DE2712259C3

DE2712259C3 - Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten einer Substratoberfläche mit mindestens einer Fluidschicht

Info

Publication number: DE2712259C3
Application number: DE19772712259
Authority: DE
Inventors: William David Towanda Pa. Feathers; Cecil Louis Wilmington Del. Long
Original assignee: EI Du Pont de Nemours and Co
Current assignee: EIDP Inc
Priority date: 1976-03-23
Filing date: 1977-03-21
Publication date: 1979-10-04
Also published as: GB1574241A; FR2345228B1; JPS52114636A; DE2712259B2; FR2345228A1; DE2712259A1

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Beschichten einer Substratoberfläche mit mindestens einer Fluidschicht, wobei die Substratoberfläche durch eine Beschichtungszone hindurchgeführt und das Fluid in mindestens einer Schicht über eine Gleitfläche hinweg durch Schwerkraft mit kontinuierlich zunehmender Beschleunigung nach unten geleitet wird, bis es in im wesentlichen vertikaler Richtung strömt und auf die Substratoberfläche fällt.

Ferner betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zum Beschichten einer Substratoberfläche mit mindestens einer Fluidschicht wobei die Vorrichtung eine nach unten gekrümmte Gleitfläche mit einer kontinuierlich zunehmenden Steigung, eine Fluidquelle, eine Einrichtung zur Bildung einer Schicht aus dem Fluid auf der Gleitfläche und eine Antriebseinrichtung zum Beför dern des Substrats unter der Gleitfläche hinweg aufweist

Das Verfahren und die Vorrichtung können zum Aufbringen flüssiger Schichten auf einem sich bewegenden Streifen, insbesondere zum Aufbringen von Schichten aus lichtempfindlichem und zugehörigem Material auf einem Substrat zur Herstellung fotografischer Filme, verwendet werden.

Der deutschen Offenlegungsschrift 24 48 440 sind ein

ίο Verfahren und eine Vorrichtung dieser Art als bekannt zu entnehmen. Dort wird die Fluidschicht nachdem sie über die gekrümmte Gleitfläche hinweggeführt worden ist zunächst noch an einer vertikalen Gleitfläche entlanggeführt bevor sie ohne weitere Führung nach unten fällt Die Gesamthöhe der gekrümmten Gleitfläche, der sich anschließenden senkrechten Gleitfläche und einer der gekrümmten Gleitfläche vorgeschalteten geradlinigen Gleitfläche ist kleiner als die sich an die senkrechte Gleitfläche anschließende Fallhöhe ohne

Führung durch eine Gleitfläche. Während dieses

verhältnismäßig langen ungeführten bzw. freien Falls besteht in hohem Maße die Gefahr, daß die Fluidschicht durch Luftströmungen gestört wird.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein

Verfahren und eine Vorrichtung der gattungsgemäßen Art anzugeben, bei dem bzw. der Störungen der Fluidschicht vor dem Auftreffen auf der Substratoberfläche weitgehend vermieden werden, aber dennoch sichergestellt ist daß die fallende Fluidschicht eine sich

jo auf der Substratobe/fläche ausbildende Luftbarriere durchdringt

Nach dem erfindungsgemäßen Verfahren ist diese Aufgabe dadurch gelöst daß die kontinuierliche Zunahme der Beschleunigung bis zu einer Stelle in der Nähe der Substratoberfläche andauert und die Geschwindigkeit der Fluidschicht an dieser Stelle möglichst nahe der Geschwindigkeit liegt, mit der die Fluidschicht auf der Substratoberfiäche auftreffen soll, so daß die der Fluidschicht im Fallen zusätzlich erteilte Geschwindigkeit klein im Vergleich zu der ihr auf der Gleitfläche erteilten Geschwindigkeit ist

Vorrichtungsgemäß besteht die erfindungsgemäße Lösung darin, daß die Steigung der Gleitfläche bis zur Gleitflächen-Unterkante kontinuierlich zunimmt, daß

« diese Unterkante in der Nähe der Substratoberfläche liegt und daß die Gleitfläche so lang gewählt ist, daß die Geschwindigkeit der Fluidschicht an der Unterkante möglichst nahe bei dor Geschwindigkeit liegt, mit der die fallende Fluidschicht auf der Substratoberfläche auftreffen soll.

