DE2659385B2 - lonen-Mikrosonden-Analysator - Google Patents
lonen-Mikrosonden-AnalysatorInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen Ionen-Mikrosonden-Analysator der im Oberbegriff des Patentanspruchs 1
angegebenen Gattung. Derartige Analysatoren eignen sich insbesondere für sehr genaue Mikro-, Tiefen-
und Oberflächenanalysen.
Ein Ionen-Mikrosonden-Analysator der genannten Gattung ist aus »Journal of Physics Ε« Band 8, Nr.
10 (Oktober 1975) Seiten 797 bis 808 bekannt. Der in Fig. 12 auf Seite 801 dieser Druckschrift gezeigte
Analysator und die bei diesem auftretenden Schwierigkeiten werden im folgenden anhand der Fig. 1,2a,
2 b, 3 a und 3 b näher erläutert.
Gemäß seinen Funktionen besteht der bekannte Ionen-Mikrosonden-Analysator aus einem primären
Bestrahlungssystem, einem Sekundärionen-Spektrometer und einem tastenden Ionenmikroskop. Zu dem
primären Bestrahlungssystem gehören eine Ionenquelle 1, Kondensorlinsen 2, Objektivlinsen 3, ein
Primärionen-Abtast-Deflektor 4, eine Objektivblende 5 und eine Schirmelektrode 7. Die Funktion
des primären Bestrahlungssystems besteht darin, den von der Ionenquelle 1 erzeugten Ionenstrahl 8 durch
die beiden Linsensystem 2 und 3 zu bündeln und auf eine Probe 6 zu fokussieren. Der Deflektor 4 hat die
Aufgabe, den fein gebündelten Ionenstrahl 8 ähnlich wie in einem Fernsehgerät über die Probe zu tasten.
Die Ionenquelle 1, die beiden Linsensysteme 2 und 3, der Deflektor 4 und die Objektivblende 5 des primären
Beleuchtungssystems sind längs einer gemeinsamen Achse angeordnet.
Zu dem Sekundärionen-Spektrometer gehören eine Sekundärionen-Ausziehvorrichtung 9, Linsen 10
zur Bahnkorrektur des Sekundävionenstrahls, ein elektrostatischer Sektor 11, eine /3-Schlitzblende 12,
ein magnetischer Sektor 13, eine C-Schlitzblende 14,
ein Sekundärionen-Detektor 15 und ein Schreiber 16 oder ein (nicht gezeigter) Zähler. Das Spektrometer
arbeitet folgendermaßen. Die Sekundt'rionen, die auf
den durch Bestrahlung der Probe mit den Primärionen erzeugten Atomen beruhen, werden durch ein elektrisches
Feld abgesaugt, das durch die Sekundärionen-Ausziehvorrichtung 9 erzeugt wird. Diese Sekundärionen
gelangen an den elektrostatischen Sektor 11 und werden durch die /3-Schlitzblende 12 einer Energie-Trennung
unterworfen. Anschließend gelangen diejenigen Sekundärionen, die eine bestimmte Energie haben
und durch die /3-Schlitzblende 12 hindurchgetreten sind, in den magnetischen Sektor 13, wo sie nach
dem Verhältnis von Masse zu Ladung (m/e) sortiert und sodann von der C-Schlitzblende 14 als bestimmter
Ionenstrom festgestellt werden. Das Massenspektrum wird dadurch erzielt, daß die Feldstärke des magnetischen
Sektors 13 allmählich verändert wird, wobei die übrigen Bedingungen festgehalten werden. Zur Ermittlung
der Intensität der Sekundärionen wird hauptsächlich ein Sekundärelektronen-Multiplier verwendet.
Das tastende Ionenmikroskop besteht aus einer
Kathodenstrahlröhre 17 und den üblichen Hilfseinrichtungen. Das Mikroskop arbeitet folgendermaßen.
