DE2918454A1 - Messvorrichtung zur ermittlung von steigungs- und formfehlern - Google Patents

Messvorrichtung zur ermittlung von steigungs- und formfehlern

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DE2918454A1
DE2918454A1 DE19792918454 DE2918454A DE2918454A1 DE 2918454 A1 DE2918454 A1 DE 2918454A1 DE 19792918454 DE19792918454 DE 19792918454 DE 2918454 A DE2918454 A DE 2918454A DE 2918454 A1 DE2918454 A1 DE 2918454A1
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DE
Germany
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DE19792918454
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Klaus Ing Grad Herzog
Erich Ing Grad Holzwarth
Hans Joachim Ing Grad Neumann
Werner Prof Dipl Ing Streib
Gerhard Ing Grad Trieb
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Carl Zeiss SMT GmbH
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Carl Zeiss SMT GmbH
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/28Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B7/283Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring contours or curvatures of gears

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)

Description

  • Meßvorrichtung zur Ermittlung von Steigungs- und Formfehlern
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine automatische Meßvorrichtung zur Ermittlung von Steigungsfehlern von Spindeln und Gewinden sowie Flankenformfehlern und Richtungswinkelfehlern von Zahnrädern, bei der keine mechanischen Obertragungseinrichtungen wie Vergleichsgetriebe oder Wälzlineale Verwendung finden. Vielmehr werden aus einem elektronischen Vergleich der Drehbewegung des zu prüfenden Zahnrads oder der Spindel mit der Linearbewegung eines an einem Schlitten befestigten Meßkopfes, der in das betreffende Zahnrad oder in die Spindel eingreift, die für die Prüfung relevanten Größen wie z.B. Flankenform und Richtungswinkel bzw. Gewinde- oder Spindel Steigung gewonnen.
  • Derartige jedoch nur jeweils für eine bestimmte Art der Prüfung ausgelegte Vorrichtungen sind bereits bekannt. Bei einer in der DE-OS 20 64 277 beschriebenen Vorrichtung zur Ermittlung des Einflankenwälzfehlers von Zahnräder wälzt sich ein an einem linear verschiebbaren Schlitten befestigter Prüfzahn an den zu untersuchenden Flanken der einzelnen Zähne des Rads ab, das dadurch gedreht wird. Der Verschiebeweg des Schlittens wird elektrisch gemessen und mit den Signalen eines entsprechend an der Zahnradachse befestigten Drehgebers zur Ermittlung der Bearbeitungsfehler verglichen.
  • Durch das Abwälzen von Prüfling und Prüfzahn üben diese jedoch recht große Kräfte aufeinander aus, die dazu innerhalb der Meßperiode zeitlich nicht konstant sind. Dadurch wird die erreichbare Meßgenauigkeit derartiger Vorrichtungen begrenzt. Weiterhin ist es nachteilig, daß für die zu untersuchenden Zahnräder jeweils hochgenaue Prüfzähne hergestellt werden müssen, was insbesondere bei der Prüfung von Einzelstücken oder Kleinstserien einen großen Zeitaufwand erfordert.
  • Bei einer anderen bekannten Vorrichtung (DE-OS 16 73 877), die vorzugsweise zum Messen von Spindel steigungen geeignet ist, wird die Spindel in eine Drehbewegung versetzt und von ihr ein an eine Prüfmutter gekoppelter Schlitten bewegt. Hier werden ebenfalls die Drehbewegung und die Längsbewegung des Schlittens elektrisch gemessen und in einem Komparator miteinander verglichen, der Abweichungen vom Sollmaß aufzeichnet.
  • Diese Vorrichtung besitzt die gleichen Nachteile wie die zuerst beschriebene, da ebenfalls ein mechanisches Mitnehmen des Meßsystems über eine genau gefertigte Prüfmutter erfolgt.