Bei dieser Lösung ist die Fallhöhe sehr gering, so daß die Fluidschicht während des Falls praktisch nicht durch Luftströmungen gestört wird. Die Beschleunigung vollzieht sich in weitaus überwiegendem Maße auf der

γ, Gleitfläche in kontrollierter Weise. Hierbei wird dennoch im Endeffekt eine so hohe Geschwindigkeit erreicht, daß die Fluidschicht eine sich auf der Substratoberfläche ausbildende Luftbarriere durchdringt, ohne merklich gestört zu werden. Die praktisch

bo ständige Führung der Fluidschicht bis kurz vor dem Auftreffen auf der Substratoberfläche mit stetig zunehmender Beschleunigung stellt darüber hinaus sicher, daß die Beschleunigung auch entsprechend lange kleiner als im freien Fall bleibt und mithin auch die

h^r> Geschwindigkeit der Fluidschicht langsamer bis auf die letztlich erforderliche Geschwindigkeit zunimmt. Die Schichtdicke wird daher bis zum Auftreffen auf der Substratoberfläche in ihrer Längsrichtung in nicht so

hohem Maße mit unterschiedlichen Kräften beschleunigt Ihre Dicke ändert sich in dieser Phase, wenn überhaupt, nur sehr allmählich.

Weiterbildungen sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet

Die Erfindung wird im folgenden anhand einer schematischen Zeichnung bevorzugter Ausführungsbeispiele näher beschrieben. Es zeigt

F i g. 1 ein Ausführungsbeispiel der Beschichtungsvorrichtung im Vertikalschnitt,

F i g. 2 ein zweites Ausführungsbeispiel der Beschichtungsvorrichtung im Vertikalschnitt wobei eine Filmverbindungsstelle den Beschichtungsbereich durchläuft und

F i g. 3 eine Teilschnittansicht eines anderen Ausführungsbeispiels des Lippenteils des bei dem Ausführungsbeispiel nach F i g. 1 vorgesehenen Gleitstücks.

Das Ausführungsbeispiel nach F i g. 1 enthält alle Elemente, die zur Ausbildung mehrerer übereinanderliegender Strömungsschichten, zu ihrer kontrollierten Beschleunigung bis auf eine gewünschte Stelle und zum Aufbringen der Schichten auf einer sich bewegenden Bahn in ausgeprägten Schichten erforderlich sind. Hierbei wird eine Substratoberfläche oder Bahn 11, die einen Zweischichtüberzug aufnehmen kann, der in der Regel eine Silberhalogenidemulsionsschicht 24 und eine Antiabriebschicht 23 aufweist, von denen nachstehend noch Ausführungsbeispiele angegeben sind, über eine Tragwalze 12 gezogen, die im wesentlichen unter der Beschichtungsvorrichtung liegt

Die Beschichtungsvorrichtung nach F i g. 1 ähnelt teilweise bekannten Beschichtungsvorrichtungen, die einen Gleit-Trichter zur Durchführung einer Umbördelungs- bzw. Wulstbeschichtung aufweisen. Der Körper des Trichters weist vier Abschnitte auf. Abschnitt 15 und Abschnitt 16 begrenzen einen ersten Zuführschlitz 17 und einen ersten Speicherraum 19, durch den ein Fluid über eine Pumpe 26 und ein Rohr 27 hindurchgepumpt wird. Der obere Teil des Abschnitts 15 ist eben und poliert und bildet eine geneigte Gleitfläche 20. Der Abschnitt 14 und der Abschnitt 15 bilden einen zweiten Schlitz 18 und einen zweiten Speicherraum 30, durch den ein Fluid über eine Pumpe 29 und ein Rohr 28 auf die Oberfläche des Abschnitts 14 gepumpt werden kann. Die Oberfläche des Abschnitts 14 liegt in einer Höhe und einer Ebene, die etwas niedriger als die Ebene der Gleitfläche 20 liegt Die Oberfläche des Abschnitts 14 ist ebenfalls eben und poliert und bildet eine zweite Gleitfläche 21, die im wesentlichen den gleichen Winkel wie die Gleitfläche 20 mit der Horizontalen einschließt. Der Betrag, um den die Ebene der zweiten Gleitfläche 21 tiefer als die Ebene der ersten Gleitfläche 20 liegt, ist mindestens gleich der gewünschten Dicke der Schicht des Fluids, das durch den Schlitz 18 hindurchgepumpt wird und über die Gleitfläche 21 fließt

