DE2841424B2 - - Google Patents
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- G—PHYSICS
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B3/00—Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
- G01B3/002—Details
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Description
Die Erfindung betrifft einen Meßkopf für ein Meßgerät, welches die Bestimmung der Position von
Raumpunkten ermöglicht, an welchen ein mechanischer Kontakt zwischen dein Taster und dem zu vermessenden
Werkstück stattfindet.
Derartige Meßgeräte wurdet, so bedient, daß das Werkstück auf einem beweglichen Werkstücktisch
festgelegt wird und daß davon die Meßpunktc im Feld des Meßkopfs zugeführt werden, der in der !.agc ist, die
Punkte mit der gewönschten Genauigkeit bezüglich
eines Nullpunkts zu orten, bzw, ihre Lage zu bestimmen. Die Stellungen des Meßkopfs selbst und die des Tisches
werden von dem Meßsystem des Geräts bezüglich eines gemeinsamen Nullpunkts und längs der gewählten
Koordinatenachsen bestimmt. Es ist leicht, davon durch
Berechnung die Position der vermessenen Punkte bezüglich dieses Nullpunkts abzuleiten.
Es sind bereits Meßköpfe bekannt, die ein elektrisches
Signal geben, sobald sich ein mechanischer Kontakt an der Meßstelle zwischen dem Taster und dem Werkstück
einstellt Um in diesem Fall die Position der Kontaktstelle zu kennen, wird so weiterverfahren, daß das
elektrische Singal dazu benutzt wird, um die von dem Meßsystem des Geräts im Augenblick des Kontakts
angezeigten Koordinaten zu speichern. Diesen Koordinaten werden die Konstanten aufgrund der geometrischen
Form des Tasters hinzugefügt
Bei den bekannten Ausfühmngsformen derartiger Meßköpfe erfolgt die Erzeugung des elektrischen
Signals nach folgenden Verfahren
1. Der mechanische Kontakt ermöglicht einen elektrischen
Strom zwischen dem Taster und dem Werkstück.
2. Der elektrische Kontakt oder die elektrischen
Kontakte, die das Signal erzeugen, werden von dem Taster betätigt Sie sind häufig auf Fünrungen mit
dem Freiheitsgrad Null montiert, die von Federn gehalten werden (DE-OS 25 51361, GB-PS
14 47 613).
3. Der Taster betätigt ein Element, dessen Stellung
von magnetischen, kapazitiven oder fotoelektrischen Einrichtungen ermittelt wird, die eine
Analogspannung erzeugen, die annähernd proportional zur Verschiebung dieses Elements ist
(DE-OS 26 11 781). Das benutzte Signal wird von einem Spannungskomparator während des Nulldurchgangs
dieser Analogspanruing erzeugt.
4. An dem Taster selbst oder an seinem Halter, der beispielsweise aus Blattfedern bestehen kann,
ist beispielsweise ein Dehnungsmeßgeber mit einem Widerstandsdraht oder einem Halbleiter
befestigt. Der Meßgeber formt die Verformung des Tasters oder seines Halters während des Kontakts
mit dem Werkstück in eine proportionale Analogspannung um (FR-PS 22 35 351) Wie im vorausgehenden
Fall wird der Nulldurchgang dieser Spannung von einem Spannungskomparator bestimmt,
der ein Signal erzeugt. Diese Systeme haben insgesamt die folgenden Nachteile:
1. eine nicht konstante Güte des elektrischen Kontakts,
2. Prellungen des elektrischen Kontakts,
3. einen Mangel an Steifheit und eine Bruchgefahr
4. die Genauigkeit der Messung hängt von der Länge des Tasters ab.
Bekannt ist außerdem ein Taster, der von einem Piezokristall gebildet wird, der mit seiner Resonanzfrequenz
schwingt und auf dieser Frequenz durch einen Schwingkreis gehalten wird (GB-PS 9 32 069). Die
Anwendung eines sölelin Taster-; ist auf das Anzeigen
der Weilerbewegung des Schneidwerkzeugs um eine Umdrehung beschränk!. Der Taster ermittelt den
Durchgangszeitpunkt des Werkzeugs, das sich in ein und derselben Richtung vorwartsbcwegt. Hine solche
Auiführungsform kann eine universelle Anwendung wie
bei einem Meßkopf iii 'ht nahelegen, bei dem die
Meßrichtung beliebig ist und die Mcßgennuigkeit unverändert bleiben soll. Da der Taster selbst von dem
Piezokristall gebildet wird, ist diese Konstruktion bei unerwarteten Stoßen sehr zerbrechlich und verwundbar.
Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe besteht deshalb darin, einen Meßkopf zu schaffen, der in erster
Linie zuverlässig arbeitet, bei dem der Kontakt mit einem Meßobjekt mit Sicherheit ein Signal liefert und
der während der Freigabe des mechanischen Kontakts
to mit dem Meßobjekt oder während plötzlicher Bewegungen des Kopfes keine falschen Signale erzeugt Der
erfindungsgemäße Meßkopf soll genauso robust, genau und wirtschaftlich wie die bekannten Meßköpfe sein.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der Meßkopf einen Motor, der mit geringer Amplitude das freie Ende des Tasters mit dessen Resonanzfrequenz schwingen läßt, und wenigstens einen Wandler hat, um die mechanischen Schwingungen des Tasters zu empfangen, und daß ein oder mehrere elektronische Detektorsysteme an den Wandler oder die Wandler angeschlossen sind.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der Meßkopf einen Motor, der mit geringer Amplitude das freie Ende des Tasters mit dessen Resonanzfrequenz schwingen läßt, und wenigstens einen Wandler hat, um die mechanischen Schwingungen des Tasters zu empfangen, und daß ein oder mehrere elektronische Detektorsysteme an den Wandler oder die Wandler angeschlossen sind.
