DE2740129A1

DE2740129A1 - Verfahren und vorrichtung zur metallbedampfung

Info

Publication number: DE2740129A1
Application number: DE19772740129
Authority: DE
Inventors: Claude John Lancelot Hunt
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1976-09-18
Filing date: 1977-09-06
Publication date: 1978-03-23
Also published as: IT1087154B; CA1110058A; US4190019A

Description

Iffl/L 888

Claude John Lancelot Hunt, Hinton Hall Peterchuroh, Herefordshire, England

Verfahren und Vorrichtung zur Matallbedampfung

Sie Erfindung betrifft das Metallbedampfen, insbesondere das Metallisieren τοη Innenflächen τοη hohlen Kunststoffgegenständen, etwa des Innenraums τοη Hahnknopfkörpern, Steuerknöpfen, Handgriffen oder dergleichen.

Ss ist bereits bekannt, das Vakuumbedampfen sun Besohiohten der Außenseite τοη Kunststoffgegenständen alt Metallelementen, etwa Aluminium, SiIb₁ Gold usw., su Terwenden. Bei eines bekannten Verfahren werden die su beschichtenden Gegenstände in eine Vakuumkammer eingeeetst, wobei das Metallelement duroh elektrisches Erhitzen rerdampft wird, wenn sich die Vakuum unter hohem Vakuum befindet. Das Metallelement wird auf Grund der Ausbreitung der Atome des Terdampften Metalle auf der Außenseite der Gegenstände abgelagert. Jedoch können dieses Verfahren und diese Vorrichtung nicht für das Besohiohten τοη Innenflächen ▼erwendet werden, da insbesondere auf Innenbohrungen ähnlionen kleinen Flächen, etwa in Hahnknopkörpern oder Steuerknöpfen, eine gleichmäßige Beschichtung nicht ersielt werden kann.

Zusätslich ist es bei kleinen Gegenständen unwirtschaftlich, eine große Vakuumkammer su Terwenden, und swar trots mehrfacher AufspannTorrichtungen, da ein beträchtlicher Abfall des Metallelemente, daß Gold sein kann, Torliegt, wobei die Pumpbelastungen sur Einleitung des Hochvakuums su einem unwirksamen Betrieb führen. Ferner besteht stets die lotwendigkeit, die Gegenstände sur Befestigung an der Spannvorrichtung su befestigen, was wirksame Produktionsraten beeinträchtigen kann.

Aufgabe der Irfingung ist daher die Beseitigung dieser Probleme durch Schaffung eines einfachen Verfahrens und einer einfaohen

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Vorrichtung sun Metallbedampfen des Innenrauas von Kunststoffgegenständen, inabesondere von kleinen Gegenständen.

Gemäß einem Aspekt der Erfindung ist ein Terfahren sur Metallbedampfung von hohlen Gegenständen vorgesehen, das sich dadurch ausseiohnet, daß ein Hoohvakuum innerhalb eines Gegenstands aufgebaut wird durch Verbinden des Gegenstands alt einer Hoohvakuumquelle, und daß anschließend daran das Beschichtungs-■etall angrenzend an die Verbindung so verdampft vird, daß der Innenraua des Gegenstands beschichtet wird, wonach sub Lösen des innen beschichteten Gegenstands das Hochvakuum abgebaut wird.

Gemäß eine· weiteren Aspekt der Erfindung ist eine Vorrichtung sur Durchführung dieses Verfahrens vorgesehen mit einem mit einer Hoohvakuumquelle verbunden Hohlkörper mit einer Sitsfläohe zur Verbindung des Innenraums des Gegenstands mit dem Hohlkörper, während ein Hoohvakuum im Hohlkörper und im Innenraum des Gegenstands eingeleitet wird, wobei eine Heisanordnung im Hohlkörper angeordnet ist sur Verdampfung des im Hohlkörper angeordneten Beschichtungemetalls.