Soweit die Beschichtungsvorrichtung bis jetzt beschrieben wurde, ist sie von herkömmlicher Bauart. Nach der Erfindung ist ein Abschnitt 13, der eine konvex gekrümmte Oberfläche 22 aufweist, an dem Ende des Abschnitts 14 angebracht, das der Seite abgewandt ist, die mit dem Abschnitt 15 verbunden ist. Bei dem bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung beginnt die konvex gekrümmte Gleitfläche 22 am Ende der ebenen Gleitfläche, und sie endet mit ihrer unteren Kante 60 tangential zur Vertikalen in einem Abstand »d« vom Band U. Der Abstand »d« kann vorzugsweise geändert werden, damit eine Verbindungsstelle im Band frei hindurchlaufen kann, und kann etwa 0.08 cm klein oder etwa 1,9 cm groß oder, im Falle eines Hochgeschwindigkeitsbandes, etwa 2£ cm groß sein. Vorzugsweise sollte der Abstand »id« so klein wie möglich gehalten werden, um eine Störung der Fluidschicht

=, durch Luftturbulenzen zu vermeiden.

Die Wahl der speziellen Form der konvexen Krümmung der Gleitfläche 22 in Strömungsrichtung hängt von den Fluideigenschaften der Beschichtungslösung, dem gewünschten Oberzugsgewicht und der

ίο Geschwindigkeit des Bandes 11 ab. Es hat sich herausgestellt daß eine Oberfläche, die einem Kegelschnitt angenähert ist das heißt eine im wesentlichen parabolische Form in Strömungsrichtung aufweist also eine Kurvenform entsprechend der Gleichung

= -k ■ x² + a

in der χ die Abszisse und y die Ordinate ist zu guten Ergebnissen führt weil die Änderung der Beschleunigung der Oberzugslösung bzw. Beschichtungslösung, während sie sich längs der Glehc-iKirfläche bewegt konstant ist Andere konvexe Former, sind jedoch ebenfalls brauchbar und können den Erfordernissen entsprechend verwendet werden. Quer zur Strömungsrichtung ist die Oberfläche geradlinig. In jedem Falle wird bevorzugt daß die anteilige (proportionierte) Zunahme der Geschwindigkeit die der Oberzugslösung unter der kontrollierten Beschleunigung durch die Gleitoberfläche erteilt wird, relativ zur anteiligen (proportionierten) Zunahme der Geschwindigkeit die

der Überzugslösung während des freien Falls erteilt wird, soweit wie möglich erhöht wird. Eine noch größere relative Geschwindigkeitszunahme unter kontrollierten Bedingungen läßt sich mit Fluiden geringerer Viskosität erzielen.

Der Querschnitt der Abgabekante 60 ist rechtwinklig dargestellt um einen genau definierten Ablösepunkt für das Fluid zu bilden und eine Lippenbenetzung und demzufolge die Ausbildung von Streifen im aufgebrachten Überzug zu verhindern. Die Abgabekante kann aber auch einen runden Querschnitt wie es in Fig.3 dargestellt ist, oder eine Messerkante aufweisen, wie es in Fig.2 dargestellt ist Wesentlich ist daß die Abgabekante den Fluidstrom nicht stört, dessen Geschwindigkeit an dieser Stelle vorzugsweise bei der gewünschten Auftreffgeschwindigkeit liegt.

