DE2549655B2 - Akustooptische Lichtablenkungsvorrichtung - Google Patents

Akustooptische Lichtablenkungsvorrichtung

Info

Publication number
DE2549655B2
DE2549655B2 DE2549655A DE2549655A DE2549655B2 DE 2549655 B2 DE2549655 B2 DE 2549655B2 DE 2549655 A DE2549655 A DE 2549655A DE 2549655 A DE2549655 A DE 2549655A DE 2549655 B2 DE2549655 B2 DE 2549655B2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
medium
acousto
optical
heat sink
transducer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE2549655A
Other languages
English (en)
Other versions
DE2549655C3 (de
DE2549655A1 (de
Inventor
D.K. Woodside Biegelsen
G.K. Saratoga Starkweather
James C. Mountain View Zesch
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Xerox Corp
Original Assignee
Xerox Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Xerox Corp filed Critical Xerox Corp
Publication of DE2549655A1 publication Critical patent/DE2549655A1/de
Publication of DE2549655B2 publication Critical patent/DE2549655B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2549655C3 publication Critical patent/DE2549655C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/11Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on acousto-optical elements, e.g. using variable diffraction by sound or like mechanical waves
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/0009Materials therefor
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/29Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
    • G02F1/33Acousto-optical deflection devices
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49005Acoustic transducer

