DE2544140A1

DE2544140A1 - Verfahren und vorrichtung zum verbessern der isolation eines piezoelektrischen stapels

Info

Publication number: DE2544140A1
Application number: DE19752544140
Authority: DE
Inventors: Cormac Garrett O'neill
Original assignee: Physics International Co
Current assignee: Physics International Co
Priority date: 1974-10-03
Filing date: 1975-10-02
Publication date: 1976-04-08
Also published as: JPS5510153B2; AU8534475A; FR2287111A1; JPS5185390A; FR2287111B1; GB1525248A; SE7511059L; CA1057846A; DE2544140B2; SE405661B; MX143980A; IT1043080B; ES441496A1; BR7506398A; AU506789B2

Description

Patentanwälte Dipl.-Ing. Γ. "Weickmann,

Dipl.-Ing. H. Weickmann, Dipl.-Phys. Dr. K. Fincke Dipl.-Ing. F. A. Weickmann, Dipl.-Chem. B. Huber

8 MÜNCHEN 86, DRN

POSTI-ACH 860 820

MÖHLSTRASSE 22, RUFNUMMER 98 3921/22

Physics International Company

2700 Merced Street, San Leandro, California 9A577, V.St.A.

Verfahren und Vorrichtung zum Verbessern der Isolation eines piezoelektrischen Stapels

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Verbessern der Isolation eines piezoelektrischen Stapels.

Bei der üblichen Verwendung von piezoelektrischem Material (pz) in Einrichtungen werden piezoelektrische Scheiben gestapelt. Ihre entgegengesetzten flachen Stirnflächen sind mit einem leitfähigen Material beschichtet, um es zu ermöglichen, daß eine Spannung über alle diese Scheiben parallel angelegt werden kann, während die Scheibenverstellung als Ergebnis der Stapelung zusammengesetzt wird, so daß man eine optimale axiale Verstellung bzw. -verschiebung für die angelegte Spannung erhält. Der piezoelektrische

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Stapel wird im allgemeinen in ein isolierendes Medium eingetaucht, um einen Lichtbogenüberschlag zwischen den Rändern der Scheiben des Stapels zu verhindern.

Jedoch treten häufig Fehler in derartigen Zusammenfügungen auf, weil die Durchschlagsfestigkeit des Mediums, welches die Kanten bzw. Ränder der leitenden Schichten isoliert, viel stärker durch die elektrische Feldstärke als durch die angelegte Spannung begrenzt ist. Eine große Vielzahl unterschiedlicher isolierender Materialien mit in weitem Umfange unterschiedlichen Durchschlagsfestigkeiten wurde erprobt, ohne daß irgendeine merkbare Veränderung der Rate der Spannungszusammenbrüche bemerkt werden konnte. Als Ergebnis der Testversuche und der Untersuchungen zur Identifizierung des Mechanismus, durch welchen der Spannungszusammenbruch auftritt, wurde gefunden, daß eine Trennung von der dielektrischen Isolierung vorhanden ist, die an der Grenzfläche zwischen der keramischen Scheibe und dem isolierenden Medium auftritt.

Mit der Erfindung wird eine Verbesserung der Isolierung eines piezoelektrischen Stapels dadurch geschaffen, daß man den Behälter des piezoelektrischen Stapels mit einem dielektrischen Strömungsmittel unter Druck füllt, oder daß man Druck auf ein festes Dielektrikum anwendet, wodurch ein dielektrischer Spannungsdurchbruch mit dem dadurch bewirkten Lichtbogenüberschlag und der Zerstörung des piezoelektrischen Stapels verhindert wird. Mit der Erfindung soll die Isolierung von piezoelektrischen Stapeln bis zu dem Ausmaß verbessert werden, daß Spannungsdurchbrüche vermieden werden.

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Weiterhin soll mit der Erfindung die Betriebssicherheit und Lebensdauer von piezoelektrischen Stapeln verbessert werden. Schließlich soll mit der Erfindung ein Verfahren und eine Vorrichtung bzw. Einrichtung zur Isolierung eines piezoelektrischen Stapels vorgeschlagen werden.

