DE2642165A1

DE2642165A1 - PROCESS FOR THE PRODUCTION OF METAL-FREE STRIPES ON A METALLIZED INSULATING TAPE

Info

Publication number: DE2642165A1
Application number: DE19762642165
Authority: DE
Inventors: Gerhard Dr Phil Seebacher
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1976-09-20
Filing date: 1976-09-20
Publication date: 1978-03-23

Description

Verfahren zur Herstellung von metallfreien Streifen auf einem me-Process for the production of metal-free strips on a metal

tallisierten Isolierstoffband.metallized insulating tape.

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von metallfreien Streifen auf einem metallisierten Isolierstoffband, welches insbesondere für die Herstellung von elektrischen Kondensatoren geeignet ist, bei dem eine kleine hochfrequente Wechselspannung zwischen zumindest einer Ausbrennelektrode und der Metallisierung auf dem Isolierstoffband aufgebaut und bei dem die Metallisierung mit der Ausbrennelektrode in Berührung gebracht und im Bereich der Berührung ausgebrannt wird.The present invention relates to a method for producing metal-free strips on a metallized insulating tape, which in particular is suitable for the production of electrical capacitors in which a small high-frequency alternating voltage between at least one burn-out electrode and the Metallization built on the insulating tape and in which the metallization brought into contact with the burn-out electrode and burned out in the area of contact will.

Ein derartiges Verfahren ist aus der DT-OS 2 348 904 bekannt.Such a method is known from DT-OS 2,348,904.

Dort werden Ausbrennräder auf die Metallisierung aufgesetzt. Aus der DT-OS 2 318 754 ist es außerdem bekannt, eine flexible Ausbrennelektrode an der Metallisierung im Bereich einer Umlenkwalze anliegen zu lassen und so ein Ausbrennen zu erreichen.There, burnout wheels are placed on the metallization. From the DT-OS 2 318 754 it is also known to have a flexible burnout electrode on the To let the metallization rest in the area of a deflection roller and thus burn out to reach.

Beide Verfahren lassen die Herstellung sehr schmaler Ausbrennstreifen in dickenMetallbelägen von beispielsweise mehr als 0,2/um Stärke nicht zu. Um eine saubere Isolierung zu erreichen, müssen bei diesen Belagsstärken nach dem Stand der Technik bereits Spannungen mit einem Effektivwert von zumindest 100 V verwendet werden. Bei einer derartigen Spannung entstehen aber bereits stark gezackte Ränder der Ausbrennstreifen; Streifenbreiten von weniger als 0,5 mm bzw. - bei der flexiblen Ausbrennelektrode - bis 0,1 mm sind nicht mehr realisierbar.Both processes allow the production of very narrow burnout strips in thick metal coatings of, for example, more than 0.2 μm thickness. To a In order to achieve clean insulation, this type of covering has to be based on the state of the art The technology already uses voltages with an effective value of at least 100 V. will. With such a tension, however, there are already strongly jagged edges the burnout strip; Strip widths less than 0.5 mm or - with the flexible burn-out electrode - up to 0.1 mm are no longer feasible.

Die Aufgabe, die der vorliegenden Erfindung zugrundeliegt, besteht in der Herstellung von scharf berandeten Isolierstreifen von weniger als 0,1 mm Breite in dicken Metallbelägen, vorzugsweise Aluminiumbelägen.The object on which the present invention is based exists in the production of sharp-edged insulating strips of less than 0.1 mm Width in thick metal coverings, preferably aluminum coverings.

Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß als Ausbrennelektrode ein Schneidemesser verwendet wird, daß dieses Schneidemesser im Bereich einer Umlenkrolle gegen die Metallisierung gedrückt wird und daß das Schneidemesser durch die Metallisierung hindurch in das Isolierstoffband eindringt, aber nicht ganz durch das Isolierstoffband hindurchgedrückt wird.This object is achieved according to the invention in that as a burnout electrode a cutting knife is used that this cutting knife in the area of a pulley is pressed against the metallization and that the cutting knife through the metallization penetrates through into the insulating tape, but not all the way through the insulating tape is pushed through.