Der Motor kann ein elektromagnetischer, piezoelektrischer
oder elektrodynamischer Motor sein.
In gleicher Weise kann der Wandler, der die
In gleicher Weise kann der Wandler, der die
2~> mechanische Schwingung des Tasters in ein elektrisches
Signal umwandelt, ein elektromagnetischer, piezoelektrischer oder elektrodynamischer Wandler sein.
Die Oszillation des Tasters wird durch Selbsterregung erhalten, wobei die von dem Wandler abgegebene
«ι Spannung in einem elektronischen Verstärker verstärkt wird und dem Motor mit der passenden Phase zugeführt
wird. Eine andere Verfahrensweise besteht darin, den Motor entweder mit Hilfe eines auf die Eigenfrequenz
des Tasters abgestimmten Generators oder mit Hilfe
J1» eines Generators zu speisen, dei auf die Eigenfrequenz
des Tasters synchronisiert ist.
Das elektronische Detektorsystem kann die Störung einer der physikalischen Größen der Oszillation des
Tasters, entweder der Amplitude oder der Frequenz
·»<· anzeigen.
Je nach dem verwendeten Motor kann dem Taster eine ebene Oszillation oder eine Drehbewegung
aufgeprägt werden.
Der erfindungsgemäße Meßkopf kann auf vier
■<~> verschiedene Weisen realisiert werden Gemäß einer
ersten Variante sind der Motor und der Wandler an dem Träger des Tasters befestigt. Bei einer zweiten Variante
sind der Motor und der Wandler am Taster selbst angebracht. Bei der dritten Variante ist der Motor am
ri" Halter des Tasters befestigt. Nur der Wandler sitzt fest
am Taster. Schließlich können bei der vierten Variante der Motor und der Wandler am Träger des Taste's
festgelegt sein, während ein zusätzlicher Wandler am Tastti" selbst befestigt ist.
i"> Der Meßkopf kann so gebaut sein, daß der Taster
starr mit einem Teil eines Boys-Trägers verbunden ist. Der Boys-Träger kann seinerseits in dem Meßkopf
durch die Wirkung einer Schraubendruckfeder gehalten werden. Ein solcher Boys-Träger besteht aus zwei
hl) Teilen. Das eine Teil hat drei kugelige Auflager, die in
den sternförmig verlaufenden V-förmigen Nuten des anderen Teils sitzen. (Metrologie gencrale. Djnod. Paris
1966, S. l9Kbis401).
Der Meßkopf kann ein drahtloses I Jbcrtragungssy-
' ' stein für das Sig ial aufwehen, wobei entweder
Radiowellen. Lichtwellen oder Ultraschallwellen ver wendet werden.
Dir l:.rfiiid!ing betrifft auch ein Verfahren /um
Betätigen des Meßkopfs Dieses Verfahren zeichnet sich
dadurch aus, daß der mit seiner Resonanzfrequenz in Vibration versetzte Taster in mechanischen Kontakt mit
dem Meßobjekt gebracht wird, daß wenigstens ein Wandler des Meßkopfs die Schwingungsstörung empfängt,
die durch diesen mechanischen Kontakt hervorgerufen wird, und daß das entsprechende elektronische
Detektorsystem das gestörte Signal des Wandlers empfängt und den Kontaktaugenblick anzeigt.
Die Vorrichtung kann so arbeiten, daß das dem einen der Wandler zugeordnete elektronische Detektorsystem
eine Änderung der Frequenz der Oszillation feststellt, wenn der Taster in mechanischen Kontakt mit
öern Meßobjekt kommt. Die Wirkungsweise kann auch so sein, daß das elektronische Detektorsystem eine
Änderung der Amplitude der Oszillation feststellt. Bei Meßköpfen der dritten und vierten Ausführungsform ist
das gestörte, vom Wandler an den Taster abgegebene Signal ein Signal mit zunehmender Spannung. In diesem
Fall zeigt das elektronische Detektorsystem das Überschreiten einer oberen Spannungsschwelle an.
Der erfindungsgemäße Meßkopf hat zahlreiche Vorteile. Zunächst ist er aufgrund des Detektorsystems
äußerst empfindlich. Sein Betrieb ist der wenig zuverlässigen Funktionsweise eines elektrischen Kontakts,
der schmutzig werden, hängenbleiben oder sich verformen könnte, nicht ausgesetzt. Außerdem hat er
nicht die Nachteile der Köpfe mit statischen Tastern, die leicht ins Schwingen kommen können, wenn sie nicht
mehr in Kontakt mit dem Meßobjekt stehen, so daß sie falsche Signale geben. Mit dem erfindungsgemäßen
Meßkopf ist die Ermittlung des Augenblicks des Kontakts nicht zweifelhaft.
Der Aufbau des erfindungsgemäßen Tastkopfs gewährleistet die gewünschte Steifigkeit und Robustheit,
um auch heftige Stöße auf den Taster abzustützen, da die Feder unter dem Einfluß unerwarteter Kräfte
nachgibt.
