DE2747703B2 - Ferromagnetisches Filmmaterial und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents

Ferromagnetisches Filmmaterial und Verfahren zu seiner Herstellung

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Description

Die Erfindung betrifft ein ferromagnetisches Eisen, Nickel und Palladium enthaltendes Filmmaterial und Verfahren zu seiner Herstellung.
Magnetische Dünnfilme aus Permalloy, welche etwa 80% Nickel und 20% Eisen enthalten, finden weite Anwendung als Computerspeicherelemente und in magnetischen Zylinderdomänenspeicherbauteilen. Bei einigen dieser Anwendungen ist festgestellt worden, daß die Dünnfilme aus Permalloy einen zusätzlichen Schutz gegen Korrosion aufgrund atmosphärischer Einflüsse benötigen.
Der Zusatz eines dritten Metalls zu Permalloy ist in großem Umfang untersucht worden, mit dem Ziel, dessen Eigenschaften zu ändern. In dem britischen Patent 11 25 690 ist der Zusatz von 1 bis 12 Atom-% Palladium zu Permalloy offenbart, wodurch ein Film mit einer Magnetostriktion, welche den Wert Null hat, erreicht werden soll. Diese Mischungen haben eine geringere Korrosionsresistenz als Permalloy.
E. M. Bradley hat im Journal of Applied Physics, Ergänzung zu Bd. 33 (März 1962), Seiten 1051 bis 1057 die Eigenschaften von Nickel-Eisen-Kobalt-Filmen offenbart Die Nickel-Eisen-Kobalt-Füme zeigen im Vergleich zu Filmen aus einfachem binärem Permalloy höhere Werte für die Wandbewegungskoerzitivkraft und für das Anisotropiefeld.
Rice, Suits und Lewis haben im Jorurnal of Applied Physics, Bd. 47, Nr. 3, März 1976. Seiten 1158 bis Π 63 in dem Artikel »Magnetic, Corrosion, and Surface Properties of Ni-Fe-Cr-Thin Films« die Koirosions-, Oberflächen- und magnetischen Eigenschaften von
ίο Penaalloyfilmen, welche Chrom enthalten, beschrieben. Während die Korrosionswiderstandsfähigkeit der Legierungen vom Permalloytyp durch Chrom erhöht wird, wird die Magnetisierung und der Magnetwiderstand der resultierenden Legierung schnell reduziert
In Kapitel 11, Seiten 569 bis 573 des Buches »Magnetism and Metallurgy«, Bd. 2, veröffentlicht 1969 von der Adademic Press, werden die magnetischen und kristallographischen Eigenschaften von Fe-Pd- und Fe-Pt-Legierungen beschrieben. Die Ähnlichkeit des Curiepunktes und der Sättigungsmagnetisierung dieser beiden Legierungen werden dort im Detail diskutiert In diesem Artikel werden keine bestimmten Legierungszusammensetzungen, welche im Handel Permalloy ersetzen köiviiten, vorgeschlagen. Außerdem wird in diesem Artikel nicht die Korrosionscharakteristik dieser Legierungen diskutiert
Auch auf den Seiten 411 und 412 in dem Buch mit dem Titel »Ferromagnetism« von Bozorth, 4. Druck, veröffentlicht von der D. VanNostrand Company, Princeton, New Jersey, werden die magnetischen Eigenschaften von Fe — Pd-Legierungen diskutiert
In dem Artikel »Magnetische Anisotropie epitaktischer Eisen-Palladium-Schichten« von V. G. Pynko und V. S. Korcmar, welcher in der Zeitschrift Fizika Metallov i Metallovedenie 33 (1972, Nr. 2, Seiten 411/412) erschienen ist, wird außerdem die Herstellung von einkristallinen Eisen-Palladium-Schichten (50 Fe — 50 Pd) beschrieben und über Untersuchungen der magnetischen Anisotropie an diesen Schichten berich tet
Es ist die Aufgabe der Erfindung, eine ferromagnetische Legierung, welche sich durch hohe Korrosionsbeständigkeit und gleichzeitig günstige magnetische Eigenschaften auszeichnet und Verfahren insbesondere zu ihrer Hersteilung anzugeben.
