DE3223930A1 - Method for adjusting a film resistor - Google Patents

Method for adjusting a film resistor

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    • H01C17/22Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming
    • H01C17/24Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming by removing or adding resistive material

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Abstract

In order to adjust a film resistor which is arranged between two electrodes (2), a sub-region of the resistance film (3) is separated with a cut (5) which is initially made from an edge of the resistance film (3) at right angles to the current path close to one electrode (2) and extends at least approximately over the length of the resistance film (3) in the direction of the current path, and is subsequently guided back to the edge (4). The width of the sub-region to be separated is determined by an electrical measuring and control device. In order that there does not have to be any pick off on the resistance film during adjustment of the resistance film, the total resistance value at the electrodes (2) is measured at the start, and the depth of the first partial cut (5) is defined from this in the ratio of the total resistance to a predetermined resistance value. The subsequent partial cut (6) is made at the same depth, parallel to the edge (4), at least over a partial length of the resistance film (3), and then back to the edge (4). <IMAGE>

Description

Verfahren zum Abgleichen eines Schichtwiderstandes Method for adjusting a sheet resistance

Die Erfindung betrifft ein Verfahren gemäß dem Oberbegriff des ersten Anspruchs.The invention relates to a method according to the preamble of the first Claim.

Nach einem bekannten Verfahren zum Abgleichen einer kreisbogenförmig gestalteten Widerstandsschicht eines Drehpotentiometers (US-PS 32 11 031) wird an Elektroden, welche an den Enden der Widerstandsschicht angeordnet sind, ein konstanter Strom eingespeist. Auf dem für die Nutzung vorgesehenen Teilbereich der Widerstandsschicht wird ein Schleifkontakt geführt, mit dem über den Drehwinkel während der Drehbewegung der Widerstandsschicht und dem dabei erfolgenden Schneidvorgang zum Abtrennen des überflüssigen Teilbereiches der Widerstandsschicht der jeweilige Augenblickswert festgestellt und die Position des Schneidwerkzeuges entsprechend korrigiert wird.According to a known method for trimming a circular arc designed resistance layer of a rotary potentiometer (US-PS 32 11 031) is on Electrodes, which are arranged at the ends of the resistance layer, a constant one Electricity fed in. On the part of the resistance layer intended for use a sliding contact is made with which the angle of rotation during the rotary movement the resistance layer and the resulting cutting process to separate the superfluous part of the resistance layer the respective instantaneous value determined and the position of the cutting tool is corrected accordingly.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren gemäß dem Oberbegriff des ersten Anspruchs so auszugestalten, daß beim Abgleich der Widerstandsschicht das Führen eines Abgriffes auf der Widerstandsschicht entfallen kann.The invention has for its object to provide a method according to the To design the preamble of the first claim that when aligning the resistance layer there is no need for a tap on the resistance layer.

Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt gemäß der Erfindung durch die kennzeichnenden Merkmale des ersten Anspruchs.The solution to this problem takes place according to the invention by the characterizing Features of the first claim.