  • Beide Vorrichtungen ermöglichen es nicht, unterschiedliche Prüfvorgänge, wie die Bestimmung der Wälzfehler und die Richtungswinkel durchzuführen. Ein schrägverzahntes Rad müßte daher zur Bestimmung beider Größen auf mehrere Prüfvorrichtungen aufgespannt werden, was zeit- und kostenintensiv ist und eine Automatisierung des Meßablaufs erschwert. Bei der Steigungsfehlermessung beschränkt sich der Einsatz dieser Vorrichtungen,bei denen entweder nur der Prüfling oder nur der Meßkopf angetrieben wird, auf die Bereiche kleiner oder großer Steigung wegen der unvermeidlichen reibungsbedingten Querkräfte.
  • Aus der DE-PS 24 29 664 ist eine Prüfvorrichtung für Zahnräder bekannt, bei der das zu prüfende Zahnrad und der für die Prüfung verwendete Taster einen eigenen Antrieb besitzen. Die Drehbewegung des Prüflings wird gemessen und das resultierende digitale Signal nach Vervielfachung gemäß dem Obersetzungsverhältnis dazu verwendet, die Tasterbewegung zu steuern. Abweichungen des Prüflings von seiner Sollform bewirken ein Ansprechen des mit dem Taster verbundenen Meßfühlers, dessen Ausgangssignale aufgezeichnet werden.
  • Bei dieser Vorrichtung wird die Regelabweichung, die zwischen der Soll- und Iststellung des den Taster tragenden Schlittens auftritt und die während des Meßvorgangs im allgemeinen variiert, nicht berücksichtigt.
  • Die Aufgabe der vorliegenden Erfingung ist es, eine schnell und hochgenau arbeitende Vorrichtung zur Prüfung von Zahnrädern, Spindeln und Gewinden zu schaffen, welche die Messung von Flankenform, Richtungswinkel und Steigung beliebiger Obersetzungsverhältnisse ohne die Benutzung spezieller für den Prüfling angefertigter Werkzeuge bei konstanter, möglichst kleiner auf den Prüfling wirkender Kraft ermöglicht.
  • Diese Aufgabe wird gemäß dem kennzeichnenden Teil des Hauptanspruchs dadurch gelöst, daß a) die den Prüfling aufnehmende drehbare Halterung und der verschiebbare Schlitten jeweils einen eigenen Antrieb besitzen; b) der am Schlitten befestigte Meßkopf einen Taststift trägt, der ein seiner Auslenkung gegenüber dem Meßkopf proportionales elektrisches Signal abgibt; c) Mittel vorgesehen sind, die beim Drehen der Halterung aus dem Drehwinkel, dem Verschiebeweg und der Tasterstellung ein Regelsignal bilden, das den Schlitten über dessen Antrieb so nachführt, daß der Taststift jeweils an der Flanke des Prüflings anliegt, und die ein die Abweichung des Prüflings von der Sollform charakterisierendes Signal erzeugen.
  • Für die Funktionsweise der Vorrichtung ist es nicht wesentlich, daß der Prüfling primär angetrieben wird, es kann auch der Meßkopf angetrieben und das Regelsignal zur Nachsteuerung der Drehbewegung des Prüflings benutzt werden.
  • Zur Ermittlung der Bearbeitungsfehler muß während der Prüfung laufend der Verschiebeweg des Schlittens, der Drehwinkel des Prüflings und die Tasterstellung gemessen werden. Es ist jedoch nicht nötig, alle drei Größen zur Bildung des Regelsignals heranzuziehen, beispielsweise kann durch das die Taststifstellung charakterisierende Ausgangssignal des Meßkopfs allein ein Steuern des nachlaufenden Antriebs bewirkt werden.
  • Die Messung von Drehwinkel und Verschiebeweg erfolgt zweckmäßigerweise digital durch gekannte photoelektrische Systeme. Für den Vergleich von Drehwinkel und Verschiebeweg zur Ermittlung der Bearbeitungsfehler ist eine Teilerstufe vorgesehen, die entweder die Signale des Drehgebers oder des Längsgebers einstellbar gemäß dem Obersetzungsverhältnis des zu prüfenden Systems durch eine nicht notwendigerweise ganze Zahl teilt. Die somit eindeutig einander zugeordneten Signale des Drehgebers und des Längsgebers können z. B. anschliessend einem Phasenvergleich unterworfen werden, und das der Phasendifferenz proportionale Ausgangssignal dient zusammen mit dem Ausgangssignal des Meßkopfes zur Ermittlung der Bearbeitungsfehler des Prüflings oder zum Nachsteuern eines Antriebs.
