DE2747061A1 - Vacuum chamber for coating strip - has air lock chambers to permit continuous coating - Google Patents
Vacuum chamber for coating strip - has air lock chambers to permit continuous coatingInfo
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Abstract
Description
"Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten von Bändern in"Method and device for coating strips in
Vakuumanlagen mit Schleuseneinrichtungen" Die Erfindung'betrifft ein Verfahren zum Beschìchten von Bändern in einer Vakuumkammer unter Verwendung eines endlosen Trägerbandes, welches das zu beschichtende Band auf dem Wege von einer Abwi ckelwal ze zu einer Aufwickelwalze mindestens auf dem Wege durch eine Schleusenvorrichtung der Vakuumkammer begleitet, wobei das zu beschichtende Band sowohl am einlaufenden als auch am auslaufenden Trumm des Trägerbandes schlupffrei anliegend gehalten wird.Vacuum systems with lock devices "The invention" concerns a Method for coating tapes in a vacuum chamber using a endless carrier tape, which the tape to be coated on the way of a Abwi ckelwal ze to a winding roller at least on the way through a lock device accompanied by the vacuum chamber, with the strip to be coated both at the incoming as well as being held in a slip-free manner against the expiring strand of the carrier tape.
Die Erfindung betrifft weiterhin eine Vorrichtung zur Durchführung des vorstehend beschriebenen Verfahrens, bestehend aus einer Vakuumkammer mit einer Schleusenvorrichtung und je einer außerhalb der Vakuumkammer angeordneten Ab- und Aufwickelwalze, aUS je einer innerhalb und außerhalb der Vakuumkammer angeordneten Umlenkwalze, über die ein endloses Trägerband durch die Schleusenvorrichtung geführt ist, wobei Einrichtungen für die schlupffreie Anpressung des zu beschichtenden Bandes an das Trägerband vorgesehen sind, sowie aus einer Beschichtungsquelle für das Band.The invention also relates to a device for implementation the method described above, consisting of a vacuum chamber with a Lock device and one outside of the vacuum chamber each arranged from and Take-up roller, one inside and one outside of the vacuum chamber Deflection roller, over which an endless carrier belt is guided through the lock device is, with facilities for the slip-free pressing of the strip to be coated are provided on the carrier tape, as well as from a coating source for the tape.
Zu der vorstehend beschriebenen Vorrichtung gehören auch die sogenannten Luft-zu-Luft-Anlagen, bei denen die Ab- und Aufwickelwalze an Atmosphäre angeordnet sind. Derartige Anlagen haben den Vorteil, daß die Vorratsrolle mit dem zu beschichtenden Band keinen Durchmesserbegrenzungen im Hinblick auf das Bauvolumen der Anlage unteliegt. Auch die Probleme des Ausgasens bzw. der Entgasung eines in Vakuum eingebrachten Band- oder Folienwickels entfallen. Es können Umwickeleinrichtungen herkömmlicher Bauweise verwendet werden, die nicht für einen Vakuumbetrieb ausgelegt sein müssen, und infolgedessen gleichfalls keinen Beschränkungen im Hinblick auf ihre Abmessungen unterliegen. Auch die Wartung der Lagerstellen für bewegliche Vorrichtungsteile ist wesentlich einfacher. Der Hauptvorteil liegt jedoch in der kontinuierlichen Betriebsweise einer Luft-zu-Luft-Anlage, bei der es möglich ist, nach dem Beschichten des Bandes einer Rolle än das Ende dieses Bandes den Anfang der nachfolgenden Rolle anzufugen, so daß keine Betriebsunterbrechung, insbesondere aber keine Belüftung der Vakuumkammer erforderlich ist. Eine Luft-zu-Luft-Anlage kann auch in eine kontinuierlich arbeitende Produktionsanlage fUr die Herstellung des zu beschichtenden Bandes eingesetzt werden, wobei im Grenzfall sogar auf Umwickeleinrichtungen verzichtet werden kann.The device described above also includes the so-called Air-to-air systems in which the unwinding and winding rollers are arranged in the atmosphere are. Such systems have the advantage that the supply roll with the to be coated tape There are no diameter restrictions with regard to the construction volume of the system. Also the problems of outgassing or the outgassing of a vacuum introduced There is no need for tape or foil wraps. Wrappers can be more conventional Designs are used that do not have to be designed for vacuum operation, and consequently no restrictions on their dimensions either subject. Also the maintenance of the bearings for moving device parts is much easier. However, the main advantage lies in the continuous Operating mode of an air-to-air system in which it is possible after coating of the tape of a roll to the end of this tape the beginning of the following roll so that there is no interruption in operation, but in particular no ventilation the vacuum chamber is required. An air-to-air system can also turn into a continuous one working production plant used for the manufacture of the strip to be coated , whereby in borderline cases even rewinding devices can be dispensed with.