Sas bei der Irfindung angewendete Konsept darin besteht, daß der su besohichtende Gegenstand wenigstens teilweise die Vakuumkammer bildet, in der das Besohiohtungsmetall sur Ablagerung verdampft wird. Diese Vorrichtung enthält in ihrer einfachsten Torrn eine Verdampfungseinheit mit dem Hohlkörper von minimalem Volumen, in dem das Hoohvakuum eingeleitet wird, mit dem der Gegenstand verbunden ist und daß eine Heisanordnung sur Verdampfung des .Besohlohtungsmetalls aufweist.

ferner kann duroh die Irfindung das unter Hoohvakuum su setsende Volumen auf einem Minimum gehalten werden, das als eine Kammer betrachtet werden kann, die lediglich ausreicht, um eine angemessene Verdampfung und Ausbreitung der Metallelementetome für die Beschichtung su ermöglichen.

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Diee ist ein bedeutender Torteil gegenüber bekannten Verfahren und Torrichtungen, bei denen der Gegenstand in einer großen Kammer gehalten wird, die unter Hochvakuum gesetzt werden muB und bei der da* Verhältnis Kammervolumen su Besohichtungsfläche über das 50-fache gröBer sein kann als das Verhältnis bei der rorliegenden Erfindung. Selbstverständlich ist die erforderliche Hochvakuum-Pumpleiβtung ein Hauptfaktor bei der Bestimmung der Kosten und Zykluehäufigkeiten, so daß jegliche Anordnungen Vorteile aufweisen, die das auf das Hochvakuum su redusierende Volumen verringern. Diese Anordnungen werden auf diesem Gebiet geschätzt.

Vorzugsweise steht der Gegenstand in Berührung mit einer Sitzfläche an einem Hohlkörper, in dem das Hochvakuum aufgebaut wird, wobei der Gegenstand duroh dieses Vakuum in dichtende Berührung mit dieser Sitzfläche gezogen wird. Der Hohlkörper kann mehr als eine Sitzfläche haben, so daß mehr als ein Gegenstand gleichzeitig beschichtet werden kann. Der Sitz (die Sitze) kann (können) austauschbar sein zur Anpassung an einen großen Bereich von Gegenständen.

Bas Metallbedampfungsverfahren verwendet den bekannten Zyklus für den MetallbedampfungsVorgang, bei dem das Metallelement unter Hoohvakuum verdampft und auf der Oberfläche des zu beschichtenden Gegenstands abgelagert wird, wobei der beschichtete Gegenstand dann vom Hochvakuum freigegeben wird. Durch die Erfindung wird Jedoch eine Vorrichtung mit einer Verdampfungseinheit vorgesehen, die mit einer vorhandenen Hoohvakuumquelle verbunden werden kann, etwa mit der Hoohvakuumkammer einer feststehenden großen Anlage oder die Teil einer in sich abgeschlossenen Vorrichtung ist, die klein und kompakt ist und kleine Pumpen aufweist, da die Pumperfordernisse zum Aufbauen des Hochvakuums auf Grund des kleinen Volumens bedeutend kleiner sind.

Der Hohlkörper für die Verdampfungseinheit weist daher seine eigene Heisanordnung auf, die sich innerhalb des Hohlkörpers

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•retreckt und mit den »wischen jedem Zyklus zu verdampfenden Beschichtungemetall beladen werden kann.

Das Filament der Heisanordnung erstreckt sich vorzugsweise etwa ausgefluchtet alt dem Sitz (den Sitzen) in der Weise, daß es daran angrenzt. Sie Beizanordnung enthält ferner eine Abschirmung, die eine mit einem Loch (mit Löchern) versehene, das Filament abdeckende Hülse aufweist, wobei das Loch (die Löcher) so gegenüber dem Sitz (den Sitzen) angeordnet ist (sind), da£ das verdampfte Beechichtungsmetall so gerichtet wird, daß es auf die Innenfläche eines auf einen jeweiligen Sitz aufgesetzten Gegenstands trifft. Weitere mit der Abschirmung verbundene Merkmale werden spater besprochen.

unter gewissen Umständen, etwa zur Beschichtung mit Gold, besteht eine Neigung dazu, daß irgendwelche Verunreinigungselemente zuerst verdampft werden, was das Beschichten nachteilig beeinflussen kann. Somit kann der Hohlkörper einen bewegbaren Versohluß enthalten, der den Yerlauf der Atome zum Innenraum des Gegenstands für eine kurze Zeit während des anfänglichen Verbrennens des Elemente unterbricht, wobei der Verschluß nur dann freigegeben wird, wenn reines Metall verdampft wird.