Die mit dem Kopf erzielte Meßgenauigkeit hängt nur in geringem Maß von der Länge des Tasters ab.
Darüberhinaus hängt die Messung nicht von der Temperatur ab. Es gibt keine Kontakte, die Wärmeausdehnungen
ausgesetzt sein könnten.
Die Meßgenauigkeit ist sehr groß. Die Amplituden der Schwingungen am Ende des Tasters gemäß der
ersten Ausführungsform liegen in der Größenordnung von ± 0.1 μΓη. wodurch eine Meßgenauigkeit des
Kopfes in der Nähe von ± 1 μιη möglich ist. Die
Anordnung aus Taster, Motor und Wandler kann sehr solide konstruiert werden. Die Verwendung des
Boys-Träger, bei ώίτι die sechs Freiheitsgrade blockiert
sind, garantiert ein Festhalten des Tasters.
Die Ausführung ist einfach. Die Anzahl der Teile ist geringfügig erhöht Es gibt keine sehr genaue
Bearbeitung, auch im Hinblick auf den Boys-Träger.
Anhand der Zeichnungen wird die Erfindung beispielsweise näher erläutert
F i g. 1 ist ein Längsschnitt durch einen Meßkopf nach der Erfindung, der einen Motor und einen Wandler hat
die in dem Meßkopf selbst angeordnet sind. Gleichzeitig ist der Schaltplan des Verstärkersystems A 1 gezeigt
der die Dämpfung und die Aufrechterhaltung der Schwingungen des Tasters P sowie ihre Feststellung
bezüglich der Amplitude oder bezüglich Amplitude und Frequenz durch das elektronische Detektorsystem D
herbeiführt
F i g. 2a ist eine Ansicht des beweglichen Teils des Boys-Trägers 51 von unten, wie er beispielsweise in
»Metrologie Generale«. M. M. Bassiere und Gaguebet, S. 400, Ausgabe Dunod 1966 beschrieben ist, mit dem
Taster P, dem Motor /Wund dem Wandler T.
F i g. 2b zeigt eine Ansicht des festen Teils des Boys-Trägers .S 2 von oben.
Fig. 3 zeigt einen Schnitt längs der Linie A-A 'von
Fig. I, wobei die Träger 51 und 52 derart montiert
sind, daß sie ein System mit dem Freiheiisgrad Null bilden, bei welchem die Halbkugeln fei, t>2, b\ in
prismatische Nuten k\, k2, k) eingreifen, wobei die
Anordnung durch die Feder Rgehalten ist.
Fig.4 ist ein Längsschnitt durch einen Meßkopf gemäß der Erfindung mit einem Motor M und einem
piezoelektrischen Wandler T, die in dem Meßkopf angeordnet sind.
Fig.5a ist eine Ansicht des beweglichen Teils des Boys-Trägers 51 von unten.
F i g. 5b ist eine Ansicht des ortsfesten Teils des Boys-Trägers 52 von oben.
F i g. 6 ist ein Längsschnitt durch einen Meßkopf gemäß der Erfindung mit einem Motor M, einem
piezoelektrischen Wandler Tarn Ende einer Stange P' und einem Taster P.
F i g. 7 ist ein Längsschnitt durch einen Meßkopf gemäß der Erfindung mit einem piezoelektrischen
Motor M, der im Meßkopf angeordnet ist, einem ersten piezoelektrischen Wandler 7Ί, der im Meßkopf
angeoronet ist, und einem zweiten piezoelektrischen Wandler T2. der einem Taster P zugeordnet ist, welcher
am Ende einer Stange /"sitzt. Dabei ist jedem Wandler
ein elektronisches Detektorsystem zugeordnet.
F i g. 8 zeigt die Verstärkerschaitung A 1 der Fig. 1.4,
6 und 7.
F i g. 9 zeigt die Schaltung des elektronischen Detektorsystems Oder F i g. 1,4 und 6.
Fig. 10a. IOb und 30c beziehen sich auf den Fall, bei
welchem dem Taster eine kreisförmige Bewegung aufgeprägt wird. Die Fig. 10a und !Ob zeigen in der
Draufsicht bzw. im Schnitt den Motor M. Fi g. 10c zeigt den Schaltplan des dreiphasigen elektronischen Generators,
dessen Reaktionsspannung elektrisch erzeugt wird.
F i g. 11 zeigt eine Variante des Schaltschemas der
Fig. 1,4 und 6, wobei ein Generator G vorgesehen ist.
Bei den Ausführungsformen der F i g. 1,4,6 und 7 hat
der Meßkopf einen Träger 5, der die Festlegung an dem Gerät bzw. an der Maschine ermöglicht und einen
Boden F mit einem Ring, auf welchem der ortsfeste Teil des Boys-Trägers 5 2 festlegbar ist.
Der bewegliche Teil des Boys-Trägers 51 wird an Ort
und Stelle durch die Feder R gehalten, deren Kratc der Wirkung des Kontaktdrucks des Tasters P auf das
Werkstück entgegenwirkt und verhindert, daß das bewegliche Teil 51 des Trägers auf seinen Kugeln
verschwenkt wird, wenn diese Kraft unter einem bestimmten Wert liegt. Solange die Träger 51 und 52
gegeneinander durch die Feder R gehalten werden, bilden sie eine Einheit deren sechs Freiheitsgrade
blockiert sind. Im Falle des Verschwenken wird die Feder R so belastet daß sie die beiden Träger
gegeneinander zurückführt
Bei der in F i g. 1 gezeigten Ausführungsform ist der
Motor M ein Elektromagnet Der Wandler T ist ein Stabmagnet der eine Spule trägt A1 ist ein
elektronischer Verstärker. Die von dem Motor M und dem Wandler T gebildete Einheit ermöglicht es, den
Taster P mit Hilfe des Verstärkers Λ1 in seiner
Resonanzfrequenz oszillieren zu lassen.
