DE2631663A1 - Beruehrungslose messung relativer laengenaenderung auf der basis von laufzeitvergleichsmessungen von laser-reflexen bei kontinuierlicher abtastung der messlaenge - Google Patents

Beruehrungslose messung relativer laengenaenderung auf der basis von laufzeitvergleichsmessungen von laser-reflexen bei kontinuierlicher abtastung der messlaenge

Info

Publication number
DE2631663A1
DE2631663A1 DE19762631663 DE2631663A DE2631663A1 DE 2631663 A1 DE2631663 A1 DE 2631663A1 DE 19762631663 DE19762631663 DE 19762631663 DE 2631663 A DE2631663 A DE 2631663A DE 2631663 A1 DE2631663 A1 DE 2631663A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
length
measuring
laser beam
reflected
measurement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19762631663
Other languages
English (en)
Other versions
DE2631663C3 (de
DE2631663B2 (de
Inventor
Dieter Ing Grad Mertens
Horst-Guenter Ing Grad Popp
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mertens Dieter Dipl-Ing 8012 Ottobrunn De Po
Original Assignee
IABG Industrieanlagen Betriebs GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by IABG Industrieanlagen Betriebs GmbH filed Critical IABG Industrieanlagen Betriebs GmbH
Priority to DE19762631663 priority Critical patent/DE2631663C3/de
Publication of DE2631663A1 publication Critical patent/DE2631663A1/de
Publication of DE2631663B2 publication Critical patent/DE2631663B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2631663C3 publication Critical patent/DE2631663C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/02Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
    • G01S17/06Systems determining position data of a target
    • G01S17/08Systems determining position data of a target for measuring distance only

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

  • 1. Titel
  • Berührungslose Messung relativer Längenänderung auf der Basis von Laufzeitvergleichsmessungen von Laserreflexen bei kontinuierlicher Abtastung der Meßlänge 2. Anwendung: - Dehnungsgesteuerte Schwingversuche auch bei höherer Prüffrequenz und Temperatur -- Dehnungsmessungen an Kerben -- COD-Messungen (Bruchmechanik) -- Bestimmung der Dehngrenzen und des Elastizitätsmoduls an ultraspröden Werkstolfen -3. Stand der Technik 3.1 Konventionnelle Geräte zur Messung relativer Längenänderung erfordern einen direkten mechanischen Kontakt zum f4eßobjekt Damit werden die Anwendungsmöglichkeiten eingeschränkt.
  • Z.B. durch: Temperaturbeeinflussung des Meßfühlers bei Messungen oberhalb und unterhalb der Raumtemperatur Verletzung des Meßobjektes durch Schneiden Notwendigkeit einer bestimmten geometrischen Form der Meßstrecke 3.2 Berührungslose Extensomete@, die mit normalem Licht arbeiten, sind techni ;ch aufwendig und damit äußerst kostspielig. Die Meßlänge muß durch deutliche Schwarz-Weiß-Kanten markiert werden. Eine Änderung der Meßlänge bedeutet in der Regel ein Wechseln der Aufnahmeoptik.
  • Bisher bekannte berührungslose Meßverfahren mit Laserstrahlen (Laserinterferometer oder Prinzip der Intensitätsunterschiede) sind ebenfalls sehr aufwendig oder auf spezielle Ai wendungsgebiete beschränkt.
  • 4. Neßaufgabe Berührungslose Messung der relativen Längenänderung ( = Dehnung) voll statisch oder dynamisch belasteten Materialproben und Konstruktionselementen.
  • 5. Meßprinzip 5.1 Vorbereitung des Meßobjektes Am Meßobjekt wird eine Zone mit unterschiedlichem Reflexionsverhalten gegenüber der Umgebung benötigt.
  • Das Aufbringen der Zone geschieht durch g--ringfügige.s Aufrauhen der Oberflache oder durch Aufdampfen von matten Schichte (bevorzugt für Messungen bei höheren Temperaturen).
  • Die Breite der Zone muß nur geringfügig über dem Laserstrahldurchmesser liegen. Die Länge der Zone (= Meßlänge) wird nur von der Größe und @ Form des Meßobjektes begrenzt, sowie von sonstigen Versuchsgegebenheiten (Heizofen, Gestänge u.ä.). Meßlängen 4 1 mm sind möglich.
  • 5.2 Meßverfahren Ein auf das Meßobjekt fokussierter Strahl eines Kleinlasers rastert mit Hilfe eines rotierenden Polygonspiegels die in 5.1 beschriebene Meßlänge ab. Ein Photodetektor mit vorgeschalteter Optik wandelt das vom Meßobjekt reflektierte I,aserlicht in Rechteckimpulse um, deren Breite ein Maß für die momentane absolute Meßlänge ist. Ein Strahlungsteiler lenkt eine@ Teil des vom Polygonspiegel abgelenkten Stahles über eine verstellbare Blende auf einen zweiten gleichartigen Photodetektor. Dabei entsteht ein konstantes Referenzsignal, deren Breite der Meßlänge 10 entspricht. Die elektonische Subtraktion von Meß- und Referenzsignal ergibt die Längenänderung = l1 - l0. Die elektronische Division dieser Differenz durch ds Referenzsignal de relative Längenänderung £, Eine Relativbewegung des Meßobjektes zum Meßgerät ist chne Bedeutung auf das Meßergebnis, da sich die dabei entstehenden Differenzsignalpaare durch entgegengese-tzte Vorzeichen aufheben. Durch die Division kürzen sich etwaige Schwankungen in der Stbtastfrequenz heraus. Störungen durch Fremdlicht werden durch eingebaute optische Falter, die auf die Wellenlänge des Lasers abgestimmt sind, ausgeschaltet.
  • 6. Vorteile des Verfahrens Berührungslose Messung der relativen Längenänderung mit kontinuierlich verstellbaren Meßlängen an bewegten Teilen.
  • Für Messungen bei höheren Temperaturen sind nur geringe Spaltöffnungen in Heizofen notwendig.
  • Verwendung von beliebigen Probenformen Niedrige Herstellungskosten bei Serie@reife.
  • L e e r s e i t e