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft eine akustooptische Lichtab-lenkungsvorrichtung mit einem akustooptischen Medium und einem damit gekoppelten piezoelektrischen Schallwandler zur Erzeugung modulierter Schallwellen, die in dem Medium ein Beugungsgitter für einen durch das Medium laufenden Lichtstrahl bilden.
Eine derartige Vorrichtung ist aus IEEE Spectrum, 4(1967), Seite 42—54 bekannt. Bei akustooptischen Lichtablenkungsvorrichtungen wird für das Medium gewöhnlich ein Material mit einem hohen Brechungsindex, wie beispielsweise Tellurglas, verwandt. Elektrooptische Lichtablenkungsvorrichtungen finden Anwendung als Lichtablenkungseinrichtungen bei optischen Speichern, akustischen Verzögerungsleitungen, akustischen Schaltern und Modulatoren. Eine vom Wandler erzeugte Schallwelle moduliert den Brechungsindex des
Mediums, das seinerseits das Licht in eine bevorzugte Richtung beugt wenn das Licht nahe am Braggschen Winkel auf das Medium auftrifft Das Medium wirkt als Beugungsgitter, dessen Gitterkonstante gleich der Wellenlänge der Schallwelle im Medium ist
Da die Stärke der in das akustooptische Medium eintretenden Schallwelle von der Qualität der Verbindung zwischen dem Wandler und dem akustooptischen Medium abhängt ist diese Verbindung von besonderer Bedeutung. Aus der US-PS 37 98 746 ist zu entnehmen, daß die Verbindung zwischen dem Wandler und dem akustischen Medium verbessert werden kann, indem bestimmte Verfahrensschritte durchgeführt werden und spezielle Metalle als Grundierungsmetall verwendet werden.
Aufgabe der Erfindung ist es dagegen, die akustooptische Lichtablenkungsvorrichtung der eingangs genannten Art so auszubilden, <2aß sie einfacher herstellbar ist
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst daß das Medium aus Kunststoff besteht und der Schallwandler in das Medium eingegossen ist
Dadurch, das erfändungsgemäß der Schallwandler in das Medium eingegossen ist erübrigt sich die Verwendung eines zusätzlichen Bindemittels zwischen dem Schallwandler und dem Medium, was eine Ersparnis an teuren Materialien bedeutet und sind gleichfalls zusätzliche Schneid- und Polierarbeitsvorgänge überflüssig.
Ein bevorzugtes Verfahren zur Herstellung einer derartigen Lichtablenkungsvorrichtung besteht darin, daß in eine Form mit die gewünschte optische Konfiguration des akustooptischen Mediums der Vorrichtung festlegenden Abmessungen ein piezoelektrischer Schallwandler eingesetzt wird und daß ein erhitztes Kunststoffmaterial in die Form eingespritzt wird. Auf diese Weise wird ein Spritzgußkörper gebildet, der der gewünschten Konfiguration entspricht und in den der Wandler eingegossen ist
Die erfindungsgemäße Vorrichtung wird im einzelnen so hergestellt, daß zuerst der Schallwandler in eine Form eingesetzt wird, die so ausgebildet ist, daß sie die gewünschte Form des akustooptischen Mediums liefert. Geschmolzenes Kunststoffmaterial wird durch eine öffnung in der Form eingespritzt und beim Abkühlen wird der Wandler ohne zusätzliches Bindemittel mit dem akustooptischen Medium verbunden, wobei das Medium die gewünschte optische Konfiguration aufweist
Ferner kann ein Kühlkörper vorgesehen sein, der mit dem akustooptischen Medium während des Einspritzvorganges verbunden wird. Vor dem Einspritzen des geschmolzenen Kunststoffs wird ein Kupfermantel in der Form angeordnet, wobei dieser Kupfermantel eine öffnung aufweist, die zu der öffnung in der Form zum Einspritzen des Kunststoffmaterials zwischen dem Mantel und der den Wandler tragenden Seite der Form ausgerichtet ist. Nachdem das Kunststoffmaterial eingespritzt ist, sind sowohl der Kühlkörper als auch der Wandler ohne zusätzliches Bindemittel mit dem akustooptischen Medium verbunden.
Im folgenden werden anhand der zugehörigen Zeichnung bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung näher erläutert.
F i g. 1 zeigt eine schematische Darstellung einer bekannten akustooptischen Vorrichtung.
F i g. 2 zeigt in einer perspektivischen Ansicht ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen akustooptischen Vorrichtung.
F i g. 3 zeigt eine isometrische Darstellung einer einen Wandler enthaltenden Form, die bei der Herstellung eines Ausführungsbeispieles der erfindungsgemäßen akustooptischen Vorrichtung verwandt wird.
Fig.4 zeigt eine isometrische Darstellung eines Wandlers, der mit dem Material des Mediums gekoppelt ist.
F i g. 5 zeigt eine F i g. 3 ähnliche Ansicht.
F i g. 1 zeigt eine bekannte akustooptische Lichtablenkungsvorrichtung, die aus einem akustooptischen Medium besteht, durch das ein einfallender Lichtstrahl 3 hindurchläuft, der durch eine Linse 5 fokussiert werden solL Der Strahl 3 kann ein schmaler, stark kollimierter Lichtstrahl sein, der beispielsweise von einem Laser erzeugt wird. Ein piezoelektrischer Wandler 7 ist mit dem Medium 1 verbunden, um eine Schallwelle im Medium 1 zu erzeugen, wenn er elektrisch beaufschlagt wird. Die Schallwellen modulieren den Brechungsindex des Mediums 1, das den Lichtstrahl 3 in eine bevorzugte Richtung beugt, wenn das Licht nahe am Braggschen Winkel auf das Medium 1 trifft Auf diese Weise wird der durch das Medium 1 gehende Lichtstrahl 3 durch ein moduliertes Trägersignal, in diesem ein elektrisches Signal, moduliert.
