DE2916760C2 - Vorrichtung zur Meßung der Bewegungsgröße eines rotierenden Gegenstandes - Google Patents

Vorrichtung zur Meßung der Bewegungsgröße eines rotierenden Gegenstandes

Info

Publication number
DE2916760C2
DE2916760C2 DE19792916760 DE2916760A DE2916760C2 DE 2916760 C2 DE2916760 C2 DE 2916760C2 DE 19792916760 DE19792916760 DE 19792916760 DE 2916760 A DE2916760 A DE 2916760A DE 2916760 C2 DE2916760 C2 DE 2916760C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
rotating
gradations
fixed elements
rotating object
tooth
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE19792916760
Other languages
English (en)
Other versions
DE2916760A1 (de
Inventor
Hiroomi Yamakitamachi Kanagawa Ogasawara
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP4960578A external-priority patent/JPS54141657A/ja
Priority claimed from JP14983778A external-priority patent/JPS5575614A/ja
Priority claimed from JP14983678A external-priority patent/JPS5575613A/ja
Application filed by Individual filed Critical Individual
Publication of DE2916760A1 publication Critical patent/DE2916760A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2916760C2 publication Critical patent/DE2916760C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/24Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance
    • G01D5/241Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes
    • G01D5/2417Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes by varying separation

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Description

des Rotationskörpers R angeordnet sind Es wird aber bemerkt, daß die Beziehung in den Abstufungen bzw. Ausschnitten zwischen dem Rotationskörper R und dem feststehenden Element S\ um 180° in der Phase verschoben sind, und zwar von der Beziehung der Abstufungen zwischen dem Rotationskörper R und dem feststehenden Element S2. Mit anderen Worten, wenn angenommen ist, daß die Kantenteile des feststehenden Elementes Si, die nicht ausgeschnitten oder ausgenommen sind
":', (im folgenden als »Vorsprünge der Kante«) bezeichnet,
Γ mit den Vorsprüngen des Umfanges des Rotationskörpers R zusammenfallen, dann fallen die Vorsprünge der Kante des feststehenden Elements S2 mit den Ausneh-
1.' mungen des Umfangs des Rotationskörpers R zusammen. Wenn also angenommen wird, daß der Rotations-
" körper R und das feststehende Element Si einen Kondensator bilden und daß der Rotationskörper R und das
' feststehende Element S2 einen anderen Kondensator bilden, dann weist die Kapazität des durch den Rotationskörper R und das feststehende Element Si gebildeten Kondensators ein Maximum auf, während die Kapazität des durch den Rotationskörper und das feststehende Element S2 gebildeten Kondensators ein Minimum ist.
F i g. 2 zeigt ein Ausführungsbeispiel einer Schaltung, die in Verbindung mit der Fühlereinheit nach F i g. 1 verwendet wird. In der Schaltung werden Kristallresonatoren X\ und X2 in Verbindung mit Oszillatoren OSCi und OSC2 verwendet Ursprünglich ist die Schwingungsfrequenz eines Kristallresonators festgelegt. In diesem Falle sind aber die Kristallresonatoren parallel zu den Kondensatoren geschaltet, die durch den Rotationskörper R und die feststehenden Elemente Si und S2 gebildet sind. Infolgedessen wird die Schwingungsfrequenz jedes Kristallresonators entsprechend der Änderung der Kapazität des jeweiligen Kondensators verändert. Die Kapazitätsänderung der Kondensatoren sind eine sogenannte »Differentialänderung«, bei welcher die Kapazität eines Kondensators erhöht wird, während die Kapazität des anderen Kondensators verringert wird. Infolgedessen wird, wenn die Schwingungsfrequenz eines der Oszillatoren OSCi und OSC2 erhöht wird, diejenige des anderen Oszillators verringert. Wenn diese beiden Frequenzsignale miteinander in einer Mischstufe MIX gemischt werden, dann kann die Differenzfrequenz f zwischen ihnen erhalten werden. Das Diffcrenzsignal wird zu einer Signal verarbeitenden Schaltung über Draht oder auf drahtlosem Wege übertragen.