Zunächst werden der fein gebündelte Primärionenstrahl 8 sowie der Elektronenstrahl der Kathodenstrahlröhre
17 mittels des Deflektors 4 synchron getastet. Das Bild eines speziellen Elements der Probe
oder der Unebenheit der Probenoberfiäche wird dann auf der Kathodenstrahlröhre 17 dadurch erzielt, daß
das von dem Sekundärionen-Detektor 15 erzeugte Signal als Videosignal für die Kathodenstrahlröhre 17 Hi
verwendet wird. Bei 31 ist eine Versorgungsquelle für die Abtastuiig gezeigt.
Im folgenden sollen die Schwierigkeiten aufgezeigt werden, die bei dem herkömmlichen Analysator mit
Ionen-Mikrosonde bestehen. Dabei sind als Probleme r>
die folgenden beiden einander zuwiderlaufende Tatsachen zu erwähnen:
1. Auf die Probe gelangen in der Ionenquelle 1 erzeugte schnelle neutrale Partikel, die zu einem
Rauschen führende Sekundärionen auslösen. -'<> (Wird beispielsweise als Ionenquelle 1 ein Duoplasmatron
verwendet, so werden einige der in der Ionenquelle gebildeten Ionen vor ihrem Austreten aus der Ionenquelle neutralisiert,
woraus derartige schnelle neutrale Partikel ent- ■?>
stehen. Die Geschwindigkeit dieser neutralen Partikel ist im wesentlichen gleich der des Ionenstrahl.
Beträgt der Luftdruck der Ionenquelle
10 "' Torr, so machen die neutralen Partikel etwa 25% des Ionenstrahls aus.) κι
2. Die Probe wird mit Ionen bestrahlt, die geladene Partikel darstellen. Handelt es sich nun bei der
Probe um einen Isolator oder ist die Probenoberfläche mit einem nicht leitenden dünnen Film beschichtet,
so lädt sich die Probenoberfläche elek- )"> trisch auf, was eine gute Analyse erschwert.
Im folgenden soll das unter (1) genannte Problem im einzelnen erläutert werden. In den Fig. 2a und
2 b ist der Einfluß der neutralen Partikel veranschaulicht. Gemäß Fig. 2a läßt sich der Ionenstrahl 8 be- κι
züglich seines Durchmessers auf der Probe durch die Linsenanordnungen willkürlich ändern. Im Gegensatz
dazu werden die neutralen Partikel, die keine Ladung tragen und in Fig. 2a durch die gestrichelten Linien
angedeutet sind, nicht der Fokussierwirkung durch die -r>
Linsenanordnungen unterworfen, sondern bewegen sich frei von der Ionenquelle 1 durch die Objektivblende
5 hindurch auf die Probe 6 zu. Der Durchmesser dieses neutralen Strahls 19 auf der Probe hängt
von der Größe der Objektivblende 5 ab; im allgemei- ,ii
nen beträgt er mehrere Millimeter.
Es sei nun der Fall betrachtet, daß es sich bei der zu analysierenden Probe um ein Nickel-Gitter handelt,
wie es in Fig. 2b dargestellt ist. In diesem Fall umfassen die Sekundärelektronen, die nach Passieren v-,
der Ausziehvorrichtung 9 in das Massenspektrometer gelangen, zwei Arten; nämlich einmal die Sekundärionen,
die durch den Primärionenstrahl ausgelöst worden sind, sowie ferner diejenigen Sckimdärionen,
die durch die neutralen Partikel ausgelöst worden wi
sind. Hinsichtlich der letzteren Art von Sekundärionen ist jedoch der Strahldurchmesscr durch die Größe
der Objektivblende 5 bestimmt und groß im Vergleich zu dem Durchmesser des Primärionenstrahls. Daher
treffen selbst dann, wenn der Primärionenstrahl 8 <,<-,
zwischen die Gitterstäbe nach Fig. 2b projiziert wird, diejenigen Sekundärionen auf das Spektrometer, die
von dem in Fig. 2b mit einem Kreis 20 bezeichneten Bestrahlungsbereich der neutralen Partikel erzeugt
werden. Diese letzteren Sekundärionen werden als Rauschen erfaßt. In Fig. 3a und 3b sind Beispiele
für Analyseergebnisse veranschaulicht, wie sie mit dem herkömmlichen Analysator erzielt werden.