Derartige Anlagen bedingen jedoch sogenannte Bandschleusen, welche die Druckdifferenz gegenüber dem Druck in der eigentlichen Beschichtungskammer überbrücken. und zwar entweder durch kontinuierliche oder durch stufenweise Druckabsenkung, wobei zu berücksichtigen ist, daß der Druck in einer Vakuumaufdampfkammer größenordnungsmäßig bei 10 4 mbar und in einer Katodenzerstäubungsanlage größenordnungsmäßig bei 10'2 mbar liegt. Wesentliche Elemente einer solchen Schleuse sind enge Schlitze oder Spalte, welche der Luftströmung einen merklichen Widerstand entgegensetzen, so daß unter Einsatz von Vakuumpumpen die Erzeugung der gewünschten Druckdifferenz möglich ist. Hierbei stehen sich folgende Forderungen entgegen: Einmal sollen Größe und Zahl der Vakuumpumpen im Hinblick auf den dauernden Leistungsbedarf möglichst gering gehalten werden. Da auch die Investitionskosten mit der Zahl der einzelnen Schleusenkammern steigen, soll auch hier der konstruktive Aufwand in Grenzen gehalten werden. Diese Forderung führt notwendigerweise zur Ausbildung, möglichst enger Spalte oder Blenden für die Durchführung des Bandes.However, such systems require so-called belt locks, which bridge the pressure difference compared to the pressure in the actual coating chamber. either by continuous or by gradual pressure reduction, wherein it must be taken into account that the pressure in a vacuum vapor deposition chamber is of the order of magnitude at 10 4 mbar and in a cathode sputtering system on the order of 10'2 mbar. Essential elements of such a lock are narrow slots or Gaps, which oppose the air flow a noticeable resistance, so that under Use of vacuum pumps to generate the desired pressure difference is possible. The following demands are opposed to one another: First of all, size should be and number of vacuum pumps with a view to the continuous power requirement be kept low. Since the investment costs with the number of each Lock chambers increase, here too the design effort should be kept within limits will. This requirement necessarily leads to training, the narrowest possible gap or diaphragms for the passage of the tape.
Zum andern jedoch sollen die Abmessungen der Spalte und Blenden ein Mindestmaß nicht unterschreiten, da die Bänder auf ihrem Transport unvermeidbar Bewegungen ausführen, die ein Anlaufen an den Kanten der Schlitze begünstigen. Sofern sich die im Vakuum aufgebrachte Beschichtung auf einer Seite des Bandes befindet, die einer Kante des Schlitzes zugeordnet ist, besteht die Gefahr einer Beschädigung der Beschichtung, wodurch das Produkt unbrauchbar, zumindest aber im Wert gemindert wird. Aus Sicherheitsgründen konnte daher bisher eine Mindestbreite der Schlitze oder Blenden nicht unterschritten werden.On the other hand, however, the dimensions of the column and panels should be one Do not fall below the minimum size, as the tapes are unavoidable during transport Carry out movements that tend to run against the edges of the slots. Provided the vacuum applied coating is on one side of the belt, which is assigned to an edge of the slot, there is a risk of damage the coating, which makes the product unusable, or at least diminishes in value will. For safety reasons, a minimum width of the slots could therefore hitherto or apertures are not undercut.
Die Schwierigkeiten wachsen mit abnehmender Stärke des Bandes.The difficulty increases as the strength of the ligament decreases.
So werden heute vom Markt Kondensatorfolien verlangt, deren Träger ein thermoplastisches Folienmaterial von 1 Mikrometer Dicke ist. Das faltenfreie Umwickeln und die Führung derartiger Bänder stellen im Hinblick auf die vorstehend genannten Forderungen Probleme dar, die nur sehr schwer zu lösen sind.So today the market demands capacitor foils, their carriers is a thermoplastic sheet material 1 micrometer thick. The wrinkle-free Wrapping and guiding such tapes provide in view of the above The requirements mentioned represent problems that are very difficult to solve.