Dieses Verfahren hat den Vorteil, daß der Ausbrennvorgang nur in seitlicher Richtung von der Ausbrennelektrode aus stattfinden muß, nicht aber in die Tiefe erfolgt. Auf diese Weise wird mit Sicherheit ein scharf berandeter Ausbrennstreifen erzeugt, wobei die angelegte Spannung die Breite des Ausbrennstreifens bestimmt.This method has the advantage that the burn-out process only takes place laterally Direction from the burnout electrode must take place, but not in depth he follows. In this way, a sharp-edged burnout streak is certain to be created where the applied voltage determines the width of the burnout strip.

Die Spannung ist nach unten praktisch nicht begrenzt, da bereits durch die eindringende Klinge eine Durchtrennung des Belags erfolgt. Für Aluminiumbeläge von etwa 0,2/um Dicke ist es vorteilhaft, wenn eine Wechselspannung mit einem Effektivwert von etwa 30 V verwendet wird.The tension is practically not limited downwards, since it is already through the penetrating blade a severing of the covering takes place. For aluminum coverings of about 0.2 / .mu.m thickness, it is advantageous if an alternating voltage with an effective value of about 30V is used.

Als Schneidemesser eignet sich vorteilhaft eine Rasierklinge.A razor blade is advantageously suitable as a cutting knife.

Einen glatten Schnitt ergibt ein Schneidemesser, dessen Schneide einen Verrundungsradius von höchstens Ijum besitzt.A cutting knife results in a smooth cut, the edge of which is a Has a radius of curvature of at most Ijum.

Die Frequenz der angelegten Wechselspannung beträgt vorteilhaft 1 tTHz. Dadurch wird die Ausbildung von Lichtbögen unterbunden.The frequency of the applied alternating voltage is advantageously 1 tTHz. This prevents the formation of arcs.

Je nach Anforderung an die Ränder des Isolierstreifens kann die Hochfrequenzspannung zwischen 100 kHz und 10 MHz gewählt werden.Depending on the requirements placed on the edges of the insulating strip, the high-frequency voltage between 100 kHz and 10 MHz can be selected.

Die Erfindung eignet sich besonders zur Herstellung schmaler Isolierstreifen von beispielsweise 50/um Breite, deren Länge be- grenzt ist. Dies ist insbesondere in miniaturisierten Bauelementen der Fall, beispielsweise auch in Halbleiter-Chips, in denen bei der Übertragung der Ströme auf die Kontaktierung hohe Anforderungen an die Breite und die Schärfe der Ränder der Zuleitungen gestellt sind. Das vorliegende Verfahren ist auch zur Herstellung von beliebigen flächenhaften Streifenmustern gut geeignet.The invention is particularly suitable for producing narrow insulating strips of, for example, 50 / um width, the length of which is is bordered. this is particularly the case in miniaturized components, for example, too in semiconductor chips, in which the transfer of currents to the contacting placed high demands on the width and sharpness of the edges of the supply lines are. The present method is also suitable for the production of any planar Stripe patterns well suited.

Schneidklingen lassen sich unter dem Mikroskop mit der erforderlichen Genauigkeit einstellen. So sind beispielsweise entmetallisierte Streifen von nur etwa 1 mm Länge einwandfrei reproduzierbar herzustellen. Als Isolierstoffband eignet sich beispielsweise ein Band aus Polyäthylenterephthalat mit 50/um Dicke. Bei dieser Banddicke läßt sich die Tiefe der Ritzspuren bereits mit relativ geringem Justieraufwand einstellen.Cutting blades can be used under the microscope with the required Set accuracy. For example, demetallized strips are from only about 1 mm in length to be produced in a perfectly reproducible manner. Suitable as an insulating tape For example, a tape made of polyethylene terephthalate with a thickness of 50 μm. At this Tape thickness, the depth of the scratch marks can be determined with relatively little adjustment effort to adjust.