Fig. 3a entspricht dabei dem in Fig. 2b eingezeichneten Analysepunkt A und veranschaulicht das Massenspektrum
von Nickel. Fig. 3b zeigt das gleiche Spektrum in demjenigen Fall, daß der Primärionenstrahl
auf den in Fig. 2b gezeigten Analysepunkt B zwischen den Gitterstäben, d. h. auf einen Teil, an
dem kein Nickel vorliegt, gerichtet wird. Obwohl für den Analysepunkt Beigentlich kein Nickel-Spektrum
festgestellt werden sollte, wird jedoch mit dem herkömmlichen Gerät - wie in Fig. 3b dargestellt - ein
Nickelspektrum festgestellt, das eine Intensität von etwa V4 desjenigen Wertes aufweist, den das Nickelspektrum
für den Analysepunkt A hat. Offensichtlich ist dieses Nickelspektrum nach Fig. 3 b den schnellen
neutralen Partikeln zuzurechnen. Auf diese Art und Weise wird, falls die neutralen Partikel nicht entfernt
werden, bei der Analyse eines sehr kleinen Teils mit Hilfe des herkömmlichen Analysators die Genauigkeit
beträchtlich verringert, und hoch präzise Analysen werden schwierig. Die Verringerung der analytischen
Genauigkeit tritt auch bei der Tiefenanalyse auf, obwohl dafür an dieser Stelle keine Erläuterung abgegeben
werden soll.
Nachstehend soll das oben unter (2) angegebene Problem näher erläutert werden. Bei dem herkömmlichen
Analysator wird als erregende Quelle ein Ionenstrahl verwendet. Handelt es sich bei der Probe um
einen Isolator oder ist die Probenoberfläche mit einem nichtleitenden Film beschichtet, so tritt das Phänomen
der elektrischen Aufladung auf. Wird ferner bei der Durchführung der Analyse an einer Funktionseinrichtung,
beispielsweise einer integrierten Schaltung, mit geladenen Partikeln gearbeitet, so verändern sich
unter dem Einfluß dieser geladenen Partikel die elekfrischen
Eigenschaften der integrierten Schaltung, und die Wiederverwendung der Schaltung wird problematisch,
obwohl die Ursache dafür nicht ganz geklärt ist. Hinsichtlich des ersteren Problems wird eine Methode
angewandt, bei der Ladungen auf der Probenoberl'Hiehe
dadurch neutralisiert werden, daß dem bestrahlenden Teil des Ionenstrahls ein langsamer Elektronenstrahl
überlagert wird oder daß die Aufladung durch Verwendung negativer Ionen als Primärionen
vermieden wird. In diesem Fall dienen die Sekundärelektronen zur Ncutralisierung der Ladungen. Bei
beiden Methoden werden jedoch geladene Partikel als Primärstrahl verwendet, weshalb eine Lösung des zuletzt
genannten Problems hinsichtlich der Veränderung der elektrischen Eigenschaften nicht zu erwarten
ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Ionen-Mikrosonden-Analysator der eingangs genannten
Gattung dahingehend auszubilden, daß von dem von einer Ionenquelle ausgehenden, aus Ionen
und neutralen Partikeln bestehenden Partikelstrahl entweder ausschließlich der neutrale Partikelstrahl
oder ausschließlich der Ionenstrahl vor dem Auftreffen auf die Probe entfernbar ist.
Die Lösung dieser Aufgabe ist im Patentanspruch 1 gekennzeichnet. Mit einem solchen Ionen-Mikrosonden-Analysator
ist es also möglich, je nach dem Verwendungszweck und in Abhängigkeit von den Eigenschaften
der Probe entweder nur den Ionenstrahl oder
nur den neutralen Partikelstrahl zu benutzen. Im ersten Fall wird durch die Entfernung des neutralen Partikelstrahls
die Genauigkeit der Analyse erhöht. Im zweiten Fall ergibt sich aus der ausschließlichen Verwendung
des neutralen Partikelstrahls insbesondere der Vorteil, daß sich Analysen auch an beliebigen isolierenden
Materialien durchführen lassen.