Diese Aufgabe wird mit einem Filmmaterial der Zusammensetzung gemäß den kennzeichnenden Teil der Ansprüche 1 und 2 und mit den Verfahrensmaßnahmen gemäß den Ansprüchen 3 und 4 gelöst.
Das erfindungsgemäße Filmmaterial ist korrosionsbeständiger als Permalloy. Günstige magnetische Eigenschaften zeigen sich darin, daß das Filmmaterial mit der allgemeinen Zusammensetzung (die tiefgesetzten Zahlen bedeuten Atom-%)
Nio.1-10Fe50-70Pd49.9-20
eine höhere Magnetisierung, 4πΜ, als 80 :20 Permalloy aufweisen. Das erfindungsgemäße Filmmaterial ist in Form dünner Filme anwendbar in magnetischen Zylinderdomänenspeicherbauteilen und geeignet für induktiv und magnetoresistent wirkende Dünnfilmköpfe zum Abfüllen von Magnetplatten, Kreditkarten und bei sonstigen derartigen Anwendungen. Gerade bei Dünn filmanwendungen leistet das erfindungsgemäße Film material verbesserte Korrosionsbeständigkeit gegenüber den Einwirkungen einer korrosiven Atmosphäre. Bei der Herstellung des erfindungsgemäßen Filmma-
terials durch Aufdampfen oder Kathodenzerstäubung lassen sich Verfahren und Vorrichtungen verwenden, welche bei der Herstellung mikrominiaturisierter elektronischer Bauteile gängig sind. Diese Verfahren lassen sich sehr genau steuern und liefern sehr gut reproduzierbare Ergebnisse, so daß Legierungen beispielsweise mit einer sehr genau festgelegten Zusammensetzung und mit genau festgelegten gewünschten magnetischen Eigenschaften reproduzierbar hergestellt werden können. Mit den genannten Verfahren läßt sich das erfindungsgemäße Filmmaterial insbesondere in Form dünner Filme erzeugen, was sehr günstig ist, weil sie gerade in dieser Form in großem Umfang anwendbar sind und ihre günstigen Eigenschaften voll zur Geltung kommen.
Die Erfindung wird anhand von durch Zeichnungen erläuterten Ausführungsbeispielen beschrieben. Es zeigt
F i g. 1 ein Dreiphasendiagramm, in welchem die Bereiche von Palladium, Eisen und Nickel, welche in der vorliegenden Erfindung eine Rolle spielen, aufgezeigt werden,
Fig.2 ein Dreiphasendiagramm, in welchem die Korrosionsdaten für eine Reihe von Mischungen aufgezeigt sind und
Fig.3 ein Dreiphasendiagramm, in welchem die 4jrM-Magnetisierungsdaten für eine Reihe von Mischungen aufgezeigt sind.
Werden 20 bis 65 Atom-% Palladium zu Nickel-Eisenmischungen vom Permalloytyp hinzugegeben, so erhöht sich die Korrosionsbeständigkeit dieser Verbindungen wesentlich. Gleichzeitig ändern sich die magnetischen Eigenschaften dieser Mischungen, wie z. B. die Magnetisierung, 4πΜ, und der Magnetwiderstand, nur relativ langsam mit der Palladiumzugabe.
Wie in dem Dreiphasendiagramm in F i g. 1 gezeigt ist, befinden sich die Mischungen, mit Ausnahme des binären Typs, welche bei der Erfindung eine Rolle spielen, in dem Bereich des Diagramms, welcher durch die Linien definiert ist, welche die Punkte A (65% Pd, 35% Fe), B (20% Pd, 25% Fe, 55%Ni) und C (20% Pd, 80% Fe) miteinander verbinden. Die Mischungen sind durch die allgemeine Formel
wobei
