DE2745944A1

DE2745944A1 - Verfahren bzw. einrichtung zum pruefen einer linse

Info

Publication number: DE2745944A1
Application number: DE19772745944
Authority: DE
Inventors: Willem Brouwer
Original assignee: Coulter Information Systems Inc
Current assignee: Coulter Information Systems Inc
Priority date: 1976-10-13
Filing date: 1977-10-12
Publication date: 1978-04-20
Also published as: BE859622A; CH620296A5; IT1090319B; IL53107A0; IL53107A; CA1075891A; JPS5349452A; SE7711445L; DK452777A; GB1555279A; LU78299A1; NL7711227A; FR2368028A1; US4099877A

Description

-70 «\ Ρ-. E-JUFMAGEL

LANDWCl ,nCTR. 37 80OO MÜNCHEN 2 TEL. OE9 / 59 67 84

München, den 10. Oktober 1977 /J n L tsaktenz. : 1<J1 - Pat. 27

Coulter information Systems, Inc., 35 Wiggins Avenue, bedford, Massachusetts O173O, Vereinigte Staaten von Amerika

Verfahren bzw» Einrichtung zum Prüfen einer Linse.

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Einrichtung zum Prüfen einer Linse, welche normalerweise eine nicht festgelegte Anzahl von Brennebenen innerhalb eines festgelegten urennweitebereiches aufweist.

Das steigende Interesse an Keproduktionsmaschinen, wie beispielsweise zur Erstellung von Xerokopien und Photographien hat eine große Nachfrage nach Linsen mit hoher Auflösung mit sich gebracht. Dies bedingt auch, dalJ die Notwendigkeit entstanden ist, ein Prüfgerät für Linsen zu entwickeln, welches in der Lage ist, eine Vielzahl von Punkten der Linse bei einer Vielzahl von Linseneinstellungen in der iirennebene der Linse in einfacher Weise zu prüfen. Die bisher bekannt gewordenen Prüfsysteme waren dazu nicht in der Lage.

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Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht demnach darin, ein Linsenprüfgerät zu schaffen, welches in der Lage ist, möglichst schnell und wirksam jede gewünschte Anzahl von Punkten

berei ches einer Linse und die beste ßrennebene innerhalb eines Brennweiten-/ zu prüfen und damit auch das beste Format in dieser Brennebene der Linse während jedes einzelnen Prüfvorganges zu ermitteln. Die Forderung einer raschen und wirkungsvollen Prüfung ergibt sich aus der großen Zahl möglicher Kombinationen von ürennebenen, zu prüfender Linsenpunkte und jeweiliger Formate in den Brennebenen innerhalb eines bestimmten Urennweitenbereiches.

Vorstehend angegebene Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch

a) Projizieren einzelner aus einer Vielzahl von Öffnungen einer mit Strahleröffnungen versehenen Halterungskonstruktion durch die Linse auf eine Vielzahl von an Halterungsmitteln angebrachten Auffangnlättchen, wobei jedes der Auffangplättchen eine zweite Vielzahl von Offnungen aufweist, deren Gestaltung geometrisch gleich der ersten Vielzahl von Öffnungen ist und wobei die Anzahl der Offnungen der zweiten Vielzahl von Offnungen wesentlich größer als die erste Vielzahl ist;

b) Verschieben der die Strahleröffnunjren aufweisenden Halterungskonstruktion relativ ai den Halterungsmittel der Auffangplättchen, um damit von der ersten Vielzahl von Öffnungen unterschiedliche, durch die zweite Vielzahl von Öffnungen der einzelnen Auffangplättchen hindurchprojizierte bilder zu erhalten;

c) Abtasten des durch die Auffangplättchen projizierten Lichtes und Erzeugen entsprechender elektrischer Signale, wobei die Anzahl von Signalen jedes Auffangplättchens im Verhältnis zu der Anzahl von Öffnungen in von den einzelnen Lichtbildern durchstrahlten Auffangplättchen steht;

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d) Suchen einer annehmbaren lirennebene der zu prüfenden

' Linse durch Untersuchung einer vorbestimmten Anzahl von Signalen, die durch das Passieren eines einzigen

! iiildns durch die Öffnungen eines einzelnen Auf fangplättchens erzeugt werden, und Feststellen des Wertes der Übertragungsfunktion der Linse an einer Vielzahl von Punkten des Linsenbildes in der betreffenden

: Brennebene.

i
Unter einer Vielzahl von Öffnungen ist vorliegend und in den An-Sprüchen auch lediglich eine Mehrzahl von Öffnungen zu verstehen. Dies gilt insbesondere bezüglich der erstgenannten Vielzahl von

j Öffnungen.

j Eine Einrichtung zur Durchführung des hier aufgezeigten Verfahrens umfaßt Projektionsmittel zur Projektion des Hildes einzel-

: ner von eine Vielzahl von Offnungen in einer mit Strnhleröffnun gen versehenen Halterungskoiistruktion durch die Linse auf eine Vielzahl von an Halterungsmittel angebrachten Auffangplätt-

ι chen, wobei jedes der Auffangplättchen eine zweite Vielzahl von Öffnungen aufweist, deren Gestaltung geometrisch gleich der er-

^! sten Vielzahl von Öffnungen ist und wobei die Anzahl der Öffnungen der zweiten Vielzahl von Öffnungen wesentlich größer ist als die erstgenannte Vielzahl, ferner Mittel zum Verschieben der Halterungskonstrukti on mit Strahleröf fnungcii relativ zu rirn üalterungsmitteln der Auf f angplättchen, um damit von dr ersten Vielzahl von Öffnungen unterschiedliche, durch die zweite Vielzahl

j von Öffnungen des einzelnen Auf fniigpl ättchens hindurchpro jizi erte IJilder zu erhalten; weiter Detektormittel zum Auffangen des durch die Auffangplättchen projezierten Lichtes und zur Erzeugung entsprechender elektrischer Signale, wobei die Anzahl von Signalen jedes Auffangplättchens im Verhältnis zu der Zahl von Öffnungen im von den einzelnen Lichtbildern durchstrahlten Auffangplättchen steht;, sowie Detektor- bzw. AuswcrteinrichtunKen zum Aufsuchen einer annehmbaren Brennebene der zu prüfenden Linse durch Untersuchung einer vorbestimmten Anzahl von durch das

ι Passieren eines einzigen Hildes durch die Öffnungen eines ein-

■ zelnen Auffangplättchens erzeugten Signalen und schließlich Mittel zum Feststellen des Wertes der Übertragungsfunktion der Linse an einer Vielzahl von Punkten des Linsenbildes in der betreffenden Ebene. «09816/0801

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Mit dem hier beschriebenen Verfahren und dem entsprechenden Linsenprüfgerät kann der Wert der Übertragungsfunktion für jede Anzahl von Punkten des Linsenbildes zum Auffinden einer besten Brennebene und einer optimalen Einstellungslage in dieser iJrennebene für einen bestimmten Brennweitenbereich der geprüften Linse in einfacher Weise bestimmt werden. Der Wert der übertragungsfunktion läßt sich in einfacher Weise an verschiedenen Punkten der Linse durch Abtasten der Lichtintensität hinter den Auffangplättchen mittels photoempfindlicher Mittel durchführen und auswerten. Dadurch, daß die Linse rotierbar im Prüfgerät angeordnet ist, kann auch jede Einstellungslage in jeder Brennebene geprüft werden. Uurch die Zuordnung von Lichtquellen zu Auffangplättchen und die Möglichkeit der Rotation entweder der halterung der Auffangplättchen oder der Strahl eröffnuntren für die Lichtquellen und/oder der Linse wird das Prüfen jeder Einstellungslage in jeder iirennebene auch wesentlich vereinfacht.

Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung werden nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. Es zeijren:

Fig. 1 einen Ausschnitt einer perspektivischen Ansicht des Linsenprüfgerätes,

Fig. 2 eine Seitenansicht des Linsenprüfgerätes,

Fig. 3 eine Rückansicht des Linsenprüfgerätes von der in Figur 2 angedeuteten Linie 3-3 aus gesehen,

Fig. k eine Schnittansicht des Linsenprüfgerätes von der Schnittebene k~^li nach Figur 2 aus gesehen,

Fig. 5 eine vergrößerte Aufsicht eines der anzustrahlenden Auffangplättchen des LinsenprüfGerätes,

Fig. 6 eine vergrößerte Ansicht eines Teiles einer der anzustrahlenden Auffangplättchen nach Figur 'j und

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Fi υ. 7 ein Blockschenia einer automatischen Steuerung des Linseiiprüf gerätes.

Das nachfolgend beschriebene Linsenprüfgerät dient zur Prüfung von Linsen an einer Vielzahl von Punkten der Linse, um auf diese Weise die beste Brennebene und die beste Einstellung der Linse innerhalb eines Urennweitenbereiches zu bestimmen.

Es ist festzuhalten, daß die Erfindung auch durch andere als die nachfolgend angegebenen mechanischen Mittel ausführbar ist.

In Figur 1 ist das Linsenprüfgerät allgemein mit 10 bezeichnet. Das Linsenprüfgerät enthält drei Hauptelemente, nämlich eine Halterungskonstruktion 12 mit Strahleröffnungen in der Objektebene, eine Linserihalterungsstelle lk und eine Halterungsanordnung l6 für anzustrahlende Auffangplättchen in der Bildebene.

Eine zu prüfende Linse wird zuerst in der Linsenhalterungsstel-Ie lk befestigt. Das Linsenprüfgerät 10 ist zur Erleichterung der Erklärungen schematisch offen dargestellt doch wird die Linse Io gewöhnlich in einem vollständig geschlossenen oder in anderer Weise dunkel gehaltenen Bereich geprüft, um Streulichtstörungen beim Prüfen zu vermeiden.

Die Halterungskonstruktion 12 mit den Strahleröffnungen weist voneinander unabhängige Lichtquellen geeigneter Art auf, welche auf einzelne strahlbildende Offnungen in der Halterunjtskonstruktion 12 ausgerichtet sind, um durch die Linse 1Ö auf einzelnen, zugeordneten, anzustrahlenden Auffangplättchen oder Segmenten, die an der Halterung l6 befestigt sind, entsprechende Bilder zu entwerfen. Eine erste Lichtquelle 20 ist auf die Achse der Linse Ib" mit einem ersten anzustrahlenden Plättchen oder Segment ausgerichtet, wobei dieses Plättchen oder Segment eine Vielzahl von Öffnungen mit geeigneter geometrisch gleicher Gestaltung aufweist. Die Lichtquelle und das Plättchen 22 sind ausreichend,

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um den auf der Achse liegenden Punkt der Linse zu prüfen. Zu Erläutorungszwecken sei die Prüfung drei weiterer funkte der Linse Ib betrachtet. Die Öffnungen in der Halterungskonstruktion 12 und dem Halterungsmittel l6 sind vorzugsweise Schlitze, welche parallel zueinander ausgerichtet sind. Es können aber ohne weiteres andere bestimmte Gestaltungen verwendet werden.

Die anderen zu prüfenden Punkte der Linse lii werden entweder anhand der vom Hersteller angegebenen Linseneigenschaften in vorgegebenen Abständen von der Achse oder zur Nachprüfung der dem Hersteller aufgegebenen, diesbezüglichen Forderungen gewählt. Auf jeden Fall werden die anderen Punkte so gewählt, daß sie im wesentlichen den geforderten Prüfabstand oder Winkel zur Linsenachse haben. Eine typische Linseneigenschaft beinhaltet einen minimalen Wert der Übertragungsfunktion, welche von einer bestimmten Anzahl von Linienpaaren pro Abstandseinheit bei einem bestimmten Winkel oder Abstand von der Achse der Linse erhalten wird. Eine typische Eigenschaft für einen Punkt in einer Linse ist beispielsweise ein minimaler Wert der Übertragungsfunktion von 0,2 bei zwanzig Linienpaaren pro mm und in 120 mm von der Achse der Linse. Für die anderen zu prüfenden Punkte gelten ähnliche Wertegruppen.

Der zweite LJildpunkt der Linse wird durch ein erstes Paar Lichtquellen 24, 26 geprüft, welche mit einem ersten Paar von anzustrahlenden Plättchen oder Segmenten 2ü, 3^ ausgerichtet sind. Jede der Lichtquellen 24, 26 und jedes Plättchen 2Ö, 3O sind mit gleichem Abstand von der Achse angeordnet. Jede der Lichtquellen 24, 26 und jedes der Plättchen 28, JO sind bezüglich der Achse um 90 voneinander getrennt.

In entsprec h ender Weise werden der dritte und der vierte Linsenpunkt durch ein zweites Paar 32, 34 und ein drittes Paar 36, 3ü von Lichtquellen, die mit einem zweiten Paar 4o, 42 bzw. einem dritten Paar 44, 46 anzustrahlender Auffangplättchen oder

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Segmente ausgerichtet sind, ,geprüft. Jeder der ,i-;eprüf ten Punkte hat einen unterschiedlichen winkelniäii i .e,en Abstand von der Achse der Linse LiO.

Uj c Uc lterun.^sniittel 16 für die anzustrahlenden Auffangplättchen rotieren, wie bei 'ib angegeben ist, auf einem Kreis, dessen Radius gleich dem Radius der einzelnen anzustrahlenden Auffangplättchen oder Segmente gewählt ist. Die einzelnen Schlitze der Auffangplättchen sind in Linienpanren ringsum der Peripherie jedes Plättchens angeordnet (siehe hierzu die Figuren 5 und 6). Die Schlitze der Auffangplättchen und die Lichtquellenschlitze sind so gerichtet, daß sie jederzeit parallel liegen. Die einzelnen Lichtquellenbilder der entsprechenden Lichtquilen fallen durch die Schlitze der Auffangplättchen und werden durch einzelne photoempfindliche Mittel (Figur 2) abgetastet.

Die ilalterungskonstrukti.oii 12 mit den strahlbildenden Öffnungen und die Linsenhalterungsstation l4 sind auf einem Paar Transportschienen Ίυ, 5ü montiert. Die Konstruktion 12 wird entlang den Transportschienen 'ttJ, $0 mittels eines ersten Schrittmotors 52 fortbewegt. Die Länge jedes Schrittes des Schrittmotors 52 kann nach Wunsch mittels einer ersten einstellbaren Lehre 5^ festgelegt werden. Die Linsenhalterun.usstelle J Ί wird ebenfalls entlang der Transport- oder Führungsschienen kii, ^O mittels eines zweiten Schrittmotors 56 bewegt, der mittels einer zweiten, einstellbaren Lehre ^o steuerbar ist. Wie bereits erwähnt ist die Linse Io im Betrieb in der lieilterungsstation lk montiert, welche zu einem Ende des ßrennweitenbereiches der Linse 18 bewegt wird, wie er vom Hersteller festgelegt oder vom Käufer verlangt wird. Das Halterungsteil 16 der anzustrahlenden Auffangplättchen wird so bewegt, daß die Öffnungen der Auffangplättchen jederzeit in der gleichen Richtung gehalten werden und die Linse jeden Schlitz auf dem entsprechenden Auffangplättchen abbildet.