Die Teile (a) und (b) der F i g. 3 sind graphische Darstellungen, welche die Ausgangssignale der Oszillatoren OSCi und OSC2 und das Ausgangssignal der Mischstufe MIX darstellen, die erzeugt werden, wenn der Rotationskörper R in bezug auf die feststehenden Elemente Si und S2 rotiert. Zur Vereinfachung wird in der Beschreibung ein relativer mittlerer Abstand d zwischen dem Rotationskörper R und den feststehenden Elementen Si und S2 verwendet. Wenn der Rotationskörper R ungefähr um eine Abstufung in bezug auf die feststehenden Elemente Si und S2 gedreht worden ist, ändern sich die Ausgangsfrequenzen /Ί und S2 der Oszillatoren OSCi und OSC2 in nicht linearer Weise, wie es in Teil (a) der F i g. 3 gezeigt ist.
Es wird bemerkt, daß die Änderungen der Ausgangsfrequenzen /1 und /2 symmetrisch sind. Wenn eine Charakteristik-Kurve (f\ — f2) von den Änderungen der Ausgangsfiequenzen erhalten ist, dann enthält diese einen wesentlich linearen Teil, wie es in Teil (b) der Fig. 2 gezeigt ist.
Die Teile (a) bis (c) der F i g. 4 zeigen die Tatsache, daß, wenn der nicht lineare Teil einer im wesentlichen linearen Charakteristik-Kurve (Teil (a) der F i g. 4), der durch die Differentialoperation zwischen einer beweglichen Elektrode und feststehenden Elektrode erhalten ist, einer im wesentlichen sinusförmigen Charakteristik-Kurve (Teil (b) der F i g. 4), die durch Rotation des Rotationskörpers in bezug auf die feststehenden Elemente erhalten ist, überlagert wird, die in einem Bereich von +90° bis —90° linear ist und die als ganzes eine dreieckförmige Charakteristik-Kurve ist.
Die Gestalt der im wesentlichen sinusförmigen Charakteristik-Kurve kann wahlweise in gewissem Maße geändert werden, und zwar durch geeignete Wahl der Größe des Rotationskörpers R und der feststehenden Elemente Si und S2 und des Abstandes zwischen den Elektroden. Es kann also die in dem Teil (c) der F i g. 4 gezeigte dreieckförmige Charakteristik-Kurve durch Überlagerung der im wesentlichen sinusförmigen Charakteristik-Kurve auf die beiden Endteile der im wesentlichen linearen ChaiBkteristik-Kurve, die stark von der geraden Linie abweichen, erhalten werden. Die dreieckförmige Charakteristik-Kurve hat an jedem vorbestimmten Rotationswinkel einen Biegepunkt, und sie kann deshalb für die Feststellung eines Rotationswinkels verwendet werden, in welchem der lineare Teil der Welle verwendet ist, und für die Feststellung einer Rotation, in welcher die ansteigenden und abfallenden Teile der Welle verwendet werden.
In dem oben beschriebenen Beispiel ist ein einziger sich bewegender Gegenstand zwischen einem Paar feststehender Elemente so angeordnet, daß sie in ein und derselben Ebene liegen. Die Erfindung ist aber nicht hierauf oder hierdurch beschränkt. So ist es beispielsweise möglich, daß die feststehenden Elemente in mehreren parallelen Ebenen angeordnet sind, wobei ein gemeinsamer, sich bewegender Gegenstand für diese feststehenden Elemente vorgesehen ist.
Fi g. 5 zeigt die kontinuierliche Änderung des Differenzfrequenzsignals /"in Abhängigkeit von der Rotation des Rotationskörpers R. Wenn der Rotationskörper rotiert, wird die Differenzfrequenz bei einer Abstufungsteilung erhöht, jedoch bei der nächsten Abstufungsteilung verringert. Es ist notwendig, die Frequenz linear zu erhöhen und zu erniedrigen. Dies kann durch geeignete Wahl der Gestalt der zahnartigen Einschnitte erreicht werden, d. h. der Ausnehmungen und Vorsprünge des Rotationskörpers R und der feststehenden Elemente Si und S2.
Da die Frequenz wiederholt, linear erhöht und erniedrigt wird, kann eine Abstufungsteilung in gleiche Teile unterteilt werden. Infolgedessen kann die Zählung mit viel größerer Genauigkeit als diejenige der Abstufungsteilung durchgeführt werden. Es wird z. B. angenom- men, daß die Abstufungsteilung eine Einheit eines Grades beträgt. Wenn in diesem Falle die Abstufungsteilung in 100 Teile unterteilt wird, dann kann die Abzählung durch die Einheit von 0,6 Sekunden erfolgen. Wenn die Abstufungsteilung in mehr Teile unterteilt werden kann, dann können die Abstufungsintervalle länger gemacht werden.
Die F i g. 6 bis 8 zeigen ein anderes Beispiel des erfindungsgemäßen Fühlers. F i g. 6 ist eine Seitenansicht, welche die Beziehung zwischen einem Rotationskörper R und feststehenden Elementen Sl, Sl', S 2, S2' zeigt. Fig. 7 ist eine Schnittansicht nach der Linie VII-VII in F i g. 6. F i g. 8 ist eine Schnittansicht nach der Linie VIII-VIII in Fig. 6.