  • Phasendifferenz und Taststifstellung können digital oder analog miteinander verglichen werden, je nach Art der für die Meßwerterfassung vorgesehenen Aufzeichnungsgeräte.
  • Die Vorteile der Erfindung gegenüber bekannten Vorrichtungen liegen darin, daß ohne größere Umrüstarbeiten eine Vielzahl verschiedener Zahnräder und Spindeln auf unterschiedliche Größen hin bei gleichzeitiger Steigerung der Meßgenauigkeit schnell überprüft werden können. Abgesehen von der Zeit und Arbeitsersparnis, die durch die Verwendung nur eines Meßkopfes eintritt, der mit wenigen leicht auswechselbaren Taststiften versehen ist, die keine speziell auf den Prüfling abgestimmte Form besitzen müssen und die zum Prüfen unterschiedlicher Größen wie Steigung und Flankenform geeignet sind, tritt eine Zeitersparnis innerhalb eines Meßzyklus dadurch ein, daß die in der Erfindung realisierte Nachlaufsteuerung bei einem für derartige Vorrichtungen geforderten automatischen Meßablauf schneller arbeiten kann, als bei der Verwendung eines die Bewegung des Prüflings und des Tasters steuernden und zur Meßwertbildung miteinander vergleichenden üblichen Prozeßrechners möglich wäre.
  • Eine Beschränkung der Meßgeschwindigkeit zur Vermeidung der Ausmittelung der zu messenden Bearbeitungsfehler durch die Massenträgheit einer mitgenommenen Meßeinrichtung ist nicht nötig, da der Taststift mit seiner geringen Masse allen Unebenheiten genau folgen kann. Das Aufbringen der für ein Mitnehmen des Prüflings durch den Meßschlitten oder umgekehrt nötigen Kräfte durch einen eigenen Antrieb führt ebenfalls zu einer Genauigkeitssteigerung bei der Prüfung, da nur noch die zur Auslenkung des Taststifts gegenüber dem Meßkopf nötigen Kräfte auftreten, die durch geeignete Wahl bezüglich der Aufhängung des Stiftes nahezu beliebig klein und über den Bereich der Auslenkung konstant gehalten werden können.
  • Durch die Berücksichtigung der drei unabhängig gemessenen Größen Drehwinkel, Verschiebeweg und Tasterstellung bie der Meßwertermittlung wird eine hochgenaue Bestimmung der Steigungs- und Formfehler ermöglicht.
  • Die Figuren 1-3 der beigefügten Zeichnungen verdeutlichen den Erfindungsgegenstand an jeweils einem Ausführungsbeispiel.
  • Fig. 1 zeigt in einem Prinzipschaltbild eine mögliche Anordnung der Komponenten der Meßvorrichtung am Beispiel einer Spindelsteigungsmessung; Fig. 2 zeigt eine andere Ausführungsform bei der Evolventenprüfung; Fig. 3 zeigt ein drittes Ausführungsbeispiel bei der Steigungsfehlermessung von Zahnrädern.
  • Der Ablauf der Steigungsmessung nach Fig. 1 beginnt damit, daß nach entsprechender Positionierung des Prüflings 2 und des Meßkopfs 11 ein Motorantrieb 1 die zu prüfende Spindel 2 in eine Drehbewegung versetzt. Der mit dem Prüfling auf derselben Achse befestigte Inkrementalgeber 3 erzeugt pro Umdrehung n Impulse. Diese Impulse werden in der Teilerstufe 4 geteilt und einem Sollwertzähler 5 zugeführt. Ober einen Differenzbildner 6 und einen Digital-Analog-Umsetzer 7 werden die gezählten Impulse in eine analoge Spannung umgesetzt, die über die Verstärkerstufe 8 einen Antrieb 9 ansteuert. Der Antrieb 9 treibt einen Schlitten 10 an, an dem der Meßkopf 11 und ein Inkrementalgeber 12 (Längsgeber) angebracht sind. Der Inkrementalgeber 12 erzeugt m Impulse pro Umdrehung der zu prüfenden Spindel 2. Dabei ist m der Quotient aus der Steigung 5 des Prüflings 2 und einem Inkrementalschritt 1 des Längsgebers 12.