Durch die DT-AS 12 79 426 ist es bekannt, Bänder auf einem endlosen Trägerband durch eine Druckstufenstrecke und durch eine Bedampfungskammer zu führen. Hierbei wird das zu bedampfende Band nicht vom Trägerband abgehoben, so daß es nur auf der dem Trägerband abgekehrten Seite beschichtet werden kann. Die Schichtseite läuft somit Gefahr, an den Schlitzblenden der Druckstufenstrecke anzulaufen. Hinzu kommt, daß die Schlitzblenden für beide Trumms des Trägerbandes voneinander getrennt sind, wodurch der Gesamtquerschnitt der Schlitzblenden, der für den Gasdurchtritt maßgeben ist, unnötig groß ist.Through the DT-AS 12 79 426 it is known to run belts on an endless Carrier tape through a compression stage and through a vapor deposition chamber respectively. The tape to be steamed is not lifted off the carrier tape, so that it can only be coated on the side facing away from the carrier tape. The layer side therefore runs the risk of being hit by the slit diaphragms in the pressure stage section to start up. In addition, the slit diaphragms for both strands of the carrier tape are separated from each other, whereby the total cross-section of the slit diaphragms, the is determined for the gas passage, is unnecessarily large.
Ein endliches Trägerband aus Metall, welches gleichzeitig als Kühlunterlage dient und durch die Vakuumanlage geführt wird, wobei es entweder zusammen mit dem Produkt oder unabhängig davon aufgewickelt werden kann, ist Gegenstand der DT-AS 1 059 739. Die Dicht- und Transportprobleme sind jedoch hierbei die gleichen wie bei dem Gegenstand der DT-AS 12 79 426.A finite metal carrier strip that doubles as a cooling pad is used and is passed through the vacuum system, either together with the Product or can be wound up independently of it, is the subject of DT-AS 1 059 739. The sealing and transport problems here, however, are the same as for the subject of DT-AS 12 79 426.
Durch die DT-PS 961 771 ist es bekannt, mindestens ein endloses, umlaufendes Band lediglich zu Abdichtzwecken im Zusammenhang mit einer Schleusenvorrichtung zu verwenden. Das zu beschichtende Band kann mit einer solchen Vorrichtung nicht durch die Schlitzblende, schon gar nicht durch mehrere, hintereinander liegende Schlitzblenden hindurchgeführt werden.From DT-PS 961 771 it is known at least one endless, revolving Tape only for sealing purposes in connection with a lock device to use. The tape to be coated cannot with such a device through the slit diaphragm, and certainly not through several one behind the other Slit diaphragms are passed through.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung anzugeben, die es gestatten, auch extrem dünne Bänder beschädigungsfrei durch ein Schleusensystem hindurchzuführen, wobei gleichzeitig eine sehr wirksame Schleuseneinrichtung mit engen Schlitzblenden eingesetzt werden kann.The invention is based on the object of a method and a device indicate that allow even extremely thin bands to pass through a Pass through lock system, while at the same time a very effective lock device can be used with narrow slit diaphragms.
Die Lösung der gestellten Aufgabe erfolgt bei dem eingangs angegebenen Verfahren erfindungsgemäß dadurch, daß das zu beschichtende Band innerhalb der Vakuumkammer über eine begrenzte Weglänge vom Trägerband abgehoben und auf der dem Trägerband zugekehrten Seite beschichtet wird.The task at hand is achieved with the one specified at the beginning Method according to the invention in that the strip to be coated is inside the vacuum chamber lifted over a limited path length from the carrier tape and on the carrier tape facing side is coated.
Durch die angegebene Weise wird erreicht, daß die Schichtseite des Bandes nach der Herstellung der Beschichtung schlupffrei mit -dem Trägerband in Berührung kommt, wodurch das Trägerband die empfindliche Beschichtung auf der einen Seite und das Band selbst die Beschichtung auf der anderen Seite gegen eine Beschädigung wie Verkratzen etc. wirksam schützt. Auf diese Weise wird selbst bei niedrigen Investitions-und Betriebskosten der Vorrichtung ein hoch-wertiges Endprodukt erreicht.The specified way ensures that the layer side of the Tape after the production of the coating slip-free with the carrier tape in Comes into contact, causing the carrier tape the delicate coating on one side Side and the tape itself the coating on the other side against damage such as scratching etc. effectively protects. This way, even with low investment and investment Operating costs of the device achieved a high-quality end product.
