DE2620895B2 - Einrichtung zur Messung der mittleren Rauhtiefe einer Werkstückoberfläche - Google Patents
Einrichtung zur Messung der mittleren Rauhtiefe einer WerkstückoberflächeInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung ^smäß dem
Oberbegriff des Anspruchs 1.
Unter dem Begriff Rauhtiefe R wird der Abstand zwischen der höchsten Spitze und dem tiefsten Tal des
Profils einer Werkstückoberfläche verstanden. Die mittlere Rauhtiefe R2 entlang einer Meßstrecke auf
einer Werkstückoberfläche kann man durch Messung der Rauhtiefen in mehreren Teilmeßstrecken und
Berechnung der arithmetischen Mittel sämtlicher Rauhtiefen bestimmen. Rz bestimmt sich nach der
Formel
R. =
Σ R1
wobei η die Zahl der Teilmeßstrecken und R, die
Rauhtiefe in der /-ten Meßstrecke ist. Die Mittelwertbildung dient dazu, den Einfluß zufällig auftretender
sogenannter »Ausreißer« auf das Meßergebnis zu verringern.
Zur Ermittlung der Rauhtiefe einer Werkstückoberfläche wird neuerdings nach einer DlN-Vorschrift der
Mittelwert aus fünf Rauhtiefenmessungen genommen.
Es ist bekannt, eine Parallelschaltung von z=10 Kondensatoren zu verwenden (DE-OS 16 73 865 und
DE-OS 19 24 975), von denen jeweils z/2 = 5 auf positive
Spannungsspitzen aufgeladen werden, die der jeweils an den betreffenden Meßstrecken gemessenen maximalen
Spitze des Oberflächenprofils entsprechen, und jeweils z/2 = 5 Kondensatoren auf negative Spannungsspitzen
aufgeladen werden, die jeweils dem in dem beireffenden Meßbereich gemessenen Tal «es, Oberflächenprofils
entsprechen. Durch einen mittels Schaltern erfolgenden Ladungsausgleich erhält man sozusagen automatisch
eine mittlere Aufladung der Kondensatoren, die der mittleren Rauhtiefe R, entspricht. Nachteilig ist bei
diesen bekannten Verfahren die notwendigerweise große Zahl von Kondensatoren und Schaltern, die
bauteilmäßig einen erheblichen Aufwand bedeutet. Ferner müssen zur Erzielung größerer Meßgenauigkeiten
die Kondensatoren möglichst die gleiche Kapazität aufweisen. Es muß also eine sorgfältige Auswahl
getroffen werden. Da in einem gewissen Maße Ladungsverluste der Kondensatoren auftreten, besteht
die Gefahr einer Verfälschung der Meßergebnisse.
Durch die DE-OS 19 30 840 ist eine Schaltungsanordnung
zur Addition elektrischer Signale bekannt, bei der zwei Kondensatoren sowie ein Schalter derart miteinander
verbunden sind, daß jedes Signal den Ladungszustand beider Kondensatoren um einen dem Signal
proportionalen Wert ändert, wobei vor dem Eintreffen des nächsten Signals der eine Kondensator durch den
Schalter entladen wird, wahrend der andere Kondensator den erreichten Ladungszustand beibehält. Diese
Schaltungsanordnung hat den Nachteil, daß immer nur Bruchteile der zu addierenden elektrischen Signale
addiert werden können. Es ist angegeben, daß der jeweils seinen Ladungszustand beibehaltende Kondensator
sehr groß sein muß im Verhältnis zur Summe der beiden Kondensatoren, woraus sich ergibt, daß die
genannten Bruchteile extrem klein sein müssen. Damit
ergeben sich beträchtliche Schwierigkeiten bei der Störanfälligkeit und weiteren Auswertung, zumal dann,
wenn später noch eine Division durch die Anzahl der addierten Spannungen zum Zwecke einer Mittelwertbildung
erfolgen soll. In keinem Fall ist eine genaue, sondern immer nur eine näherungsweise Addition
möglich.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, die Nachteile der bekannten Verfahren und
Einrichtungen zu vermeiden und eine Einrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, die einen geringen
Bauteilaufwand erfordert und genauere Meßergebnisse liefert
Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe wird dadurch gelöst, daß die Einrichtung zur Bestimmung der
Differenzspannungen an einen ersten Eingang der Summiereinrichtung angeschlossen ist und diesem
nacheinander die ermittelten Differenzspannungen zuführt, daß der Ausgang der Summiereinrichtung an
eine erste Speicherstufe einer zweistufigen Speichereinrichtung angeschlossen ist, deren zweite Stufe an einen
zweiten Eingang der Summiereinrichtung zurückgeführt ist, und daß eine Steuereinrichtung vorgesehen ist,
die am Ende jeder Meßstrecke die Trennung der ersten Speicherstufe, die Übernahme des in der Summiereinrichtung
gebildeten Summenwertes in die erste Speicherstufe und die Löschung der zweiten Speicherstufe
sowie anschließend die Trennung der erster. Speicherstufe von der Summiereinrichtung, das Verschieben
des Summenwertes auf die zweite Speicherstufe und das Löschen der ersten Speicherstufe bewirkt.