Bei einer Verfahrensweise gemäß der Erfindung wird bei der nach heutigen Fertigungsverfahren zu erwartenden hohen Homogenität der aufgetragenen Widerstandsschicht aus der Messung des Gesamtwiderstandes und der Anfangsschichtbreite durch eine Verhältnisbildung die für den angestrebten Widerstandswert erforderliche verbleibende Breite der Widerstandsschicht festgelegt und das Schnittwerkzeug entsprechend geführt. Dabei wird das Schnittwerkzeug parallel zum Rand der zu nutzenden Widerstandsschicht zumindest über eine Teillänge der Widerstandsschicht geführt. Soll ein bestimmter Kurvenverlauf erzielt werden, dann wird der in Richtung des Stromweges verlaufende Teilschnitt in einzelnen Stufen geführt, so daß sich eine gute Anpassung an den gewünschten Widerstandsverlauf ergibt. Die Stufenhöhe kann dabei fest programmiert sein oder durch jeweilige Messung am Ende eines Stufenschnittes durch eine entsprechende Verhältnisbildung mit einem entsprechend vorgegebenen Widerstandswert ermittelt werden. Dabei wird zweckmäßig an jeder Stufenkante ein Teilbereich der Widerstandsschicht geführt. Es ergibt sich dadurch ein Schichtwiderstand, der nach einem vom Rand aus quer zum Stromweg gerichteten, nahe einer Elektrode geführten Einschnitt im nachfolgenden Schnitt entweder kontinuierlich in Richtung des Stromweges parallel zum Rand bis in den Bereich der zweiten Elektrode und dort wieder quer zur Stromrichtung bis zum Rand läuft. Es kann jedoch für einen anderen Verlauf der Widerstandscharakteristik der zweite Teilschnitt in Stufen mit veränderlichem Randabstand je Stufe ausgeführt werden.In a procedure according to the invention is used in today's Manufacturing process expected high homogeneity of the applied resistance layer from the measurement of the total resistance and the initial layer width by forming a ratio the remaining width of the resistance layer required for the desired resistance value determined and the cutting tool guided accordingly. This is where the cutting tool parallel to the edge of the resistance layer to be used, at least over a partial length out of the resistive layer. If a certain curve shape is to be achieved, then the partial section running in the direction of the current path is made in individual stages out, so that there is a good adaptation to the desired resistance curve. The step height can be permanently programmed or by means of a respective measurement on End of a step cut through a corresponding ratio formation with a can be determined according to the given resistance value. Doing so becomes expedient A part of the resistance layer is guided at each step edge. It surrenders thereby a sheet resistance, which after a direction from the edge across to the current path, The incision made near an electrode is either continuous in the subsequent cut in the direction of the current path parallel to the edge up to the area of the second electrode and there again runs across the direction of the current to the edge. However, it can be for one the second partial section in steps with another course of the resistance characteristic variable edge distance per step.

Die Erfindung ist nachfolgend an Hand der Zeichnung eines Ausführungsbeispiels näher erläutert.The invention is described below with reference to the drawing of an exemplary embodiment explained in more detail.

Auf ein isolierendes Substrat 1 sind voneinander beabstan- dete Elektroden 2 aus einem gutleitenden Material aufgebracht, die durch eine Widerstandsschicht 3 miteinander verbunden sind. Im Überlappungsbereich der Elektroden 2 und der Widerstandsschicht 3 liegen die Elektroden unterhalb der Widerstandsschicht. Quer zu dem von einer Elektrode 2 zur anderen verlaufenden Stromweg ist die Widerstandsschicht einseitig seitlich über die Elektroden 2 hinaus aufgetragen.On an insulating substrate 1 are spaced apart dete Electrodes 2 made of a highly conductive material applied by a resistive layer 3 are connected to each other. In the overlap area of the electrodes 2 and the resistance layer 3 the electrodes are below the resistance layer. Across from that of one Electrode 2 to the other current path, the resistance layer is on one side applied laterally beyond the electrodes 2.

Von dem so ausgebildeten Rand 4 aus wird der für das Abtrennen überflüssiger Teilbereiche der Widerstandsschicht erforderliche Schnitt durch die Widerstandsschicht 3 geführt.From the edge 4 formed in this way, the one for cutting becomes superfluous Partial areas of the resistance layer required cut through the resistance layer 3 led.