Der Rotationskörper R wird in Richtung des Pfeiles A gedreht. Der Rotationskörper R besitzt eine zahnartige Abstufung Ra, die in gleichmäßigen Abständen in den Zylindermantel eingeschnitten sind. Die feststehenden Elemente Sl und Sl' haben ebenfalls zahnartige Abstufungen SIa und SIa' die in bezug auf die Abstufung Ra miteinander in Phase sind. Die feststehenden Elemente S 2 und S 2' besitzen ebenfalls zahnartige Abstufungen S 2a und S 2'a, die in bezug auf die Abstufung Ra miteinander in Phase sind. Es wird aber darauf hingewiesen, daß die Abstufungen S la und S2a der feststehenden Elemente S1 und S 2 in bezug auf die Abstufung Ra gegeneinander um 180° phasenverschoben sind. In gleicher Weise sind die Abstufungen S Va und S2'a der feststehenden Elemente Sl' und S2' in bezug auf die Abstufung Ra gegeneinander in der Phase verschoben.
Wenn also der Rotationskörper R und die feststehenden Elemente S1, S1', S 2 und S 2' so angeordnet sind, daß sie Kondensatoren bilden, dann ist, wenn die Kapazität zwischen dem Rotationskörper R und den feststehenden Elementen Sl und Sl' ein Maximum ist, die Kapazität zwischen dem Rotationskörper R und den feststehenden Elementen S 2 und S 2' ein Minimum. Die feststehenden Elemente Sl und Sl' sind miteinander verbunden, und es sind die feststehenden Elemente S 2 und S2'miteinander verbunden. Somit kann selbst dann, wenn die Abstände zwischen dem Rotationskörper R und den feststehenden Elementen S1 und S 2 von denjenigen zwischen dem Rotationskörper R und den feststehenden Elementen S Γ und S 2' verschieden sind, die Differenz der Kapazität ausgeglichen werden. Dies kann für den Fall angewendet werden, wenn der Rotationskörper R in geneigtem Zustand rotiert.
Fi g. 9 zeigt eine Meßschaltung einschließlich der angeschalteten Fühlereinheit, wie oben beschrieben. Es werden Kristallresonatoren X\ und X2 in Kombination mit Oszillatoren OSCi bzw. OSC2 verwendet. Die Schwingungsfrequenz jedes der Kristallresonatoren X\ und X2 ist festgelegt. Da aber die Kristallresonatoren in Reihe mit den durch den Rotationskörper R und die feststehenden Elemente S1, S1' und S 2 und S 2' gebildeten Kondensatoren geschaltet sind, werden die Schwingungsfrequenzen der Kristallresonatoren geändert, wenn sich die Kapazitäten der Kondensatoren mit der Drehung des Rotationskörpers ändern. Die Kapazitätsänderungen der Kondensatoren sind sogenannte »Differentialänderungen«, bei denen sich die Kapazität eines Kondensators erhöht, während sich die Kapazität des anderen Kondensators verringert. Wenn also die Schwingungsfrequenz eines der Oszillatoren OSCi und OSC2 vergrößert wird, wird diejenige des anderen Kondensators verringert. Wenn diese Frequenzsignale in einer Mischstufe MlX miteinander gemischt werden, kann die Differenzfrequenz /"zwischen ihnen erhalten werden. Die Änderungen der Differenzfrequenz f sind in F i g. 5 gezeigt.
Mit diesem Beispiel werden Meßfehler, die auf die Exzentrizität und Neigung des Rotationskörpers zurückzuführen sind, kaum bewirkt. Somit kann die Rotationsgröße mit hoher Genauigkeit gemessen werden.
F i g. 10 zeigt ein anderes Verfahren zur Verarbeitung der Ausgangssignale der Oszillatoren OSCi und OSC2. Die beiden Ausgangssignale der beiden Oszillatoren werden über Empfänger RCV Mischstufen MIX\ und MlX2 zugeführt, wo sie mit örtlichen Schwingungsfrequenzen LOi und LO2 für eine Frequenzumwandlung gemischt werden. Die Ausgangssignale der Mischstufen werden in einem Mischer MIX3 miteinander gemischt, um ein Meßsignal /"zu erhalten.
Wenn die Differenz zwischen den Ausgangsfrequenzen der Oszillatoren OSCi und OSC2 mehrere kH 7 beträgt, ist das Signalintervall 0,2 bis 0,3 msec, welches der Bewegung eines sich kontinuierlich bewegenden Gegenstandes nicht folgen kann. Wenn dagegen eine Frequenz von 10 bis 20MHz, als Ausgangsfrequenz der Oszillatoren OSCi und OSC2 erhalten wird und diese Frequenz unverändert verwendet wird, so ist eine solche Frequenz für einen Frequenz-Spannungs-Wandler nicht geeignet. Dieses Problem kann durch die Anordnung nach F i g. 10 gelöst werden. Da das Signalintervall in der Größenordnung von Mikrosekunden ist, liegt eine Signaländerung im Bereich von mehreren kHz und damit in einem Fehlerbereich. Diese Schwierigkeit wird ausgeschaltet.
Hierzu 4 Blatt Zeichnungen