Die erfindungsgemäße Lösung besteht also darin, die Spannungen nacheinander der Summie; einrichtung
zuzuführen, den ersten Summanden (Spannung), beispielsweise Ru in die .Summiereinrichtung zu geben, die
als Ergebnis R\ liefert, dieses Ergebnis R\ zum Summierer zurückzuführen und mit dem nächsten
zugeführten Summanden, beispielsweise R2, zu addieren,
das Ergebnis R\ + R2 wiederum dem Summierer
zuzuführen und mit dem dritten Summanden, beispielsweise Rj, zu addieren, das Ergebnis /?i + R2+ R3 wieder
dem Summierer zuzuführen usw., bib schließlich, beispielsweise bei fünf Teilmeßstrecken und entsprechend
fünf Summanden (Spannungen) die Summiereinrichtung das Ergebnis R, liefert, das dann nur noch durch
die Zahl der Summanden, hier fünf, geteilt zu werden braucht, um die gewünschte mittlere Rauhtiefe
zu erhalten.
Anders ausgedrückt besteht die erfindungsgemäße Lösung darin, die jeweils im Summierer gebildete
Spannungsteilsumme vor Zuführung des nächsten Spannungswertes wieder der Summiereinrichtung einzugeben,
so daß bei Zuführung der nächsten Teilsumme der Addierer die vorher gebildete Teilsumme mit dem
neu zugeführten Spannungswert addiert. Die jeweils gebildete Teilsumme wird also zyklisch mit ihrem
genauen Wert zurückgeführt, so daß keine Speicher für die einzelnen Teilspannungen erforderlich sind. Diese
zurückgeführte Teilsumme hat immer den exakten Wert, so daß auch das Ergebnis exakt ist.
Die erfindungsgemäße Speichereinrichtung wirkt sozusagen wie ein Schiebespeicher. Das schrittweise
Verschieben der Sum nenspannung vom Ausgang der Summiereinrichtung bis zu deren zweiten Eingang unter
Trennung der beiden Speicherstufen bei Übernahme in die erste Stufe und Trennung der ersten Stufe von der
Summiereinrichtung bei Übernahme in die zweite Stufe innerhalb der Meßzeit für eine Meßstrecke sichert, daß
der Summenwert zwecks weiterer Aufsummierung zeitlich rechtzeitig am zweiten Eingang der Summiereinrichtung
erscheint und ferner, daß schädliche Rückkopplungswirkungen im Summierkreis aufgrund
der jeweiligen im Rückführungszweig stehenden Sum-ο menspannung vermieden werden.