Mit diesem Verfahren läßt sich beispielsweise auf einer Fläche von nur 1 cm2 ein Ausbrennmuster von sternförmig von einem Mittelpunkt ausgehenden Isolierstreifen herstellen.With this method, for example, on an area of only 1 cm2 a burn-out pattern of star-shaped insulating strips starting from a center point produce.

Die vorliegende Erfindung wird nun anhand einer Figur näher erläutert. Die Figur zeigt eine erfindungsgemäße Anordnung in teilweise geschnittener und gebrochener Darstellung.The present invention will now be explained in more detail with reference to a figure. The figure shows an arrangement according to the invention in partially cut and broken Depiction.

Auf einem Isolierstoffband 1 ist eine dicke Metallisierung 2 aufgebracht. Eine Rasierklinge 3 wird gegen das Kunststoffband 1 gedrückt, durchschneidet die Metallisierung 2 und dringt in das Kunststoffband 1 ein. Zwischen der Rasierklinge 3 und der Metallisierung 2 liegt eine Wechselspannung an, durch welche metallfreie Streifen 4 durch Wegbrennen der Metallisierung 2 erzeugt werden.A thick metallization 2 is applied to an insulating strip 1. A razor blade 3 is pressed against the plastic tape 1, cuts through the Metallization 2 and penetrates the plastic strip 1. Between the razor blade 3 and the metallization 2 is an alternating voltage through which metal-free Strip 4 can be produced by burning away the metallization 2.

Die Rasierklinge 3 dringt nicht ganz durch das Kunststoffband 1 hindurch. Der Krümmungsradius an der Schneide der Rasierklinge 3 beträgt höchstens 1 um Die Rasierklinge 3 ist im dargestellten Beispiel schräg zum Kunststoffband 1 angeordnet. Ihre Kante kann auch in tangentialer Richtung verlaufend gegen eine Umlenkwalze gedrückt werden, -wenn die Krümmung der Umlenkwalze so groß ist, daß zumindest eine Ecke der Rasierklinge über der Metallisierung liegt, während gleichzeitig die gewünschte Eindringtiefe der Klinge erreicht wird.The razor blade 3 does not penetrate completely through the plastic strip 1. The radius of curvature at the cutting edge of the razor blade 3 is at most 1 μm In the example shown, the razor blade 3 is arranged at an angle to the plastic strip 1. Their edge can also run in the tangential direction against a deflection roller be pressed, -if the curvature of the deflection roller is so great, that at least one corner of the razor blade overlies the metallization while at the same time the desired penetration depth of the blade is achieved.

4 Patentansprüche 1 Figur Leerseite4 claims 1 figure Blank page

Claims

P a t e n t a n s p r ü c h e.

1. Process for the production of metal-free strips on one metallized insulating tape, soft in particular for the production of electrical xcapacitors is suitable in which a small high-frequency alternating voltage between at least a burn-out electrode and the metallization built on the insulating tape and in which the metallization is brought into contact with the burnout electrode and is burned out in the area of contact, that is to say n e t that a cutting knife is used as the burnout electrode, that this Cutting knife pressed against the metallization in the area of a pulley and that the cutting knife through the metallization through into the insulating tape penetrates, but is not pushed all the way through the insulating tape.

2. The method according to claim 1, d a d u r c h g e k e n n z e i chn e t that an alternating voltage with an effective value of about 30 V is used.

3. Apparatus for performing the method according to claim 1 or 2, g e k e k e nn nz e i c h n e t 1 u rc h a razor blade serving as a cutting knife.

4. Device for performing the method according to claim 1 or 2, it is noted that the cutter has a radius of curvature of at most 1 / to.