Zur Vereinfachung wird das Auffangplättchen 22 als Zähler verwendet. Jedes der Auffangplättchen hat eine identische Gestaltung

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mit einer vorbestimmten Anzahl von Linienpaaren, die in Segmeuten mit ,jeweils unterschiedlicher Anzahl von Linienpaaren pro Abstandseinheit in jedem Segment angeordnet sind. Die Zahl der Segmente und der Abstand der Linienpaare ist nur eine Frage der Wahl, bestimmt durch die Qualität, festgelegt durcii die Eigenschaften der Linse selbst. Die Auffangplättchen sind vorzugsweise, jedoch nicht notwend i g, sytnmetr iscli.

Die Abtastmittel hinter dem Auffangplättchen 22 führen das Zahlen durch. Diese ZühLurig erfolgt ausgehend von einem grauen Bereich (Figur 6) oder einer Zeitgabe oder von einer vorbestimmten Startstelle aus bei der Auslösung .jedes Umlaufes. Die Abtastmittel erzeugen elektrische Signale, wenn das Licht durch jecien Schlitz des Auffnugplättcheiis hindurciifHlIt und diese Sipiale werden durch geeignete .Mittel gezahlt. Wenn die Abtastini ttei die gLeiche Anzahl von Schlitzen zählen wie die einzelnen Auff arigplättchen enthalten oder einen vorbestimmten Prozentsatz davon, stellt das Linsenprüfgerät fest, daß eine geeignete Brennebene eingestellt ist.

Ks versteht sich, daß eine perfekte Linse eine definierte Brennebene aufweist, lieim Prüfen einer Linse ergibt sieb ί her praktisch, daß eine iieihe von tirenncbcnen vorhanden ist. Das Linsenprüfgerät startet entsprechend den Festlegungen des Herstellers oder der Forderungen des Käufers vom einen Ende des Bereiches von möglichen Brennweiten aus. Es wird dann Brennebene für brennebene eingestellt, um die beste tirennebene und die beste Einstellungslage der Linse in dieser Brennebene zu ermitteln.

Wenn einmal eine geeignete Brennebene geortet ist, wird die Linsenhalterungsstation lk unabhängig von anderen Einstellungen von dem Schrittmotor *t6 auf eine vorbestimmte Vergrößerung in der Brennebene verschoben. Eine geeignete Wahl der Vergrößerung ist 1 : 1. Hiervon kann aber auch abgewichen werden. Für eine 1:1 — Vergrößerung sind die Lichtquellen und ihre entsprechenden, an-

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zustrahleiiden Auffangplättchen physikalisch in gleichem Abstand von der Linsenachse angeordnet, so daß die abgetastete Intensität für jeden gewählten Schlitz zweier aufeinanderfolgender Auffangplättchen gleichzeitig erreicht wird, wenn die Vergrößerung genau 1 : 1 ist. Durch Zurück- und Vorwärtsbewegen der Linse ltf mittels ues Schrittmotors k£> erreichen die beiden Schlitze an einer Stelle den Spi tzenwert oder einen anderen vorbestimmten Iritensitätswert der einzelnen Lichtquellenbilder, welche gleichzeitig die beiden Schlitze durchdringen, womit festgestellt wird, dr.i'i die Vergrößerung 1 : 1 ist. Der Abstand der Lichtquellen und der entsprechenden Auffangplättchen von der Linsenachse wird verändert, wenn eine Vergrößerung verlangt wird, die von 1 : 1 verschieden ist. Das Auffangplättchen 22 wird darin als Zähler verwendet und es wird die vorgeschriebene Eigenschaft der Linse am zweiten Punkt unter Verwendung; der Auffangplättchen 2ci und JO und der entsprechenden Abtastmittel geprüft. Der Wert der übertragungsfunktion ist durch folgende Formel definiert

V - V .
„ _ max min

V * V .
max mxn

Der Maximalwert von T für eine Linse wird durch Messen von

V bei einem großen Schlitz oder einer großen Öffnung in dem max

Auffangplättchen und durch Messen von V . an einem großen Sperrbereich bestimmt. Der Maximalwert wird dann als Einheit verwendet. Der Prüfpunkt wird durch die von den Abtastmitteln empfangene mittlere Intensität für die gewünschten Iinienpaare pro Längeneinheit des Auffangplättchens im richtigen Winkelabstand von der Achse gemessen, wobei dieser Abstand wie bereits vorstehend erwähnt, ein ilruchteil des maximalen Wertes ist.

Wenn der Wert der übertragungsfunktion für das Auffangplättchen 26 unterhalb des minimalen Wertes ist, werden die Schrittmotoren 52 und 56 erregt, um die Iialterungskonstruktion 12 mit den Strahleröffnungen und die Linsenhalterungsstation I^ zu einer

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neuen brenn ebene fortzubewegen. Das Prüfen wird dann wiederholt. Für eine Vergrößerung von 1 : 1 wird der Schrittmotor 52 mittels der Lehre 5^ so eingestellt, daß die Fortbewe,niii.t: über eJiien doppelten Abstand bezüglich der Fortbewegung der Linscnhalterunj.csstation l'i mittels der Lehre 5'^ und des Schrittmotors 56 erfoLjrt. Der Abstand, über den die Fortbewegung erfolgt, ergibt sich durch die Zahl der möglichen Brennebenen innerhalb des tfreiinweitenbereiches, welcher untersucht werden soll.

Wird angenommen, daß der Wert der Übertragungsfunktion des Auffangplättchens 2o oberhalb des annehmbaren Minimalwcrtes liegt, so wird der Wert der Übertragungsfunktion an ,jedem der anderen entsprechenden Auffangplättchen in entsprechender Weise geprüft. Dies bedeutet also, dali, wenn nur ein Wert der Übertragungsfunktion unterhalb des annehmbaren Minimalwertes liegt, diese lirennebene verworfen wird. Wenn alle Auffnngplättchen Übertragungsfunktion en für ihre entsprechenden Linienpaare oberhalb des Minimalwertes liefern, so hat die betreffende Urennebene in der ersten Formaleinstellung die Prüfung bestanden.

Je größer der Abstand von der Achse ist, desto gröbere Linienpaare werden bei der Prüfung der Linsenpunkte verwendet, lieispielsweise prüfen für den zweiten Punkt die Auffanjrplättchen 2o, 30 mit 50 Linienpaaren pro mm; für den dritten Punkt prüfen die Auffangplättcheii 36, Jii mit 20 Linienpaaren pro mm; für den vierten Punkt prüfen die Auffangplättchen kk, k6 nur noch mit 5 Linien pro mm. Das heißt also, daß die betreffende Zahl von Linienpaaren pro Längeneinheit vollständig durch die Qualität oder Auflösung der Linse selbst bestimmt wird.