Die Lösung der gestellten Aufgabe erfolgt bei der weiter oben angegebenen Vorrichtung erfindungsgemäß durch Führungs-und Umlenkwalzen, welche innerhalb der Vakuumkammer an den Ecken eines Polygons in der Weise angeordnet sind, daß das Uber sie fUhrbare und zu beschichtende Band nach dem Abheben vom Trägerband in einer Schlaufe geführt ist sowie durch die Anordnung der Beschichtungsquelle innerhalb des Polygons. Eine solchermaßen ausgestaltete Vorrichtung schafft die Voraussetzungen für die erfindungsgemäße Verfahrensführung, durch die der angestrebte Erfolg eintritt.The problem posed is solved in the case of the one given above Device according to the invention by guide and deflection rollers, which within the Vacuum chambers are arranged at the corners of a polygon in such a way that the Uber they can be guided and coated in a tape after being lifted off the carrier tape Loop is guided as well as by the arrangement of the coating source within of the polygon. A device designed in this way creates the prerequisites for the procedure according to the invention, through which the desired success occurs.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung kann in der Weise vorteilhaft weiter ausgestaltet werden, daß eine der Führungs- und Umlenkwalzen oberhalb der Beschichtungsquelle angeordnet und als Kühlwalze ausgeführt ist, über deren unteren Teilumfang das Band während der Beschichtung führbar ist. Die betreffende Walze hat dabei zweckmäßig einen gegenüber den Ubrigen Walzen wesentlich vergrößerten Durchmesser. Hierdurch wird - vornehmlich beim Vakuumaufdampfen - ein günstiger Auftreffwinkel der Dampfpartikel auch im Randbereich des Dampfstromes erreicht und gleichzeitig die Verweilzeit des Bandes auf der Kühlwalze zum Zwecke einer verbesserten Wärmeabfuhr vergrößert.The device according to the invention can advantageously continue in this way be designed that one of the leadership and Deflection rollers above the coating source is arranged and designed as a cooling roller, over the The lower part of the circumference of the tape can be guided during the coating. The person in question The roller expediently has a significantly larger than the other rollers Diameter. This makes a cheaper one - especially in the case of vacuum evaporation The angle of incidence of the steam particles is also reached in the edge area of the steam flow and at the same time the dwell time of the strip on the chill roll for the purpose of improved Increased heat dissipation.
Die vorgenannte Vorrichtung kann noch dadurch weiter ausgestaltet werden, daß die Beschichtungsquelle von einer weiteren Vakuumkammer umgeben ist, durch die das Band mittels einer weiteren Schleusenvorrichtung hindurchführbar ist. Auf die angegebene Weise kann mit einem verringerten Konstruktionsaufwand erreicht werden, daß das Vakuum im Bereich der Beschichtungszone bzw. Beschichtungsquelle noch weiter verbessert werden kann, was zu einer weiteren Qualitätsverbesserung des Endproduktes führt.The aforementioned device can be further developed as a result that the coating source is surrounded by another vacuum chamber, through which the tape can be passed by means of a further lock device. In the specified way can be achieved with a reduced construction effort that the vacuum in the area of the coating zone or coating source can be further improved, resulting in a further quality improvement of the end product.
Eine besonders vorteilhafte Ausführungsform des Erfindungsgegenstandes ist weiterhin dadurch gekennzeichnet, daß die Schleusenvorrichtung als Druckstufenstrecke mit schlitzförmigen Blenden ausgeführt ist, und daß beide Trumms des Trägerbandes jeweils innerhalb einer Blende geführt sind.A particularly advantageous embodiment of the subject matter of the invention is further characterized in that the lock device as a pressure stage section is designed with slot-shaped panels, and that both runs of the carrier tape are each guided within a panel.
Durch diese Maßnahme wird die Summe aller freien Querschnitte in den schlitzförmigen Blenden auf ein Minimum reduziert, wodurch die Wirksamteit der Schleusenvorrichtung gesteigert wird.By this measure, the sum of all free cross-sections in the Slit-shaped screens reduced to a minimum, thereby increasing the effectiveness of the lock device is increased.
Weiterhin kann der Erfindungsgegenstand in der Weise weiter ausgestaltet werden, daß das Trägerband aus einem Isolierstoff besteht, daß zwischen den beiden Trumms des Trägerbandes eine Elektrode angeordnet ist, und daß die Beschichtung des Bandes als Gegenelektrode polbar ist. Durch die Anlegung einer entsprechenden Spannung zwischen der Elektrode und der Beschichtung des Bandes wird eine elektrostatische Anpressung erreicht, welche eine falten- und schlupffreie Führung des zu beschichtenden Bandes auf dem Trägerband fördert.Furthermore, the subject matter of the invention can be further developed in this way be that the carrier tape consists of an insulating material that between the two An electrode is arranged on the run of the carrier tape, and that the coating of the tape can be polarized as a counter electrode. By creating a corresponding Voltage between the electrode and the coating of the tape is electrostatic Contact pressure is achieved, which leads to wrinkle-free and slip-free guidance of the Tape promotes on the carrier tape.
Ein Ausführungsbeispiel des Erfindungsgegenstandes wird nachfolgend anhand der Figur näher erläutert.An embodiment of the subject matter of the invention is shown below explained in more detail with reference to the figure.