In F i g. 2 ist ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen akustooptischen Lichtablenkungsvorrichtung dargestellt. Ein Laserstrahl trifft auf das akustooptische Medium 11 auf und kann durch Schallwellen moduliert werden, die vom Wandler 14 erzeugt werden, der in das Medium 11 eingegossen ist. Das Medium 11 ist ein Wechselwirkungsmaterial, das aus einem spritzgegossenen Kunststoffmaterial besteht. Die Verbindung des Wandlers 14 mit dem Medium 11 wird durch ein besonderes Herstellungsverfahren erreicht.
Wie es in F i g. 3 dargestellt ist, ist eine Form 16 vorgesehen, die die optische Gestalt des akustooptischen Mediums 11 festlegt. Die obere Platte 18 der Form 16 ist entfernt, um den Wandler 14 am Boden der Form 16 in Längsrichtung in der Mitte anzuordnen. Die am Wandler 14 angebrachten Kontakte 1 und 2 sind, wie es in F i g. 4 dargestellt ist, gegen den Boden der Form 16 gerichtet angeordnet. Eine öffnung 20 ist in der oberen Platte 18 der Form 16 vorgesehen, durch welche geschmolzenes Kunststoffmateriai in die Form 16 eingespritzt wird. Beim Abkühlen des Kunststoffmaterials wird der Wandler 14 mit dem Kunststoffmaterial verbunden, das als akustooptisches Medium 11 dient.
Die optischen Flächen des Mediums 11 werden bei der Formgebung von selbst ohne die gewöhnlich erforderlichen Schritte zur Linsenbildung auf die gewünschte optische Orientierung gebracht Diese Linsenflächen oder flachen Seiten des Mediums 11 sind seine Außenflächen. Ferner werden diese Linsenflächen bzw. Außenflächen automatisch während des Formvorganges ausgerichtet. Die Innenfläche der Formplatte 1.8 kann so gestaltet werden, daß sie Befestigungselemente an der Seite des akustooptischen Mediums 11 gegenüber dem Wandler 14 aufweist, um zusätzliche Elektronikeinrichtungen zu befestigen und/oder die akustooptische Vorrichtung anzubringen. Der in F i g. 4 dargestellte Wandler 14 kann aus Lithiumniobat, Natrium-Kaliumniobat Lithiumgaliat, Quarz, Bleizirkonat-Keramik oder dergleichen hergestellt sein. Die Kontakte 1 und 2 bilden Wickelelektroden zum Empfangen elektrischer Signale, die als Modulationsträgersignale dienen. Die Kontakte 1 und 2 werden durch eine leitende Plattierung aufgebracht Beispielsweise kann ein Chrom- oder Goldüberzug auf die Wandleroberflächen aufgedampft werden.
Während in den bekannten akustooptischen Medien 1 ferroelektrisches Material, wie beispielsweise Bleimolybdat Bleiwolframat Barium-Natriummolybdat oder andere Materialien mit hohem Brechungsindex, wie beispielsweise Tellurglas, enthalten sind, sind die als geeignetes Medium 11 für die erfindungsgemäße Vorrichtung dienenden Werkstoffe thermoplastische Materialien. Es können natürlich alle durch Spritzguß formbare Kunststoffmaterialien die Erfordernisse der erfindungsgemäßen Vorrichtung erfüllen. Ein besonders geeignetes Material ist Polysulfon, das ein steifes, festes thermoplastisches Material ist das in einer Vielzahl von Formen gegossen, extrudiert oder warmgeformt werden kann. Die Wärmeformbeständigkeit von Polysulfon beträgt 174° C bei 18,6 kp/cm2 und bei einer Langzeitverwendungstemperatur von 149°C bis 171°C. Acrylharze, wie beispielsweise Polymethylacrylat bilden ebenfalls ein geeignetes Medium 11. Bei der Ausführung der Erfindung sollen Kunststoffe mit den höchstmöglichen Schmelztemperaturen verwandt werden, um durch Absorption der Schallwellen im Medium 11 verursachte Effekte aufgrund des Temperaturgradienten so niedrig wie möglich zu halten, so daß die optische Verzerrung so gering wie möglich wird.
Wie es in F i g. 5 dargestellt ist kann weiterhin in die Form 16 ein Kühlkörper 24 vor dem Einspritzen des Kunststoffmaterials nahe der öffnung 20 eingesetzt werden. Der Kühlkörper 24 kann einen Kupfermantel bilden, der einen mit der öffnung 20 in der Formplatte 18 ausgerichteten Durchbruch durch seine Oberseite zum Einspritzen des Materials des akustooptischen Mediums aufweist Nach dem Einspritzen des Kunststoffmaterials und nach der Abkühlung ergibt sich eine akustooptische Vorrichtung, die sowohl einen Wandler 14 als auch einen Kühlkörper 24 aufweist, die in das akustooptische Medium 11 eingegossen sind. Die Form 16 kann aus irgendeinem Material bestehen, das selbst bei hohen Temperaturen starre Grenzflächen bildet. So sind jegliche Metallarten, die zum Formgießen verwendet werden, beispielsweise Kupfer oder Aluminium, geeignet.
Die Erfindung ermöglicht eine einfache Herstellung akustooptischer Vorrichtungen und eine direkte Verbindung des Wandlers mit dem Material des akustooptischen Mediums. Die Verwendung von Spritzgußkunststoffen als Material des Mediums ergibt zahlreiche Vorteile. Die Materialkosten werden vernachlässigbar, die bei der Herstellung der bekannten Vorrichtungen erfolgenden Schneid- und Poliervorgänge sind nicht mehr erforderlich und der Wandler 14 und/oder der Kühlkörper 24 werden automatisch beim Spritzgußvorgang mit dem Material des Mediums verbunden.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (11)