Die Erfindung wird in der nachstehenden Beschreibung
bevorzugter Ausführungsbeispiele an Hand der weiteren Zeichnungen näher erläutert. Darin zeigen
Fig. 4a und 4b ein Ausführungsbeispiel eines Ionen-Mikrosonden-Analysators;
Fig. 5a und 5b Diagramme zur Erläuterung der Wirkung des Analysators nach Fig. 4a und 4b;
Fig. 6 ein weiteres Ausführungsbeispiel eines Ionen-Mikrosonden-Analysators;
und
Fig. 7a und 7b schematische Längs- und Querschnitte
durch ein drittes Ausführungsbeispiel eines solchen Analysators.
Das Ausführungsbeispiel nach Fig. 4a und 4b betrifft ein Gerät, bei dem als Strahlungsquelle der Primärpartikel
sowohl mit einem Ionenstrahl als auch mit einem schnellen neutralen Partikelstrahl gearbeitet
werden kann. Das Grundprinzip dieses Ausführungsbeispiels besteht darin, daß eine Einrichtung 21 zur
Ablenkung eines Ionenstrahls zwischen der Ionenquelle 1 und dem auch bei dem Gerät nach dem Stand
der Technik vorhandenen Primärionenstrahl-Fokussiersystem vorgesehen ist, das die Kondensorlinsen 2
und die nachfolgenden Bauelemente umfaßt, wodurch gewährleistet wird, daß nur entweder der Ionenstrahl
oder die neutralen Partikel auf die Probe gelangen. Dazu werden die in Fig. 4a und 4b veranschaulichten
beiden Hilfsmittel angewandt. Die Ablenkeinrichtung 21 umfaßt einen ersten Deflektor 23, zweite Deflektoren
24 und 26 sowie eine Blende 25. Vorzugsweise ist die Anordnung so aufgebaut, daß der Deflektor
23 und der Deflektor 26 gleiche Form haben, während der Deflektor 24 zweimal so lang ist wie der Deflektor
23 oder 26. Wird, wie in Fig. 4a veranschaulicht, an diese Deflektoren 23. 24 und 26 die gleiche Spannung
angelegt, so tritt der senkrecht von oben eintretende Ionenstrahl nach Durchlaufen des Ablenksystems
stets wieder senkrecht aus. Sind die Formen der Deflektoren 23, 24 und 26 beliebig gewählt, so läßt sich
ein vertikales Austreten des Ionenstrahls dadurch erreichen, daß an die einzelnen Deflektoren entsprechende
Spannungen angelegt werden. Die zwischen den Deflektoren 23 und 24 befindliche Blende 25 ist
in horizontaler Ebene hin und her bewegbar. Die Blende 25 hat die folgenden beiden Funktionen. In
ihrer ersten Funktion ist sie so angeordnet, daß sie von der Achse der Deflektoren abweicht, wie dies in
Fig. 4a veranschaulicht ist, wodurch die neutralen Partikel entfernt werden, während der Ionenstrahl in
der gezeigten Weise durch das Ablenksystem abgelenkt wird und auf die Probe trifft. In ihrer zweiten
Funktion ist die Blende 25 auf der Achse angeordnet, so daß der neutrale Strahl auf die Fläche der Probe
auftrcffcn kann; gleichzeitig wird aber an einen der Deflektoren 23, 24 oder 26 eine geeignete Spannung
angelegt, die den Ionenstrahl ablenkt und verhindert, daß <:r auf die Oberfläche der Probe auftrifft. Demgemäß
können durch entsprechende Bewegung der zwischen den Deflektoren 23 und 24 angeordneten
Blende 25 entweder der Ionenstrahl oder die neutralen Partikel unabhängig herausgezogen werden. Vorzugsweise
ist zwischen der Ionenquelle I und der Ablenkeinrichtung 21 eine weitere Blende 22 vorgesehen.