Wenn eine sinusförmige Spannung an die Klemmen 3 und 4 des Motors Mmit der mechanischen Resonanzfrequenz
des Tasters P angelegt wird, beginnt dieser zu vibrieren. Die Änderungen des Magnetflusses, die sich
dadurch in dem Wandler T ergeben, verursachen die Induzierung einer Spannung an den Klemmen I und 2.
Diese Spannung wird als Reaktionsspannung verwendet. N^-ch dem Verstärken im Verstärker A 1 mit der
geeigneten Phase erzeugt sie die Spannung an den Klemmen 3 und 4, so daß auf diese Weise die i<
> Reaktionsschleife geschlossen wird.
Sobald der Taster das Werkstück berührt, wird die Schwingung gestört. Ihre Frequenz ändert sich, sie wird
gedämpft und dann gestoppt. Das elektronische Detektorsystem oder der Detektor D gibt an seinem is
Ausgang O ein Signal. Der Druck auf den Taster steigt, der Träger 51 wird auf seinen Kugeln um einen Winkel
verschwenkt, der von der Bewegungsamplitude des ι äStcfs ucSiiiMnu ί5ΐ.
Wenn der Eingriff des Tasters aufgehoben ist, kehrt ^o
der Träger 51 infolge der Feder R an seinen Ort zurück
und der Taster schwingt von neuem. Im allgemeinen ist der Kopf für eine neue Messung etwa 50 ms nach der
Lösung des Eingriffs bereit.
Bei der Ausführungsform der F i g. 4 und 5 werden als Motor M piezoelektrische Kristallscheiben Cr 1 und
Cr 2 mit entgegengesetzter Polarität verwendet, während der Wandler Taus Scheiben Cr3 und Cr 4 besteht,
deren Polarität ebenfalls entgegengesetzt ist. Die Kristalle sind mit einer bestimmten Vorspannung durch so
die Sc.iraube V zwischen der Mutter fund dem Träger
S\ eingeklemmt.
F i g. 5a zeigt in dem Schnitt B-B' von F i g. 4 den beweglichen Teil 51 des Boys-Trägers, der die Kugeln
b\. bi und fa trägt, sowie die Fläche der Piezokristall J5
Cr 1 und Cr 3. Fi g. 5b zeigt den ortsfesten Träger S2,
der /u dem von F i g. I identisch ist.
Wenn an die Klemmen 3 und 4 eine sinusförmige Spannung angelegt wird, deren Frequenz der mechanischen
Resonanz des Tasters P entspricht, ruft die w piezoelektrische Wirkung Stärkenänderungen der antreibenden
Kristalle CrI und Cr2 im Rhythmus dieser
Frequenz hervor, wodurch der Taster in Schwingung versetzt wird. Die mechanischen Spannungen, die sich
daraus in den Kristallen Cr3 und Cr4 des Wandlers 4ί
ergeben, lassen an den Klemmen 1 und 2 eine elektrische Spannung erscheinen. Diese Spannung
wirkt, wie im Fall des elektromagnetischen Systems, als Reaktionsspannung und wird im Verstärker A 1 mit der
geeigneten Phase verstärkt, um die Spannung für die V)
Klemmen 3 und 4 zu liefern.
Das Feststellen der Berührung erfolgt durch den Detektor D in gleicher Weise und mit den gleichen
Eigenschaften wie mit dem oben erwähnten elektromagnetischen System.
Die Ausführungsform von Fig.6 hat die gleichen Bauteile wie die von φ 4, jedoch mit dem Ziel, einen
möglichst langen Taster zu erhalten und eine hohe Vibrationsfrequenz und dadurch eine kurze Ansprechzeit
beizubehalten. Die Anordnung aus Motor und w> Wandler sitzt auf einer Stange P'. Davon ausgehend
erstreckt sich der Taster P. Dieser kurze und leichte Abschnitt hat eine erhöhte Eigenfrequenz, also eine
Abtastung bei erhöhter Frequenz.
Die Ausführungsform des Kopfes von Fig.7 entspricht der von F i g. 4. Der Taster Pist jedoch durch
eine Stange P' ersetzt die an ihrem Ende eine Sandwichanordnung von Piezokristallen Cr5' und Cr6'
hat, die einem Taster /'zugeordnet sind.
Die Feststellung der Berührung findet mittels zweier getrennter elektronischer Vorrichtungen statt, von
denen die eine mit dem Ausgang des Verstärkers A 1 an den Stellen 3 und 4 und die andere mit den Kristallen
' Cr5' und CrS' an den Stellen 5 und 6 verbunden ist. Die durch diese beiden Vorrichtungen erzeugten Signale
werden einer ODER-Schaltung OL/zugeführt.