Claims (6)

  1. FORMULIERUNG DER ANSPRUCHE 1. ) Verfahren zur berührungslosen Messung relativer Längenänderungen dadurch gekennzeichnet, daß ein Laserstrahl mit Hilfe einer periodischen Strahlablenkung (siehe Blockschaltbild) eine Meßzone (=Meßlänge) mit unterschiedlichem Reflexionsverhalten gegenüber ihrer unmittelbaren Umgebung, definierbaren Länge auf einem beliebigen Meßobjekt überstreicht und daß die zu Beginn und Ende der Meßzone entstehenden Intensitätssprünge des vom Meßobjekt reflektierten Laserlichts zur Laufzeitmessung herangezogen werden, wobei die Laufzeit ein Maß für die momentane Länge der Meßlänge ist.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß die Intensitätssprünge von einem Photodetektor mit vorgeschalteter Optik (Sjrnmellinse und Interferenzfilter zur Ausschaltung von Störlicht) in Rechteckimpulse umgewandelt werden, deren Impulsbreite der LauFzeit und damit der Meßlänge verhältnisgleich ist.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1 und 2 dadurch gekennzeichnet, daß durch Strahlungsteilung nach der Strahlablenkung ein Teil des Laserstrahls eine verstellbare Blende überstreicht und mit Hilfe eines baugleichen Fotodetektors (wie in Anspruch 2) konstante Referenzsignale erzeugt und damit eine an sich bekannte Differenzmessung zur Darstellung kleinster Änderungen der Meßgröße ermöglicht.
  4. 4. Verfahren nach Anspruch 1 bis 3 dadurch gekennzeichnet, daß durch elektronische Division von Differenz- und Referenzsigral die gewünschte relative Längenänderung als Meßgröße am Ausgang zur Verfügung steht und gleichzeitig eine Frequenzschwankung der Strahlablenkung als mögliche Störgröße herausgekürzt wird.
  5. 5. AuFbringen der Meßlänge für das Verfahren nach Anspruch 1 bis 4 auf einem beliebigen Meßobjekt, dadurch gekennzeichnet, daß die notwendigen Reflexionsunterschiede durch geringfügiges Aufrauhen (mit einem Miniatur-Sandstrahlgebläse) erreicht wird
  6. 6. Aufbringen der Meßlänge für das Verfahren nach Anspruch 1 bis 5 dadurch gekennzeichnet, daß für Versuche bei höheren Temperaturen eine Schicht mit unterschiedlichem Reflexionsverhalten gegenüber der Umgebung der Meßlänge durch AuFdampfen aufgebracht wird.
DE19762631663 1976-07-14 1976-07-14 Verfahren zur berührungslosen Längenmessung und Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens Expired DE2631663C3 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19762631663 DE2631663C3 (de) 1976-07-14 1976-07-14 Verfahren zur berührungslosen Längenmessung und Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19762631663 DE2631663C3 (de) 1976-07-14 1976-07-14 Verfahren zur berührungslosen Längenmessung und Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2631663A1 true DE2631663A1 (de) 1978-01-26
DE2631663B2 DE2631663B2 (de) 1980-05-22
DE2631663C3 DE2631663C3 (de) 1981-02-05