Claims (2)

Patentansprüche:
1. Vorrichtung zur Messung der Bewegungsgröße eines rotierenden Gegenstandes mit einer Fühleranordnung mit einem zylindrischen, rotierenden Gegenstand mit zahr.artigen Abstufungen auf seiner zylindrischen Außenwand und mit wenigstens zwei ersten feststehenden Elementen, die dem rotierenden Gegenstand gegenüberstehen und auf ihren gegenüberliegenden Flächen zahnartige Abstufungen besitzen, um ein Paar Kondensatoren zu bilden, wobei der rotierende Gegenstand als gemeinsame Elektrode verwendet ist und wobei die Abstufungen der ersten feststehenden Elemente in bezug auf die Abstufungen des rotierenden Gegenstandes um 180° in der Phase gegeneinander verschoben sind, durch die Kombination folgender Merkmale g e kennzeichnet:
a) Zusätzliche zweite feststehende Elemente (S Γ, 52') mit zahnartigen Abstufungen (S la', S2a') sind in Längsrichtung des Rotationskörpers (R) axial versetzt und parallel zu den ersten feststehenden Elementen (Si, S 2) angeordnet,
b) die ersten feststehenden Elemente (Si, S 2) sind elektrisch komplementär mit den zweiten feststehenden Elementen (Si', S2') verbunden, um in bezug auf die gemeinsame Elektrode (R) je zwei Elektrodenpaare (Si,S Γ und 52, S2') zu bilden.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der sich bewegende Gegenstand stationär gehalten wird, während die feststehenden Elemente gegenüber dem sich bewegenden Gegenstand bewegt werden.
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Messung der Bewegungsgröße eines rotierenden Gegenstandes mit einer Fühleranordnung mit einem zylindrischen, rotierenden Gegenstand mit zahnartigen Abstufungen auf seiner zylindrischen Außenwand und mit wenigstens zwei ersten feststehenden Elementen, die dem rotierenden Gegenstand gegenüberstehen und auf ihren gegenüberliegenden Flächen zahnartige Abstufungen besitzen, um ein Paar Kondensatoren zu bilden, wobei der rotierende Gegenstand als gemeinsame Elektrode verwendet ist und wobei die Abstufungen der ersten feststehenden Elemente in bezug auf die Abstufungen des rotierenden Gegenstandes um 180° in der Phase gegeneinander verschoben sind.
Die Rotationsgröße eines rotierenden Gegenstandes kann im allgemeinen z. B. durch ein Verfahren gemessen werden, in welchem der rotierende Gegenstand in gleichen Abständen abgestuft ist, und es wird die Rotationsgröße des rotierenden Gegenstandes durch Messen der Abstufungen erhalten. Nach einem anderen Verfahren haben die sich gegenüberliegenden Flächen eines rotierenden Gegenstandes und eines feststehenden Elementes zahnartige Einschnitte als Abstufungen, so daß, wenn sich die Vorsprünge der zahnartigen Einschnitte nahe aufeinander zu bzw. voneinander weg bewegen, wenn der Gegenstand rotiert, sich die Kapazität eines dadurch gebildeten Kondensators verändert, wobei die Kapazitätsänderung festgestellt wird, um die Bewegungsgröße zu messen.
Wenn die Rotationsgröße mit hoher Präzision gemessen werden soll, wird angenommen, daß die Zählung durch Sekunden bewirkt wird, das heißt durch die Einheit von V3600 eines Grades. Dann muß der Umfang des rotierenden Gegenstandes in 360 - 60 · 60 = 1 296 000 unterteilt werden. Eine solche Unterteilung ist aber praktisch unmöglich. Infolgedessen ist eine Vorrichtung zur Messung der Bewegungsgröße mit hoher Genauigkeit bisher nicht vorgeschlagen worden.