Gemäß einer zweckmäßigen Ausgestaltung der Erfindung ist die erste Speicherstufe zur Trennung von
der Summiereinrichtung über einen ersten Schalter mit dem Ausgang der Summiereinrichtung und zur Trennung
von der zweiten Speicherstufe über einen zweiten Schalter mit der zweiten Speicherstufe verbunden ist
dessen Ausgang an dem zweiten Eingang der Summiereinrichtung angeschlossen ist, wobei die Stellungen der
Schalter so gesteuert sind, daß der eine Schaher öffnet wenn der andere schließt
Zweckmäßig erfolgt die Steuerung iabei so, daß die Steuereinrichtung am Ende jeder Meßstrecke nach
erfolgter Summenbildung in der Summiereinrichtung gleichzeitig den zweiten Schalter öffnet und den ersten
Scha! er schließt und die zweite Speicherstufe löscht und dann gleichzeitig den ersten Schalter öffnet und den
zweiten Schalter schließt und die erste Speicherstufe löscht.
Die am Ausgang der Summiereinrichtung erscheinende Spannung bzw. Summenspannung wird durch
Schließen des ersten Schalters in den ersten Speicher übernommen, wobei gleichzeitig der zweite Schalter
geöffnet und der zweite Speicher gelöscht wird. Anschließend wird der Inhalt des ersten Speichers durch
j) Schließen des zweiten Schalters in den zweiten Speicher
geschoben, wobei gleichzeitig der erste Schalter geöffnet und der erste Speicher gelöst wird. Der Inhalt
des zweiten Speichers gelangt automatisch an den Eingang der Summierschaltung und kann nun mit dem
4(i nächsten Meßwert addiert werden. Durch die aufeinanderfolgenden
Speicher- und Löschvorgänge und das wechselseitige Schließen und öffnen der beiden
Schalter werden nachteilige Rückwirkungen auf die Summiereinrichtung und damit Additionsfehler vermie-
4Ί den.
Der schaltungsmäßige Aufwand wird gemäß einer zweckmäßigen weiteren Ausgestaltung der Erfindung
dadurch gering gehalten, daß jede Speicherstufe nur einen Kondensator zur Speicherung der Ausgangsspan-
>() nung der Summiereinrichtung aufweist.
Um Ladungsverljste zu vermeiden, sind gemäß einer Weiterbildung der Erfindung Impedanzwandler zwiscMr.
den beiden Kondensatoren bzw. den beiden Speicherstufen und der zweiten Speicherstufe bzw. dem
τ. zweiten Kondensator und der Sumnikreinnchtung
vorgesehen.
Zweckmäßig ist die Steuereinrichtung so ausgeführt, daß sie am Ende der letzten Meßstrecke die Zufuhr des
in der Summierunrichtung gebildeten letzten Summen-
wi wertem zu der Einrichtung zur Bildung des Mittelwertes
steuert.
Die Erfindung soll nun anhand der Zeichnung, in der ein Ausführungsbeispiel schematisch dargestellt ist,
näher erläutert werden.
μ Es sind
Fig. 1 ein Blockdiagramm der erfindungsgemüBen
Einrichtung,
F i g. 2 ein Prinzipschaltbild des Teiles der crfiudungs-
F i g. 2 ein Prinzipschaltbild des Teiles der crfiudungs-
gemäßen Einrichtung zur Erzeugung der der jeweiligen
Rauhtiefe entsprechenden Spannung,
F i g. 3 ein Prinzipschaltbild der Summierschaltung.
In der Fig. 1 ist mit der Bezugsziffer 2 ein Längenmeßtaster bezeichnet, der die Oberfläche eines
Werkstücks 4 abtastet. Die vom Längenmeßtaster gemessenen Spannungen, die den höchsten Spitzen und
tiefsten Tälern der Meßstrecke entsprechen, werden einer Einrichtung 5 zur Speicherung der positiven und
negativen Spitzen und Erzeugung der der Rauhtiefe entsprechenden Differenzspannung zugeführt. Die
Einrichtung 5 ist an einen Eingang 6 einer Summiereinrichtung 7 angeschlossen, die über einen ersten Schalter
8 mit einem ersten Speicher 10 verbunden ist. Der Speicher 10 ist über einen zweiten Schalter 12 mit einem
zweiten Speicher 14 verbunden, welcher über eine Leitung 16 an einen zweiten Eingang 17 der
Summiereinricniung 6 angest-mussen im. Der Speicher
10 weist eine Ausgabeleitung 18 auf, die zu einer Einrichtung zur Mittelwertbildung und Anzeigeeinrichtung
20 führt. Die Schalter 8 und 12 sind beispielsweise in Form von Doppelschaltern ausgeführt, derart, daß
beide nicht gleichzeitig geschlossen sind.