Patentansprüche:
1. Akustooptische Liehtablenkungsvorrichtung mit einem akustooptischen Medium und einem damit gekoppelten piezoelektrischen Schallwandler zur Erzeugung modulierter Schallwellen, die in dem Medium ein Beugungsgitter für einen durch das Medium laufenden Lichtstrahl bilden, dadurch gekennzeichnet, daß das Medium (11) aus Kunststoff besteht und der Schallwandler (14) in das Medium eingegossen ist
2. Vorrichtung nach Anspruch I1 dadurch gekennzeichnet, daß das Medium (11) aus einem thermoplastischen Material besteht
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Medium (U) aus einem Acrylharz besteht
4. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet daß das Medium (11) aus einem Polysulfon besteht
5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch einen mit dem Medium (11) gekoppelten Kühlkörper (24).
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Kühlkörper (24) in das Medium (11) eingegossen ist
7. Verfahren zum Herstellen einer akustooptischen Lichtablenkungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß in eine Form mit die gewünschte optische Konfiguration des akustooptischen Mediums der Vorrichtung festlegenden Abmessungen ein piezoelektrischer Schallwandler eingesetzt: wird und daß ein erhitztes Kunststoffmaterial in die Form eingespritzt wird.
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß als Kunststoffmaterial ein thermoplastisches Material verwendet wird.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß als thermoplastisches Material ein Polysulfon verwendet wird.
10. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß als thermoplastisches Material ein Acrylharz verwendet wird.
11. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Einspritzvorgang ein Kühlkörper in die Form eingesetzt wird und beim Einspritzvorgang der Kühlkörper in das Medium eingegossen wird.
DE2549655A 1974-11-25 1975-11-05 Akustooptische Lichtablenkungsvorrichtung Expired DE2549655C3 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US05/526,493 US3938881A (en) 1974-11-25 1974-11-25 Acousto-optic modulation device