Obwohl darauf hingewiesen worden ist daß das Abgabeende der Gleitfläche vorzugsweise vertikal gerichtet sein soll, das heißt <* = 90°, kann der Winkel λ von diesem Wert abweichen und im Bereich von etwa

so 80° bis 120° liegen, je nach der gewünschten Auftreffgeschwindigkeit den Fluidparametern und gegebenenfalls weiteren Parametern. Obwohl kleinere Winkel als 90° möglich sind, werden sie nicht bevorzugt, weil das Fluid bestrebt ist sich zu früh von der Gleitoberfläche zu lösen. In ähnlicher Weise werden auch größere Winkel als 90° nicht bevorzugt, weil sie zu einer abrupten Änderung der Beschleunigung des Fluids führen können, während es die Kante 60 verläßt. Dies würde dem erfindungsgemäßen Bestreben zuwiderlauft fen, eine Stfömungsübergangszone zu bilden, so daß die Fluidschicht mit minimaler Änderung ihrer Strömungsrichtung und minimaler Änderung ihrer Beschleunigung in den freien Fall übergehen. Es wird daher eine »im wesentlichen« vertikale Oberfläche bevorzugt, das heißt, der Winkel * sollte zwischen 80° und 120° liegen. F i g. 2 stellt ein anderes Ausführungsbeispiel dar. Bei diesem Ausführungsbeispiel beschreibt die Gleitfläche 32 im Abschnitt 33 der Beschichtunzsvorrichtune einen

Kreisbogen. Das Band 11 nach F i g. I ist durch zwei Bänder 44 und 42 ersetzt, um darzustellen, wie eine Verbindungsstelle den Beschichtungsbereich durchläuft. Die Vorrichtung nach F i g. 2 ist als zum Beschichten mit nur einer Schicht geeignet dargestellt, und der Körper der Beschichtungsvorrichtung weist zwei Abschnitte 33 und 46 auf, die einen Zuführschlitz 38 und einen Speicherraum 39 bilden. Eine Pumpe 36 pumpt ein Fluid zum oberen Teil des Körperabschnitts 33 durch ein Rohr 37 hindurch. Der obere Teil des Körperabschnitts in 33 weist einen ebenen geneigten Gleitabschnitt 31 auf, der sich bis zu einem Punkt A erstreckt, hinter dem er gekrümmt ist und einen Teil eines Kreises mit dem Radius R bis zu einem Punkt B bildet, an dem die Vertikale den Kreis berührt und der einen Abstand d π vom Band 42 aufweist. Das Band 42 wird über eine Führungswalze 12 gezogen. In Fig. 2 ist eine Bandverbindungsstelle gezeigt, wie sie durch den Beschichtungsbereich unter der Abgabekante 62 hindurchführt. Das Band 42 liegt mit seinem hinteren Ende 40 über einem Abschnitt des vorderen Endes 43 des Bandes 44. Über den sich überlappenden Abschnitt der beiden Bänder 44 und 42 erstreckt sich ein Klebeband 41, das sich in der Regel über die gesamte Breite der zu verbindenden Bandenden erstreckt. Die Vertikalität der Gleitfläche kann gemäß der anhand von Fig. 1 gemachten Ausführungen geändert werden, ebenso auch der Abstand »d«, um eine Anpassung an verschiedene Beschichtungsfluidzusammensetzungen, Bandgeschwindigkeiten und die gewünschten Auftreffgeschwindigkei- sn ten durchzuführen.

Es lassen sich auch andere bekannte Zuführvorrichtungen oder Trichter verwenden, zum Beispiel ein Extrusionstrichter, der zur Bildung übereinanderliegender einzelner Schichten dient, bevor sie über eine r, kovexe Gleitfläche beschleunigt werden.