Die vorerwähnten sowie andere Ziele der Erfindung werden dadurch erreicht, daß man sicherstellt, daß die Isolation, die auf bzw. am piezoelektrischen Stapel benutzt wird, gleichgültig ob sie ein Strömungsmittel oder ein fester Stoff ist, zu allen Zeiten in Verbindung mit bzw. bei den Rändern bzw. Kanten des piezoelektrischen Stapels konstant bleibt. Im Falle eines isolierenden Strömungsmittels geschieht das dadurch, daß man die Kammer, in welcher der piezoelektrische Stapel angeordnet ist, mit einem isolierenden Strömungsmittel unter einem genügend hohem Druck füllt. Bei Verwendung einer Feststoffisolation kann beispielsweise eine Beschichtung eines Polyurethans direkt auf das piezoelektrische Material aufgebracht und dadurch in Kontakt gehalten werden, daß man einen Strömungsmitteldruck anwendet oder daß man einen Faden oder ein Band in Umfangsrichtung über das Polyurethan wickelt, um das Urethan bzw. Polyurethan vorzubelasten bzw. vorzuspannen und sicherzustellen, daß sein Kontakt mit den piezoelektrischen Kreisen bzw. Schaltungen aufrecht erhalten wird bzw. bleibt.

Die Erfindung wird nachstehend unter Bezugnahme auf einige in den Figuren der Zeichnung im Prinzip dargestellte, besonders bevorzugte Ausführungsbeispiele näher erläutert; es zeigen:

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Fig. 1 eine Querschnittsansicht, durch die ein Beispiel eines piezoelektrischen Stapels veranschaulicht wird, der als eine Pumpe benutzt wird;

Fig. 2 eine Querschnittsansicht, die ein Verfahren zur Isolierung von Scheiben eines piezoelektrischen Stapels gemäß der Erfindung veranschaulicht;

Fig. 3 eine schematische und teilweise Ansicht, mit der eine andere Anordnung zum Isolieren der Scheiben eines piezoelektrischen Stapels gemäß der Erfindung erläutert wird; und

Fig. L\ eine schematische teilweise Ansicht, die ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung veranschaulicht.

Die Fig. 1 zeigt eine typische piezoelektrische Pumpe. Diese Darstellung dient dazu, um zu veranschaulichen, wie die piezoelektrischen Scheiben in dem Stapel in Bezug aufeinander angeordnet sind, so daß es sich hier also nur um ein Anwendungsbeispiel der Erfindung handelt, auf welches die Erfindung in keiner Weise begrenzt ist, da die vor- und nachstehend erläuterten Grundsätze der Erfindung auf jede Einrichtung anwendbar sind, bei der ein Stapel piezoelektrischer Element verwendet wird, um Motorkräfte bzw. mechanische Kräfte zu erzeugen.

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Bei dem in Fig. 1 veranschaulichten Beispiel weist der Stapel fünf Scheiben auf, die in ihrer Reihenfolge (in der Darstellung von oben nach unten) mit 10, 12, 14, 16, 18 bezeichnet sind. Diese Scheiben sind in einer Kammer eingeschlossen, welche auf drei Seiten mit Wänden 20 versehen ist, während sie auf der vierten Seite eine bewegbare Membran 22 besitzt. Die Scheibe 10, die sich auf der einen Seite befindet, liegt am oberen Ende der Kammer an, während die Scheibe 18 mit ihrer einen Stirnfläche in Kontakt mit der Membran 22 steht. Die flachen bzw. ebenen Oberflächen der Scheiben sind leitend gemacht, so daß Leitungen 24A bzw. 24b mit den Oberflächen von alternierenden bzw. abwechselnden Scheiben verbunden werden können, indem diese Leitungen von einer Potentialquelle 36 zu den leitfähigen Oberflächen geführt werden.

Der Raum 28 zwischen den Scheiben und den Wänden der Kammer wird im allgemeinen durch eine Füllöffnung 30 mit einem isolierenden oder dielektrischen Strömungsmittel gefüllt. Ein Rückschlagventil 32 wird im allgemeinen in der Einlaßleitung 33, die zur Pumpkammer 34 der Pumpe führt, angeordnet. Ein Auslaßrückschlagventil 36 ist im allgemeinen in der Auslaßleitung 35, die aus der Pumpenkammer der Pumpe herausführt, angeordnet.