Vor dem Beginn des Schneidens wird zunächst an den Elektroden 2 der Gesamtwiderstand der ursprünglichen Widerstandsschicht 3 festgestellt. Bei der durch die Länge und Breite vorgegebenen Geometrie der Widerstandsschicht sowie ihrem Widerstandskoeffizienten wird in einem Vergleichsverfahren die Einschnittiefe eines ersten Teilschnittes 5 festgelegt. Als Schneideinrichtung kann beispielsweise ein rechnergesteuerter Laserstrahl verwendet werden. Für den ersten Teilschnitt 5 wird der Laserstrahl zunächst bis an den Rand 4 herangeführt und anschließend um die ermittelte Tiefe senkrecht zum Stromweg geführt, wobei entlang des Teilschl4ttes 5 die Widerstandsschicht abgebrannt bzw. verdampft wir1. Der erst Teilschnitt ist dabei auch so geführt, daß die benachbarte Elektrode 2 nicht angeschnitten wird, um zu vermeiden, daß durch gegebenfalls stehenbleibende Metallbatikel ein Stromweg über die Schnittlinie hinweg stehen bleiben kann. Soll der Widerstandsverlauf des verbleibenden Teilbereichs der Widerstandsschicht 3 linear sein, dann wird der zweite Teilschnitt bis nahe an die gegenüberliegende Elektrode 2 und von dort wieder quer zum Stromweg bis zum Rand 4 herausgeführt. Auch der dritte Teilschnitt 7 wird dabei mit Abstand von der benachbarten Elektrode gehalten.Before starting to cut, the electrodes 2 are first of all the Total resistance of the original resistance layer 3 was determined. At the through the length and width of the given geometry of the resistance layer and its resistance coefficient the incision depth of a first partial cut is used in a comparison process 5 established. A computer-controlled cutting device, for example, can be used as the cutting device Laser beam can be used. For the first partial cut 5, the laser beam first brought up to the edge 4 and then by the determined depth perpendicular to the current path, with the resistance layer along the partial slot 5 burned down or evaporated we 1. The first partial cut is also done in such a way that that the adjacent electrode 2 is not cut in order to avoid that through possibly remaining metal particles a current path across the cutting line can stop. Should be the resistance curve of the remaining sub-area the resistance layer 3 be linear, then the second partial cut will be close to to the opposite electrode 2 and from there again across the current path to Edge 4 led out. The third partial cut 7 is at a distance from the adjacent electrode held.

Der überflüssige Teilbereich der Widerstandsschicht 3 ist damit vollkommen von dem verbleibenden Teilbereich und den Elektroden 2 abgetrennt. Es besteht dann nicht die Gefahr, daß besonders bei einem sehr schmalen wirksamen Teilbereich der Widerstandsschicht 3 der dem gegenüber große Schleifkontakt eines Potentiometerabgreifers bei einem Übergreifen des Teilschnittes 6 den abgetrennten Teilbereich der Widerstandsschicht 3 aktiviert und eine Verfälschung des abgegriffenen Widerstandswertes hervorruft.The superfluous partial area of the resistance layer 3 is thus complete separated from the remaining portion and the electrodes 2. It then exists there is no risk of the Resistance layer 3 of the opposite large sliding contact of a potentiometer tap when the partial cut 6 reaches over, the separated partial area of the resistance layer 3 activated and causes a falsification of the tapped resistance value.

Soll der aktiv bleibende Teilbereich der Widerstandsschicht 3 einen bestimmten Widerstandsverlauf aufweisen, dann kann die Abgleichvorrichtung so programmiert werden, daß nach dem ersten Teilschnitt 5 entsprechend dem gefordeten Widerstandsverlauf der zweite Teilschnitt in Stufen 6a, 6b 6c bis zum dritten Teilschnitt 7 geführt wird. Damit kann nach jedem Teilschnitt 6a bzw. 6b aus dem verbleibenden Gesamtwiderstandswert durch eine Verhältnisbildung mit einem entsprechend vorgegebenen Wert die Stufenhöhe ermittelt werden. An jeder Stufenkante wird dabei der quer zum Stromweg verlaufende Teilschnitt durch einen Zwischenteilschnitt 8 bzw. 9 bis zum Rand 4 hinausgezogen, so daß der unwirksame Teilbereich der Widerstandsschicht 3 zur Erhöhung seiner Spannungsfestigkeit unterteilt ist.If the part of the resistive layer 3 that remains active is to be one have a certain resistance profile, then the balancing device can be programmed in this way be that after the first partial cut 5 according to the required resistance curve the second partial cut is made in steps 6a, 6b 6c up to the third partial cut 7 will. This means that after each partial cut 6a or 6b from the remaining total resistance value the step height by forming a ratio with a correspondingly specified value be determined. At each step edge there is the one that runs transversely to the current path Partial cut through an intermediate partial cut 8 or 9 pulled out to the edge 4, so that the ineffective portion of the resistance layer 3 to increase its dielectric strength is divided.

