DE2555902A1 - Turbomolekularpumpe - Google Patents

Description

Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar GmbH, 6334 Aßlar

Turbomoi eku! arpumpe

Die Erfindung betrifft eine Turbomolekularpumpe, deren Ansaugöffnung axial angeordnet ist und die in allen Lagen betrieben werden kann.

Turbomo'.ekuiarpumpen mit axia! angeordneter Ansaugöffnung sind bekannt, jedoch haben alle Konstruktionen; die mit öigeschmierten Wälzlagern betrieben werden, den Nachteil, daß sie beim Betrieb vertikal ancjeordnet werden müssen. Die Folge fst, daß zum Anschluß an einen z. B. für horizontalen Durchfluß orientierten Flansch ein teures Winkelstück verwendet werden muß, was einen erheblichen Saugvermögensverlust zur Folge hat und eine zusätzliche Dichtung notwendig macht.

Der Grund des Nachteils bei den bekannten Turbomolekularpumpen ist die Konzeption der Ölschmierung der Lager- An der tiefsten Stelle der Pumpe befindet sich ein Ölsammelgefäß, aus weichem das Öl durch eine Pumpe zu den beiden Lagern gefördert wird. Das aus den Lagern zurückfließende Öl wird gesammelt und dem Öigefäß durch die Schwerkraft wieder zugeführt: Eine solche Anordnung bringt es mit sich, daß die Pumpe nur in senkrechter Lage betrieben werden kann, wie z. B. in der DT AS 17 28 beschrieben. . .

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Turbomolekularpumpe der eingangs genannten Art mit einer Lagerschmierung auszubilden, welche es gestattet, die Turbomolekuiarpumpe in allen Lagen zu betreiben.

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Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß jedes Wälzlager von einem Gehäuse umgeben ist. Der freie Raum Innerhalb dieses Gehäuses ist.mit einem porösen, saugfähigen Material ausgefüllt, welches in seinem Gefüge das zur Schmierung erforderliche Öl aufnimmt» Durch die Kapillarwirkung wird das Öl in jeder Lage der Pumpe festgehalten. Als poröses Material kann ζ. B. Sintermaterial, Dochtgewebe oder Filz Verwendung finden.

Zur Schmierung des Lagers wird innerhalb des Lagergehäuses ein Ölkreislauf erreichtj indem von dem öl aufnehmenden Füllmaterial direkt oder mit Hilfe eines ähnlich geeigneten Materials Brücken zur Lagerwelle hergestellt werden. Die Welle ist an diesen Berührungsstellen konisch ausgebildet, so daß am größten Durchmesser, der sich dann in unmittelbarer Nähe des Lagers befindet, Spritzkanten gebildet werden.

Das über die Brücke an die Welle abgegebene Schmiermittel fließt an der konischen Oberfläche der Welle entlang und wird von der Spritzkante zerstäubt und zwischen Innen- und Außenring des Wälzlagers geschleudert.

Die Schmiermittelabgabe an das Wälzlager kann von einer Seite oder auch von beiden Seiten des Lagers her erfolgen.

Um ein Kriechen des im Gehäuseinneren festgehaltenen Schmiermittels nach außen über die Oberfläche zu unterbinden, ist es vorteilhaft, das Gehäuse aus ölabweisendem Kunststoff herzustellen. Auch eine Beschichtung mit entsprechendem Material erfüllt diesen Zweck. Diese Maßnahme ist vor allem geeignet, das Kriechen des Schmiermittels auf der Welle außerhalb des Lagergehäuses zu verhindern.

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Im einzelnen wird die-Erfindung anhand der Zeichnung, die eine erfindungsgemäße Turbomolekularpumpe im Längsschnitt darstellt, näher eriäute?rt:

In einem Gehäuse 1 befindet sich der Rotor 2 mit seiner Rotorweile 3, die durch den Motor 4 angetrieben wird- Die Welle ist durch die Wälzlager 5 und 6 gelagert. Es sei hier nur das Lager 5 näher betrachtet» Durch die Lagerdeckel 7 und 8 wird ein Lagergehäuse gebildet, welches beiderseits der das lagertragenden Gehäusewand mit den Filzschichten 9 und 1Ö gefüllt ist. Die tragende Gehäusewand hat rund um das Lager herum Bohrungen 11, die auch mit Filz ausgefüllt sind und für die Verbindung zwischen der oberen und unteren Filzlage sorgen. Die Welle 3 hat Verstärkungen 12 und 13, weiche in der Nähe des Lagers in die Spritzkanten 14 und 15 auslaufen. An den Stellen 16 und 17 hat die Filzfüllung Berührung mit diesen konischen Verstärkungen und gibt dort das Öl an die Welle ab, von wo aus es in das Lager 5 geschleudert wird. In diesem Beispiel hat die Filzfüllung direkt mit der Verstärkung auf der Welle Berührung. Die Übertragung des Öles kann auch insbesondere bei Verwendung von Sintermateria! durch Zwischenschaltung eines Dochtes erfolgen.

Der Vorteil dieser Anordnung besteht darin, daß eine solche Turbomolekularpumpe in jeder Lage im Raum an dem Rezipienten angeflanscht werden kann und daß ein Ölsammelgefäß und eine Ölpumpe vermieden wird.

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Claims (1)

1. Anspruch 1 - Turbomolekularpumpe mit axial angeordneter Ansaugöffnung und öl geschmierten Rotorlagern, dadurch gekennzeichnet, daß jedes Lager von einem Gehäuse umgeben ist, dessen freier Innenraum mit einem saugfähigen, ölgetränkten Material ausgefüllt ist, welches mit der Welle Berührung hat, so daß diese mit Öl benetzt wird, wobei die Berührungsstellen der Welle in der Weise konisch gestaltet sind, daß in unmittelbarer Nähe des Lagers eine Spritzkante gebildet wird«

   Anspruch 2 - Turbomolekularpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Lagergehäuse aus einem öl abweisenden Kunststoff besteht oder mit einem ölabweisenden Kunststoff beschichtet ist.

   Anspruch 3 - Turbomolekularpumpe nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Weile in der Umgebung des Lagers mit ölabweisendem Kunststoff beschichtet ist.

   Anspruch 4 - Turbomolekularpumpe nach den Ansprüchen 1 bis 3_} dadurch gekennzeichnet, daß als poröses Material Filz oder/und ein Dochtgewebe eingesetzt wird.

   Anspruch 5 - Turbomolekularpumpe nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß als poröses Material Sinterkörper verwendet werden.

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