ratur liegt bei etwa 200"C Die Filme können auf Quarzoder Glassubstraten aufgebracht werden. Die Filmdikke, welche von der in Aussicht genommenen Anwendung abhängt, kann zwischen 300 und 20 000 A variieren. Alle in den F i g. 2 und 3 angegebenen Daten wurden an Filmen gemessen, welche mittels Aufdampfens aufgebracht wurden. Einige Filmeigenschaften, wie z. B. die Koerzitivkraft, hängen von den Herstellungsbedingungen ab. Tests haben gezeigt, daß die Substrattemperatur ein wichtiger Parameter bei dem Aufdampfprozeß ist Allgemein kann gesagt werden, daß die erforderliche Substrattemperatur größer als 60° C und kleiner als 450° C ist und daß die bevorzugte Temperatur bei etwa 200° C liegt Filme mit zufriedenstellenden Eigenschaften, deren Zusammensetzung in dem durch diese Erfindung definierten Bereich liegt, können auch mittels Kathodenzerstäubung erzeugt werden.
Korrosionsdaten von Filmmaterialien deren Zusammensetzungen außerhalb und innerhalb des durch diese Erfindung definierten Bereichs liegen, sind in der F i g. 2 gezeigt Die Korrosionswerte von Permalloy (80% Ni, 20% Fe) gemessen m Ä/Std. lagen bei 1,14,1,15,2,13 und 233, wobei der Mittelwert bei 1,69 lag. Wie die Fig.2 zeigt, war mindestens ein Gehalt von 20% Palladium in der Legierung notwendig, um die Korrosion auf einen Wert zu reduzieren, der unterhalb dessen lag, der bei Permalloy erreicht worden war. Mehrere Angaben zeigen an, daß mehrere Prüfungen mit dieser speziellen Mischung durchgeführt worden sind.
Die Korrosionsprüfung wurde so durchgeführt, daß Filme aus den Materialien einer Gasatmosphäre ausgesetzt wurden, welche dafür bekannt ist, daß sie die Zersetzung von Übergangsmetallen beschleunigt. Im einzelnen waren die Prüfungsbedingungen die folgenden:
70% relative Feuchtigkeit
Temperatur: 25° C
510 ppbNO2
310 ppbSO2
15 ppbH2S
3 ppb Cl2
170 ppbO3
Der Rest bestand aus gereinigter Luft.
χ im Bereich zwischen 20 und 65 Atom-% liegt
und
y einen unteren Grenzwert entlang eier Linie A B in der F i g. 1 (25 bis etwa 35%) hat und der obere Grenzwert bei 79,9 Atom-% liegt, definiert.
In den bevorzugten Filmmaterialien liegt der Eisengehalt zwischen 50 und 70 Atom-% und der Nickelgehalt zwischen 0,1 und 10 Atom-%.
Die Nickel-Eisen-Palladium-Dünnfilme können durch gleichzeitiges Aufdampfen aus zwei Verdampfungsquellen hergestellt werden. Die eine Quelle ist ein widerstandsbeheizter Berylliumoxidtiegel, welcher einen Nickel-Eisen-Barren enthält. Die zweite Quelle ist eine mit einer Elektronenstrahlkanone beheizte Quelle, welche einen Palladium-Barren enthält. Während des Aufbringens der neuen Legierung liegt der Luftdruck in der Aufdampfapparatur typischerweise im Bereich zwischen 10~5 und 10-' Torr. Die Aufdampfgeschwindigkeit liegt bei etwa 150 Ä/min und die SubstrattempeDie »In situ«-Widerstandsänderung des Films mit der Zeit wurde als Maß für seine Korrosionsgeschwindigkeit benutzt. Diese Geschwindigkeit wurde in Filmdikkenverlust (in Angströmeinheiten pro Stunde Einwirkungsdauer) angegeben.
Magnetisierungs(4?rM)-Daten von Mischungen innerhalb und außerhalb des Zusammensetzungsbereichs, welcher durch diese Erfindung definiert ist, sind in der F i g. 3 gezeigt. Die 4?rM-Werte von Permalloy gemessen in KG lagen zwischen 10,5 und 8,8, wobei der Mittelwert bei 9,6 lag. Wie F i g. 3 zeigt, ist ein Minimum von zwischen 25 und 35% Eisen in der Legierung notwendig, um einen 4wM-Wert zu erreichen, welcher gleich hoch oder höher ist als der bei Permalloy erreichte Wert.
Der Magnetwiderstand Δρ/ρ wurde an einer Reihe von NiPdFe-Legierungen, welche im beanspruchten Zusammensetzungsbereich liegen, gemessen. Einige der
b5 Legierungen zeigten Δρ/ρ-Werte, welche zwischen 0,5 und 0,9% lagen, was ausreicht, um bei bestimmten Anwendungen Magnetisierungsänderungen abzufühlen.
1 1 Rio*» 7«