Die Einrichtung gemäß F i g. 1 funktioniert folgendermaßen: Von der dem Meßtaster 2 nachfolgenden
Auswerteschaltung werden nacheinander Meßspannungen Ur der Summiereinrichtung 7 zugeführt, die den
Rauhtiefen R, in einer bestimmten Zahl geeignet gewählter Meßstrecken, beispielsweise fünf Meßstrekken,
der Oberfläche des zu überprüfenden Werkstückes 4 entsprechen. Der erste dem Eingang 6 der
Summiereinrichtung 7 zugeführte Spannungswert Ur ι gelangt, da am Eingang 17 bei Meßbeginn der
Spannungswert 0 anliegt, unverändert an den Ausgang der Summiereinrichtung. Durch Schließen des Schalters
8 wird Ur \ auf den Speicher 10 übertragen durch nachfolgendes Schließen des Schalters 12 auf den
Speicher 14 und von dort auf den Eingang 17 der Summiereinrichtung.
Beim Einlaufen des zweiten Spannungswertes Ur2
erhöht die Summiereinrichtung den am Eingang 17 anstehenden Spannungswert Ur\ und Ur2, so daß am
Ausgarg die Summe Ur ] + Ur 2 erscheint, die, wie
zuvor iür Ur ι beschrieben wurde, zum Eingang 17 der Summiereinrichtung 7 geschoben wird. Diese Vorgänge
wiederholen sich für sämtliche Meßspannungen Ur \ bis Ur^. Nach Durchführung der letzten Addition wird die
Summenspannung über die Leitung 18 der Einrichtung zur Mittelwertbildung zugeführt und der Mittelwert
Ri
zur Anzeigegebracht. Er ist ein Maß für die zu messende
mittlere Rauhtiefe.
Die einzelnen Additions- und Verschiebevorgänge können über eine geeignete Steuereinrichtung, die
beispielsweise in bestimmten aufeinanderfolgenden Takten die Übernahme der Spannungswerte in den
Speicher 10, das Löschen dieses Speichers und die Übernahme in den Speicher 14, dessen Löschen und die
Zufuhr zum Eingang 17 der Summiereinrichtung 7 steuert, gesteuert werden.
Zur zeitrichtigen Weiterleitung der Surnmenspannung zur Mittelwertbildung kann beispielsweise ein
Zähler mitlaufen, der jedesmal nach Beendigung eines Additionsvorganges um eins weiterzählt und beim
Erreichen der der letzten Addition entsprechenden Zahl einen Impuls abgibt, durch den die Übernahme des
Summenwertes in die Einrichtung zur Mittelwertbildung bewirkt wird.
Die Verschiebezykluszeit kann der jeweiligen Meßgeschwindigkeit
ohne weiteres derart angepaßt werden, daß keine Fehler bei der Summenbildung auftreten.
Es soll nun Bezug genommen werden auf das Prinzipschaltbild nach F i g. 2. Die Schaltung weist zwei
elektrische Speicher 30 und 32 auf, die aufgrund der vorgeschalteten Dioden 34 und 36 von dem Eingang 38
zugeführten den Spitzen und Tälern des Oberflächenprofils des zu prüfenden Werkstücks entsprechenden
positiven und negativen Spitzenspannungen aufgeladen werden, und zwar der Speicher 30 auf die jeweilige
negative und der Speicher 32 auf die jeweils positive Spannungsspitze. Die Spannungen werden dem nachgescriäitctcn
Diiicncnzvcrsiarricr 40 zugeführt, ϊίΐ dcrn ehe
der Rauhtiefe entsprechende Differenzspannung erzeugt wird, die dann dem in der Fig.3 dargestellten
Summierkreis zugeführt wird. Der positive und negative Spitzenspeicher ist jeweils mit einem Schalter 42 und 44
verbunden, über die die Speicher zwecks Speicherung des nächsten positiven und negativen Speicherpaares
und Berechnung der Differenzspannung gelöscht werden können.