Es können auch andere Lagen für die Auffangplättchenpaare gewählt werden, doch sind zwei solche Auffangplättchenpaare, wie beispielsweise die Auffangplättchenpaare 2o und 30, die in einem Winkel von 90 bezüglich der Linsenachse auseinander liegen zum Prüfen eines Punktes in der Linse besonders geeignet. Ein erster Punkt in der Linse wird mit dem Lichtbild geprüft, welches dem

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Auf f aiigplättchen 2(> mit der horizontale]] oder die Achse der Linse kreuzenden Schli tzanordnung entspricht, um so die meridionale Auflösung, der Linse am Ort des Auffangplüttchens 2ii zu messen. Gleichzeitig wird ein zweiter Punkt, der um yO bezüglich der Linsenachse versetzt und auf dem gleichen Radius der Linse liegt, hinsichtlich des sagittalen Auflösungsvermögens am Auffangplättchen "}() geprüft, wo der Schlitz ebenfalls horizontal ist, abnr jetzt senkrecht zur Achse der Linse. Um das sagittale Auflösungsvermögen des ersten Punktes zu messen, wird die Linse im Uhrzeigersinn um ^{J0 gedreht, so dr.l'i der erste Punkt jetzt unter Verwendung des Auffangplättchens "}0 geprüft wird. Der Wert der Ubertragun.'vsf unktion eines best i inrnteii Punktes in der Linse kann auf diese Weise der rneridi oiialen oder der sagittalen Auflösung oder auch, was üblicher ist, einem Durchschnittswert der beiden Auflösungen (meridional und sagittal) entsprechen. Die Linse kann in einer Weise verdreht werden, dafi eine beliebige Anzahl vo.i Einstellungen bezüglich der meriodionalen und sagittalen Auflösung jedes Punktes in der Linse geprüft werden kann.

Wenn alle gewünschten Einstellungslagen der Linse für jeden der Punkte geprüft sind und für jeden Punkt einen Wert der Übertragungsfunktion oberhalb des liiniraalwertes ergeben haben, können die Werte jeder Einstellungslage summiert werden, um einen Gesamtwert zu erhalten. Aufgrund der geringen Uiivollkommenheiten in der Linse wird sicli eine Einstellungslage ergeben, bei der die Linse ein besseres Gesamtauf lösuiigsvermögen, bezogen auf die Aiizi hl von in dieser Einstellungslage in der ürennebene geprüften Puiiktei, aufweist.

Diese beste Ei nstellun gs.lnge in jeder Brennebene wird festgehalten, ebenso wie der Gesamtwert der Übertragungsfunktion aller Punkte und Einstellun;en in einer derartigen ürennebene. Die anderen oreuiiebenen der Linse innerhalb des lirennweitenberei ches werden dann geprüft, um eine beste ürennebene und beste Einstellungs- oder Formatiere in dieser Ürennebene zu bestimmen. Die

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PrüfUIi(V ist dünn abgeschlossen und die beste urciinebene nij t der besten Formatla,e;e in dieser Ebene wird festgehalten. Dies wird zweckmättig in einer bestimmten üradaiizahl der Verdrehunji; der Linse und einen» bestimmten Abstand zwischen der Ub.jektebene und der Ebene der Auffangplättchen und einem bestimmten Abstand Zivi sehen der Objektebene und der Linse aiif'.ey.eDcn, be L dem die Eiiiste llung der besten ■ iremiebene und der besten EinsteLluiris- oder Forma tlcige entspricht.

Wenn es gewünscht ist, kann für jeden geprüften Punkt ,jede üreiiiiebene und jeder Wert der übertragungsfunktion bei jeder E i liste L-luni/slage der Linse festgehalten und aufgezeichnet werden, beispielsweise kann dies bei der Herstellung von Linsen vorteilhaft sein, ui:i die besonderen Punkte, bei denen die Linse Fehler aufweist, una den (iesamt-Auflösungsbereich der Linse über den gesamten iJrennweitenbereich der Linse zu kennzeichnen. Dies korin auch nützlich sein bei der Festlegung der Punkte in der Linse, die Fehler aufweisen, wenn andere Punkte in der betreffenden areiinebeneiieinstellunrr keine Fehler aufweisen und zw£<r um die tiers teilung der Linse korrigieren zu können.

In der Fip;ur 2 ist eine Seitenansicht des LxnsenprüfGerätes 10 gezeigt, aus der die Abtastmittel hinter dem Halterungsmittel Ib der Auffangplättchen und auch der Antrieb für das Drehen dieser Halterung l6 erkennbar sind. Das einzelne IJiId der Lichtquelle 42 wird über die Linse 15 und durch die Schlitze des zugehörigen Auffangplättchens 46, wie durch die gestrichelte Linie 6u angegeben ist, fukussiert. Das Schlitzbild wird auf einen Photodetektor 42' fukussiert, der in einer stationären Ebene 64 angeordnet ist. Jedem der vorhandenen Auffangplättchen ist ein entsprechender, hinter ihm befindlicher Photodetektor auf dieser stationären Ebene zugeordnet. Die Lichtquelle 34 wird durch die Schlitze im entsprechenden Auffangplättchen 3d, wie durch die gestrichelte Linie 66 angegeben ist, auf einen Photodetektor 34' fokussiert.

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Das ilalteruiigsteil 16 für die Auffnngplättchen wird mittels eines Antriebsmotors /O gedreht oder im Kreis geführt, der über einen itiemen 72 und einer Kuppelstange 7k oder über eine andere Triebverb i nduni;, die beiden Wellen V'6 und '/ο antreibt. Die beiden Wellen V'6 und V ί> treiben wiederum Exzenter oder Kurbeln ciü und «)2. Die Exzenter oder Kurbeln i»0 und 62 sind so gewählt, daß der Rotntionsradius der lini tcriin.·- eier Auffangplättchen cien Kadi en der entsprechenden Auf iYuigplättchen entspricht. Auf diese Weise kann jeder der Jeweiligen Schlitze auf dem gleichen Punkt seines entspreckenden Auffangplattchens zum gleichen Zeitpunkt der Kreisbewegung, fokussiert werden.

Die Kreisführung der halterung l6 der Auffangplättchen und die Verbindungen des Antriebsmotors JO über den Riemen 72 und die Kuppelstange ~jk zu den Kurbeln oü und o2 sind den Figuren 3 und k zu entnehmen. Jeder Punkt an der ilalterunp l6 für die Auffangnlättciien beschreibt einen Radius, \irie durch die angedeuteten Kreise ό4 und 'Jb angegeben ist. Der Rcidius ist gleich den Radien der Auffnnf,'pl:ittchen gewählt. Auf diese Weise läuft das bild des Schlitzes über jedes Linienpaar jedes Auffangplättchens in symmetrischer Art und Weise. Die photoempfindlichen Mittel für die Lichtquellen sind mit gleichen Zahlen wie diese, jedoch zusätzlich mit einem Strich gekennzeichnet·

Die einzelnen Auffangplättchen sind in den Figuren 5 und 6 dargestellt. Jedes der Auffangplättchen ist identisch und vorzugsweise symmetrisch, aber dies ist nicht unbedingt erforderlich. Wie in Figur 5 dargestellt, ist das Auffangplättchen mit seinen Schlitzen horizontal ausgerichtet. Dies ist nicht unbedingt erforderlich, solange die Schlitze am Auffangplättchen parallel zu den Schlitzen in der Objektebene sind. Die Zahl der Linieripaarsegmente in einem Auffangplättchen ist wiederum eine Funktion der Auflösung der Linse und der Zahl von zu prüfenden Punkten in der Linse.

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Die Figur 5 zeigt ein Auffangplättcheii mit einer Anzahl von Liniensegmenten von einem Segment mit fünf Linleiipaaren pro mm bj s zu einem Segment mit sehr feiner Linieneintellung, nämlich 66 Linienpaare pro mm zur Durchführung einer gewünschten Prüfung. Das Auffangplättchen ist vielseitig verwendbar und enthält vielerlei Arten von Liniensegmenten. Praktisch können, wie bereits erwähnt, nur drei unterschiedliche Liniensegmente vorhanden sein, beispielsweise die Linienpaare mit 5i 20 und ^O Linienpaareri pro mm. Die Lange jedes Liniensegmentes ist nicht kritisch, aber es muß eine ausreichende Zahl von Linienpaaren vorhanden sein, um einen mittleren Wert der Übertragungsfunktion in diesem Segment bestimmen zu können, bevor das Lichtquellenbild durch das nächste Segment tritt.