Es wurde gefunden, daß beim Anlegen eines Impulses oder einer Spannung von der Potentialquelle 26 an den Stapel von Scheiben ein Anwachsen oder Expandieren des piezoelektrischen Materials in einer Richtung parallel zu dem durch die angelegte Spannung hervorgerufenen elektrischen Feld auftritt, daß aber eine Schrumpfung längs Achsen erfolgt, die senkrecht zu dem elektrischen Feld verlaufen. Mit anderen Worten bedeutet das, daß sich jede Scheibe in dem Stapel axial

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ausdehnt und daß jede Scheibe in dem Stapel diametral bzw. in Richtung des Durchmessers schrumpft. Die Rate der radialen Verstellung hängt von der Rate der axialen Verstellung ab, die ihrerseits von der Anstiegszeit der angelegten Spannung sowie von der Abfallzeit der angelegten Spannung wie auch von der mechanischen Impedanz der axial zur Anwendung gelangenden Last abhängt. Selbst wenn das Material vollständig an einem axialen Anwachsen bzw. Zunehmen gehindert wird, tritt eine radiale Deformierung von ungefähr 20 % der freien axialen Deformierung auf.

Die Untersuchung der Kräfte, welche ein isolierendes Strömungsmittel in Kontakt mit den Oberflächen des piezoelektrischen Stapels halten, hat gezeigt, daß sich die folgende Gleichung ergibt:

P
P ⁼ '

v.. = pv_s

worin V_p die maximale Teilchengeschwindigkeit ist, welches das isolierende Medium entwickeln kann, während V_ die

Schallgeschwindigkeit in dem Medium ist, wobei weiter P die Dichte im isolierenden Medium und ρ der Druck im isolierenden Medium bedeuten.

■Es wurde gefunden, daß dann, wenn sich die piezoelektrische Umfangsoberflache mit einer Geschwindigkeit verlagert, die größer als V ist, Kavitation auftritt und ein elektrischer Spannungsdurchbruch nachfolgt, wenn das angelegte Feld die Festigkeit bzw. die Durchschlagsfestigkeit des Dampfes des isolierenden Mediums überschreitet. Selbst wenn die Oberflächengeschwindigkeit nur V erreicht, kann ein Zustand entstehen, in dem gelöstes Gas auf der Lösung in dem isolie-

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renden Strömungsmittel heraustritt, wodurch es ermöglicht wird, daß ein Spannungsdurchbruch auftritt. Es ist infolgedessen von größter Wichtigkeit, einen beträchtlichen Spielraum über die begrenzende Teilchengeschwindigkeit zu halten.

Einige Faktoren, welche diesen Vorgang beeinflussen, sind. der Strömungsmitteldruck p, wobei ein höherer Druck die Befähigung zu einer höheren Teilchengeschwindigkeit gibt; sowie die Strömungsmitteldichte p, wobei eine niedrigere Dichte wünschenswert ist; die Schallgeschwindigkeit V₀, wobei der niedrigste Wert am vorteilhaftesten ist; die Spannungsanstiegszeit, wobei die längste Anstiegszeit die niedrigste Oberflächengeschwindigkeit gibt, die von V erreicht oder überschritten werden kann; der Stapeldurchmesser, wobei ein kleiner Durchmesser das Erfordernis eines niedrigen Wertes von V ergibt; und schließlich die Stapeideformierung, wobei eine niedrige Deformierung eine niedrige Anforderung ergibt. Aus den vorstehenden Ausführungen ist ersichtlich, daß bei einem gegebenen Stapel und einer gegebenen Spannungsanwendungsrate der auf das Dielektrikum angewandte Druck verändert werden kann, und daß durch Auswahl des Dielektrikums selbst, die Dichte und die Schallgeschwindigkeit durch das Dielektrikum verändert werden kann. Wenn ein Gas verwendet wird, dann bleibt p/p konstant, jedoch ist V_n niedriger. Infolgedessen kann gezeigt werden, daß eine Verbesserung auftritt, wenn die dielektrische Durchschlagsfestigkeit bzw. die Spannungsfestigkeit auf einem hohen Niveau gehalten werden kann. Für diesen Zweck sind wenige Gase geeignet, und es läßt sich kein Nutzen durch Durckbeaufschlagung erzielen. Jedoch bewirkt gemäß der vorliegenden Erfindung die Verwendung

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einer gegebenen isolierenden Flüssigkeit mit einem hydrostatisch angewandten Druck eine beträchtliche Verbesserung.