Die Vorrichtung zur Beschichtung von Bändern besteht aus einer Vakuumkammer 1, der eine Schleusenvorrichtung 2 vorgeschaltet ist. Diese besteht aus einzelnen Schleusenkammern 3, 4 und 5, zwischen denen schlitzförmige Blenden 6 und 7 angeordnet sind. Eine analoge Blende 8 befindet sich am Eingang der Schleusenvorrichtung 2, eine weitere analoge Blende 9 ist in der zwischen der Schleusenkammer 5 und der Vakuumkammer 1 befindlichen Trennwand angeordnet. Die Schleusenkammern 3, 4 und 5 sind über Saugstutzen 10, 11 und 12 an nicht dargestellte Vakuumpumpen angeschlossen; die Vakuumkammer 1 ist über einen Saugstutzen 13 an einen weiteren, nicht dargestellten Pumpsatz angeschlossen, wobei die Auslegung der einzelnen Pumpsätze so getroffen ist, daß die Drücke P1, P2, P3 und P4 in der Reihenfolge ihrer Aufzählung abnehmen. Die Schleusenkammern 3, 4 und 5 bilden auf diese Weise eine soge- nannte Druckstufenstrecke, die das Eindringen von Luft in die Vakuumkammer 1 wirksam unterdrückt.The device for coating strips consists of a vacuum chamber 1, which is preceded by a lock device 2. This consists of individual Lock chambers 3, 4 and 5, between which slot-shaped diaphragms 6 and 7 are arranged are. An analog aperture 8 is located at the entrance of the lock device 2, Another analog aperture 9 is in the between the lock chamber 5 and the Vacuum chamber 1 located partition is arranged. The lock chambers 3, 4 and 5 are connected to vacuum pumps, not shown, via suction nozzles 10, 11 and 12; the vacuum chamber 1 is connected to another, not shown, via a suction nozzle 13 Pump set connected, with the design of the individual pump sets made is that the pressures P1, P2, P3 and P4 decrease in the order in which they are listed. The lock chambers 3, 4 and 5 thus form a so-called called Pressure stage that effectively suppresses the ingress of air into the vacuum chamber 1.
Außerhalb des Vakuums bzw. vor der Schleusenvorrichtung 2 befindet sich eine Umlenkwalze 14, innerhalb der Vakuumkammer 1 eine Umlenkwalze 15, wobei die Rotationsachsen der Umlenkwalzen 14 und 15 in etwa in einer Ebene liegen, die zwischen den schlitzförmigen Blenden 6, 7, 8 und 9 verläuft. Ober die Umlenkwalzen 14 und 15 ist durch die Schleusenvorrichtung 2 hindurch ein endloses Trägerband geführt.Outside the vacuum or in front of the lock device 2 is located a deflection roller 14, within the vacuum chamber 1 a deflection roller 15, wherein the axes of rotation of the deflection rollers 14 and 15 lie approximately in a plane which runs between the slit-shaped diaphragms 6, 7, 8 and 9. Above the guide rollers 14 and 15 is an endless carrier belt through the lock device 2 guided.
Im Inneren der Vakuumkammer 1 befinden sich außer der Umlenkwalze 14 noch weitere Führungs- und Umlenkwalzen 17, 18, 19, 20 und 21, welche in der dargestellten Ansicht an den Ecken eines Polygons angeordnet sind. In der Nähe des Trägerbandes 16 sind zusätzliche Führungswalzen 22, 23 und 24 angeordnet, auf deren Funktion nachfolgend noch näher eingegangen wird.In the interior of the vacuum chamber 1 there is also the deflection roller 14 still more guide and deflection rollers 17, 18, 19, 20 and 21, which in the view shown are arranged at the corners of a polygon. In the vicinity of the Carrier tape 16 additional guide rollers 22, 23 and 24 are arranged on their Function will be discussed in more detail below.