Weitere Merkmale und teohnisohe Vorteile der Irfindung werden in Verbindung mit bevorzugten Ausführung·formen anhand der Zeichnung beschrieben. Sarin zeigtt

Fig 1 eine sohematische Vorderansicht einer tragbaren Metall-

bedampfungsvorrichtung unter Weglaasung der Verdampfungeeinheit ι

Fig.2 eine sohematische Seitenansicht der Vorrichtung von Fig. 1, wobei die Verdampfungseinheit als Umrifi angegeben istf

Fig 3 eine teilweise geschnittene und vergrößerte Vorderan-

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sieht der Verdampfungseinheit ι

Fig. 4 ein sohematischer Schnitt von Fig. 3 entlang der Linie 4-4I

Fig. 5 ein schematisoher Schnitt einer weiteren Verdampfungseinheit, die mit der Vorrichtung von Fig. 1 und 2 verbunden iat.

Gemäß Fig. 1 und 2 enthält die Vorrichtung ein tragbares Gestell mit einer auf einem mit Rädern versehenen Rahmen 3 getragenen Bank, unter der sich ein unteres Fachbrett befindet. Der Rahmen enthält zweckmäBigerweise Bandgriffe 5· Die Bank 2 enthält ein an einer Seite zusammen mit einem Steuerschalter befestigtes Steuerpult 6, MeBinstrumente 8 zur sichtbaren Anzeige von hohem bzw, niedrigem Vakuum, einen veränderlichen Transformator 9 und gegebenenfalls weitere Anzeigen oder Steuerungen einsohlieSlioh einer Folgesteuerung sur automatischen Programmierung des Zyklus.

Die Bank 2 trägt ein hohles zylindrisches Absperrventilgehäuse 10, daß an einer (^diffusionspumpe 11 befestigt ist. Das Ventilgehäuse 10 weist ein vordere öffnung 12 zur Zusammenarbeitung mit einer Verdampfungseinheit 13 auf, die am Ventilgehäuse 10 befestigt ist und später beschrieben wird. Gegenüber der vorderen öffnung 12 befindet sich eine hintere öffnung, die über einen Kanal 14 "it einem Grobventil 15 verbunden ist, wobei an den Kanal ein Lufteinlassventil 16 angeschlossen ist.

Das Grobventil ist mit einer auf dem unteren Faohbrett 6 angeordneten mechanischen Vakuumanordnung verbunden. line mecha- ■ nische Pumpe 16 wird von einem Elektromotor 1Θ angetrieben und ist an einen Auslaßkasten 19 angeschlossen zum linfangen von aus der Pumpe abgeblasenen öl. Zuaätslich ist die mechanische j Pumpe 17 mit einem Vorvakuumventil 2Θ verbunden, daß mit der ^: Hochvakuum-Öldiffusionspumpe 11 verbunden ist. Sin Transformator 21 mit Leitungen 22 sur Verbindung mit der Verdampfungs-

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einheit 13 ist ebenfalls auf dem Fachbrett befestigt und könnte wie auoh die anderen oben genannten Teile in nicht gezeigter und beschriebener bekannter Weise an ein elektrisches Nets angeschlossen werden.

Bas Grobventil 15 i«t durch die Steuerungen betätigoar zum Öffnen und Schließen der Verbindung des Absperrventils alt der mechanischen Vakuumpumpe 17· Das Grobventil 13 ist vor«ugsweise ein Magnetventil, daß abfällt zum Unterbrechen dieser Verbindung bei Bnergieausfall, um beide Pumpen vom Lüfteinlaß zu trennen. Das Lufteinlaßventil 16 wird gesteuert, um bei Bedarf Luft in das Absperrventilgehäuse 10 einzulassen einschließlich einer Zufuhr bei Bnergieausfall.