Fig. 7 zeigt das Schaltbild des vollständigen Detektorsystems,
bei welchem Re 1 und Re2 Gleichrichter, Co 1 und Co 2 Komparatoren, Fa ein aktives Filter mit
einem schmalen Band, A 1 ein Lastverstärker und OU eine logische ODER-Schaltung ist. Die Anordnung
funktioniert folgendermaßen.:
Bei relativ langsamen und sehr langsamen Meßgeschwindigkeiten werden die Oszillationen der Stange P',
sobald die Kugel B berührt, gedämpft, wodurch sich die Frequenz ändert und in einer für diese Geschwindigkeiten
VciTiäüiuaaäiguärcn Zeit uic ν^5ΖΐιιαίίΰΓ]€Γί gestoppt
werden. Dies führt dazu, daß die elektronische Vorrichtung an den Klemmen 3 und 4 ein Signal gibt,
welches am Ausgang des Komparators Co 2 und der ODER-Schaltung OU erscheint. Im Gegensatz dazu
genügt der Stoß der Kugel B nicht, damit die Kristalle CrS und Cr6 eine piezoelektrische Spannung erzeugen,
die unmittelbar ein Signal am Ausgang von Co 1 erscheinen ließe.
Wenn die Meßgeschwindigkeit von der Berührung an erhöht wird, ist die Dämpfungszeit der Oszillationen
nicht mehr vernachlässigbar. Daraus resultiert, daß das Signal am Ausgang von Co 2 nur dann erscheint, wenn
der Berührungspunkt überschritten ist. Dies gibt einen Meßfehler, der sich mit der Geschwindigkeit ändert, was
störend ist, wenn die Geschwindigkeit nicht konstant ist.
Die von den Kristallen Cr 5' und Cr 6', dem
Verstärker A 1, dem Gleichrichter Re 1 und dem Komparator Co 1 gebildete Vorrichtung ermöglicht es,
diesen Nachteil zu vermeiden. Die Stärke des Stoßes bzw. des Impulses nimmt mit der Geschwindigkeit zu.
Die von den Kristallen Cr5' und Cr6' erzeugte
Spannung wird genügend hoch, damit sie ohne Verzögerung ein Signal an den Klemmen von Co 1 und
am Ausgang der ODER-Schaltung OUerscheinen läßt.
Für den Durchgang durch das Tor OU liefern die Komparatoren CoI und Co 2 ein Logiksignal der
gleichen Art. Aber Co 1 schaltet um, wenn das vom Gleichrichter Re 1 kommende Signal über einen
bestimmten Wert wächst, während Co 2 dies macht, wenn das vom Gleichrichter Re 2 kommende Signal
unter einen bestimmten Wert absinkt.
Die elektronischen Abschnitte der verschiedenen Ausführungsformen sind in folgender Weise gebaut:
1. Das Verstärkersystem A 1 der F i g. 1,4,6 und 7 ist
im einzelnen in F i g. 8 gezeigt Dabei ist A i ein Lastverstärker, wie er in der Literaturstelle »Linear
Integrated Circuit Application«, G. B. Clayton, S. 34—36, beschrieben ist # ist ein einstellbarer
Phasenschieber, der einfach mit einem Tiefpaßfilter R.C. versehen ist, das mit einer regelbaren
Verstärkung verstellbar ist A 2 ist ein Verstärker, dessen Leistung und Verstärkung dem Motor
angepaßt ist
2. Einzelheiten des Signaldetektors D der Fig. 1, 4
und 6 sind in F i g. 9 gezeigt Der Detektor ist aus einem schmalbandigen aktiven Filter Fa, das auf die
Resonanzfrequenz des Oszillators abgestimmt ist, aus einem Gleichrichter Re und aus einem
Kommutator Co zusammengesetzt dessen Schwel-
le durch das Potentiometer Po einstellbar ist. Co schaltet um, wenn das Signal von Re unter die
Schwelle absinkt. Die Konstruktion von Fa und Co ist in der Literaturstelle »Integrated Electronics«,
Millmann-Halkias, S. 556 und 519 beschrieben.
Eine weitere Lösung besteht darin, eine integrierte Schaltung (FX-105, Consumer Microcircuit Ltd., England),
die in der Zeitschrift »Der Elektroniker«, Nr. 7/1975 beschrieben ist, oder andere handelsübliche
integrierte Schaltungen zu verwenden. Die Einzelheiten der Bauelemente Re 1, Re 2, Co 1, Co 2, Fa und a I des
Schaltbilds von Fig. 7 können den Fig.8 und 9 entnommen werden.
Wenn in den Fig. 1, 4, 6 und 7 die einphasigen Motoren und Wandler durch dreiphasige Systeme mit
Drehfeld ersetzt werden, kann man das Ende des Tasters einen Kreis beschreiben lassen, so daß man eine
kreisförmige Abtastung erhält. Ein solches System mit Piezokristaiien ist in den Fig. iüa, i ob und iöc gezeigt.
Die Fig. 10a und 10b zeigen die Kristallanordnung, während Fig. 10c das Schaltbild des elektronischen
Dreiphasengenerators zeigt, das beispielsweise in dem Buch von R. Damaye, S. 33, »Les Oscillateurs, Generateurs
et Conformateurs de signaux«, Editions techniques et scientifiques frangaises, beschrieben ist.