Es sind Vorrichtungen der eingangs genannten Art bekannt (Christoph Rohrbach »Handbuch für elektrisches Messen mechanischer Größen« (1967), Seite 155 und DE-AS 10 91 346), bei denen nur zwei feststehende Elemente vorgesehen sind, die dem rotierenden Gegenstand bzw. dem Rotationskörper gegenüberstehen. Wenn hierbei die Rotationsachse des Rotationskörpers aus der korrekten Position verschoben ist, werden die Abstände zwischen dem Rotationskörper und den stationären Elementen unterschiedlich. In diesem Falle ist es nicht möglich, ein symmetrisch zum Null-Pegel liegendes Aasgangssignal zu erhalten.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Messung der Bewegungsgröße eines rotierenden Gegenstandes der eingangs genannten Art zu schaffen, rtie auch bei nicht exakt gelagerter Rotationswelle einwandfrei und genau arbeitet. Dies wird erfindungsgemäß erreicht durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1.
Eine weitere Ausgestaltung der Erfindung ist Gegenstand des Unteranspruchs.
Das Prinzip, die Art und die Anwendung der Erfindung ergibt sich aus der folgenden Beschreibung in Verbindung mit der Zeichnung. In der Zeichnung zeigt
F i g. 1 eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels einer Fühlereinheit in einer Vorrichtung zur Messung der Rotationsgröße eines rotierenden Gegenstandes gemäß der Erfindung,
Fig. 2 ein Blockschaltbild einer in Verbindung mit der Fühlereinheit nach F i g. 1 verwendeten Schaltung,
F i g. 3a, 3b + 4a, 4b + 4c graphische Darstellungen der Arbeitsprinzipien der erfindungsgemäßen Vorrichtung,
F i g. 5 eine graphische Darstellung der Ausgangscharakteristik der Schaltung nach F i g. 2,
F i g. 6—8 schematische Darstellungen eines anderen Ausführungsbeispiels der Fühlereinheit für einen rotierenden Gegenstand,
Fig.9 ein Blockschaltbild einer in Kombination der Fühlereinheit nach den F i g. 6 bis 8 verwendeten Schaltung und
Fig. 10 ein Blockschaltbild eines weiteren Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäß verwendeten Schaltung.
Fig. 1 zeigt ein Beispiel einer Fühlereinheit in einer Vorrichtung zur Messung der Bewegungsgröße eines sich bewegenden Gegenstandes gemäß der Erfindung. In F i g. 1 bezeichnet das Bezugszeichen R einen zu messenden Gegenstand oder einen Rotationskörper, der synchron mit dem vorgenannten zu messenden Gegenstand rotiert. Der Umfangsteil des Rotationskörpers ist mit zahnartigen Abstufungen in gleichen Abständen versehen. Die feststehenden Elemente S\ und 52 umgeben den Rotationskörper. Die Kanten dieser feststehenden Elemente 5, und 52, die dem Umfang des Rotationskörpers zugekehrt sind, sind mit zahnartigen Abstufungen versehen, die in gleichen Abständen wie diejenigen
DE19792916760 1978-04-26 1979-04-25 Vorrichtung zur Meßung der Bewegungsgröße eines rotierenden Gegenstandes Expired DE2916760C2 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4960578A JPS54141657A (en) 1978-04-26 1978-04-26 Device for measuring displacement of moving body
JP14983778A JPS5575614A (en) 1978-12-04 1978-12-04 Amount of movement measuring unit for straight movement mobile body
JP14983678A JPS5575613A (en) 1978-12-04 1978-12-04 Measuring unit for amount of revolution for rotatory motion body