Das Auffangplättchen ist mit zwei symmetrischen Hälften ausgebildet; dies ist jedoch nicht von besonderer Wichtigkeit und ist mehr oder weniger abhängig von der Auflösung der Linse, die zu prüfen ist. Im vorliegenden Falle sind zwei graue Bereiche ii'6, 9O vorhanden, welche als iiezugsbereiche beim Auffangplättchen 22 verwendet werden, um für das Linsenprüfgerät eine neue Zählung zu starten. Ein grauer Bereich wird beispielsweise von Schlitzen mit einem 45 -Winkel zur Horizontalen gebildet um einen (iraubereich oder einen Üereich ohne Lichtmodulationen auf dem entsprechenden Photodetektor zu bilden, so daß in diesem Falle keine elektrischen Signale durch den Detektor erzeugt werden. Wird die erste Brennebene geprüft und stellt die Einrichtung das Wirksamwerden eines Graubereiches fest, wobei keine Signale erzeugt werden, so wird der Zähler zurückgesetzt und beginnt die Zählung der Signale des Detketors. Die Einrichtung kann aber auch vollständig defokussiert sein und nicht tatsächlich in einem grauen Bereich arbeiten. Das Linsenprüfgerät zählt dann die Zahl von Schlitzen im Auffangplättchen, durch welche das Bild mit einer ausreichenden Intensität fällt, um eine Modulation im Detektor zu bewirken. Dieses Ergebnis wird mit der tatsächliche Anzahl von Schlitzen im Auffangplättchen oder mit einem vorausbestimmten

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z davon vor;-. I ichen, um ies t/usto I Lon , ob eine richtige lirciiiicbene geortet worden ¹St.

Wenn «lic ; cnauc Anzahl von SchJ ι tzeu gezählt worden ist, verschiebt (ias Linseiipriu'j'Hr.it die Linse Iu, um die genaue Ver-

Co.st/ulni'cii, wobei die zwei großen Schlitze 92 und yk lfcrdoii. ü i ο bejrien j-Toßfii Schlitze 92 und 9'l r.estutten (i.i.s btircl'trotcii der ninximalnii intensität des Lichtes auf den Hiotodctcktor des cntsnrochenden Auf f aiv.rnlättciicjis.

Om f ostziiste 1.1 en, ob die Linse zu einer Ste.l. I.uii" iiiit der Veriin" 1 : 1 verschoben ist, werden zwei Auf f angplättchen eines HiidJus von der Achse der Linse Iu hinsichtlich der Intensität des durch die großen Schi i tze 92 oder 9^ empfangenen iJildes untersucht. Es kann sich dabei beispielsweise um die Auffan)M)lättchcn 22 und "}Λ handeln und wenn die Linse so verschoben worden ist, daß die maximale Intensität oder irgendein anderer vorbestimmter Punkt vorgegebener Intensität im großen Schlitz ^U2 gleichzeitig in den beiden Auffangplättchen 22 und 3<5 festgestellt wird, ist die Linse auf eine 1 : 1 Vergrößerung in der speziellen nrennebene, wie vorstehend bereits erwähnt, eingestellt. Dieser Schritt zur Auffindung einer Vergrößerung ist nicht erforderlich, wenn nur ein einziger Punkt in der Linse zu nrüfon ist oder wenn die Schlitze der Auffangplättchen ausreichend grobe Einteilung aufweisen.

Wie vorstehend beschrieben, werden die Abtastmittel für das Auffangplättchen 22 ,jetzt als Zeittaktgeber verwendet, um jeden der Punkte der Linse zu prüfen. Wie anhand von Figur 6 deutlicher ersichtlich, ist das Segment 96, das am dichtesten am grauen lierei ch 9U gelegen ist, mit der feinsten Linierianordnunj.·: bzw. m.it der größten Anzahl von Linienpaaren pro mm ausgestattet, wobei diese Zahl abnimmt, wenn der Abstand der Segmente vom grauen Uereich *)O zunimmt, wie anhand der Segmente 9&i IUU und 102 feststellbar ist. Auch dies ist nicht kritisch. Wenn aber die größte Anzahl von Linienpaaren am nächsten zur vertikalen

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Mittellinie liegt, wird die Bandbreite der elektrischen Auswertesignale verringert. Da das Schlitzbild den j;rnuen iierei ch um langsamsten durchtritt, passiert dieses üild die breiten Schlitze 92 und 94 am schnellsten.

lieispielsweise weist das Segment 96 fünfzig Linienpaare pro nun, das Segment ')li dreißig Linienpaare pro min, das Segment 1OU zwanzig Linienpaare pro mm, das Segment 1O2 zehn Litnoiipaare pro mm und das Segment Iu4 fünf L,iiiieupaare pro mm auf. Der dem Auffangplättchen 22 zugeordnete Photodetektor 20' wird als ZcLttaktgeber verwendet und es sei angenommen, daß der Wert der Übertragungsfunktion, wie vorstehend beschrieben, in drei Punkten bestimmt wird, entsnrechend fünfzig L Ln i enpaaren pro mm, zwanzig Linienpaaren pro mm und fünf L inienpaaren pro mm; der Wert der Übertragungsfunktion der Auf fant d La ttcheri 2:> und '}j wird gemessen, wenn das L i chtquellenbild das Segment 9t) überstreicht. Wenn der Wert der Übertragungsfunktion oberhalb des gewünschten minimalen Wertes liegt, wird der Wert der übertragungsfunktion ί-'ür die Auffangplättchen '}() und 3'^ gemessen, wenn das LichtquellenbiId das Segment 100 überstreicht und wenn der Wert der Übertragungsfunktion oberhalb des Minimums auch für diesen Punkt liegt, wird der Wert der übertragungsfunktion an den Aufnahmeplättchen 44 und 46 gemessen, wenn das Lichtquellenbild das Segment Iü4 überstreicht. Wenn a LIe Punkte hinsichtlich des Wertes der Übertragungsfunktion einen Wert oberhalb des minimalen annehmbaren Wertes aufweisen, kann die Linse in die nächste Lage gedreht werden, wobei die nächste Lage oder die nächste Linseneinstellung in der gleichen Ureimebene zu prüfen ist, bis alle Lagen oder Einstellungen bezüglich dieser Urennebene geprüft worden sind. Die Linsenhalterungsstation l4 und die llalterungskonstrukt ion 12 für die Strnhleröf fmmgen werden dann zur nächsten Jrennebene verschoben und das gleiche Prüfverfahren wird wiederholt.

Die Linse lii kann manuell in der Linsenhalterungsstation l4 gedreht werden oder es kann ein Schrittmotor für das Drehen der

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jLinse in cine neue Lage vorgesehen werden, wenn dies wünschenswert ist. Abhängig von der Qualität und der Auflösung kann die Linse in vier Lagen Jeweils um 9u verdreht, oder auch falls er· forderlich, mit kleineren Einstellungsveränderungen geprüft werden.

Anstelle des Ilalterungsteiles l6 für die Auffangplättchen kann die Halterun^skonstruktion Vl für die Strahleröffnungen verdreht werden und es ist dann die Halterung 16 für die Auffangplättchen feststehend ausgebildet. Dies bringt einige Nachteile mit sich, du die einzelnen Photoabtastmittel dann größer sein müssen, um den gesamten iJereich der Auffangplättchen abtasten zu können oder aber es müssen die Abtastmittel selbst rotieren, um ihre Ausrichtung mit den L Lchtquell enbildem aufrecht zu erhalten.