Für die Ausführung mit kreisförmiger Abtastung gemäß den F i g. 4 und 6 werden die Sandwichanordnungen
CrI, CrI, Cr3 und Cr4 durch das Dreiphasensystem
CrI, Cr2, Cr3, Cr4, Cr5 und Cr6 ersetzt,
während der Verstärker A 1 durch den entsprechenden elektronischen Teil von Fig. 10c ersetzt wird. Der
Signaldetektor D kann zwischen die Klemmen 1 und 2 von Fig. 10c geschaltet werden und entspricht der
Vorrichtung von F i g. 9.
Für die Ausführung einer Kreisabtastung mit der Anordnung nach F i g. 7 müssen die Sandwichanordnungen
CrI, Cr2, Cr3, Cr4 durch das Dreiphasensystem
CrI, Cr2, Cr3, Cr4, Cr5 und Cr6 ersetzt werden,
während der Verstärker A t durch den entsprechenden elektronischen Abschnitt von Fig. lOc zu ersetzen ist.
Die Sandwichanordnungen, bestehend aus Cr 5' und Cr6'. die am Ende des Tasters angeordnet sind, und das
·, Detektorsystem Dbleiben unverändert.
Wenn in den Fig. 1,4 und 6 die Reaktionsschleife am
Eintritt des Motors unterbrochen wird, wobei dieser durch einen elektronischen oder elektromagnetischen
Generator, dessen Frequenz der Eigenfrequenz des
ίο Tasters entspricht, gespeist wird, beispielsweise durch
einen Stimmgabelgenerator (Buch von Damaye. »Les Oscillateurs, Genorateurs et Conformateurs de signaux«,
S. 99), signalisiert der Detektor D die Änderungen der Übertragungsimpedanz infolge der Berührung
r, des Tasters. Der Blockaufbau entspricht dem von Fig. 11. Das elektrische Schaltbild des Detektors D
entspricht dem von F i g. 9 mit oder ohne Filter Fa.
Es kann auch ein Generator G in Betracht gezogen werden, der auf die Eigenfrequenz des Tasiers S
synchronisiert ist, wenn er seinerseits von der Spannung gesteuert wird, die aus dem Wandler T an dem Halter
austritt. Eine solche Verbindung ist durch die gestrichelte Linie veranschaulicht. Die Ausführungsformen mit
den Motoren und den Piezowandlern können auch mittels elektromagnetischer oder elektrodynamischer
Einrichtungen verwirklicht werden. Ein Ausführungsbeispiel dafür für die Erregung der Vibrationen von
Stimmgabeln ist in dem genannten Buch von Damaye auf den Seiten 99,101 und 109 beschrieben.
jo Im Hinblick auf eine Miniaturisierung der ausführbaren
Schaltungen mit der modernen Elektronik können in dem Meßkopf selbst die Schaltungen der verschiedenen
Blockschaltbilder Platz finden. Infolgedessen kann es sich als vorteilhaft erweisen, das Ausgangssignal des
Detektorsystems D oder der ODER-Schaltung OU auf drahtlosem Weg zum Meßsystem zu übertragen. Die
Übertragung kann mittels Radiowellen, auf optischem Weg oder durch Ultraschall erfolgen.
Hierzu 6 Blatt Zeichnungen
Claims (26)
1. Meßkopf mit einem Taster, gekennzeichnet
durch einen Motor (MX der das freie Ende des Tasters (P) mit geringer Amplitude bei seiner
Resonanzfrequenz schwingen läßt, durch wenigstens einen Wandler (T) für die Aufnahme der mechanischen
Schwingungen des Tasters (P) und durch ein oder mehrere elektronische Detektorsysteme (D)
die an den Wandler oder die Wandler angeschlossen sind.
2. Meßkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Motor (M) ein elektromagnetischer
Motor ist.
3. Meßkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Motor (M) ein piezoelektrischer
Motor ist
4. Meßkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Motor (M) ein elektrodynamischer
Motor ist.
5. Meßkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß einer der Wandler (T)
oder mehrere Wandler (T) elektromagnetische Wandler sind.
6. Meßkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß einer der Wandler
oder mehrere Wandler (T) piezoelektrische Wandler sind.
7. Meßkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß einer der Wandler
oder mehrere der Wandler (T) elektrodynamische Wandler sind.
8. Meßkopf nach ehern d.· Ansprüche 1 bis 7,
dadurch gekennzeichne·, daß der Motor (M) von einem von einem der Wandle (T) abgegebenen
Signal gespeist wird.
9. Meßkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet, daß uer Motor (M) von einem Generator (G) gespeist wird, der auf die
Eigenfrequenz des Tasters ffy abgestimmt ist.
10. Meßkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Motor (M) von
einem Generator (G) gespeist wird, der zui Eigenfrequenz des Tasters (/^synchronisiert ist.
11. Meßkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 10,
dadurch gekennzeichnet, daß das elektronische Detektorsystem (D) auf die Frequenz des Signals
eines der Wandler (T^anspricht.
12. Meßkopf nach einem der Ansprüche I bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß das elektronische
Detektorsystem (D) auf die Amplitude des Signals eines der Wandler ("^anspricht.
13. Meßkopf nach einem der Ansprüche I bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die von dem Motor
(M) dem Taster (P) aufgeprägte Schwingung eine ebene Oszillation ist.
14. Meßkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die von dem Motor
(M) dem Taster (P) aufgeprägte Schwingung eine Drehbewegung ist.
15. Mfißkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 14,
dadurch gekennzeichnet, daß der Motor (M)una der
Wandler (T) an einem Träger des Tasters (P) befestigt sind.