Vor der Schleusenvorrichtung 2 ist eine Abwickelwalze 25 mit einer Rolle 26 des zu beschichtenuen Bandes 27 angeordnet, welches über eine Umlenkwalze 28 dem Trägerband 16 zugeführt wird, an welches es in der Nähe der Umlenkwalze 14 durch eine Führungswalze 24 angepreßt wird. Das Band 27 wird nun unter inniger, schlupffreier Berührung des Trägerbandes 16 durch die Schleusenvorrichtung 2 bzw.Before the lock device 2 is an unwinding roller 25 with a Roll 26 of the strip 27 to be coated is arranged, which over a deflection roller 28 is fed to the carrier tape 16, to which it is attached in the vicinity of the deflecting roller 14 is pressed by a guide roller 24. The band 27 is now under intimate, slip-free contact of the carrier tape 16 by the lock device 2 or
durch die schlitzförmigen Blenden 6 bis 9 hindurch und in die Vakuumkammer 1 geführt. Unmittelbar hinter der Umlenkwalze 17 wird das Band 27 durch die Umlenkwalze 18 vom Trägerband 16 abgehoben und in Richtung des Pfeils 29 über die weiteren Umlenkwalzen 19, 20 und 21 geführt. Die Umlenkwalze 21 hat gegenüber den übrigen Umlenkwalzen 17 bis 20 einen mehrfach größeren Durchmesser und ist aufgrund von nicht gezeigten Kühlmittel anschlüssen als Kühlwalze ausgeführt. Von der Umlenkwalze 21 wird das Band 27 der Umlenkwalze 15 zugeführt, auf der es wieder auf das Trägerband 16 aufläuft. Die erforderliche Anpressung wird durch eine unter Federkraft stehende Anpreßwalze 30 erreicht. Die relative Lage der Umlenkwalzen 15, 20 und 21 ist dabei so getroffen, daß das Band 27 auf der Umlenkwalze 21 über einen Umschlingungswinkel von etwa 180 Grad geführt ist. Die vom Trägerband 16 abgehobene Weglänge des Bandes 27 bestimmt sich aus der jeweiligen Lage bzw. den Abständen der einzelnen Umlenkwalzen.through the slit-shaped diaphragms 6 to 9 and into the vacuum chamber 1 led. Immediately behind the deflecting roller 17, the belt 27 passes through the deflecting roller 18 lifted from the carrier tape 16 and in the direction of arrow 29 over the other Guide rollers 19, 20 and 21. The deflection roller 21 has opposite the other deflection rollers 17 to 20 a several times larger diameter and is due to not shown Coolant connections designed as cooling rollers. From the deflection roller 21 this is Tape 27 is fed to the deflection roller 15, on which it runs back onto the carrier tape 16. The required contact pressure is achieved by a spring-loaded pressure roller 30 reached. The relative position of the deflection rollers 15, 20 and 21 is made in such a way that that the belt 27 on the deflection roller 21 over a wrap angle of about 180 Degree is led. The path length of the tape 27 lifted off the carrier tape 16 is determined from the respective position or the distances between the individual deflection rollers.
Unterhalb der als Kühlwalze ausgeführten Umlenkwalze 21 befindet sich eine Beschichtungsquelle 31, die im vorliegenden Falle als thermisch oder durch Elektronenstrahl beheizter Verdampfer ausgeführt ist. Die Beschichtungsquelle 31 erzeugt bei entsprechender Beheizung einen zur Umlenkwalze 21 gerichteten Dampfstrom, der durch gestrichelte Linien angedeutet ist. Durch die Kondensation dieses Dampfstromes wird auf der der Umlenkwalze 21 abgekehrten, nach unten gerichteten Oberfläche des Bandes 27 eine Schicht aus den verdampften Material erzeugt, die an dem Trägerband 16 zur Anlage kommt, sobald das Band 27 im Bereich der Umlenkwalze 15 auf das Trägerband 16 aufläuft. Zwischen den Umlenkwalzen 15 und 14 wird das Band 27 unter inniger Berührung des Trägerbandes 16 von diesem schlupffrei mitgenommen und nach dem Austritt aus der Schleusenvorrichtung 2 auf der Aufwickelwalze 32 zu einer Rolle 33 aufgewickelt. Der Aufwickelwalze 32 ist noch eine Führungswalze 34 vorgeschaltet, um eine Flatterneigung des Bandes 27 und/oder eine Faltenbildung zu unterdrücken. Zu dem gleichen Zweck sind auch die Führungswalzen 22 und 23 vorgesehen.Below the deflection roller 21 designed as a cooling roller is located a coating source 31, which in the present case as thermal or by Electron beam heated evaporator is carried out. The coating source 31 generates a steam stream directed towards the deflection roller 21 when heated appropriately, which is indicated by dashed lines. Through the condensation of this vapor stream is on the deflection roller 21 facing away, downward surface of the Tape 27 creates a layer of the vaporized material that adheres to the carrier tape 16 comes to rest as soon as the tape 27 in the area of the deflection roller 15 on the carrier tape 16 runs up. Between the guide rollers 15 and 14, the belt 27 becomes more intimate Touching the carrier tape 16 taken along by this slip-free and after the exit from the lock device 2 on the Take-up roller 32 to one Roll 33 wound up. The take-up roller 32 is preceded by a guide roller 34, in order to suppress a tendency for the belt 27 to flutter and / or to prevent wrinkling. The guide rollers 22 and 23 are also provided for the same purpose.