In d<; Fig. 3 ist beispielhaft ein Prinzipschaltbild des
Summierkreises gemäß der vorliegenden Erfindung dargestellt, dem über den Anschluß 50 die den
Rauhtiefen der einzelnen Meßstr-icken entsprechenden
Spannungen [/,nacheinander zugeführt werden. Für die
nachfolgende Betrachtung soll, wie bereits im Zusammenhang mit der F i g. 1 geschehen, angenommen
werden, daß die Oberfläche des zu überprüfenden Werkstückes in fünf Teilstücke eingeteilt ist.
Die aufzusummierenden Spannungswerte gelangen über den Eingang 52 in den Summierer 54. Nach Beginn
der Messung lädt der Summierer 54 (Verstärkung V= 1) am Ende der ersten Meßstrecke zunächst über einen
Schalter 56 einen Kondensator 58 auf den Spannungswert Ur ] auf. Danach sperrt der Schalter 56 und über
den Verstärker 60 (Feldeffekt-Operationsverstärker, Verstärkung V=I), der als Impedanzwandler wirkt,
wird der Spannungswert Ur ι über einen Schalter 62, der
beim Schließen des Schalters 56 offen war, auf den Kondensator 64 übertragen und von dort über eine
Verstärkerstufe 66 auf einen weiteren Eingang 68 der Summiereinrichtung 54. Am Ende der zweiten Meßstrecke
erscheint am Eingang 52 der Spannungswert Ur 2, der mit dem am Eingang 68 ansteh nden
Spannungswert Ur \ zu dem Summenwert Ur \ + Ur2
addiert wird, der am Ausgang des Summierers 54 erscheint und auf die oben beschriebene Art wieder dem
Eingang 68 des Summierers zugeführt wird zwecks Aufsummierung auf den dritten Spannungswert Uta.
Diese Vorgänge wiederholen sich solange, bis am Ausgang des Summierers 54 die Gesamtsummenspannung
Σ υ,
i= 1
R,
erscheint, deren Mittelwert
Σ U1
'Ri
der gesuchten mittleren Rauhtiefe entspricht Der
Mittelwert wird über das Instrument 70 zur Anzeige gebracht, was beispielsweise bei einer vorgegebenen
Zahl von TeilmeÖstrecken über einen geeigneten Spannungsteiler 72 erfolgen kann.
Von Vorteil ist bei dieser Schaltung der geringe Steueraufwand. Um Rückkopplungseffekte zu vermeiden,
massen die Schalter 56 und 62 so gesteuert werden,
daß nicht beide zur gleichen Zeit geschlossen sind. Die
beiden als Schiebespeicher ausgebildeten Speicher lassen es dabei zu, daß der im Kondensator 64
gespeicherte Summenwert über die gesamte Summierteilstrecke ohne Rückwirkungen anliegen kann. Eine
Übernahme in einen gesonderten Speicher, aus dem der Wert zwecks weiterer Aufsummierung jeweils abgerufen
werden muß, ist somit nicht notwendig.