Während vorstehend eine Einrichtung IO beschrieben wurde, bei der sich das Lichtquellenbild kreisförmig über die Linienpaarsegmente hinweg bewegt, kann das Linsenprüfgerät 10 auch so ausgebildet sein, daß die halterung l6 für die Aufnanmeplättchen oder die Halterung 12 für die Strahleröffnungen in Abhängigkeit von der Lage der Schlitze auf und ab bzw. vor und rückwärts bewegt wird, wobei die Auffangplättchen oder die Auffangnlättchensegmente vertikal oder horizontal ausgerichtet sind. Auch in diesem Falle kann die Zählung anhand der grauen Bereiche oder zeittaktabhängig erfolgen.

Das Messen des Wertes der übertragungsfunktion des meridionalen und des sagittalen Auflösungsvermögens eines Punktes in der Linse ist vorstehend anhand der Verwendung eines einzelnen horizontalen Schlitzes als Strahleröffnung und eines Auffangplättchens mit entsprechenden, in Linienpaarsegmenten angeordneten horizontalen Schlitzen beschrieben. Eine andere Methode zur Messung des meridionalen und sagittalen Auflösungsvermögens der Linse an einem speziellen Punkt besteht darin, daß ein

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zweiter senkrechter Schlitz zum ersten Schlitz hinzukommt, der so angeordnet ist, dall er möglichst nahe dem ersten Schlitz liegt. Wenn jetzt beispielsweise gemäß Figur 2 eine Lichtquelle 42 und ein entsprechendes Auffangplattchen 46 verwendet werden, so würde dies eine zweite Lichtquelle (nicht ,tezeijit) direkt unterhalb der Lichtquelle 42 erfordern, deren öffnung oder Schlitz senkrecht zum horizontalen Schlitz der Lichtquelle 42 liefen würde. Dies würde wiederum ein zweites zusätzliches AuffanG,plättchen (nicht gezeigt) erfordern, welches das Aufi'nn;:- plättchen 46 überlappen und mit seinen Schlitzen senkrecht zu denen des Plättchens 46 stehen würde. Als FoLge des ueieinanderliegens dieser zwei senkrecht zueinander stehenden Lichtquellenbilder würde nur jeweils ein Schlitz zu einer Ze·t verwendet. Es könnten zweite photoempfindliche Mittel verwendet werden oder, wenn der Photodetektor 42' groii genug wäre, könnte dieser für beide Auffan.tplättchen verwendet werden, in diesem Falle würde die Linse nicht um 90 gedreht werden müssen, sondern es konnte das meridionalo und sagittale Auflösun.esvermören nahezu ,gleichzeitig für beide ei ii;vestel L ten Lage best'iMMit werden.

in Figur 7 ist eine automatische Steuerun; für aas Lj nsenprnfgerät gezeigt. Das Linsenprüfgerät kann mnnue.ll gesteuert werden, doch ist der Vorgang natürlich sehr viel schneller, wenn die verschiedenen Verfahrensschritte automatisiert werden.

Die elektrische Stromversorgung kann durch eine an sich bekannte Stromquelle Iü6 vorgesehen werden. Ein Hauptschalter lOti wird angeschaltet, wenn eine zu prüfende Linse Io in die Linsenhalterung l4 gesetzt ist. Der Schalter 1Oo setzt den Antriebsmotor 70 in betrieb, wodurch die Auffangplattchen anfangen zu kreisen. Die einzelnen Lichtque'len 20, 24, 26, 32, 34, 4o und 42, die als Anordnung 110 gezeichnet sind, projizieren sogleich ihre einzelnen Lichtstrahlen durch die Linse 1t) und die zugeordneten Auffangplattchen auf die einzelnen Photodetektoren 2O' , 24' , 26', 32', 34', 40' und 52', welche die Anordnung 112 bilden.

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Eine automatische Steueraii; 1 I k wird ebenfalls angeschaltet. Die Steuerung ll'l steuert das Prüfen der Linse und enthält Speichereiiirjchtungen, einen V er,υ; 1 ei cn er und Zeittaktschmltungen zur Steueruii; der einzelnen Vorgänge des Linseiiprüf gerätes, wie vorstehend beschrieben. Die Steuerung Hk kann aus irgendwelchen geeigneten kommerziellen Steueruntrse i nrichtungen oder Komponenten bestehen, die für die Kontrollfunktionen des Linsenprüfgerat es notwendig sind.

Dio Steuerung 11^ kann die Schalt- und Zeitpulse für das sequentielle Prüfen der Linse lö über den gesamten lirennweitenbereich der Linse liefern. Ein Motor Il6 kann mit der Steuerung verbunden sein, um die Linse lii in jeweils neue Lagepositionen für jede Urennebene zu drehen.

Die Steuerung Il4 tastet die von den einzelnen Photodetektoren erzeugten Signale ab und ermittelt jeweils den Wert der Übertragungsfunktion für jeden geprüften Punkt. Die Steuerung steuert die Motoren 5k und 56, um die Linse 1 8 zu einer neuen Brennebene zu verschieben und um die richtige Verstärkung in jeder Brennebene einzustellen. Die Steuerung enthält einen Speicher, um die Werte der Ubertragungsfunktionen festzuhalten und außerdem ein Anzeige- oder Wiedergabegerät llti, um die schließlich beste urennebene und Einstellungslage der Linse lö anzuzeigen. Das Wiedergabegerät kann auch dazu verwendet werden, jeden Wert in jeder Brennebene und Einstellungslage, sowie das meridionale und sagittale Auflösungsvermögen für jeden geprüften Punkt anzuzeigen.

Wie bereits vorstehend erwähnt, sind nur vier Prüfpunkte einer Linse untersucht worden, doch kann das vorliegend angegebene Prüfgerät in einfacher Weise auch zur Prüfung von mehr oder we-

o der niger Punkten in jeder gewünschten Laye/Vormateinstellung der Linse verwendet werden.

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Claims

Patentansprüche

lJ Verfahren zum Prüfen einer Linse mit einer nicht festgelegten Anzahl von Urennebenen innerhalb eines festgelegten .irennwe Vtenbereiches , gekennzeichnet durch folgende Verfnhrensschri tte:

n) Projizieren einzelner aus einer Vielzahl von Öffnungen einer mit Strahleröffnungen versehenen Halterungskonstruktion durch die Linse auf eine Vielzahl von an Halterungsmittel]! angebrachten Auffangplüttchen, wobei jedes der Auffangplättchen eine zweite Vielzahl von Öffnungen aufweist, deren Gestaltung geometrisch gleich der ersten Vielzahl von Öffnungen ist und wobei die Anzahl der Offnungen der zweiten Vielzti.hL von Ui'i'nun· en wesentlich gröuer als die erste Vielzahl ist;

b) Verschieben der die Strnhleröffnungen aufweisenden rialterurifskonstruktion relativ zu den xlrlterun.esmitteln der Auffangplättchen, um damit von der ersten Vielzahl von Öffnungen unterschiedliche, durch die zweite Vielzahl von Öffnungen der einzelnen Auffangplättchen hindurchprojizierte bilder zu erhalten,

c) Abtasten des durch die Auffangplättchen projezierten Lichtes und Erzeugen entsprechender elektrischer Signale, wobei die Anzahl von Signalen jedes Auffangplättchens im Verhältnis zu der Anzahl von Öffnungen in von den einzelnen Lichtbildern durchstrahlten Auffangplättchen steht;

d) Suchen einer annehmbaren Brennebene der zu prüfenden Linse durch Untersuchung einer vorbestimmten Anzahl

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von Signalen, clic durch das Passieren eines einzigen liildes durch die Öffnungen eines einzelnen Auffangplättchens erzeugt werden, und Feststellen des Wertes der Übertragungsfunktion der Linse an einer Vielzahl von Punkten des Linsenbildes in der betreffenden Jreiin ebene.