Claims (4)

Patentansprüche:
1. Ferromagnetisches, Palladium, Nickel und Eisen enthaltendes Filmmaterial, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung durch die allgemeine Formel:
bestimmt ist, in der, in Atomprozent ausgedrückt, die x-Werte zwischen 20 und 65. der jeweils minimale j<-Weit zwischen 25 und etwa 35, wobei der zu einem minimalen j^Wert gehörende x-Wert sich aus der Formel 65-4,5(35-.?) und der Wert von \0Q-x-y sich aus der Formel 5,5(35 —y) berechnen, der maximale j^Wert bei 793 und die Werte von 100 -y—x zwischen 0,1 und 55 liegen, und das Material eine hohe Korrosionsbeständigkeit und gleichzeitig günstige magnetische Eigenschaften aufweist
2. Ferromagnetisches Filmmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Wert von y zwischen 50 und 70 und der Wert von \00-x-y zwischen 0,1 und 10 liegen.
3. Verfahren zum Herstellen eines ferromagnetischen Filmmaterials nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß aus zwei Verdampfungsquellen, von denen die eine Nickel und Eisen in einem auf das gewünschte Nickel-Eisen-Verhältnis in der Legierung abgestimmten Verhältnis und die andere Palladium enthält, gleichzeitig mit auf die gewünschte Legierungszusammensetzung abgestimmten Aufdampfgeschwindigkeiten auf ein Substrat aufgedampft wird, dessen Temperatur entsprechend den gewünschten Eigenschaften der Legierung festgelegt wird.
4. Verfahren zum Herstellen eines ferromagnetischen Filmmaterials nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Filmmaterial durch Aufbringen auf ein Substrat mittels Kathodenzerstäubung erzeugt wird.
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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5849007B2 (ja) * 1979-10-31 1983-11-01 財団法人 電気磁気材料研究所 加工が容易で保磁力と最大エネルギ−積の大きい永久磁石およびその製造方法
JPS5971112A (ja) * 1982-10-15 1984-04-21 Comput Basic Mach Technol Res Assoc 薄膜磁気ヘツド
JPS62226605A (ja) * 1986-03-28 1987-10-05 Hitachi Ltd 強磁性薄膜およびこれを用いた磁気ヘツド
JP3756778B2 (ja) 2000-06-01 2006-03-15 アルプス電気株式会社 薄膜磁気ヘッドの製造方法
TWI222630B (en) * 2001-04-24 2004-10-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd Magnetoresistive element and magnetoresistive memory device using the same
US6846345B1 (en) * 2001-12-10 2005-01-25 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Synthesis of metal nanoparticle compositions from metallic and ethynyl compounds
US7374597B2 (en) * 2001-12-10 2008-05-20 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Synthesis of metal nanoparticle compositions from metallic and ethynyl compounds
GB0520473D0 (en) 2005-10-07 2005-11-16 Ilika Technologies Ltd Metal alloy catalysts for fuel cell cathoodes
WO2008115879A1 (en) * 2007-03-21 2008-09-25 The Argen Corporation Non-magnetic cobalt-palladium dental alloy
US11427894B2 (en) 2019-08-02 2022-08-30 The Argen Corporation Cobalt based platinum-containing noble dental alloys

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1832307A (en) * 1925-07-11 1931-11-17 Western Electric Co Alloy for electrical contacts
DE714820C (de) * 1935-07-04 1941-12-08 Krupp Ag Werkstoff fuer Dauermagnete
US2159809A (en) * 1937-02-03 1939-05-23 Gen Electric Sealing material for vacuum vessels
DE684186C (de) * 1937-05-13 1939-11-23 Degussa Verwendung von Palladiumlegierungen fuer Dentalzwecke
BE529216A (de) * 1953-05-29
US3140941A (en) * 1962-03-05 1964-07-14 Du Pont Ferromagnetic compositions of iron, rhodium and at least one other element of atomicnumbers 39-48 and 57-80
US3409479A (en) * 1965-04-29 1968-11-05 Navy Usa Method of heat treating thin magnetic films in a transverse magnetic field
FR1536250A (fr) * 1966-06-21 1968-08-16 Ibm Alliage pour films magnétiques minces
US3607460A (en) * 1968-11-18 1971-09-21 Gen Electric First order transition films for magnetic recording and method of forming
US3497332A (en) * 1969-06-09 1970-02-24 Atomic Energy Commission Brazing alloy for joining graphite to graphite and to refractory metals

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5363211A (en) 1978-06-06
BR7707402A (pt) 1978-07-18
DE2747703C3 (de) 1982-08-05
FR2371755A1 (fr) 1978-06-16
US4098605A (en) 1978-07-04
FR2371755B1 (de) 1980-04-11
SE434101B (sv) 1984-07-02
CA1094360A (en) 1981-01-27
NL7712319A (nl) 1978-05-22
AU2942777A (en) 1979-04-12
SE7711986L (sv) 1978-05-19
DE2747703A1 (de) 1978-05-24
IT1114164B (it) 1986-01-27
AU511899B2 (en) 1980-09-11
GB1539686A (en) 1979-01-31
CH633319A5 (de) 1982-11-30
JPS5745819B2 (de) 1982-09-30

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