Das Absperrventilgehäuse 10 weist innen ein (schematisch in Fig. 2 gezeigt) axial bewegbares Ventilglied 2 3 auf zum Unterbrechen der Verbindung des Ventilsgehäuses mit der öldiffusionspumpe 11. In dieser Schließstellung ist das Ventilgehäuse über das Grobventil 15 entlüftet, wenn es offen ist. Das Ventilglied 23 ist in eine obere Öffnung*steilung bewegbar, in der die vordere Öffnung durch das Ventilglied freigegeben ist, so daß das Absperrventilgeh'iuse 10 und die mit der vorderen Öffnung 12 in Verbindung stehende Verdampfungseinheit 13 durch die Öldiffusionspumpe 11 zum Hochvakuum hin entlüftet werden. In diese öffnungsstellung des Ventilsglieds 23 kann das Grobventil 15 geschlossen sein.

Sas Ventilglied 23 i«t von Sohieberbauart und durch einen drehbaren Steuerarm 24 betätigbar, der mit dem Ventil schaft verbunden ist und bei Bewegung das Ventilglied 23 anhebe und absenkt. Wahlweise könnte das Ventilglied ein Magnetventil sein, daß durch das Steuersystem betätigbar ist mit derselben Ausfallsicherungs-Schließeigenschaft wie das Grobventil.

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Die oben beschriebene Vorrichtung bildet eine Hochvakuumquelle, ■it der die Verdampfung«einheit verbunden ist.

Die Verdampfungeeinheit 13 iet in Fig. 3 und 4 dargestellt und eignet sich sub Metallbedanpfen mit Aluminium. Sie Verdampfungseinheit 13 enthält einen etwa «ylindriechen Hohlkörper 25, dessen Innenraun eine Vakkuokanmer 26 bildet. Der Hohlkörper weist eine hintere Öffnung 27 auf, die auf die vordere öffnung 12 des AbsperrventilgehKuses 10 aufgesetct werden soll. Die Verdampfungseinheit ist an das Ibsperrventilgehluse duroh irgendeine geeignete Anordnung geklemmt oder daran befestigt, etwa durch Schrauben oder Spannbftnder, die aber der Einfachheit der Beschreibung oder Darstellung der wesentlichen Teile der Verdampfungeeinheit wegen nioht geseigt sind.

Der Hohlkörper 23 weist la unteren Teil eine Durohgangabohrung auf, durch die sich eine Heisanordnung 28 erstreckt. Diese Heisanordnung enthalt einen abgestuften sylindrisohen Isolierblock 29t durch den sich positive und negative Leiter 30 erstrecken, die über Leitungsdraht: 22 alt des Transformator 21 verbunden sind. Sin spiralförmig gewundener Wolframdraht Filament 31 i«t mit den Leitern 30 verbunden, wobei der gewundene Teil desFilaments das su verdampfende nioht gezeigte Metallelement hält oder trXgt. line mit einem Flansoh 33 rersehene rohrförmige Hülse 32 ist über dem Isolierblook 29 gesetzt, wobei der Plan«oh 33 in dichtender Berührung mit dem Hohlkörper und der Schulter des Isolierblooks 29 steht und geeignete nachgiebige Diohtungen daswisohen angeordnet sind. Die Hülse 32 ist an einem Snde geschlossen und bildet eine Absohirmung, die sich über das Filament 31 erstreckt and dieses einechlieflt. Die Hülse 32 ist mit swei querverlaufenden Löchern 34 versehen die mit dem gewundenen Teil des Filamente 31 und den öffnungen 35 an jedem ende des Hohlkörpers ausgefluchtet sind.

Die öffnungen 35 an jedem Bnde des Hohlkörpers 25 werden duroh Durchgangsbohrungen gebildet, wobei in jeder Durchgangsbohrung