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2549655A1 DE2549655A1 (de) 1976-05-26
DE2549655B2 true DE2549655B2 (de) 1978-08-24
DE2549655C3 DE2549655C3 (de) 1979-04-26

Family

ID=24097581

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2549655A Expired DE2549655C3 (de) 1974-11-25 1975-11-05 Akustooptische Lichtablenkungsvorrichtung

Country Status (8)

Country Link
US (1) US3938881A (de)
JP (1) JPS5175458A (de)
CH (1) CH596567A5 (de)
DE (1) DE2549655C3 (de)
FR (1) FR2292252A1 (de)
GB (1) GB1522187A (de)
NL (1) NL7513758A (de)
SE (1) SE7512948L (de)

Families Citing this family (54)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4126385A (en) * 1976-12-20 1978-11-21 Eastman Kodak Company Acoustooptic material
US4157863A (en) * 1978-04-06 1979-06-12 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Acousto-optic modulator
US4257016A (en) * 1979-02-21 1981-03-17 Xerox Corporation Piezo-optic, total internal reflection modulator
US4357627A (en) * 1980-04-28 1982-11-02 Xerox Corporation Method and apparatus for improving resolution of scophony scanning system utilizing carrier phase reversal
US4405733A (en) * 1981-08-03 1983-09-20 Xerox Corporation Composite quasi-crystalline material
US5196957A (en) * 1990-03-20 1993-03-23 Olive Tree Technology, Inc. Laser scanner with post-facet lens system
US5247383A (en) * 1990-03-20 1993-09-21 Olive Tree Technology, Inc. Scanner with a post facet lens system
US5463493A (en) * 1993-01-19 1995-10-31 Mvm Electronics Acousto-optic polychromatic light modulator
US6303986B1 (en) * 1998-07-29 2001-10-16 Silicon Light Machines Method of and apparatus for sealing an hermetic lid to a semiconductor die
US6872984B1 (en) 1998-07-29 2005-03-29 Silicon Light Machines Corporation Method of sealing a hermetic lid to a semiconductor die at an angle
DE10058999A1 (de) * 2000-11-28 2002-05-29 Heidelberger Druckmasch Ag Verfahren und Vorrichtung zur Modulation von unpolarisiertem Licht
US6387723B1 (en) * 2001-01-19 2002-05-14 Silicon Light Machines Reduced surface charging in silicon-based devices
US7177081B2 (en) * 2001-03-08 2007-02-13 Silicon Light Machines Corporation High contrast grating light valve type device
US6707591B2 (en) * 2001-04-10 2004-03-16 Silicon Light Machines Angled illumination for a single order light modulator based projection system
US20030208753A1 (en) * 2001-04-10 2003-11-06 Silicon Light Machines Method, system, and display apparatus for encrypted cinema
US6865346B1 (en) 2001-06-05 2005-03-08 Silicon Light Machines Corporation Fiber optic transceiver
US6747781B2 (en) * 2001-06-25 2004-06-08 Silicon Light Machines, Inc. Method, apparatus, and diffuser for reducing laser speckle
US6782205B2 (en) * 2001-06-25 2004-08-24 Silicon Light Machines Method and apparatus for dynamic equalization in wavelength division multiplexing
US6646778B2 (en) * 2001-08-01 2003-11-11 Silicon Light Machines Grating light valve with encapsulated dampening gas
US6829092B2 (en) * 2001-08-15 2004-12-07 Silicon Light Machines, Inc. Blazed grating light valve
US6639722B2 (en) * 2001-08-15 2003-10-28 Silicon Light Machines Stress tuned blazed grating light valve
US6930364B2 (en) 2001-09-13 2005-08-16 Silicon Light Machines Corporation Microelectronic mechanical system and methods
US6956995B1 (en) 2001-11-09 2005-10-18 Silicon Light Machines Corporation Optical communication arrangement
US6692129B2 (en) * 2001-11-30 2004-02-17 Silicon Light Machines Display apparatus including RGB color combiner and 1D light valve relay including schlieren filter
US6800238B1 (en) 2002-01-15 2004-10-05 Silicon Light Machines, Inc. Method for domain patterning in low coercive field ferroelectrics
US6728023B1 (en) 2002-05-28 2004-04-27 Silicon Light Machines Optical device arrays with optimized image resolution
US6767751B2 (en) * 2002-05-28 2004-07-27 Silicon Light Machines, Inc. Integrated driver process flow
US6839479B2 (en) * 2002-05-29 2005-01-04 Silicon Light Machines Corporation Optical switch
US7054515B1 (en) 2002-05-30 2006-05-30 Silicon Light Machines Corporation Diffractive light modulator-based dynamic equalizer with integrated spectral monitor
US6822797B1 (en) 2002-05-31 2004-11-23 Silicon Light Machines, Inc. Light modulator structure for producing high-contrast operation using zero-order light
US6829258B1 (en) 2002-06-26 2004-12-07 Silicon Light Machines, Inc. Rapidly tunable external cavity laser
US6714337B1 (en) 2002-06-28 2004-03-30 Silicon Light Machines Method and device for modulating a light beam and having an improved gamma response
US6908201B2 (en) * 2002-06-28 2005-06-21 Silicon Light Machines Corporation Micro-support structures
US6813059B2 (en) * 2002-06-28 2004-11-02 Silicon Light Machines, Inc. Reduced formation of asperities in contact micro-structures
US7057795B2 (en) * 2002-08-20 2006-06-06 Silicon Light Machines Corporation Micro-structures with individually addressable ribbon pairs
US6801354B1 (en) 2002-08-20 2004-10-05 Silicon Light Machines, Inc. 2-D diffraction grating for substantially eliminating polarization dependent losses
US6712480B1 (en) 2002-09-27 2004-03-30 Silicon Light Machines Controlled curvature of stressed micro-structures
US6928207B1 (en) 2002-12-12 2005-08-09 Silicon Light Machines Corporation Apparatus for selectively blocking WDM channels
US7057819B1 (en) 2002-12-17 2006-06-06 Silicon Light Machines Corporation High contrast tilting ribbon blazed grating
US6987600B1 (en) * 2002-12-17 2006-01-17 Silicon Light Machines Corporation Arbitrary phase profile for better equalization in dynamic gain equalizer
US6934070B1 (en) 2002-12-18 2005-08-23 Silicon Light Machines Corporation Chirped optical MEM device
US6927891B1 (en) 2002-12-23 2005-08-09 Silicon Light Machines Corporation Tilt-able grating plane for improved crosstalk in 1×N blaze switches
US7068372B1 (en) 2003-01-28 2006-06-27 Silicon Light Machines Corporation MEMS interferometer-based reconfigurable optical add-and-drop multiplexor
US7286764B1 (en) 2003-02-03 2007-10-23 Silicon Light Machines Corporation Reconfigurable modulator-based optical add-and-drop multiplexer
US6947613B1 (en) 2003-02-11 2005-09-20 Silicon Light Machines Corporation Wavelength selective switch and equalizer
US6922272B1 (en) 2003-02-14 2005-07-26 Silicon Light Machines Corporation Method and apparatus for leveling thermal stress variations in multi-layer MEMS devices
US6806997B1 (en) 2003-02-28 2004-10-19 Silicon Light Machines, Inc. Patterned diffractive light modulator ribbon for PDL reduction
US6829077B1 (en) 2003-02-28 2004-12-07 Silicon Light Machines, Inc. Diffractive light modulator with dynamically rotatable diffraction plane
US7027202B1 (en) 2003-02-28 2006-04-11 Silicon Light Machines Corp Silicon substrate as a light modulator sacrificial layer
US6922273B1 (en) 2003-02-28 2005-07-26 Silicon Light Machines Corporation PDL mitigation structure for diffractive MEMS and gratings
US7391973B1 (en) 2003-02-28 2008-06-24 Silicon Light Machines Corporation Two-stage gain equalizer
US7042611B1 (en) 2003-03-03 2006-05-09 Silicon Light Machines Corporation Pre-deflected bias ribbons
US7894122B2 (en) * 2008-02-08 2011-02-22 Meritt Reynolds Frequency-shifting micro-mechanical optical modulator
CN103064227B (zh) * 2013-03-05 2015-09-09 中国电子科技集团公司第二十六研究所 一种声光开关装置