16 Mebkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 14,
dadurch gekennzeichnet, daß der Motor (M)una der
Wandler (T) an dem Taster (P) befest igt sind.
17. Mi-itkopf nach einem der Ansprüche I bis 14.
dadurch gekennzeichnet, daß der Motor (M) an dem
Träger des Tasters (^befestigt ist und der Wandler (T) am Taster (P) festgelegt ist
18. Meßkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 14,
dadurch gekennzeichnet, daß der Motor (M) an dem Träger des Tasters (P) befestigt ist, daß ein erster
Wandler an dem Träger des Tasters (P) befestigt ist und df)ß ein zweiter Wandler (T) an dem Taster (P)
selbst befestigt ist.
19. Meßkopf nach einem der Ansprüche 15 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger des Tasters
(P) ein Boys-Träger (S,, S2) ist, der in dem Kopf unter
der Wirkung einer Feder f/y gehalten ist.
20. Meßkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 19, gekennzeichnet durch ein drahtloses Übertragungssystem
für das Signal, welches Radiowellen verwendet
21. Meßkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 19, gekennzeichnet durch ein drahtloses Übertragungssystem
für das Signal, welches Lichtwellen verwendet
22. Meßkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 19,
gekennzeichnet durch ein drahtloses Übertragungssystem für das Signal, welches Ultraschallwellen
2<> verwendet.
23. Verfahren zum Betätigen des Meßkopfes nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß der Taster, der mit seiner Resonanzfrequenz schwingt, in einen mechanischen
Kontakt mit dem Meßobjekt eintritt, daß wenigstens ein Wandler des Meßkopfs die Störung der
Schwingung empfängt, die von dem mechanischen Kontakt hervorgerufen wird und daß das entsprechende
elektronische Detektorsystem das gestörte Signal des Wandlers empfängt und den Zeitpunkt
des Kontakts anzeigt.
24. Verfahren nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß das erzeugt.
4. An einem der Wandler zugeordnet ist, die Änderungen der Frequenz der Oszillation feststellt,
die auf den mechanischen Kontakt des Tasters mit dem Meßobjekt folgen.
25. Verfahren nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß das elektronische Detektorsystem, welches einem der Wandler zugeordnet ist, die
Änderungen der Amplitude der Oszillation feststellt, die auf den Kontakt des Tasters mit dem Meßobjekt
folgen.
26. Verfahren nach einem der Ansprüche 23 bis 25, dadurch gekennzeichnet, daß das von dem Wandler
I. eine Taster abgegebene gestörte Signal oin Signal
mit einer wachsenden Spannung ist und daß das zugeordnete elektronische Detektorsystem das
Überschreiten einer oberen Schwelle der Spannung anzeigt.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH1175877A CH628137A5 (fr) | 1977-09-27 | 1977-09-27 | Procede de mesure a l'aide d'une tete de mesure d'une machine a mesurer et tete de mesure pour la mise en oeuvre de ce procede. |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2841424A1 DE2841424A1 (de) | 1979-04-05 |
DE2841424B2 true DE2841424B2 (de) | 1980-07-03 |
DE2841424C3 DE2841424C3 (de) | 1981-03-19 |
Family
ID=4376600
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2841424A Expired DE2841424C3 (de) | 1977-09-27 | 1978-09-22 | Meßkopf für ein Meßgerät |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4246795A (de) |
CH (1) | CH628137A5 (de) |
DE (1) | DE2841424C3 (de) |
GB (1) | GB2005022B (de) |
IT (1) | IT1100116B (de) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3133018A1 (de) * | 1980-08-28 | 1982-04-08 | The Valeron Corp., 48084 Troy, Mich. | Telemetrisches messsystem |
DE3213313A1 (de) * | 1981-04-30 | 1982-11-18 | The Valeron Corp., 48084 Troy, Mich. | Stellungsmesstastkopf |
DE3309122A1 (de) * | 1983-03-15 | 1984-09-20 | Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf | Tastkopf fuer messeinrichtungen |
EP0197243A1 (de) * | 1985-03-08 | 1986-10-15 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Mehrkoordinaten-Tastkopf |
DE3050013C2 (de) * | 1979-11-05 | 1992-07-02 | Vil'njusskij Filial Eksperimental'nogo Naucno-Issledovatel'skogo Instituta Metallorezuscich Stankov, Vil'njus, Su | |
DE4222990A1 (de) * | 1991-07-12 | 1993-10-21 | Roman Koller | Verfahren mit Anordnung zur Bildung einer Berührungserkennung, bzw. einer Berührungsfunktion |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4294121A (en) * | 1978-06-06 | 1981-10-13 | Inoue-Japax Research Incorporated | Position measuring system |
FR2458791A1 (fr) * | 1979-06-13 | 1981-01-02 | Seiv Automation | Dispositif de mesure a commande numerique |
DE2937431A1 (de) * | 1979-09-15 | 1981-04-02 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Einrichtung zur messwerterfassung an prueflingen |