  • Die vom Längsgeber 12 erhaltenen Impulse werden von dem Istwertzähler 13 erfaßt, der seinen Zählwert an den Differenzbildner 6 weitergibt. Der Differenzbildner 6 führt laufend einen Soll-Istwert-Vergleich durch und gibt die Differenz (Regelabweichung) über den Digital-Analog-Umsetzer 7 an den Antrieb 9 weiter, der nun, abhängig von der Drehgeschwindigkeit des Prüflings 2 und dessen Steigung, den Meßkopf 11 nachführt.
  • Die Teilerstufe 4 teilt die vom Drehgeber 3 ankommenden Impulse n so, daß sie den vom Längsgeber 12 erzeugten Impulsen m mit einem max. Fehler von einem Inkrementalschritt i in jedem Augenblick entsprechen. Das vom Sollwert der Steigung s abhängende Teilerverhältnis T ist vor dem Prüfvorgang einzustellen und berechnet sich zu ~ n ni m s wobei T eine nicht ganze Zahl ist. Handelt es sich z.B. bei der Prüfung um eine ir-Steigung, so muß T soviel Stellen nach dem Komma aufweisen, daß auf eine bestimmte Meßlänge der Fehler durch das Teilerverhältnis T kleiner als ein Inkrementalschritt i wird.
  • Der Meßkopf 11, der z.B. aus einem Induktiv-Tast-System bekannter Bauart bestehen kann, erfaßt die Steigungsfehler des Prüflings 2 und die Regelabweichung, die durch die Massenträgheit des Regelkreises entsteht. Diese Regelabweichung wird in der Subtrahierstufe 14 von dem Meßsignal 15 abgezogen. Das somit erhaltene Signal enthält nur noch den Fehler des Prüflings 2 und wird über eine Verstärkerstufe 16 auf ein Registriergerät 17 als Fehlerkurve aufgezeichnet.
  • Das in Fig. 2 dargestellte Ausführungsbeispiel, mit dem die Messung von Flankenformen (Evolventen) an Zahnrädern demonstriert wird, benutzt im wesentlichen die gleichen Baugruppen wie das vorstehend beschriebene Ausführungsbeispiel. Der Unterschied zwischen Fig. 1 und Fig. 2 besteht darin, daß der Antrieb 9 nicht über den Soll-Istwert-Differenzbildner 6 angesteuert wird, sondern über den Meßkopf 11. Bei einer Drehung des Prüflings 2 mit dem Antrieb 1 wird der Taststift 31 am Meßsystem 11 ausgelenkt. Mit dem dadurch gewonnenen Signal (Regelabweichung) wird über die Verstärkerstufe 8 der Antrieb 9 gesteuert.
  • Am Differenzbildner 6 entsteht wieder durch Soll-Istwert-Vergleich der digitale Wert des Flankenformfehlers und der Regelabweichung, der mit dem D/A-Umsetzer 7 in eine analoge Spannung (Meßsignal 15) umgesetzt wird. Wie in Fig. 1 wird in der Subtrahierstufe 14 die Regelabweichung berücksichtigt und dann das Signal über die Verstärkerstufe 16 auf dem Registriergerät 17 aufgezeichnet.
  • Im Fall der Evolventenprüfung berechnet sich das Teilerverhältnis T der Teiler stufe 4 zu n . i T = dg.# ' dgsir' wobei dg der Grundkreisdurchmesser des Zahnrades ist. Der das Sollmaß des Prüflings charakterisierende Wert für T wird vor der Messung dem Teiler eingegeben.