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ein Sittring 36 in dichtender Berührung gehalten wird. Der Sitzring 36 weist eine ringförmige Sitzfläche auf, auf der ein ringförmiger Sichtring 37 angeordnet ist, wobei der Umfange rand eines hohlen Hahnknopf· 38 au· Kunststoff d rauf sitzt. Der Sitzring 36 ist an den Hohlkörper 25 durch ein· Platte 29 geklemmt, die eine konisohe kreisförmige öffnung aufweist, die koaxial sur Sitzfläche ist. Die konisohe Fliehe 40 dient al· Führung, um sicherzustellen, dafi dar Knopf 98 in eingesetztem Zustand yoraohriftaalBig auegefluchtet iat und dan Sitzring 37 berührt. Die Platte 39 iat hohl und wird über KtthlBitteliufuhranaohlttaaa 41 alt Vaaaar gekühlt. Dia Platte iat durch nichtgezeigte Schrauben an den Hohlkörper geklemmt, wobei die aua dem Sitzring 36 und dem Diohtring bestehende Anordnung ausgewechselt werden kann zur Anpassung an unterschiedliche Knopfgröfien oder an andere au beschiohtende hohle Gegenstände.

Der Dichtring kann hohl und wassergekühlt sein, wobei in dieaem Falle die Platte massir oder ebenfall· wassergekühlt aein kann. Der Hohlkörper könnte auoh wassergekühlt oder mit Rippen reraehen sein, um die Wärmeableitung duroh Luftkühlung su unterstützen.

Die die Abschirmung 32 enthaltende Heizanordnung 26 iat ana dem Hohlkörper 25 entfernbar. Die Löoher 34 in der Abaohirmung ermöglichen das Laden de· Metallelement· auf daa Filamaent 31· Die Abschirmung kann Jedooh rom Isolierblock zur Reinigung oder zum Srsetzen entfernt werden und kann zur unterstützung der Reinigung innen mit Graphit besohiohtet «ein. Die Abaohirmung 32 iat vorzugsweise aua einem Material hergestellt, daj ein guter Wärmeleiter ist, etwa Kupfer. Diese Abschirmung ergibt auch eine Wärmeabschirmung um da· Filament herum, die durch Wärmeableitung Tom Filament eine örtliche oder übermäßige Krhitzung des gerade beaohiohteten hohlen Kunststoffgegenstände» vermeidet.

Die Abschirmung dient auoh zum UmsohlieSen de· Filament·

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während die Löcher M so angeordnet sind, daß bei einer Verdampfung des Metallelemente unter HoohVakuumbedingungen die Atome aus der Umgebung des Filamente duroh die Öffnungen entweichen und unmittelbar auf die Innenfläche der jeweiligen auf den Sitsen befindlichem hohlen Gegenstände auftreffen. Die Abschirmung verhindert eine übermäßige und unerwünschte Ablagerung von verdampftem Metall auf der Innenfläche des Hohlkörpers .

Die Abschirmung bildet in Verbindung mit de· Ieolierblock auch eine Falle oder einen Behälter, in de· Staub, Metall oder andere Überbleibsel vom Filament oder de· gerade verwendeten Metal1-element eingefangen und aufgenommen werden, so daß diese Überbleibsel nicht durch die Ventile und Pumpen der Hoohvakuumquelle eingeführt werden.

Bei Verwendung der Vorrichtung mit angeschlossener Verdampfungseinheit erfolgt der Betrieb zyklisch wobei die mechanische Pumpe und die öldiffusionspumpe arbeiten und die Abeperr- und Grobventile geschlossen sind bei sur Atmosphäre geöffnetem Gehäuse sur Verdampfungseinheit. Die Heisanordnung wird mit dem Metallelement beladen und eingesetzt sowie bei Bedarf festgekleamt. Zwei hohle Gegenstände werden an jedem Sits angeordnet, während das Grobventil geOffnet wird. Diese Druckverminderung sieht die Gegenstände auf die nachgiebigen Dichtringe. Bei de· geeigneten Vakuum eohließt das Grobventil und wird das Absperrventil geöffnet, um die Innenräume des Hohlkörpers und der Gegenstände durch die uldiffusionspumpe auf Hoohvakuum su bringen.

Bei d»m er forder Hohen Hoohvakuum liefert eine elektrische Steuerung Knergie sum Filament um sum Besohichten der Innem-

fläohen der Gegenstände das Matallelement su erhitzen und su :

verdampfen. Danach wird das Absperrventil geschlossen und der ■

Vakuum, Luft zugeführt, um eine Freigabe der beschichteten Gegen- j

stände von ihren Sitzen zu ermöglichen. Hiernaoh wird der Zyklus j

erneut begonnen. !