Obwohl das vertikale Ende der konvexen Gleitfläche in F i g. 1 über der Mittellinie der Führungswalze 12 und in F i g. 2 exzentrisch dargestellt ist, ist es auch möglich, eine andere Lage zu wählen, und zwar an irgendeiner 4n Stelle über dem Band, vorzugsweise über einem nut izuMiaien oder annähernd horizontalen Bereich des Bandes. Es wird jedoch vorgezogen, das Band an der Beschichtungsstelle (Beschichtungsstation) über eine Rolle zu führen, um Störungen infolge eines Bandfiat- .»-> terns zu vermeiden. Es wird zwar bevorzugt, daß das Band an der Auftreffstelle der Fluidschicht horizontal ist, doch kann sie auch an irgendeiner Stelle in einem gekrümmten Bereich des Bandes 11, der um die Walze 12 (Fig. 1) herumgelegt ist, von etwa »9 Uhr« bis »12 Uhr« auftrefren. Es ist zwar nicht zwingend, das Band an der Auftreffstelle abzustützen, doch wird dies bevorzugt

Im folgenden wird das erfindungsgemäße Verfahren anhand von F i g. 1 näher beschrieben. Das Band 11 wird über die Walze 12 gezogen und durch eine nicht dargestellte Einrichtung in Richtung der Pfeile in Bewegung gesetzt Aus einem nicht dargestellten Vorratsbehälter wird ein Fluid, bei dem es sich um eine Silberhalogenidemulsion der in den nachstehend aufge- eo führten Beispielen genannten Art oder um irgendeine andere ähnliche Lösung handeln kann, wie sie üblicherweise auf fotografischem oder einem anderen Gebiet der Beschichtungen verwendet wird, durch die Pumpe 29 und das Rohr 28 in den Speicherraum 30 f>> gepumpt, der als Schwallraum oder Druckausgleicher dient Das Fluid gelangt durch einen Schlitz 18 auf die untere Gleitfläche 21. Vorzugsweise erstreckt sich der Schlitz 18 über die gesamte Breite der Gleitfläche 21. Wenn der Speicherraum 30 voll ist, steigt das Fluid im Schlitz 18 an bis es auf die Oberfläche 21 austritt, auf der es unter Einwirkung der Schwerkraft nach unten fließt.

Die Zuführgeschwindigkeit der Strömung ist so gewählt, daß das Fluid eine gleichmäßig strömende Schicht 24 bildet, die die gesamte Breite der Gleitfläche 21 überzieht, wobei die Lage der Gleitfläche so gewählt sein kann, daß sie eine Steigung von etwa 23° aufweist. Die Steigung der Gleitflächen kann in der Praxis jedoch, je nach der verwendeten Fluidzusammensetzung usw., anders gewählt werden, so daß sie im Bereich von etwa Null Grad (bei einem Extrusionstrichter) bis etwa 45° (bei einem Extrusions- oder Gleittrichter) liegt. In der Regel ist die Steigung so gewählt, daß sich Fluidschichten bilden und diese über den konvexen Gleitflächenbereich nach unten fließen können.

Aus einem zweiten nicht dargestellten Vorratsbehälter pumpt die Pumpe 26 ein Fluid für eine zweite Schicht, bei der es sich um eine Antiabriebschicht handeln kann, die eine wässerige Lösung aus 6% Gelatine und dem auf diesem Gebiet üblicherweise verwendeten Antistatik- und Härtungsmittel aufweist. Dieses zweite Fluid wird durch das Rohr 27 in den Speicher- oder Schwallraum 19 und nach dessen Füllung in de? Schlitz 17 zur Bildung einer gleichförmigen Strömungsschicht 23 auf die Gleitfläche 20 geleitet. Während die Schicht 23 nach unten strömt, erreicht sie schließlich die Austrittsöffnung des Schlitzes 18. Von hier an fließt sie weiter über die Schicht 24 nach unten, wobei beide Schichten von jetzt an in getrennten übereinanderliegenden Ebenen fließen.