2. Verfahren mich Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Vielzahl von Öffnungen einzelne Schlitze und die zweite Vielzahl von Öffnungen Serien von Schlitzen sind, welche letztere in jedem Auffangplättchen als Vielfachlinienpaare im wesentlichen parallel mit den zuerst erwähnten Schlitzen angeordnet sind und wobei das Verschieben der Halterungskonstruktion für die Strahleröffnungen bzw. der halterungsmittel für die Auffangplättchen eine kreisende oder geradlinige translatorische Uewegung in senkrecht zur Linsennchse liegenden Ebenen vorsieht.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Suchen einer annehmbaren tfrennebene ein Zühlen der aufgrund des Durchtretens eines einzigen Lichtquellenbildes durch die Öffnungen eines einzigen Auflangplättchens erzeugten Signale und ein Vergleichen der Anzahl gezählter Signale mit der Anzahl der Öffnungen des einzelnen Auffangplättchens, über welche das Lichtquellenbild hinweggewnndert ist, umfaßt.

k. Verfahren nach Anspruch 3i dadurch gekennzeichnet, daß die Linsenhalterungsstation und die Halterungskonstruktion für die Strahleröffnungen, wenn die Anzahl der gezählten Signale nicht im wesentlichen gleich der Anzahl der Offnungen des betreffenden einzelnen Auffangplättchens ist, über welche das Lichtquellenbild gewandert ist, bezüglich der Halterungsmittel verschoben wird, um eine neue annehmbare Brennebene zu ermitteln.

5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß für das Feststellen des Wertes der Übertragungsfunktion das Abtasten der Intensität der einzelnen Lichtquellenbilder entspre-

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chend der ersten Vielzahl von Öffnungen, welche durch die zweite Vielzahl von Offnungen projiziert werden, erfolgt.

6. Verfahren nach Anspruch 5i dadurch gekennzeichnet, daß die abgetastete Intensität mit einer vorbestimmten, zulässigen Γ-ii — nimalintensität verglichen wird.

7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dal'» dann, wenn die abgetastete Intensität geringer als die vorbestimmte annehmbare Minimalintensität ist, die Linse und die ιIrlterun,rekonstruktion für die Strahleröffnun^en in bezug auf die Halterungsmittel für die AuffangplMttchen zum Auffinden einer neuen annehmbaren Jrennebene verschoben werden.

b. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis ?> dadurch gekennzexchnet, daß das Auffinden der besten Brennebene dnr Linse durch Ermitteln des Wertes der Übertragungsfunktion der Linse für alle annehmbaren Urennebeiien innerhalb eineB angegebenen lJrennweitenbereiches und Feststellen des besten Wertes der Übertragungsfunktion der Linse erfolgt.

9· Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis ei, dadurch gekennzeichnet, daß für das Bestimmen des Wertes der Übertragungsfunktion in einer Vielzahl von EinsteTlungslagen der Linse diese jeweils gedreht wird.

10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß beim Verdrehen der Linse ein Punkt der Linse um 90 verdreht und dann erneut der Wert der Übertragungsfunktion ermittelt wird, um so den meridionalen und den sagittalen Wert der Übertragungsfunktion dieses Punktes zu ermitteln.

11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Linse auf eine vorbestimmte Vergrößerung in der lirennebene eingestellt wird, indem die Linse verschoben wird, bis die einzelnen Lichtquellenbilder gleichzeitig durch

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die ."..'!. e ·■ chr>rti.'^:" orientierten Öffnungen in zwei im wesentlichen auf einem Radius der Li nseiwichse ,^eleKenen Auf f anjrplättchen h j iidurchtrcten.

12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß als erste Vielzahl von Öffnungen Schlitze und als zweite Vielzahl von Öffnungen ebenfalls in Vielfachlinienpaaren angeordnete Schlitze vorgesehen sind, wobei die letztgenannten Schlitze derart orientiert sind, daß sie im wesentlichen parallel zueinander bleiben, daß ferner die zweite Vielzahl von Schlitzen im wesentlichen rings um der Peripherie eines Kreises nngeordnet sind und daß entweder die Halterung für die Strahleröffnunoen oder die Halterungsmittel für die Aufnahmeplättchen in einem zweiten Kreis bewegbar sind, dessen Radius gleich dem Radius des erstgenannten Kreises ist, so daß die einzelnen Lichtquellenbilder entsprechend der ersten Vielzahl von Öffnungen über die ,jeweils zugehörigen Öffnungen der zweiten Vielzahl von Öffnungen hinwandern.

13· Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Vielzahl von Öffnungen als einzelne Schlitze und die zweite Vielzahl von Öffnungen als Serien von in Vielfachlinienpaaren angeordneten Schlitzen ausgebildet sind, welche letztere auf jedem Auf fan ,^plättchen parallel zu den erstgenannten Schlitzen liegen und wobei die Bewegung der Halterungskonstruktion für die Strahleröffnungen bzw. der Halterungsmittel für die Auffangplättchen translatorisch in senkrecht zur Linsenachse liegenden erfolgt, daß ferner zum Aufsuchen einer annehmbaren lirennebene die beim Durchtritt eines einzigen Lichtquellenbildes durch die Schlitze eines einzelnen Auffangplättchens gebildeten Signale gezählt und das Zählergebnis mit der Anzahl der Schlitze des betreffenden Auffangplättchens, über welche das Lichtquellenbild gewandert ist, verglichen werden, und daß das Feststellen des Wertes der Übertragungsfunktion das Abtasten der Intensität der einzelnen, der ersten Vielzahl von Schlitzen entsprechenden Lichtquellen-

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bilder, die durch die zweite Vielzahl von Schlitzen hindurchtreten und das Vergleichen der abgetasteten Intensität mit einer vorbestimmten annehmbaren minimalen Intensität umfaßt.

Ik. Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens mich einem der Ansprüche 1 bis 13» gekennzeichnet durch Pro j ektioiismittel zur Projektion des Hildes einzelner von eine Vielzahl von Öffnungen in einer mit S tr ah 1 erö ff nun ."'nn versehenen lUilterim; skonstruktion durch die Linse auf eine Vielzahl von an ilalterun; sm i ttel angebrachten Auf f ίΐη.',ρΐ ittchen , wobei jedes der Auf f angplättchen eine zweite Vielzahl von Öffnungen aufweist, deren üestal tun.r isometrisch gleich der ersten Vielzahl von Öffnungen ist und wobei die Anzahl der Öffnungen der zweiten Vielzahl von Öffnungen wesentlich größer ist als die erstgenannte Vielzahl, ferner Mittel zum Verschieben der llulterunj,skonstruktion mit Strahleroffiiungen relativ zu den lialteruiigsmi.tteln der Auffangplättchen, um damit von der ersten Vielzahl von öffnungen unterschiedliche, durch die zweite Vielzahl von Öffnungen des einzelnen Auffangplättchens hindurchprojizierte Wilder zu erhalten; weiter Detektormittel zum Auffangen des durch die Auffangplättchen projizierten Lichtes und zur Erzeugung entsprechender elektrischer Signale, wobei die Anzahl von Signalen jedes Auffangplättchens im Verhältnis zu der Zahl von Öffnungen im von den einzelnen Lichtbildern durchstriihlten Auf fangplättchen steht; sowie Detektor- bzw. Auswerteinrichtungen zum Aufsuchen einer annehmbaren Brennebene der zu prüfenden Linse durch Untersuchung einer vorbestimmten Anzahl von durch das Passieren eines einzigen üildes durch die Öffnungen eines einzelnen Auffangplättchens erzeugten Signalen und schließlich Mittel zum Feststellen des Wertes der Übertragungsfunktion der Linse an einer Vielzahl von Punkten des Linsenbildes in der betreffenden Ebene.