Von besonderer Bedeutung bei der Führung des Bandes 27 ist noch die Tatsache, daß die beschichtete Seite des Bandes 27 eine möglichst geringe Zahl von Führungs- oder Umlenkwalzen berührt. Dieser Forderung wird durch die angegebene Bewegungsrichtung Rechnung getragen. Nach Verlassen der gekühlten Führungswalze 21 läuft das Band 27 mit seiner beschichteten Seite unmittelbar auf das Trägerband 16 auf, mit dem es aus der Vakuumkammer 1 heraus und durch die Schleusenvorrichtung 2 hindurchgeführt wird. Eine umgekehrte Bewegungsrichtung wäre weit weniger vorteilhaft, weil die beschichtete Seite des Bandes 27 dann um sämtliche Ecken des Polygons geführt werden müßte.Of particular importance in the guidance of the belt 27 is the The fact that the coated side of the belt 27 has the lowest possible number of Touches guide or deflection rollers. This requirement is indicated by the Direction of movement taken into account. After leaving the cooled guide roller 21 the belt 27 runs with its coated side directly onto the carrier belt 16, with which it is out of the vacuum chamber 1 and through the lock device 2 is passed through. A reverse direction of movement would be far less advantageous, because the coated side of the tape 27 then passed around all corners of the polygon would have to be.
Das Trägerband 16 besitzt ein oberes und ein unteres Trumm, die beide durch die gleichen schlitzförmigen Blenden 6 bis 9 hindurchgeführt sind, wodurch der freie Querschnitt dieser Blenden auf ein Minimum reduziert werden kann. Zwischen den beiden Trumms des Trägerbandes 16 befindet sich eine an Masse gelegte.Elektrode 35, die als perforiertes Blech ausgebildet ist. Um eine elektrostatische Anpressung des Bandes 27 an das Trägerband 16 zu erreichen, wird durch eine nicht dargestellte Kontaktvorrichtung die (leitfähige) Beschichtung des Bandes 27 als Gegenelektrode zur Elektrode 35 gepolt, wobei eine für eine Anpressung ausreichende Gleichspannung verwendet wird.The carrier tape 16 has an upper and a lower run, both of which are passed through the same slot-shaped diaphragms 6 to 9, whereby the free cross-section of these diaphragms can be reduced to a minimum. Between the two strands of the carrier tape 16 is a grounded.Elektrode 35, which is designed as a perforated sheet metal. About an electrostatic pressure To achieve the tape 27 to the carrier tape 16, is by a not shown Contact device the (conductive) coating of the strip 27 as a counter electrode polarized to the electrode 35, with a DC voltage sufficient for contact pressure is used.
Mindestens ein Teil der gekühlten Umlenkwalze 21 sowie die Beschichtungsquelle 31 sind von einer weiteren Vakuumkammer 36 umgeben, in der über einen nicht dargestellten Saugstutzen ein Druck P5 erzeugt werden kann, der wiederum niedriger ist als der Druck P4 in der Vakuumkammer 1. Im vorliegenden Fall ist die Umlenkwalze 21 unter Freilassung sehr enger Spalte so in die Vakuumkammer 36 eingesetzt, daß zwischen der Umlenkwalze 21 und den benachbarten Kanten der Vakuumkammer 36 eine weitere Schleusenvorrichtung 37 gebildet wird. LeerseiteAt least part of the cooled deflecting roll 21 and the coating source 31 are surrounded by a further vacuum chamber 36, in which one is not shown Suction nozzle a pressure P5 can be generated, which in turn is lower than that Pressure P4 in the vacuum chamber 1. In the present case, the deflection roller 21 is below Release very narrow gaps so inserted into the vacuum chamber 36 that between the deflection roller 21 and the adjacent edges of the vacuum chamber 36 another Lock device 37 is formed. Blank page
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| DE19772747061 Withdrawn DE2747061A1 (en) | 1977-10-20 | 1977-10-20 | Vacuum chamber for coating strip - has air lock chambers to permit continuous coating |
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| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE2747061A1 (en) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3116732A1 (en) * | 1980-04-30 | 1982-02-04 | Kabushiki Kaisha Tokuda Seisakusho, Zama, Kanagawa | "HIGH-FREQUENCY DISCHARGE SPRAYING DEVICE" |
| DE3210351A1 (en) * | 1982-03-20 | 1983-09-22 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Process and device for producing magnetic recording films |
| US4612206A (en) * | 1984-06-04 | 1986-09-16 | Nisshin Steel Company, Ltd. | Method of controlling deposition amount distribution in a vacuum deposition plating |