Ein weiterer Faktor, der in Betracht gezogen werden muß, wenn man bestimmen will, welcher Druck auf das isolierende Strömungsmittel zur Anwendung gebracht werden soll, um die Teilchengeschwindigkeit des Strömungsmittels herabzusetzen, ist der Druckabfall oder die Druckänderung c in dem Strömungsmittel, der bzw. die durch die Volumenänderung ι in der Strömungsmittelkammer bewirkt wird, die ihrerseits durch die Veränderung der radialen und axialen Dimensionen des piezoelektrischen Stapels bei dessen Gebrauch hervorgerufen wird. Diese Beziehung läßt sich durch die folgende Gleichung erfassen:

6_VK

^P V

worin die Strömungsniittelvolumenänderung / _v ist, während / die Strömungsmitteldruckänderung ist, die sich aus / ergibt; k ist der Elastizitätsmodul für Druck bzw. der reziproke Wert der Kompressibilität des Strömungsmittels, und V ist das ursprüngliche Ströinungsmittelvolumen. Ein Druck, der wenigstens gleich / ist, sollte zu dem Druck hinzugefügt werden, der im übrigen zur Herabsetzung der Teilchengeschwindigkeit benutzt wird.

Eine Anordnung zur hydrostatischen Druckbeaufschlagung eines dielektrischen Strömungsmittels, das zur Isolierung eines piezoelektrischen Stapels verwendet wird, ist schematisch in Fig. 2 dargestellt. Es sei darauf hingewiesen, daß bei Anwendung von Druckgas dieses nicht so auf das dielektrische Strömungsmittel angewandt werden sollte, daß eine Gas-Flüssigkeits-Grenzfläche entsteht, da sich Gas in dem Strömungsmittel löst und ein lokaler Druckabfall in der Nähe des Stapelum-

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fangs in diesem Falle auftreten kann, der bewirken würde, daß Gas aus der Lösung austritt und die Umgebungsbedingungen für einen Spannungsdurchbruch erzeugt. Der Druck wird von einer Quelle 38, die Gas oder ein Strömungsmittel, beispielsweise eine Flüssigkeit, unter Druck enthält, auf einen Zylinder AO zur Anwendung gebracht, der einen Kolben 42 enthält. Der Kolben 42 bewegt sich auf einem Teil der Kammer nach abwärts, die mit dem isolierenden Strömungsmittel, beispielsweise mit der isolierenden Flüssigkeit, gefüllt ist und die mit der Stapelkammer über die Öffnung 30 in der Wand 20 der Kammer 28 in Verbindung steht. Ein nichtdargestelltes Ventil kann in der Öffnung 30 angeordnet sein, das beispielsweise gleichartig oder ähnlich ist wie die Art der Ventile, die in Kraftfahrzeugreifen Verwendung finden, so daß es ermöglicht wird, den Druck durch das dielektrische Strömungsmittel im Zylinder 40, das mit dem Strömungsmittel im Gehäuse 20 in Verbindung steht, anzuwenden, wie auch irgendwelches zusätzliches Strömungsmittel hinzuzufügen, das zur Aufrechterhaltung dieses Druckes erforderlich ist.

Es wurde gefunden, daß man, soweit es die Isolierung und die Verhinderung von Spannungsdurchbrüchen betrifft, gute Ergebnisse erzielt werden können, wenn man einen Druck von 8,4 bis 10,5 kg/cm auf ein dielektrisches Strömungsmittel, welches Siliconöl ist, ausübt, wenn auf einen piezoelektrischen Stapel Felder bis zu 23,62 KVoIt pro cm, also etwa 23 bis 24 KVoIt pro cm, zur Anwendung gebracht werden.

Es ist außerdem wichtig, daß das isolierende oder dielektrische Strömungsmittel, welches verwendet wird, entgast ist. Das wird dadurch erreicht, daß man auf das Strömungs-

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mittel In der Stapelkamtner ein Vakuum zur Einwendung bringt, bevor man Druck anwendet.