  • Als weitere Auswertungsmöglichkeit ist die digitale Verarbeitung des Meßsignals in Fig. 2 aufgenommen. Hierzu wird das Regelabweichungssignal des Meßkopfs 11 vom Analog-Digital-Umsetzer 18 digitalisiert und anschließend im Differenzbildner 19 vom Wert des Soll-Istwert-Differenzbildners 6 subtrahiert. Ein Prozeßrechner 21 kann das Signal zur weiteren Datenverarbeitung übernehmen und in der gewünschten Form über Peripherie-Geräte 22, wie Plotter, Drucker, Lochstreifen u.ä. ausgeben.
  • Die Vorrichtung in Fig. 3 zeigt die Richtungsfehlermessung an einem Zahnrad.
  • Wie bei Fig. 2 wird der Antrieb 9 über das Ausgangssignal des Meßkopfes 11 angesteuert. Der Vergleich zwischen der Drehbewegung des Prüflings und der Linearbewegung des Meßkopfes erfolgt durch eine digitale Phasenmessung: die vom Drehgeber 3 ankommenden Impulse n werden in der Teilerstufe 4 geteilt. Jeder durchgelassene Impuls (Startimpuls) öffnet einen Zähler in dem Phasenmeßglied 24.
  • Ein vom Längsgeber 12 kommender Impuls (Stopimpuls) schließt den Zähler. Die Phasenlage beider Impulse zueinander gibt den augenblicklichen Fehler der Steigung des Prüflings 2 und die Regelabweichung des Meßkopfes 11 wieder. Ausgemessen wird die Phasenlage durch Impulse, die ein Interpolator 23 bekannter Bauart vom Lineargeber ableitet.
  • Von dem digitalen Wert des Phasenmeßgliedes 24 wird in der Differenzbildungsstufe 19 die Regelabweichung, die über den Analog-Digital-Umsetzer 18 ins Digitale transformiert wurde, subtrahiert.
  • Die von dem Differenzbildner ausgegebenen digitalen Werte, in diesem Fall Steigungsfehler des Zahnrades, können über einen Rechner 21 weiterverarbeitet werden oder über einen Digital-Analog-Umsetzer 7 und einen Verstärker 16 auf einem Registriergerät 17 als Fehlerkurve aufgezeichnet werden.
  • Das in die Teilerstufe 4 einzugebende Teilerverhältnis errechnet sich zu dabei ist: ßO der Schrägungswinkel do der Teilkreisdurchmesser des Zahnrades.
  • Jede der in Fig. 1-3 beschriebenen Meßanordnung eignet sich dazu, eine beliebige Steigung z. B. Gewinde- oder Spindel steigung, Flankenformen und Richtungswinkel bei Zahnrädern, zu messen. Es ist auch ohne weiteres möglich, anstatt wie in Fig. 1-3 dargestellt die Längsbewegung nachzusteuern, die Drehbewegung des Prüflings nachzuführen.
  • Weiter muß die Differenzbildung 6 nicht über zwei Zähler 5 und 13 (Soll-Istwert-Zähler) erfolgen, sondern es kann auch ein Vor-Rückwärtszähler als Differenzbildner ausgebildet sein.
  • Leerseite

Claims (10)

  1. PatentanprUche 1. Meßvorrichtung zur Ermittlung von Steigungsfehlern von Gewinden und Spindeln sowie von Flankenformfehlern und Richtungswinkel fehl ern von Zahnrädern, bestehend aus einer drehbaren Halterung, an der der Prüfling zentrisch befestig ist und die eine Einrichtung zum elektrischen Messen der Drehbewegung besitzt, und einem linear verschiebbaren Schlitten, der eine äquivalente Einrichtung zum Messen seines Verschiebeweges bestitzt und einen Meßkopf trägt, der an der zu messenden Flanke des Prüflings gleitet, dadurch gekennzeichnet, daß a) die den Prüfling aufnehmende drehbare Halterung und der verschiebbare Schlitten (10) jeweils einen eigenen Antrieb (1,9) besitzen; b) der am Schlitten befestigte Meßkopf (11) einen Taststift (31) trägt, der ein seiner Auslenkung gegenüber dem Meßkopf proportionales elektrisches Signal abgibt, und c) Mittel (30) vorgesehen sind, die beim Drehen der Halterung aus dem Drehwinkel, dem Verschiebeweg des Schlittens und der Tasterstellung ein Regelsignal (d) bilden, das den Schlitten (10) über seinen Antrieb (9) so nachführt, daß der Taststift (31) jeweils an der Flanke des Prüflings (2) anliegt, und die ein die Abweichung des Prüflings von der Sollform charakterisierendes Signal erzeugen.
