampute df of the resulting drive signal and A V denotes its mean value.
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