Eine weitere Anordnung zum Verhindern von Spannungsdurchbrüchen ist schematisch in Fig. 3 dargestellt. Hier wird
eine flexible Festkörperisolation benutzt. Beispielsweise wird eine Beschichtung 44 von Polyurethan z.B. auf die
radialen Oberflächen der Scheiben 46 und 48 aufgebracht.
Ein Faden oder ein Band 50 wird um das Polyurethan herumgewickelt, um das Urethan gegen die keramische Oberfläche vorzubelasten und dessen Trennung von der piezoelektrischen Scheibe unter Deformations-, Spannungs-, Belastungs- und/ oder Beanspruchungsbedingungen zu verhindern. Das Band ist so gewickelt, daß kleine Räume zwischen benachbarten Bewicklungen bzw. Umhüllungen bleiben, um Raum für die Ausdehnung des Polyurethans zu haben.

Eine weitere Anordnung zur Verhinderung von Spannungsdurchbrüchen ist schematisch in Fig. 4 gezeigt. Hier ist die
Polyurethanbeschichtung 44 wie vorher auf die radialen
Oberflächen der veranschaulichten Scheiben 46 und 48 aufgebracht. Jedoch ist anstelle der Wicklung eines Bandes
um das Polyurethan herum der Hohlraum 28 mit einem unter
Druck stehenden dielektrischen Strömungsmittel, insbesondere einer Flüssigkeit, gefüllt. Dadurch wird der gewünschte
Zweck des Aufrechterhaltens der Isolierung in Kontakt mit den radialen Oberflächen der piezoelektrischen Scheiben
für alle Gebrauchsbedingungen erreicht. Mit der Erfindung wird also insbesondere eine Anordnung zum Verbessern der
Isolierung zur Verwendung für piezoelektrische Stapel zum Zwecke der Verhinderung eines dielektrischen Spannungsdurchbruchs vorgeschlagen. Das geschieht insbesondere da-

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durch, daß man den Behälter eines piezoelektrischen Stapels mit einem unter Druck stehenden dielektrischen Strömungsmittel, insbesondere einer dielektrischen Flüssigkeit, füllt, oder daß man Druck auf ein Festkörperdielektrikum ausübt, so daß der erwähnte dielektrische Sponnungsdurchbruch mit einem dadurch bewirkten Überschlagslichtbogen und. der Zerstörung des piezoelektrischen Stapels verhindert wird.

Claims

Patentansprüche

1. Verfahren zur Verbesserung der Isolierung eiiies piezoelektrischen Stapels, der eine Mehrzahl von in Reihe gestapelten piezoelektrischen Scheiben aufweist, die leitfahige flache bzw. ebene Oberflächen haben, wobei eine Spannung an die entgegengesetzten Oberflächen der Scheiben angelegt wird, um eine axiale Ausdehnung der Scheiben zu bewirken, wobei ferner ein dielektrisches Medium auf die radialen Oberflächen der Scheiben zur Einwirkung gebracht wird, dadurch gekennzeichnet, daß eine Trennung der radialen Oberflächen unter Unterbrechung des Kontaktes mit dem dielektrischen Medium verhindert wird, indem ein Druck auf das dielektrische Medium zur Anwendung" gebracht wird, um dessen Kontakt mit den Oberflächen des piezoelektrischen Materials ungeachtet der Rate der physikalischen Verstellung bzw. Verlagerung des piezoelektrischen Materials in Ansprechung auf die Anstiegszeit oder die Abfallzeit der angelegten Spannung aufrecht zu erhalten.

2. Verfahren nach· Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als dielektrisches Mediummaterial ein Festkörpermaterial angewandt wird und daß der Verfahrensschritt der Anwendung des Druckes auf dieses dielektrische Mediummaterial zur Aufrechterhaltung von dessen Kontakt mit den radialen Oberflächen des Stapels von piezoelektrischem Material den Verfahrensschritt des engen bzw. dichten Bewickeins eines weiteren dielektrischen Materials um das erwähnte dielektrische Material

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herum umfaßt, welches in Kontakt mit den piezoelektrischen radialen Oberflächen ist.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Verfahrensschritt der Anwendung eines Drucks auf das dielektrische Material, welches ein Strömungsmittel, insbesondere eine Flüssigkeit, ist, den Verfahrensschritt der Druckbeaufschlagung des dielektrischen Strömungsmittelmaterials, welches auf die radialen Oberflächen des piezoelektrischen Stapels zur Anwendung kommt, mit einem anderen dielektrischen Strömungsmittelmaterial, insbesondere einem Gas, umfaßt.