Sobald die Schichten das Ende der ebenen geneigten Fläche 21 erreichen und auf die konvexe Fläche 22 fließen, erhöht sich ihre Geschwindigkeit aufgrund der Schwerkraftwirkung in einem Maße, das durch die Änderungsgeschwindigkeit der Krümmung der Gleitfläche bestimmt ist. Wenn die Schichten das Ende der konvexen Gleitfläche 22 erreicht haben, sind sie aufgrund der gewählten Krümmung bis auf eine Geschwindigkeit beschleunigt worden, die in Verbindung mit der Zunahme der Geschwindigkeit während des kurzen freien Falls ausreicht, die vom Band mitgerissene Luftbarriere zu durchdringen und sich auf dem bewegten Band 11 abzulegen. Die beiden Schichten 23 und 24 überbrücken den Spalt zwischen der Kante 60 der Gleitfläche 22 und dem Band 11, indem sie über die Strecke »d« in einem kontinuierlich strömenden Fiuidfall 25 oder Fluidvorhang frei nach unten fallen. Da die Strömungsschichten in den freien Fall mit einer Geschwindigkeit übergehen, die wesentlich höher als die bei dem Vorhangbeschichtungsverfahren üblichen ist, kommt man mit einer kürzeren freien Fallstrecke »d« aus, als es bislang zur Durchdringung der vom Band mitgerissenen Luftschicht erforderlich war. Gleichzeitig ist die Gefahr einer Störung der freifallenden Schicht geringer.

Der Abstand »d« braucht lediglich so groß gewählt zu werden, daß eine Verbindungsstelle durch den Fiuidfall 23 hindurchlaufen kann, ohne ihn zu unterbrechen. Die folgenden Beispiele dienen zur Verdeutlichung der Erfindung, ohne daß sie hierauf beschränkt wäre.

Beispiel 1

Die Beschichtungsvorrichtung nach F i g. 1 wurde zum Beschichten eines sich bewegenden Substrats mit

einem Überzug aus einer auf herkömmliche Weise hergestellten Gelatine-Halogenid-Emulsion verwendet, die aus in eine.- wässerigen Gelatinelösung suspendierten Silberhalogeniden bestand. Das Substrat bestand aus einem Polyäthylenterephthalatfilm, das heißt einem fotografischen Film, wie er im wesentlichen in der US •'atentschrift 27 79 784 beschrieben ist. Die SubstraUhcke betrug 0,0178 cm.

In diesem Falle wurde nur eine Schicht aufgebracht, weshalb die Pumpe 26 bei diesem Experiment nicht in Betrieb war und das Fluid über die Pumpe 29 und den Schlitz 18 auf die Gleitfläche aufgebracht wurde. Die konvexe Gleitfläche war parabolisch und genügte der Gleichung

V=- k:<² + a

k =

/r

wobei α und b die Koordinatenabschnitte bei χ = 0 bzw. y = 0 sind.

Die Gleitfläche begann an einem Punkt, in dem eine Tangente an die Gleitfläche einen Winkel von 23° mit der Horizontalen einschließt. Die Gesamtlänge der G'eitfläche in Strömungsrichtung betrug 12,7 cm. Die Vorrichtung war in der Lage, auf dem sich bewegenden Band eine 11,75 cm breite Schicht aufzubringen. Die Viskosität der Emulsion wurde bei einer Temperatur von 37,8° Celsius auf 9,7 Centipoise gehalten, und der Beschichtungsvorrichtung wurde das Fluid mit einer Geschwindigkeit von 720 ecm pro Minute zugeführt. Der Abstand d wurde im Bereich von 0,3175 cm bis 1,7 cm variiert. Zufriedenstellende Überzüge ergaben sich mit einer Bandgeschwindigkeit von 76,2 cm pro Sekunde bei allen Einstellungen. Das Gewicht des getrockneten Überzugs wurde zu 149 mg pro Quadrat-UC/-MI1CICI errechnet.