Also Published As

Publication number Publication date
FR2292252A1 (fr) 1976-06-18
GB1522187A (en) 1978-08-23
CH596567A5 (de) 1978-03-15
DE2549655C3 (de) 1979-04-26
US3938881A (en) 1976-02-17
NL7513758A (nl) 1976-05-28
JPS5175458A (de) 1976-06-30
DE2549655A1 (de) 1976-05-26
SE7512948L (sv) 1976-05-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2549655C3 (de) Akustooptische Lichtablenkungsvorrichtung
DE69031061T2 (de) Mehrmaterialsysteme zum Sintern mit selektiver Strahlung unter Anwendung von Pulver
DE69002372T2 (de) Stanzwalze zum Giessen von Lagen für optische Datenträger, Verfahren zu deren Herstellung und Verfahren zur Herstellung des damit herzustellenden Trägers.
DE1552962A1 (de) Geraet zum Aufbringen von Loetmittel oder aehnlichem schmelzbarem Material
DE68918995T2 (de) Montage von elektronischen Bauteilen.
EP1031860A2 (de) Verfahren und Gissform zum Herstellen eines elektrooptischen Moduls und elektrooptisches Modul
DE102005015119A1 (de) Laserschweißverfahren von Harzmaterialien
DE2360612C2 (de) Vorrichtung zum Übertragen einer Videofrequenzinformation auf einen Informationsträger aus thermoplastischem Material
DE2249518A1 (de) Verfahren zur herstellung optischer wellenleiterbauteile
EP0011867A1 (de) Reproduktionsverfahren für Ölgemälde oder dergleichen
DE3740375C2 (de) Verfahren zur Formung von Kunststoffmaterial zu scheibenförmigen Substraten für einen Aufzeichnungsträger für optische Informationen
DE1042192B (de) Verbindung zwischen Glasteilen, Metallteilen oder Glas- und Metallteilen und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE2952493A1 (de) Verfahren zur herstellung von halbleitergehaeusen
DE2726293B2 (de) Optische Form zum Reproduzieren gekrümmter optischer Oberflächen sowie Verfahren zu ihrer Herstellung
DE102008050010A1 (de) Halbleitervorrichtung und Herstellungsverfahren dafür
DE2738899A1 (de) Kameragehaeuse und verfahren zu seiner herstellung
DE1914307B2 (de) Piezoelektrischer keramiresonator und verfahren zu seiner herstellung
DE2603888C3 (de)
DE3212295A1 (de) Verfahren zum verbinden zweier flaechen von platten
WO2007014916A1 (de) Verfahren zur herstellung metallhaltiger gusskörper und vorrichtung dafür
DE3842611C1 (de)
DE2322012A1 (de) Verfahren zur herstellung dielektrischer wellenleitervorrichtungen
EP0551118A1 (de) Verfahren zur Herstellung von nicht linearen optischen Mikro-Bauelementen
EP0303086A2 (de) Verfahren zum Herstellen eines Trägers für eine magnetooptische Aufzeichnungsschicht, Spritzgiessvorrichtung zum Herstellen eines Trägers sowie Träger für eine magnetooptische Aufzeichnungsschicht
DE69729369T2 (de) Verfahren zum spritzgiessen von compact discs

Legal Events

Date Code Title Description
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
EF Willingness to grant licences
8339 Ceased/non-payment of the annual fee