Im folgenden soll ein weiteres Hilfsmittel beschrieben werden, gemäß dem zur unabhängigen Wahl des
Ionenstrahls oder des neutralen Strahls für die Bestrahlung der Probe die Ablenkeinrichtung 21 selbst
bewegt wird. Der prinzipielle Aufbau dafür ist in Fig. 4b gezeigt. In diesem Fall läßt sich der in der
strichpunktierten Linie gezeigte gesamte Bauteil in eincr horizontalen Ebene relativ zu der optischen Achse
des Ionenstrahls bewegen. Soll zunächst die Probe mit dem neutralen Strahl bestrahlt werden, so werden die
Achse des Ablenksystems 21 und die des Ionenstrahls in Fluchtung gebracht, wie es in Fig. 4b gezeigt ist.
Der Ionenstrahl wird dabei durch irgendeinen der Deflektoren 23, 24 oder 26 aus der Achse abgelenkt,
so daß er die Probe nicht erreichen kann. In diesem Fall erfolgt die Analyse mit den neutralen Partikeln.
Sollen dagegen die neutralen Partikel entfernt und die Analyse mit dem Ionenstrahl durchgeführt werden,
so wird die in dem strichpunktierten Kasten enthaltene Ablenkeinrichtung21 nach Fig. 4b als Ganze
derart bewegt, daß ihre Achse von der des Ionenstrahls abweicht. Auf diese Weise werden die neutralen
Partikel entfernt, und es wird nur der Ionenstrahl verwendet, der auf das Linsensystem geleitet und ähnlich
wie in dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 4a auf die Probe fokussiert wird.
In dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 4 läßt sich also durch Bewegen der Ablenkeinrichtung 21 entweder
der Ionenstrahl oder der neutrale Strahl getrennt benützen, wobei die Wirkung die gleiche ist wie in
dem obigen Fall nach Fig. 4a, bei dem die Blende 25 bewegbar ist.
In Fig. 5 b ist ein Beispiel für die erfindungsgemäß erzielte Wirkung veranschaulicht. Als Probe diente
ein Nickel-Gitter mit 500 Maschen und einer Drahtstärke von 16 μ. Als Primärionen wurden O2 +-Ionen
bei 10 KeV verwendet, und der Strahldurchmesser betrug 2 μ. Wie vorher erläutert, betrug bei dem Analysator
nach dem Stand der Technik die Ni + -Ionenintcnsität
bei Fokussierung des Ionenstrahl auf eine Stelle, an der kein Draht vorliegt, gemäß Figur 3 b
etwa V4 des Wertes, der erzielt wird, wenn der lonenstrahl
gemäß Fig. 3 a auf einen Draht fokussiert wird. Diese Ionenintensität von '/., bedeutet ein Rauschen,
das den neutralen Partikeln zuzuschreiben ist. Gemäß Fig. 5a und 5b ist der Einfluß der neutralen Partikel
durch die Verwendung der erfindungsgemäßen An-Ordnung
beseitigt. Fig. 5a entspricht dem Fall, daL1
der Ionenstrahl auf einen Draht projiziert wird, während Fig. 5 b den Fall betrifft, daß der Ionenstrahl aul
eine Stelle projiziert wird, an der kein Draht vorliegt Wie in Fig. 5b dargestellt, wurde dabei kein Ni' -Ionenstrom
gemessen. Somit war der schädliche Einflufi der neutralen Partikel vollständig eliminiert.
Sodann wurden unter Verwendung des neutraler Partikelstrahl eine Analyse von Verunreinigungen ir
Phosphorglas, eine Analyse von Natrium in Glimmci und eine Analyse von gewissen organischen Stoffer
versucht. Dabei wurden analytische Werte hoher Gc nauigkcit ohne das Phänomen der elektrischen Aufla
dung erfolgreich erzielt.