Beispiel 2

Diesmal wurde eine Vorrichtung nach Beispiel 1, jedoch mit einer im wesentlichen parabolischen konvexen Gleitfläche in einer Länge von 17,78 cm verwendet. Damit wurde eine einzige Schicht aus einer sensivierten Silber-Halogenid-Emulsion, die Silberhalogenide in einer wässerigen Gelatinelösung suspendiert enthielt, in einer Breite von 10,16 cm auf einem bewegten Band der im Beispiel 1 beschriebenen Art, das eine Geschwindigkeit von 223,52 cm pro Sekunde hatte, aufgebracht. Die Strömungsgeschwindigkeit der Lösung betrug 720 Kubikzentimeter pro Minute und ihre bei 35° Celsius messende Viskosität 11,4 Centipoise. Die Fallstrecke »d« wurde zwischen 0,476 und 0,635 cm variiert. Eine Messung des Trockengewichts des Überzugs ergab 75,5 mg pro Quadratdezimeter. Alle Überzüge waren zufriedenstellend.

Abweichungen von den beschriebenen und dargestellten Ausführungsbeispielen liegen im Rahmen der Erfindung. So können zum Beispiel Trichter- oder Überlaufwehre als Quelle der laminar strömenden Flüssigkeitsschichten verwendet werden. Auch eine Kombination aus einer Spritzform und einem Gleittrichter kann zur Bildung mehrerer Schichten verwendet werden. Außerdem können Überzugskantenführungen auf der Gleitfläche vorgesehen sein und Überbrükkungsfallstrecken »d«, wie sie in der US-Patentschrift 36 32 374 angegeben sind, angewandt werden, um die volle Überzugsbreite aufrechtzuerhalten.

Zusammenfassend kann folgendes festgehalten werden: Das Verfahren und die Vorrichtung ermöglichen das Überziehen eines sich bewegenden Trägers, zum Beispiel eines Streifens oder Bandes, mittels mehrerer hochwertiger diskreter Materialschichten. Dabei werden einzelne, einander überlagernd strömende Fluidschichten über eine Gleitfläche geleitet und dadurch kontinuierlich aufgrund ihres Eigengewichts in kontinuierlich zunehmendem Maße beschleunigt, bevor sie auf dem bewegten Band aufgebracht werden. Das Verfahren ist besonders zum Beschichten mehrschichtiger

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Verfahren zum Beschichten einer Substratoberfläche mit mindestens einer Fluidschicht, wobei die Substratoberfläche durch eine Beschichtungszone hindurchgeführt und das Fluid in mindestens einer Schicht über eine Gleitfläche hinweg durch Schwerkraft mit kontinuierlich zunehmender Beschleunigung nach unten geleitet wird, bis es in im wesentlichen vertikaler Richtung strömt und auf die Substratoberfläche fällt dadurch gekennzeichnet, daß die kontinuierliche Zunahme der Beschleunigung bis zu. einer Stelle in der Nähe der Substratoberfläche andauert und die Geschwindigkeit der Fluidschicht an dieser Stelle möglichst nahe der Geschwindigkeit liegt mit der die Fluidschicht auf der Substratoberfläche auftreffen soll, so daß die der Fluidschicht im Fallen zusätzlich erteilte Geschwindigkeit klein im Vergleich zu der ihr auf der Gleitfläche erteilten Geschwindigkeit ist

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Zunahme der Beschleunigung konstant ist

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet daß die Gleitfläche in Strömungsrichtung durch eine Parabel gebildet ist

4. Vorrichtung zum Beschichten einer Substratoberfläche mit mindestens einer Fluidschicht wobei die Vorrichtung eine nach unten gekrümmte Gleitfläche mit einer kontinuierlich zunehmenden Steigung, eine Fluidquclle, eir-r. Einrichtung zur Bildung einer Schicht a-is dem Fluid auf der Gleitfläche und eine Antrieb?-inrichtung zum Befördern des Substrats unter der Gleitfläche hinweg aufweist, dadurch gekennzeichnet daß die Steigung der Gleitfläche bis zur Gleitflächen-Unterkante kontinuierlich zunimmt, daß diese Unterkante in der Nähe der Substratoberfläche liegt und daß die Gleitfläche so lang gewählt ist daß die Geschwindigkeit der Fluidschicht an der Unterkante möglichst nahe bei der Geschwindigkeit liegt, mit der die fallende Fluidschicht auf der Substratoberfläche auftreffen soll.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Gleitfläche in Strömungsrichtung des Fluids eine Parabel bildet.