4./ Vorrichtung zum Verbessern der Isolierung eines piezoelektrischen Stapels, insbesondere zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei eine Mehrzahl von piezoelektrischen Scheiben in Reihe in dem Stapel angeordnet sind und eine Spannung auf entgegengesetzte Stirnflächen der piezoelektrischen Scheiben zur Anwendung gebracht wird, um eine axiale Ausdehnung der Scheiben zu erzielen, dadurch gekennzeichnet, daß die Scheiben (lo, 12, 14, 16, 18; 46, 48) in einer Kammer (28) angeordnet sind, die mit einem isolierenden Strömungsmittel, insbesondere einer isolierenden Flüssigkeit, gefüllt ist, wob'ei zur Verbesserung der Isolierung, die mit dem isolierenden Strömungsmittel erzielbar ist, eine Einrichtung (26, 38, 40, 42) zur Druckbeaufschlagung der isolierenden Flüssigkeit in der Kammer bis zu einem Druckwert, bei welchem keine Kavitation zwischen den radialen Oberflächen der piezoelektrischen Scheiben und dem isolierenden Strömungsmittel in Ansprechung auf die zur Anwendung gelangende Spannungsanstiegs- oder -abfallzeit auftritt.

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Vorrichtung nncti Anspruch 4, dadurch g e k e η nzeichne t, daß die Einrichtung zur Druckbeaufschlagung des isolierenden Strömungsmittels einen Zylinder (ίΟ) aufweist, in dem ein Kolben (^l\2) angeordnet ist, der einen ersten Raum auf seiner einen Selbe und einen zweiten Raum auf seiner entgegengesetzten Seite begrenzt, wobei ein dielektrisches Strömungsmittel den ersten Raum füllt, der sich in Verbindung mit dem dielektrischen Strömungsmittel befindet, in welches der piezoelektrische Stapel eingetaucht ist, wobei ferner eine Einrichtung (38) zur Anwendung eines Druckes auf den Kolben von dem zweiten Raum aus vorgesehen ist, so daß das Strömungsmittel in dem ersten Raum wie auch das Strömungsmittel, in welches der piezoelektrische Stapel eingetaucht ist, mit Druck beaufschlagt wird.

Vorrichtung, insbesondere nach Anspruch 4 oder 5, wobei ein Stapel piezoelektrischer Scheiben, die leitfähige flache bzw. ebene Oberflächen aufweisen und in Reihe in dem Stapel angeordnet sind, vorgesehen ist, und wobei ferner eine Spannung an entgegengesetzte Oberflächen dieser Scheiben angelegt wird, um eine axiale Ausdehnung des Stapels zu bewirken, dadurch gekennz e i c h ne t, daß zur verbesserten Isolierung der radialen Kanten bzw. Ränder der piezoelektrischen Scheiben eine dielektrische Beschichtung (44) auf die radialen Oberflächen der piezoelektrischen Scheiben (46, 48) aufgebracht bzw. zur Anwendung gebracht wird, und daß eine Einrichtung zur Anwendung von Druck auf die dielektrische Beschichtung vorgesehen ist, um die dielektrische Beschichtung in Kontakt mit den radialen Oberflächen ohne Rücksicht auf die Anstiegs- oder Abfallzeit der Spannungen, die an den Stapel der piezoelektrischen Scheiben angelegt werden, zu halten.

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7· Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtung (44) von dielektrischem Material eine Beschichtung von Polyurethan aufweist bzw. tjmfaßt oder ist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Anwendung von Druck auf die dielektrische Beschichtung (44) ein isolierendes Bond (50) aufweist, das über die dielektrische. Beschichtung gewickelt ist.

9. Vorrichtung nach Anspruch 6, 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zum Anwenden von Druck auf die dielektrische Beschichtung (44) ein unter Druck stehendes dielektrisches Strömungsmittel (28), insbesondere eine unter Druck stehende dielektrische Flüssigkeit aufwei st.

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