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2916760A1 DE2916760A1 (de) 1979-10-31
DE2916760C2 true DE2916760C2 (de) 1984-05-03

Family

ID=27293687

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19792916760 Expired DE2916760C2 (de) 1978-04-26 1979-04-25 Vorrichtung zur Meßung der Bewegungsgröße eines rotierenden Gegenstandes
DE19792954266 Expired DE2954266C2 (de) 1978-04-26 1979-04-25

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19792954266 Expired DE2954266C2 (de) 1978-04-26 1979-04-25

Country Status (4)

Country Link
CH (1) CH630461A5 (de)
DE (2) DE2916760C2 (de)
FR (1) FR2424513A1 (de)
GB (1) GB2020815B (de)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2070774A (en) * 1980-02-28 1981-09-09 Pa Management Consult Capactive clinometer
JPS5759101A (en) * 1980-09-26 1982-04-09 Hiromi Ogasawara Noncontacting infinitesimal displacement gauge
GB2223589B (en) * 1988-09-14 1991-07-24 Valk Rob V D Measurement of capacitance and parameters related thereto
DE19715078A1 (de) * 1997-04-11 1998-10-15 Univ Ilmenau Tech Verfahren zur kapazitiven Weg- und Winkelmessung
GB9815826D0 (en) 1998-07-22 1998-09-16 British Aerospace Capacitive position transducer