GB8431746D0 (en) * | 1984-12-17 | 1985-01-30 | Renishaw Plc | Contact-sensing probe |
DE3640160A1 (de) * | 1986-11-25 | 1988-06-01 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Mehrkoordinaten-tastkopf |
GB8729632D0 (en) * | 1987-12-18 | 1988-02-03 | Renishaw Plc | Workpiece inspection |
DE3824548A1 (de) * | 1988-07-20 | 1990-01-25 | Zeiss Carl Fa | Verfahren und einrichtung fuer den betrieb eines tastkopfes vom schaltenden typ |
EP0415579A1 (de) * | 1989-08-30 | 1991-03-06 | Renishaw plc | Berührender Taster |
US5491904A (en) * | 1990-02-23 | 1996-02-20 | Mcmurtry; David R. | Touch probe |
US5247751A (en) * | 1990-09-29 | 1993-09-28 | Nikon Corporation | Touch probe |
US5459383A (en) * | 1991-02-07 | 1995-10-17 | Quantum Corporation | Robust active damping control system |
US5627310A (en) * | 1992-12-10 | 1997-05-06 | Imi Cornelius, Inc. | Sensor arrangement for ice bank control |
DE4243284C2 (de) * | 1992-12-21 | 1996-09-12 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Tastelement für Koordinatenmeßsysteme |
JP3130289B2 (ja) * | 1998-08-04 | 2001-01-31 | 株式会社ミツトヨ | タッチ信号プローブ |
JP2000199710A (ja) * | 1999-01-06 | 2000-07-18 | Mitsutoyo Corp | タッチ信号プロ―ブの接触部位検出構造 |
US6708420B1 (en) * | 1999-01-06 | 2004-03-23 | Patrick M. Flanagan | Piezoelectric touch probe |
DE102012018417B4 (de) * | 2012-09-12 | 2015-04-23 | Hans-Holger Anger | Tasteinrichtung und Messeinrichtung mit einer derartigen Tasteinrichtung |
US20190299310A1 (en) * | 2018-03-30 | 2019-10-03 | Branson Ultrasonics Corporation | Contact Detection Based On Frequency In Ultrasonics |
DE102020204942B4 (de) | 2020-04-20 | 2024-06-27 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Messsensor-Trägeranordnung mit Bewegungsaktor für ein Koordinatenmessgerät |
DE102020111758A1 (de) * | 2020-04-30 | 2021-11-04 | Homag Bohrsysteme Gmbh | Werkstückanschlag für eine Werkzeugmaschine, Werkzeugmaschine sowie Verfahren zum Positionieren eines Werkstücks |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL274071A (de) * | 1961-01-27 | |||
GB1447613A (en) * | 1973-06-14 | 1976-08-25 | Rolls Royce | Probes |
FR2235351A1 (en) * | 1973-06-26 | 1975-01-24 | France Etat | Device for measuring internal dimensions of tubes - has flexible mounted strain gauges on probe pulled through tube |
DE2357033C2 (de) * | 1973-11-15 | 1982-05-13 | Krautkrämer, GmbH, 5000 Köln | Vorrichtung zur Messung von Werkstoffeigenschaften, insbesondere einer Härte, nach einer Kontakt-Impedanz-Methode |
DE2551361A1 (de) * | 1974-11-18 | 1976-06-24 | Dea Digital Electronic | Allseitig wirkender elektronischer tastkopf fuer messmaschinen |
GB1499003A (en) * | 1975-03-20 | 1978-01-25 | Rolls Royce | Displacement gauge |
US3958450A (en) * | 1975-05-19 | 1976-05-25 | Claus Kleesattel | Resonant sensing devices and methods for determining surface properties of test pieces |
-
1977
- 1977-09-27 CH CH1175877A patent/CH628137A5/fr not_active IP Right Cessation
-
1978
- 1978-09-15 US US05/942,787 patent/US4246795A/en not_active Expired - Lifetime
- 1978-09-21 IT IT27958/78A patent/IT1100116B/it active
- 1978-09-22 DE DE2841424A patent/DE2841424C3/de not_active Expired
- 1978-09-26 GB GB7838248A patent/GB2005022B/en not_active Expired
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3050013C2 (de) * | 1979-11-05 | 1992-07-02 | Vil'njusskij Filial Eksperimental'nogo Naucno-Issledovatel'skogo Instituta Metallorezuscich Stankov, Vil'njus, Su | |
DE3133018A1 (de) * | 1980-08-28 | 1982-04-08 | The Valeron Corp., 48084 Troy, Mich. | Telemetrisches messsystem |
DE3213313A1 (de) * | 1981-04-30 | 1982-11-18 | The Valeron Corp., 48084 Troy, Mich. | Stellungsmesstastkopf |
DE3309122A1 (de) * | 1983-03-15 | 1984-09-20 | Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf | Tastkopf fuer messeinrichtungen |
EP0197243A1 (de) * | 1985-03-08 | 1986-10-15 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Mehrkoordinaten-Tastkopf |
DE4222990A1 (de) * | 1991-07-12 | 1993-10-21 | Roman Koller | Verfahren mit Anordnung zur Bildung einer Berührungserkennung, bzw. einer Berührungsfunktion |
DE4222990B4 (de) * | 1991-07-12 | 2004-04-08 | Roman Koller | Verfahren und Vorrichtung zur Auswertung einer Berührung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2841424A1 (de) | 1979-04-05 |
GB2005022B (en) | 1982-08-18 |
IT1100116B (it) | 1985-09-28 |
DE2841424C3 (de) | 1981-03-19 |
CH628137A5 (fr) | 1982-02-15 |
GB2005022A (en) | 1979-04-11 |
IT7827958A0 (it) | 1978-09-21 |
US4246795A (en) | 1981-01-27 |
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