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Dae Offnen und Schließen der Ventile und das Verbrennen des
Fiiaaaente der Beizanordnung können für einen automatischen
Betrieb durch eine Folgesteuerung gesteuert werden.

Bei der Alternatlvenaueführungsform der in Fig. 5 gezeigten
Verdampfungeeinheit ist nur ein Sitz vorgesehen, wobei eine
besondere Anordnung sum Steuern der Ablagerung des verdampften Metalle getroffen ist. Diese Einheit eignet eich besonders für Metalle, insbesondere Gold, die die Beschichtung beeinflussende Verunreinigungen enthalten.

Die Einheit enthält einen Hohlkörper 40' , der eine Vakuumkammer 41 bildet Der Hohlkörper kann wassergekühlt oder, wie dargestellt, mit Rippen versehen sein. Der Hohlkörper 40' ist senkrecht am Absperrventilgehäuee 10 duroh einen abgewinkelten Verbindungskanal 42 befestigt, der mit der vorderen Öffnung 12 des Absperrventilgehäusee 10 in Verbindung steht und der eine Bohrung aufweist, duroh die eine Heisanordnung 43 entfernt werden kann.

Die Heisanordnung gleicht der zuerst beschriebenen, enthält Jedoch ein Draht- oder Streifenfilamaent 44» auf dem das su verdampfende Metall angebracht wird. Das Filament wird duroh eine Hülse 45 (gestrichelt geseigt) umsohlossen. In der oberen Kndwand der Hülse befindet sieh ein Loch 46, das mit einer öffnung 47 für einen über dem HUlsenloch im Abstand angeordneten öffnung 47 ausgefluchtet ist.

Der Sits enthält einen Sitsring 48, der in dichtender Berührung in eine Durohgangsbohrung des Hohlkörpers 40' eingesetst ist.
Der Sitsring 48 trägt einen nachgiebigen und elastischen Diohtring 49· »uf den daa Hundstüok eines hohlen Hahnknopfe 50 aus
Kunststoff aufgesetst wird. Der Sitsring weist einen konieohen Führungsring 51 auf, der sum Zentrieren des Knopfs hiermit verbunden ist.

j Sine Schwenkwelle 52 erstreckt sioh duroh die Wand des Hohl-

körpers und kann durch einen nicht gezeigten Handgriff oder eine

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ander« außerhalb de* Hohlkörper· gelegene Steuerung gedreht werden. Die Sohwenkwelle 52 trägt einen gekrümmten Yereohluß 53, der in uffnungaatellung innerhalb der Vakuum geseigt iet und eine unbehinderte Bahn awisohen dem Filament 41, de* Loch 46 und dem Innenraua de« Knopf· 50 freilfiBt. Der Verschluß 53 iet sur Absperrung dieaer Bahn in eine Sohlieöeteilung bewegbar, ■o daß während der anfängllohen Yerdampfungsstufe die la Metall befindlichen und suerst verdampfenden Terunreinigungen euerat am Versohluß abgelagert werden. Banaoh kamn der Teraohlui geöffnet werden, um die Ablagerung de· reinen Metall· auf der Innenfläche de· Metalls de· Knopf· >u enöglionen.

la sei hervorgehoben, daß in dieaer linheit der Arbeitszyklus derselbe wie zuerst beschrieben iet, webei aber das Filament durch die Oberseite de· Hohlkörper· duroh den Sita hinduroh nachgeladen werden kann, wenn aioh der Verschluß in der öffnung·- stellung befindet.

Sie Abschirmung kann in dieaer Einheit sei Bedarf weggelassen werden, wenn der VerschluB einige Funktionen der Torher beschriebenen Abschirmung ausführt.

Der in Fig. 5 geseigte Yersohluß könnte so abgeändert werden, daß der bei der Bueret beschriebenen linheit suerst verwendet | werden kann, lin soloher abgeänderter VersohluB könnte eine ; unterschiedliche Sohwenkwellenanordnung und swei gegenüber- ι liegende VereohluBflächen enthalten, die aioh jeweils wischen einem Loch in der Abschirmung und dem angrenaenden Sit* erstrecken.