Family

ID=5983008

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19762631663 Expired DE2631663C3 (de) 1976-07-14 1976-07-14 Verfahren zur berührungslosen Längenmessung und Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE2631663C3 (de)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0023643A1 (de) * 1979-08-02 1981-02-11 MFL Prüf- und Messysteme GmbH Verfahren und Vorrichtung zur photoelektrischen berührungslosen Messung von Dehnungsabläufen
DE3109790A1 (de) * 1980-03-15 1982-02-11 Omron Tateisi Electronics Co., Kyoto In reflexion arbeitendes fotoelektrisches schaltgeraet
DE3509163A1 (de) * 1985-03-14 1986-09-18 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 8000 München Verfahren und vorrichtung zum messen der laengsdehnung von materialien unter spannung
US4821579A (en) * 1987-06-19 1989-04-18 Carl Schenck Ag Apparatus for clamping a test sample in a testing machine
US4836031A (en) * 1987-11-27 1989-06-06 Carl Schenck Ag Method and apparatus for measuring deformations of test samples in testing machines
US4962669A (en) * 1987-06-19 1990-10-16 Carl Schenck Ag Method and apparatus for measuring deformations of test samples in a testing machine
DE4125485A1 (de) * 1991-08-01 1993-02-04 Deutsche Aerospace Laseroptischer sensor zur messung kleinster auslenkungen und daraus abgeleiteter messgroessen

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3713279C2 (de) * 1987-04-18 1994-01-20 Laser Sorter Gmbh Verfahren zum Erfassen von Dimensionsfehlern und/oder dem Verzug von Papierbahnen oder Formatpapieren

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0023643A1 (de) * 1979-08-02 1981-02-11 MFL Prüf- und Messysteme GmbH Verfahren und Vorrichtung zur photoelektrischen berührungslosen Messung von Dehnungsabläufen
DE3109790A1 (de) * 1980-03-15 1982-02-11 Omron Tateisi Electronics Co., Kyoto In reflexion arbeitendes fotoelektrisches schaltgeraet
DE3509163A1 (de) * 1985-03-14 1986-09-18 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 8000 München Verfahren und vorrichtung zum messen der laengsdehnung von materialien unter spannung
US4821579A (en) * 1987-06-19 1989-04-18 Carl Schenck Ag Apparatus for clamping a test sample in a testing machine
US4962669A (en) * 1987-06-19 1990-10-16 Carl Schenck Ag Method and apparatus for measuring deformations of test samples in a testing machine
US4836031A (en) * 1987-11-27 1989-06-06 Carl Schenck Ag Method and apparatus for measuring deformations of test samples in testing machines
DE4125485A1 (de) * 1991-08-01 1993-02-04 Deutsche Aerospace Laseroptischer sensor zur messung kleinster auslenkungen und daraus abgeleiteter messgroessen

Also Published As

Publication number Publication date
DE2631663C3 (de) 1981-02-05
DE2631663B2 (de) 1980-05-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4160598A (en) Apparatus for the determination of focused spot size and structure
DE2457253C2 (de) Optisches interferometrisches Verfahren und Vorrichtung zur berührungslosen Messung der durch Ultraschallwellen verursachten Oberflächenauslenkung eines Prüflings
US3804521A (en) Optical device for measuring surface roughness
EP0226658B1 (de) Verfahren und Anordnung für das optische Bestimmen von Oberflächenprofilen
US3822946A (en) Dimensional measuring apparatus using optical scan especially for hardness testing
DE3240234C2 (de) Oberflächenprofil-Interferometer
DE2814006A1 (de) Abtastinterferometer
EP0126475A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum berührungsfreien Messen der Ist-Position und/oder des Profils rauher Oberflächen
DE2607850A1 (de) Geraet zum optischen messen des profiles einer oberflaeche
EP0075032B1 (de) Verfahren zur interferometrischen Oberflächentopographie
US7002695B2 (en) Dual-spot phase-sensitive detection
US5041779A (en) Nonintrusive electro-optic field sensor
Tanner A skin friction meter, using the viscosity balance principle, suitable for use with flat or curved metal surfaces (based on thickness measurement)
DE3821046A1 (de) Verfahren zur weg- und winkelmessung
DE2631663A1 (de) Beruehrungslose messung relativer laengenaenderung auf der basis von laufzeitvergleichsmessungen von laser-reflexen bei kontinuierlicher abtastung der messlaenge
US3680961A (en) Measurement of particle sizes
DE2931332A1 (de) Verfahren ueber ein optoelektronisches messystem fuer werkstoffpruefmaschinen
DE2528209C3 (de) Optischer Feintaster
EP0218151B1 (de) Messverfahren und Vorrichtung zur berührungslosen Durchmesserbestimmung dünner Drähte
DE10139906B4 (de) Anordnung zur optischen Bestimmung der Absorption
EP0264734A2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum berührungslosen optischen Messen von Wegen, insbesondere im Triangulationsverfahren
US4687332A (en) Self-referencing scan-shear interferometer
DE2628836A1 (de) Optischer phasendiskriminator
DE3825606A1 (de) Kompakter aufbau eines michelson-interferomaters zur messung von laengen- und brechzahlaenderungen
EP0356563A1 (de) Verfahren und Messvorrichtung zur Ermittlung von Risslängen und/oder von Dehnungen an Bauteilen, Proben oder dgl.

Legal Events

Date Code Title Description
OAP Request for examination filed
OD Request for examination
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: MERTENS, DIETER, DIPL.-ING., 8012 OTTOBRUNN, DE PO

8339 Ceased/non-payment of the annual fee