  2. 2. Meßvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß primär der den Meßkopf (11) tragende Schlitten (10) verschoben wird und die Drehbewegung der den Prüfling (2) tragende Halterung nachgeregelt wird.
  3. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1-2, dadurch gekennzeichnet, daß das Regelsignal (d) aus den elektrischen Größen (a,b) gebildet wird, die vom Drehwinkel der Halterung des Prüflings und vom Verschiebeweg des Schlittens (10) abgeleitet sind.
  4. 4. Vorrichtung nach Anspruch 1-2, dadurch gekennzeichnet, daß das Regelsignal (d) von der Auslenkung des Taststifs (31) abgeleitet ist.
  5. 5. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1-4, dadurch gekennzeichnet, daß die Messung von Drehwinkel und Verschiebeweg digital erfolgt und mindestens eine Teilerstufe (4) vorgesehen ist, die die Signale des Drehgebers (3) oder des Lineargebers (12) durch eine nicht ganze Zahl teilt, die sich aus den Obersetzungseigenschaften des Prüflings ergibt.
  6. 6. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1-5, dadurch gekennzeichnet, daß für den Vergleich von Drehbewegung und Verschiebeweg ein Phasendifferenzmeßglied (24) vorgesehen ist, das die Verschiebung der vom Drehgeber (3) und vom Lineargeber (12) erzeugten Signale nach ihrer eindeutigen Zuordnung durch die Teilerstufe (4) über die Anzahl der Impulse mißt, die ein mit einer der beiden Meßeinrichtungen gekoppelter Interpolator (23) abgibt.
  7. 7. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1-5, dadurch gekennzeichnet, daß für den Vergleich von Drehbewegung und Verschiebeweg ein Sollwertzähler (5) und ein Istwertzähler (13) verwendet ist, in denen die Impulse (b) des Lineargebers (12) und die den Teiler (4) durchlaufenden Impulse (a) des Drehgebers (3) erfaßt werden und ein ebenfalls vorgesehener Differenzbildner (6) die Zählerinhalte vergleicht.
  8. 8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß anstelle der Soll-und Istwertzähler mit Differenzbildner ein Vor-Rückwärtszähler vorgesehen ist.
  9. 9. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1-8, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel (18) zur Digitalisierung des der Taststiftstellung proportionalen Ausgangssignals des Meßkopfs (31) und zur digitalen Berechnung (19) der Abweichung des Prüflings von seiner Sollform vorgesehen sind.
  10. 10. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1-8, dadurch gekennzeichnet, daß ein Digital-Analog-Wandler (7) Verwendung findet, der das aus einem digitalen Vergleich von Drehbewegung und Verschiebeweg des Schlittens gewonnene Signal in ein entsprechend analoges Signal umformt, das nach dem Vergleich mit dem analogen Signal des Meßkopfs (11) in einem ebenfalls vorgesehenen Komporator (14) zur direkten Anzeige der Fehlerkurve des Prüflings auf einem Registriergerät (17) dient.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1982000513A1 (en) * 1980-08-07 1982-02-18 Beardsley R Measurement of radial dimensions of cylindrical form threaded workpieces
DE3125929A1 (de) * 1981-07-01 1982-04-01 Höfler, Willy, Dr.-Ing., 7500 Karlsruhe Selbstaendig arbeitendes messgeraet zur teilungspruefung
WO2000063643A1 (en) * 1999-04-15 2000-10-26 Australian Centre For Advanced Medical Technology Ltd 3d rotary digital scanner

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