DE2631663B2 - Verfahren zur berührungslosen Längenmessung und Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens - Google Patents
Verfahren zur berührungslosen Längenmessung und Vorrichtung zur Ausführung des VerfahrensInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur berührungslosen Längenmessung, bei der ein Laserstrahl
abgelenkt wird und kontinuierlich ein Meßobjekt abtastet, und auf eine Vorrichtung zur Ausführung
des Verfahrens.
Es ist ein Verfahren zum Messen des Abstands von und der Gesehwindigkeitskomponente eines Objekts
senkrecht zu einer Bczugslinie bekannt (DE-OS 325 086), bei dem das ein gleichmäßiges Rcflexionsvcrhaltcn
aufweisende Objekt abgelastet wird. Bei dem bekannten Verfahren ist es erforderlich, die absolute
Breite des Meßobjekts zu kennen, worauf dann der Abstand als absolutes Maß entnommen wird.
Es ist des weiteren eine Einrichtung zur Ortung von Objekten bekannt (DE-OS 2052086), durch die
"> ebenfalls ein Abstand gemessen werden soll.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur berührungslosen Längenmessung zu
schaffen, durch das eine relative Länge ohne Kenntnis weiterer Parameter, beispielsweise der Entfernung,
i» ermittelt werden kann. Gelöst wird diese Aufgabe
durch die Merkmale des Kennzeichens des Anspruchs 1. Weiterbildungen der Erfindung sind in den
Unteransprüchen angegeben.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird nur
r> die Zone mit unterschiedlichem Reflexionsverhalten
abgetastet. Die relative Länge wird durch Quotientenbildung der absoluten Längenänderung und der
Grundlänge bestimmt.
Eine Ausführungsform der Erfindung wird anhand
-'•ι der Zeichnung nachfolgend beschrieben.
Am Meßobjekt wird eine Zone mit unterschiedlichem Reflexionsverhalten gegenüber der Umgebung
benötigt. Das Aufbringen der Zone geschieht durch geringfügiges Aufrauhen der Oberfläche oder durch
y< Aufdampfen von matten Schichten (bevorzugt für
Messungen bei höheren Temperaturen).
Die Breite der Zone muß nur geringfügig über dem Laserstrahldurchmesser liegen. Die Länge der Zone
(= Meßlänge) wird nur von der Größe und Form des
in Meßobjektes begrenzt, sowie von sonstigen Versuchsgegebenheiten
(Heizofen, Gestänge u. ä.). Meßlängen < 1 min sind möglich.
Ein auf das Meßobjekt fokussierter Strahl eines Kleinlasers rastert mit Hilfe eines rotierenden PoIy-
Γ) gonspiegels die beschriebene Meßlänge ab. Ein Photodetektor
mit vorgeschalteter Optik wandelt das vom Meßobjekt reflektierte Laserlicht in Rechteckinipulse
um, deren Breite ein Maß für die momentane absolute Meßlänge ist. Ein Strahlungstciler lenkt einen Teil des
in vom Polygonspiegel abgelenkten Strahles über eine
verstellbare Blende auf einen zweiten gleichartigen Photodetektor. Dabei entsteht ein konstantes Referenzsignal,
deren Breite der Meßlänge /(l entspricht.
Die elektronische Subtraktion von Meß- und Rcfc-
ii renzsignal ergibt die Längenänderung Al = I1-I11.
Die elektronische Division dieser Differenz durch das Referenzsignal die relative Längenänderung t:
Eine Relativbewegung des Meüobjektes zum Meßgerät
ist ohne Bedeutung auf das Meßsignal, da sich
κι die dabei entstehenden Differenzsignalpaare durch
entgegengesetzte Vorzeichen aufheben. Durch die Division kürzen sich etwaige Schwankungen in der
Abtastfrequenz heraus. Störungen durch Fremdlicht werden durch eingebaute optische Filter, die auf die
,ι Wellenlänge des Lasers abgestimmt sind, ausgeschaltet.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (8)
1. Verfahren zur berührungslosen Längenmessung, bei der ein Laserstrahl abgelenkt wird und
kontinuierlich ein Meßobjekt abtastet, gekennzeichnet durch 3ie Vereinigung folgender
Merkmale:
a) auf dem Meßobjekt ist eine Zone mit unterschiedlichem Reflexionsverhalten aufgebracht,
b) mit einem der Meßlänge (/„) entsprechenden
Referenzsignal und mit einem der geänderten Lage (/,) entsprechenden Meßsignal wird
die relative Längenänderung E = (I1- I0)Iln
bestimmt.
2. Veifahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß das Meßobjekl im Bereich der Zone aufgerauht ist.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf das Meßobjekt im Bereich
der Zone eine Schicht aufgedampft ist.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis
3, dadurch gekennzeichnet, daß vom Meßobjekt reflektiertes Laserlicht in Rechteckimpulse umgewandelt
wird, deren Breite der momentanen absoluten Meßlänge entspricht.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis
4, dadurch gekennzeichnet, daß ein Teil des abgelenkten Laserstrahls ausgeblendet wird.
6. Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 5 mit einem Photodetektor,
gekennzeichnet durch einen Strahlungsteiler im Wege des Laserstrahls.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch einen zweiten Photodetektor zur Bildung
des Referenzsignals.
8. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, gekennzeichnet
durch einen Polygonspiegel zum Ablenken des Laserstrahls.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19762631663 DE2631663C3 (de) | 1976-07-14 | 1976-07-14 | Verfahren zur berührungslosen Längenmessung und Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19762631663 DE2631663C3 (de) | 1976-07-14 | 1976-07-14 | Verfahren zur berührungslosen Längenmessung und Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE2631663A1 DE2631663A1 (de) | 1978-01-26 |
| DE2631663B2 true DE2631663B2 (de) | 1980-05-22 |
| DE2631663C3 DE2631663C3 (de) | 1981-02-05 |
Family
ID=5983008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19762631663 Expired DE2631663C3 (de) | 1976-07-14 | 1976-07-14 | Verfahren zur berührungslosen Längenmessung und Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE2631663C3 (de) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3713279A1 (de) * | 1987-04-18 | 1988-11-03 | Feldmuehle Ag | Verfahren zum erfassen von dimensionsfehlern |
Families Citing this family (7)
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| DE3720303C2 (de) * | 1987-06-19 | 1993-09-30 | Schenck Ag Carl | Probeneinspannvorrichtung für Prüfmaschinen |
| DE4125485C2 (de) * | 1991-08-01 | 1994-05-19 | Deutsche Aerospace | Verfahren und Anordnung zur Messung kleinster Auslenkungen |
-
1976
- 1976-07-14 DE DE19762631663 patent/DE2631663C3/de not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3713279A1 (de) * | 1987-04-18 | 1988-11-03 | Feldmuehle Ag | Verfahren zum erfassen von dimensionsfehlern |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE2631663A1 (de) | 1978-01-26 |
| DE2631663C3 (de) | 1981-02-05 |
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