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1248962B (de) * 1967-08-31 Sogemque (Electronics) Limited Newport Pagnell Buckinghamshire (Großbritannien) Kapazitiver Meßumformer
DE1091346B (de) * 1958-10-22 1960-10-20 Licentia Gmbh Vorrichtung zur Messung des Radial- und Axialspieles an umlaufenden Maschinen mittels kapazitiver Geber
US3221251A (en) * 1961-06-15 1965-11-30 Electronic Specialty Company Phase measuring at microwave frequencies with a closed loop servo system using travelling wave tubes
US3386292A (en) * 1964-09-28 1968-06-04 Ibm Digital accelerometer
FR1487368A (fr) * 1966-05-10 1967-07-07 Ct D Etudes Et De Rech S De La Perfectionnements apportés aux dispositifs de mesure du déplacement d'un organe mobile par rapport à un organe fixe
CH536891A (fr) * 1971-03-10 1973-05-15 Dubied & Cie Sa E Générateur d'impulsions avec lecteur électrique pour la commande des aiguilles d'une machine à tricoter

Also Published As

Publication number Publication date
GB2020815B (en) 1983-02-09
FR2424513A1 (fr) 1979-11-23
DE2916760A1 (de) 1979-10-31
FR2424513B1 (de) 1984-03-16
DE2954266C2 (de) 1988-09-08
CH630461A5 (fr) 1982-06-15
GB2020815A (en) 1979-11-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0184584B1 (de) Kapazitive Längen- und Winkelmesseinrichtung
DE69535508T2 (de) Kapazitive Wegmesseinrichtung
DE3436681C2 (de)
DE2842028C3 (de) Vorrichtung zum Messen der Kapazität eines Kondensators
DE19811550C2 (de) Verfahren und Schaltungsanordnung zur Erzeugung von Frequenzsignalen
DE3138273A1 (de) Beruehrungsfreies mikroverschiebungs-messgeraet
DE2942372C2 (de)
DE3438234C2 (de)
DE2853142B2 (de) Kapazitive Meßvorrichtung zur Bestimmung der relativen Lage zweier gegeneinander verschieblicher Teile
DE2523163A1 (de) Kapazitiver differentialmesswandler
DE2158320B2 (de) Vorrichtung zur berührungsfreien relativen Abstandsmessung
DE4234016C2 (de) Positionsmessvorrichtung für Drehbewegungen mit einem kapazitiv arbeitenden Drehstellungssensor
EP0447653B1 (de) Induktiver Stellungsgeber
DE19632889A1 (de) Radarsystem mit einem frequenzmodulierten Sendesignal
EP0622612B1 (de) Kapazitive Messeinrichtung
EP2606310B2 (de) Kapazitive und/oder induktive abstandsmessung
DE2916760C2 (de) Vorrichtung zur Meßung der Bewegungsgröße eines rotierenden Gegenstandes
EP0203275A2 (de) Inkrementaler Weggeber
DE3202356C1 (de) Einrichtung zum Unterteilen von periodischen analogen Signalen
DE102008010374B4 (de) Winkelmesseinrichtung für ein rotierendes Gebersystem
EP0297243A2 (de) Vorrichtung zur Messung des Abstandes zwischen dieser Vorrichtung und einer Messfläche
DE3608384C2 (de)
EP1043569A1 (de) Anordnung zum Offsetabgleich zweier orthogonaler Sensorsignale
EP0254707B1 (de) Elekronische Messeinrichtung
DE2829292C2 (de) Vorrichtung zum Messen des Drehwinkels einer rotierenden Welle

Legal Events

Date Code Title Description
OAP Request for examination filed
OD Request for examination
8172 Supplementary division/partition in:

Ref country code: DE

Ref document number: 2954266

Format of ref document f/p: P

Q171 Divided out to:

Ref country code: DE

Ref document number: 2954266

D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8328 Change in the person/name/address of the agent

Free format text: BEHN, K., DIPL.-ING., PAT.-ANW., 8134 POECKING

AH Division in

Ref country code: DE

Ref document number: 2954266

Format of ref document f/p: P

8328 Change in the person/name/address of the agent

Free format text: MUELLER-BORE & PARTNER, 80331 MUENCHEN