Wie bei der ersten linheit ist der Sitsring entfernbar und kann gegen Sitse mit unterschiedlichen Größen auagetauaoht werden.

Bei beiden Arten τοη Verdampfungseinheiten, insbesondere dort, wo die Innenform des xu beschiohtenden Gegenstands komplex iet oder eine gegenseitige Beeinflussung der Flächen des Gegenstände und der Ausbreitungsriohtung des Metalle vom Filament vorliegt,

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kann das Filament so angeordnet sein, daß e· eich gegenüber den Hohlkörper dreht. Die* kann erzielt werden durch einen Motorantrieb innerhalb der Baals der Heizeleaentanordnung oder hiermit verbanden.

ferner kann bei beiden Arten τοη Verdaapfungseinheiten der Hohlkörper eine weitere Verbindung alt eines HochvakkuBBeßgerät enthalten. Bei gewiesen Anwendungen kann ein linlass für eine winzige Dosierung alt Argon vorhanden «ein. Da« MeBgerät kann am Behälter oder as Kanal der alt dea Hohlkörper verbunddenen Puape angeordnet sein.

Der Hohlkörper kann auoh alt aehr al· zwei Sitzen versehen sein und kann jede beliebige geeignete Tora von verhältnisaäfiig kleine« Toluaen haben.

Bei den oben beschriebenen Anordnungen ist eine in sieh abgeschlossene Vorrichtung vorgesehen und auf dea tragbaren Gestell oder Halter befestigt bereit zur Verbindung alt einea elektrischen Sets und alt Wasser, falls eine Wasserkühlung verwendet wird. Die in sieh abgeschlossene Vorrichtung kann angrenzend an eine Kunststoff- SpritsguBaaschine angeordnet sein zur Bildung einer in leih· angeordneten Produktionseinheit sub Metallbedaapfen.

Wahlweise kann die Hoohvakuuasquelle «inen Behälter von beträchtlich» Voluaen enthalten, der duroh geeignete Puapen unter hohea

VakuuB gehalten wird, wobei der Hohlkörper der Verdaapfungseinheit über geeignete Ventile geaäß der Steuerfolg· des Betriebs alt diesea Behälter verbunden ist. Soait kann die Verdaapfungs- ι einheit eine Befestigung an eine vorhandene Anlage zur Metall- j bedaapfung enthalten. {

Ia fall von Hahngehäusen oder Steuerknöpfen sind diese ausreichend fest, ua den Beanspruchungen der linfUhrung des HoohvakuuBS in ihre Innenräuae zu widerstehen. Spezielle Abänderungen la Hinblick auf gewisse Gegenstände kOnnen erfordernoh sein,

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ua eine sufriedenatellende Punktion In der Vorrichtung iu er-■8(1ionen.

All· in der Beschreibung und den Zeichnungen angegebenen technischen linmelheiten sind für die Brfindung τοη Bedeutung.

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AX

L e e r s e i \ e

Claims

Β4ΤΕΝΜΝΙΛ<4ϊΕ BROSE BROSE γ,ί 6. September 1977 AEX/L Θ8Θ ί Claude John Lancelot Hunt, Hlnton Hall Peterchurch, Herefordshire, England Patentansprüche

1. Verfahren zur Metallbedampfung τοη hohlen Gegenständen, dadurch gekennzeichnet, daß ein Hochvakuum nur Innerhalb eines Gegenstandes aufgebaut wird durch Verbinden des Gegenstandes mit einer Hoohvakuunquelle innerhalb eines Hohlkörpers, in dem das Beeohichtungsmetall angrenzend an diese Verbindung verdampft wird, und daß zum Lösen des beschichteten Gegenstands das Hochvakuum abgebaut wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Gegenstand mit einer Sitzfläche aa Hohlkörper, in den das Vakuum eingeleitet wird, in Berührung gebraoht wird, und daß der Gegenstand durch das Vakuum in dichtende Berürhung mit der Sitzfläche gebracht wird.

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ORIGINAL INSPECTED

5. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß Beochichtungsmetall durch eine Heizanordnung verdampft wird, die in Hohlkörper befestigt ist und ein Filament aufweist, daQ im wesentlichen Bit der Sitzfläche ausgefluchtet iet, und an diese angrenzt.