Claims (5)

Patentansprüche S Verfahren zum Abgleichen eines zwischen zwei Elektroden angeordneten Schichtwiderstandes insbesondere für ein Potentiomter durch Abtrennen wenigstens eines Teilbereiches der Widerstandsschicht mit einem Schnitt, der zunächst von einem Rand der Widerstandsschicht senkrecht zum Stromweg nahe an einer Elektrode geführt ist, sich zumindest annähernd über die Länge der Widerstandsschicht in Richtung des Stromweges erstreckt und anschließend zurück zum Rand geführt ist, wobei die Breite des abzutrennenden Teilbereichs über eine elektrische Meß- und Steuereinrichtung gesteuert wird, dadurch ekennzeichnet, daß der Gesamtwiderstandswert an den Elektroder (2) gemessen und daraus im Verhältnis des Gesamtwiderstandswertes zu einem vorbestimmten Widerstandswert die Tiefe des ersten Teilschnittes (5) festgelegt und dieser Teilschnitt (5) im Bereich der ersten Elektrode (2) vorgenommen wird, und daß der anschließende Teilschnitt (6) in gleicher Tiefe parallel zum Rand (11) wenigstens über eine Teillänge der Widerstandsschicht (3) geführt wird. Claims S A method for aligning one between two electrodes arranged sheet resistor in particular for a potentiometer by disconnecting at least a portion of the resistive layer with a cut that initially from an edge of the resistive layer perpendicular to the current path close to an electrode is performed, at least approximately over the length of the resistance layer in the direction of the current path and is then led back to the edge, wherein the Width of the partial area to be separated via an electrical measuring and control device is controlled, characterized in that the total resistance to the electrode (2) measured and from this in the ratio of the total resistance value to a predetermined one Resistance value defines the depth of the first partial cut (5) and this partial cut (5) is carried out in the area of the first electrode (2), and that the subsequent Partial section (6) at the same depth parallel to the edge (11) at least over a partial length the resistance layer (3) is performed. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der in Richtung des Stromweges verlaufende Teilschnitt (6a,-6b,6c) in Stufen parallel zum Rand (4) geführt wird.Method according to Claim 1, characterized in that the direction the current path running partial section (6a, -6b, 6c) in steps parallel to the edge (4) to be led. 3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß an jeder Stufenkante ein zum Rand (4) reichender Schnitt (8,9) durch den abzutrennenden Teilbereich der Widerstandsschicht geführt wird.3. The method according to claim 2, characterized in that at each Step edge a cut (8, 9) reaching to the edge (4) through the partial area to be separated the resistance layer is guided. 4. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Gesamtwiderstand nach dem Schnitt jeder einzelnen Stufe gemessen und die Schnittiefe des nachfolgenden Stufenschnittes aus dem Vergleich mit einem vorbestimmten Widerstandswert eingestellt wird.4. The method according to claim 2 or 3, characterized in that the Total resistance measured after the cut of each individual step and the depth of cut of the subsequent step cut from the comparison with a predetermined resistance value is set. 5. Schichtwiderstand mit einer zwischen zwei Elektroden angeordneten Widerstandsschicht, welche durch einen Schnitt in einen mit den Elektroden verbundenen Teilbereich und wenigstens einen davon abgetrennten Teilbereich geteilt ist, wobei ein erster Teilschnitt nahe an einer Elektrode von einem Rand der Widerstandsschicht quer zum Stromweg, anschließend ein zweiter Teilschnitt in Richtung des Stromweges bei nahe an die zweite Elektrode und ein dritter Teilschnitt von dort senkrecht zum Stromweg zurück zum angeschnittenen Rand geführt ist, insbesondere hergestellt nach dem Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Teilschnitt (6) kontinuierlich oder in Teilabschnitten (6a,6b,6c) mit veränderlichem Randabstand parallel zum Rand (4) der Widerstandsschicht (3) geführt ist.5. Sheet resistor with one arranged between two electrodes Resistance layer, which is connected to the electrodes by a cut in one Sub-area and at least one sub-area separated therefrom is divided, wherein a first partial section close to an electrode from an edge of the resistance layer across the current path, then a second partial section in the direction of the current path at close to the second electrode and a third partial section from there perpendicular is led back to the current path to the trimmed edge, in particular made according to the method according to one of claims 1 to 4, characterized in that the second partial cut (6) continuously or in partial sections (6a, 6b, 6c) with variable edge distance parallel to the edge (4) of the resistance layer (3) is.
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