Indem Ausführungsbeispiel nach Fig. 6 ist die Ab
lenkeinrichtung 21 wiederum auf der optischen Achs( des Primärioncnstrahls beispielsweise zwischen dei
Ionenquelle 1 und dem die Kondcnsorlinscn 2 und di< nachfolgenden Bauelemente umfassenden Primärio
nenstrahl-Fokussiersystem angeordnet. Die Ablenkeinrichtung 21 besteht in diesem Fall aus zwei Paaren
von ersten Deflektoren 30 und 32, zwei Paaren von zweiten Deflektoren 24 und 26 und einer bewegbaren
Blende 25.
Bei 33 ist eine Energiequelle zur Zuführung von dekt'.ischen Potentialen an die Deflektoren gezeigt.
In diesem Ausführungsbeispiel ist die Blende 25 beispielsweise in einer Strahl-Ablenkrichtung senkrecht
zur optischen Achse des Ionenstrahls bewegbar. Vorzugsweise bestehen die Deflektoren 30, 32, 24 und
26 aus parallelen Plattenelektroden gleicher Größe. Bei diesem Aufbau werden den vier Deflektoren
Spannungen gleicher Größe zugeführt. Die Polaritäten der Spannungen sind für die Deflektoren 30 und
26 gleich und für die Deflektoren 32 und 24 gleich. Die Spannungen mit diesen Polaritäten werden dabei
abwechselnd zugeführt. Der vertikal von oben eintretende Ionenstrahl tritt nach Passieren des Ablenksystems
stets senkrecht wieder aus. Sind die Formen der Deflektoren beliebig gewählt, so läßt sich das vertikale
Austreten des loncnstrahls dadurch erreichen, daß an die einzelnen Deflektoren entsprechende Spannungen
angelegt werden. Die Blende 25 ist nach vorne und hinten sowie nach rechts und links in einer horizontalen
Ebene bewegbar. Die Blende 25 hat die folgenden beiden Funktionen. Einmal ist die Blende 25, wie in
Fig. 6 dargestellt, an einer Stelle Fl angeordnet, die
von der Achse der Deflektoren (Stelle PO) abweicht, wodurch die neutralen Paitikel entfernt und der Ionenstrahl
durch das Ablenksystem in der gezeigten Weise derart abgelenkt wird, daß er auf die Probe
trifft. Zum anderen ist die Blende 25 auf der Achse (an der Stelle PO) angeordnet, so daß der neutrale
Strahl auf die Oberfläche der Probe fallen kann, wobei gleichzeitig an einen der Deflektoren 30, 32, 24 oder
26 eine geeignete Spannung angelegt wird, so daß der Ionenstrahl abgelenkt wird und nicht auf die Probenoberfläche
gelangt. Somit können entweder der Ιοί nenstrahl oder die neutralen Partikel durch Bewegen
der Blende 25 unabhängig herausgezogen werden. Da ferner die Blende an einer Zwischenstelle zwischen
den vier Paaren von Deflektoren angeordnet ist, erfolgt die Trennung zwischen dem Elektronenstrahl
ίο und dem neutralen Strahl an der Stelle stärkster Abweichung
von der optischen Achse des Ionenstrahls, wodurch die Trennung besonders leicht wird. Eine
gute Trennung ist ferner deshalb möglich, weil der Ionenstrahl auf die Blende 25 senkrecht trifft. Da
schließlich die Strahlpfade vor und hinter der Blende 25 symmetrisch sind, ist die axiale Justierung einfach.
Fig. 7 zeigt eine detailierte Ansicht eines Ausführungsbeispiels, bei dem die Blende 25 bewegbar ist.
Fig. 7 a stellt dabei einen Längsschnitt längs der optisehen
Achse des Ionenstrahls dar, während Fig. 7b ein Querschnitt längs der Linie A-A' ist. Bei 28 ist
eine Einrichtung zur Bewegung der Blende 25 gezeigt.
Die auf die Ablenkeinrichtung 21 folgenden Stufen sowie die Energieversorgung sind in Fig. 7 weggelassen.