15· Einrichtung nach Anspruch Ik, dadurch gekennzeichnet, daß eine die Prüfvorgänge steuernde automatische Steuerung vorgesehen ist.

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l6. Einrichtung nach Anspruch \k oder 15, dadurch gekennzeichnet, dafi die erste Vielzahl von Öffnungen einzelne Schlitze und die zweite Vielziihl von Öffnungen Serien von Schlitzen sind, welche letztere als Vi elfachlini enpanre im wesentlichen parallel mit den zuerst erwähnten Schlitzen angeordnet sind und wobei für das Verschieben der ikilterungskonstruktion für die Strahleröffminien bzw. der Halterungsmittel für die Auffangplättchen entsprechende Antriebsmittel zur Erzeugung translatorischer bewegungen in senkrecht zur Liiisenachse liegenden Ebenen vorgesehen sind.

17· Einrichtung nach einem der Ansprüche l4 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel für das Aufsuchen einer annehmbaren urennebene Zahleinrichtungen zum Zählen der aufgrund des Durchtrittes eines einzigen Lichtquellenbildes durch die Öffnungen eines einzelnen Auffangplättchens erzeugten Signale und eine Vergleichseinrichtung zum Vergleichen der Anzahl gezählter Signale mit der Anzahl von Öffnungen des betreffenden Auffangplättchens, über welche das .Lichtquellenbild hinweggewandert ist, enthalten.

Ιό. Einrichtung nach Anspruch 17» dadurch gekennzeichnet, daß dann, wenn die Anzahl der gezahlten Signale nicht der Anzahl der Offnungen des Auffan:plättchens, über welche das Lichtquellenbild gewandert ist, im wesentlichen gleich ist, Mittel zum Verschieben der Halterungsmittel zwecks Einstellung einer neuen brennebene zur Wirkung kommen.

19· Einrichtung nach einem der Ansprüche lk bis ΐβ, dadurch gekennzeichnet, daß die Abtast- bzw. Auswerteinrichtungen zum Feststellen des Wertes der übertragungsfunktion Mittel für das Abtasten der Intensität der einzelnen Lichtquellenbilder entsprechend der ersten Vielzahl von Offnungen, welche durch die zweite Vielzahl von Öffnungen projiziert werden, enthalten.

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20. Einrichtung nach Anspruch 19» dadurch gekennzeichnet, daß die Abtastmittel Mittel zum Vergleich der abgetasteten Intensität mit einer vorbestimmten annehmbaren M i niinalintensi tat enthalten.

21. Einrichtung nach Anspruch 2U, dadurch gekennzeichnet, dall Mittel zur Verschiebung der Linse und der lialterunjrskonstruktion für die Strahleröf fnunp;en relativ zu den Halterungsmittelii für die Auffangplättchen zum Einstellen einer neuen lirenriebene zur Wirkung kommen, wenn die abgetastete Intensität geringer ist als die vorbestimmte Minimalintensität ist.

22. Einrichtung nach einem der Ansprüche lk bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß Einrichtungen zum Auffinden der besten brennebene der Linse durch Ermitteln des Wertes der Übertragungsfunktion der Linse für alle annehmbaren Brennebenen innerhalb eines bestimmten lirennweitebereiches und zum Festhalten des besten Wertes der Übertragungsfunktion der Linse vorhanden sind.

23· Einrichtung nach einem der Ansprüche lk bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß die Linse zur Bestimmung des Wertes der übertragungsfunktion in einer Vielzahl von Einstellungslagen verdrehbar gehaltert ist.

2k. Einrichtung nach Anspruch 23« dadurch gekennzeichnet, daß die Linse um 90 verdrehbar ist ua den Wert der Übertragungsfunktion in beiden Einstellungslagen zwecks Feststellung des meridionalen und sagittalen Wertes der Übertragungsfunktion dieses Punktes zu ermitteln.

25. Einrichtung nach einem der Ansprüche lk bis 2k, dadurch gekennzeichnet, daß die Projektionsmittel Einrichtungen zur Ermittlung einer vorbestimmten Vergrößerung der Linse in der Brennebene enthalten, wozu eine Verschiebung der Linse derart erfolgt, daß die einzelnen Lichtquellenbilder gleichzeitig

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durch ο ie jileich orientierten Öffnungen in zwei im wesentlichen auf einem Radius der Linsenachse gelegenen unterschiedlichen Auf fan gp 1 attchen hiiidurchtreten.

2(>. Einrichtung nach einem der Ansprüche Ik bis 25» dadurch gekennzeichnet, daß die erste Vielzahl von Öffnungen einzelne Schlitze umfassen, daft die zweite Vielzahl von Offnuiif;en jeweils eine Anzahl von in Vielfachli rii enpnaren angeordneten Schlitzen enthalten, wobei die zweit? enannteii Schlitze im wesentlichen rund um die Peripherie eines ersten Kreises sowie parallel, zueinander angeordnet sind, dal.\ ferner Kittel zur Halterung der erstgenannten und der zweitgenannten Schlitze in der Vieise, daii sie im wesentlichen parallel zueinander bleiben, vorgesehen si ικΊ und άί\'\ Mittel zur Erzeugung einer kreisenden bewegung der liclterunn für die Strnhleröffnungen bzw. der Halterungsmittel auf einem zweiten Kreis mit einem Radius gleich dem Radius des ersten Kreises dienen, um damit die Lichtquellenbilder entsnrechend den erstgenannten Schlitzen über die jeweils zugehörigen zweit.genannten Schlitze hinwegwandern zu lassen.

27· Einrichtung nach einem der Ansprüche lk bis 2'l, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Vielzahl von Öffnungen einzelne Schlitze und die zweite Vielzahl von Offnungen Serien von in Viel f achli iii enpaaren angeordneten Schlitzen enthält, welch letztere parallel zu den erstgenannten Schlitzen jedes Auffangplättchens liegen, und wobei die bewegung der Halterungekonstruktion für die Strahleröffnungen bzw. für die Halterungsmittel der Auffangplättchen translatorisch in senkrecht zur Linsenachse stehenden Ebenen erfolgt, daß die Einrichtungen zum Aufsuchen einer annehmbaren brennebene Zahlmittel zum Zählen der beim Hindurchtreten eines einzelnen Lichtquellenbildes durch die Schlitze eines einzelnen Auffangplättchens und Mittel zum Vergleichen des Zählergebnisses mit der Zahl der vom Lichtquellenbild überstrichenen Schlitze in dem betreffenden Auffangplättchen enthalten und daß Mittel zum Feststellen der In-

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tensität der einzelnen Lichtquellenbi l.der entsprechend der ersten Vielzahl von Schlitzen nach Durchtritt durch die zweite
Vielzahl von Schlitzen sowie Mittel zum Vergleich dieser intensität mit einer festgelegten annehmbaren Minimaliiitensitrit vorgesehen sind.

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