| US4676999A (en) * | 1984-09-17 | 1987-06-30 | Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha | Method for vacuum deposition plating steel strip |
| US5000114A (en) * | 1988-04-11 | 1991-03-19 | Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha | Continuous vacuum vapor deposition system having reduced pressure sub-chambers separated by seal devices |
| WO1998035773A1 (en) * | 1997-02-14 | 1998-08-20 | Voest-Alpine Industrieanlagenbau Gmbh | How to avoid contact between oxygen and molten metal |
| DE19912707A1 (en) * | 1999-03-20 | 2000-09-21 | Leybold Systems Gmbh | Treatment plant for flat substrates |
| DE19844357C2 (en) * | 1998-09-28 | 2001-04-05 | Hilmar Weinert | Belt steaming system and process for the production of plane-parallel platelets |
| WO2009024460A3 (en) * | 2007-08-20 | 2009-05-07 | Novogenio S L | System and process for the continous vacuum coating of a material in web form |
| DE102008007629A1 (en) | 2008-02-04 | 2009-08-06 | Krones Ag | Lock device for loading and unloading of containers in and out of a vacuum treatment chamber |
| CN104862662A (en) * | 2015-05-19 | 2015-08-26 | 广东世创金属科技股份有限公司 | Multi-function continuous type vacuum plasma film coating system |
| DE102014105747A1 (en) * | 2014-04-23 | 2015-10-29 | Uwe Beier | Modular device for processing flexible substrates |
| EP4403254A1 (en) * | 2023-01-18 | 2024-07-24 | SMS Group GmbH | Lock device and method for its operation |
-
1977
- 1977-10-20 DE DE19772747061 patent/DE2747061A1/en not_active Withdrawn
Cited By (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3116732A1 (en) * | 1980-04-30 | 1982-02-04 | Kabushiki Kaisha Tokuda Seisakusho, Zama, Kanagawa | "HIGH-FREQUENCY DISCHARGE SPRAYING DEVICE" |
| DE3210351A1 (en) * | 1982-03-20 | 1983-09-22 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Process and device for producing magnetic recording films |
| US4612206A (en) * | 1984-06-04 | 1986-09-16 | Nisshin Steel Company, Ltd. | Method of controlling deposition amount distribution in a vacuum deposition plating |
| US4676999A (en) * | 1984-09-17 | 1987-06-30 | Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha | Method for vacuum deposition plating steel strip |
| US5000114A (en) * | 1988-04-11 | 1991-03-19 | Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha | Continuous vacuum vapor deposition system having reduced pressure sub-chambers separated by seal devices |
| WO1998035773A1 (en) * | 1997-02-14 | 1998-08-20 | Voest-Alpine Industrieanlagenbau Gmbh | How to avoid contact between oxygen and molten metal |
| US6415849B1 (en) | 1997-02-14 | 2002-07-09 | Voest-Alpine Industrieanlagenbau Gmbh | How to avoid contact between oxygen and molten metal |
| DE19844357C2 (en) * | 1998-09-28 | 2001-04-05 | Hilmar Weinert | Belt steaming system and process for the production of plane-parallel platelets |
| US6270840B1 (en) | 1998-09-28 | 2001-08-07 | Weinert Vakuum Verfahrenstechnik Gmbh | Apparatus and method for producing plane-parallel flakes |
| DE19912707B4 (en) * | 1999-03-20 | 2010-01-21 | Applied Materials Gmbh & Co. Kg | Treatment plant for flat substrates |
| DE19912707A1 (en) * | 1999-03-20 | 2000-09-21 | Leybold Systems Gmbh | Treatment plant for flat substrates |
| WO2009024460A3 (en) * | 2007-08-20 | 2009-05-07 | Novogenio S L | System and process for the continous vacuum coating of a material in web form |
| ES2336870A1 (en) * | 2007-08-20 | 2010-04-16 | Novogenio, S.L. | System and process for the continous vacuum coating of a material in web form |
| WO2009097888A1 (en) | 2008-02-04 | 2009-08-13 | Krones Ag | Lock device for adding and removing containers to and from a vacuum treatment chamber |
| DE102008007629A1 (en) | 2008-02-04 | 2009-08-06 | Krones Ag | Lock device for loading and unloading of containers in and out of a vacuum treatment chamber |
| US8602708B2 (en) | 2008-02-04 | 2013-12-10 | Krones Ag | Lock device for adding and removing containers to and from a vacuum treatment chamber |
| DE102014105747A1 (en) * | 2014-04-23 | 2015-10-29 | Uwe Beier | Modular device for processing flexible substrates |
| DE102014105747B4 (en) | 2014-04-23 | 2024-02-22 | Uwe Beier | Modular device for processing flexible substrates |
| CN104862662A (en) * | 2015-05-19 | 2015-08-26 | 广东世创金属科技股份有限公司 | Multi-function continuous type vacuum plasma film coating system |
| EP4403254A1 (en) * | 2023-01-18 | 2024-07-24 | SMS Group GmbH | Lock device and method for its operation |
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