Aus einem Vergleich der Messungen an einem Draht eines Nickel-Gitters und einem Teil, an dem
kein Draht vorhanden ist, geht hervor, daß ebenso wie bei den vorigen Ausführungsbeispielen auch in
diesem Fall der neutrale Partikelstrahl eliminiert wird. Ferner wurden bei der Analyse von Verunreinigungen
in Phosphorglas und ähnlichen Analysen mit dem neutralen Partikelstrahl analytische Werte hoher Präzision
ohne das Phänomen der elektrischen Aufladung erzielt.
Hierzu 4 Blatt Zeichnungen
Claims (9)
1. Ionen-Mikrosonden-Analysator, bei dem eine Probe mit einem von einer Ionenquelle ausgehenden,
durch ein Primärionen-Fokussiersystem fokussierten Primärstrahl bestrahlt wird und
die von der Probe erzeugten und durch eine Ionen-Ausziehvorrichtung abgesaugten Sekundärionen
mit einem Massenspektrometer analysiert ι ο werden, gekennzeichnet durch eine zwischen
der Ionenquelle (1) und der Probe (6) angeordnete Ionenstrahl-Ablenkeinrichtung (21), die eine
bewegbare Blende (25), deren Bewegung die Blendenöffnung zwischen einer Stellung auf der
optischen Achse des Primärstrahls und einer von dieser optischen Achse abweichenden Stellung in
einer zur optischen Achse senkrechten Ebens verschiebt,
mindestens einen ersten Deflektor (23; 30, 32), der die Ionen des Primärstrahls zu einer
Stelle ablenkt, an der sich die Blendenöffnung in ihrer abweichenden Stellung befindet, sowie mindestens
zwei zweite Deflektoren (24, 26) umfaßt, die den Ionenstrahl nach Passieren der Blendenöffnung
in der abweichenden Stellung in Richtung r> der optischen Achse ablenken.
2. Analysator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ionenstrahl-Ablenkeinrichtung
(21) zwischen der Ionenquelle (1) und einem Primärionen-Fokussiersystem (2) angeord- hi
net ist.
3. Analysator nach Anspruch 2, daduch gekennzeichnet, daß zwischen der Ionenquelle (1)
und der Ionenstrahl-Ablenkeinrichtung (21) eine weitere Blende (22) angeordnet ist. j>
4. Analysator nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Deflektor
aus zwei Paaren von Elektroden (30, 32) gleicher Größe und die zweiten Deflektoren aus zwei
Paaren von Elektroden (24, 26) gleicher Größe wie die ersten beiden Paare von Elektroden bestehen
(Figur 6, 7).
5. Analysator nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß jedes der vier Paare von Elektroden
(24, 26, 30, 32) jeweils aus einem Paar von Plattenelektroden besteht, die parallel und
symmetrisch zur optischen Achse angeordnet sind.
6. Analysator nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Deflektor
aus einem Paar von Elektroden (23) und die -,n zweiten Deflektoren aus einem ersten Paar von
Elektroden (26) mit gleicher Größe wie die Elektroden (23) des ersten Deflektors sowie einem
zweiten Paar von Elektroden (24) mit gegenüber den Elektroden (23) des ersten Deflektors dop- -,5
pelter Länge bestehen, wobei das zweite Paar von Elektroden (24) des zweiten Deflektors näher an
der Blende (25) angeordnet ist als das erste Paar von Elektroden (26) des zweiten Deflektors
(Fig. 4). b0
7. Analysator nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß jedes der drei Paare von Elektroden
(23, 24, 26) aus einem Paar von Plattenelektroden besteht, die parallel und symmetrisch
zur optischen Achse angeordnet sind. b5
8. Analysator nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Deflektoren
(23, 24, 26, 30, 32) stationär sind (Fig. 4a, 6, 7).
9. Analysator nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Deflektoren
(23,24,26, 30, 32) in einer zur optischen Achse senkrechten Ebene zusammen mit der Blende (25)
bewegbar sind (Fig. 4b).
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ID=26338785
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