4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Weg des verdampften Beschiohtungsmetalls vom Filament zum Innenraum des Gegenstands von eines bewegbaren Verschluß durchquert und versperrt werden kann.

5. Verfahren nach Anspruch 3 oder 4» dadurch gekennzeichnet, daß die Wärmeableitung τοη der Heizanordnung innerhalb dee Hohlkörpers durch eine Abschirmung mit einem Loch eingeschränkt wird, durch das sich das verdampfte Besohichtungsmetall Tom Filament aus ausbreiten kann.

6. Vorrichtung sur Metallbedampfung von hohlen Gegenständen, mit einem mit einer Hoohvakuumquelle verbundenen Hohlkörper, dadurch gekennzeichnet, daß ein Sitz am Hohlkörper (25; 40) so in Berürhung mit einem hohlen Gegenstand (381 50) steht, daß die Innenräume des Gegenstands (38» 50) und des Hohlkörpers (25) 4θ') in Verbindung stehen, und daß eine im Hohlkörper (251 40*) befestigte Heisanordnung sur Verdampfung von Beschichtungsmetall ein mit dem Sitz ausgefluchtetes Filament (31) 44) ausweist.

7. Vorrichtung nach Anspruoh 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Sitz einen am Hohlkörper (251 40) lösbar befestigten Sitzring (361 48) unl eine am Sitzring (36i 48) gehaltene naohgiebige Diohtung (37) 49) aufweist, auf die der Gegenstand (38j 50) aufgesetzt und durch Hochvakuum gehalten wird.

8. Vorrichtung nach Anspruoh 7, daduroh gekennzeichnet, daß am Sitsring (36} 48) ein Fuhrungeglied (59) 51) befestigt ist, daß eine sur Diohtung (371 39) fahrende Führungefläche auf-

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9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 - Θ, dadurch gekennzeichnet, daß die Heizanordnung von einer Abschirmung (J2) mit einem mit dem Sitz ausgefluchteten Loch (54) umschlossen ist.

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Abschirmung (}2» 45) eine βloh um das Filament (31; 44) herum erstreckende Hülse (45) und einen das Filament (31I 44) tragenden sowie die Hülse (45) befestigenden Isolierblock (29) aufweist.

11. Vorrichtung naoh Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die die die Abschirmung (321 45) aufweisende Heizanordnung lösbar am Hohlkörper (251 40' ) befestigt ist, und dafi die Abschirmung (321 45) rom Isolierblock (29) lösbar ist.

12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6-11, dadurch gekennzeichnet, daß im Hohlkörper (4θ') ein Verschluß (53) angeordnet und zum Versperren des Wegs des verdampften Besohiohtungsmetalls rom Filament (44) »um Innenraum des auf die Dichtung (29) aufgesetzten Gegenstands bewegbar ist.

13. Vorrichtung naoh einem der Ansprüche 6-12, dadurch gekennzeichnet, daß der Hohlkörper (25) eine öffnung (27) aufweist, die mit einer öffnung (12) eines Absperrrentilgehluaee (10) in Verbindung steht, und daß ein im AbsperrrentilgehEuse (1O) befindliches Ventil (23) bewegbar ist zum Unterbrechen der Verbindung zwischen der öffnung (27) des Hohlkörpers (25) und einer HochYakuum-öldiffusionspumpe (11).

14· Vorrichtung naoh Anspruoh 13» daduroh gekennzeichnet, daß das ' Absperrrentilgehäuse (1O) eine zweite öffnung aufweist, die ! mit einem Grobrentil (15) in Verbindung steht, daß so betätigt werden kann, daß eine Verbindung mit einer mechanischen Grobpumpe (17) unterbrochen wird. '

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15· Vorrichtung nach Anapruoh 14, dadurch gekennselohnet, daß in dar Tarbindung swlachen da· Abeperrrentilgehouae (10) und das Grobrantil (15) ain Lufteinlaaarentil (16) angeordnet iat, und daß sviaohen der öldiffuaionapuape (11) und der ■eohaniaohen Pumpe (17) ein TorrakuuBrentil (20) angeaohloaaen iat.

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