Ik't/u _ IiLiIl
Claims (6)
1. Einrichtung zur Messung der mittleren Rauhtiefe einer Werkstücksoberfläche mit einem elektrisehen
Längenmeßtaster, der über die in π Meßstrekken, beispielsweise fünf, aufgeteilte Oberfläche des
zu prüfenden Werkstückes bewegt wird und den Tälern und Spitzen des Oberflächenprofils des
Werkstückes entsprechende elektrische Spannungen erzeugt, mit einer Einrichtung zur Bestimmung
der den π Rauhtiefen entsprechenden Differenzspannungen
zwischen den der höchsten Spitze und dem tiefsten Tal einer jeden Meßstrecke entsprechenden
Spannungen, mit einer Summiereinrichtung und einer Einrichtung zur Mittelwertbildung, dadurch
gekennzeichnet, daß die Einrichtung (5) zur Bestimmung der Differenzspannungen an
einen ersten Eingang (6) der Summiereinrichtung (7) angeschlossen ist und diesem nacheinander die
ermittelten Differenzspannungen zuführt, daß der Ausgang der Summiereinrichtung (7) an eine erste
Speicherstufe (10) einer zweistufigen Speichereinrichtung angeschlossen ist, deren zweite Stufe (14)
an einen zweiten Eingang (17) der Summiereinrichtung (7) zurückgeführt ist, und daß eine Steuereinrichtung
vorgesehen ist, die am Ende jeder Meßstrecke die Trennung der ersten Speicherstufe
(10), die Übernahme des in der Summiereinrichtung (7) gebildeten Summenwertes in die erste Speicherstufe
(10), und die Löschung der zweiten Speicherstufe sowie anschließend Jie Trennung der ersten
Speicherstufe (10) von der Sunmiereinrichtung (7), das Verschieben des Summt '.wertes auf die zweite
Speicherstufe (14) und das Löschen der ersten Speicherstufe (10) bewirkt.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Speicherstufe (10) zur
Trennung von der Summiereinrichtung (7) über einen ersten Schalter (8 oder 56) mit dem Ausgang
der Summiereinrichtung und zur Trennung von der zweiten Speicherstufe (14) über einen zwtiten
Schalter (12 oder 62) mit der zweiten Speicherstufe (14) verbunden ist, dessen Ausgang an dem zweiten
Eingang (17) der Summiereinrichtung angeschlossen ·»·>
ist, wobei die Stellungen der Schalter so gesteuert sind, daß der eine Schalter öffnet, wenn der andere
schließt.
3. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuereinrichtung am Ende jeder >n
Meßstrecke nach erfolgter Summenbildung an der Summiereinrichtung (7) gleichzeitig den zweiten
Schalter (12 oder 62) öffnet und den ersten Schalter (8 oder 56) schließt und die zweite Speicherstufe (14)
löscht und dann gleichzeitig den ersten Schalter (8 ü oder 56) öffnet und den zweiten Schalter (12 oder 62)
schließt und die erste Speicherstufe (10) löscht.
4. Einrichtung nach einem der Ansprüche I bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Speicher-Stufen
(10, 14) jeweils einen Kondensator (58, 64) aufweisen.
5. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen beide Kondensatoren und
den Eingang (17) der Summiereinrichtung (7) jeweils ein Impedanzwandler (60,66) geschaltet ist. es
6. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuereinrichtung
am Ende der letzten Meßstrecke die Zufuhr des in der Summiereinrichtung (7) gebildeten letzten
Summenwertes zu der Einrichtung zur Bildung des Mittelwertes (20) steuert
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19762620895 DE2620895C3 (de) | 1976-05-12 | 1976-05-12 | Einrichtung zur Messung der mittleren Rauhtiefe einer Werkstückoberfläche |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19762620895 DE2620895C3 (de) | 1976-05-12 | 1976-05-12 | Einrichtung zur Messung der mittleren Rauhtiefe einer Werkstückoberfläche |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2620895A1 DE2620895A1 (de) | 1977-11-17 |
DE2620895B2 true DE2620895B2 (de) | 1980-03-27 |
DE2620895C3 DE2620895C3 (de) | 1980-11-20 |
Family
ID=5977696
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19762620895 Expired DE2620895C3 (de) | 1976-05-12 | 1976-05-12 | Einrichtung zur Messung der mittleren Rauhtiefe einer Werkstückoberfläche |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE2620895C3 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3590145C2 (de) * | 1984-04-10 | 1990-02-22 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd., Tokio/Tokyo, Jp |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2459448A1 (fr) * | 1979-06-18 | 1981-01-09 | Indre Sa Forges Basse | Procede et dispositif pour la detection de defauts d'epaisseur d'une bande en defilement continu |
US4573131A (en) * | 1983-08-31 | 1986-02-25 | John Corbin | Method and apparatus for measuring surface roughness |
-
1976
- 1976-05-12 DE DE19762620895 patent/DE2620895C3/de not_active Expired
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3590145C2 (de) * | 1984-04-10 | 1990-02-22 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd., Tokio/Tokyo, Jp |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2620895C3 (de) | 1980-11-20 |
DE2620895A1 (de) | 1977-11-17 |
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