DE2538119B1 - Protective glass used in electric devices against corrosion - by passivation with cpds. forming insoluble layer of glass - Google Patents

Protective glass used in electric devices against corrosion - by passivation with cpds. forming insoluble layer of glass

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    • C03C27/02Joining pieces of glass to pieces of other inorganic material; Joining glass to glass other than by fusing by fusing glass directly to metal

Abstract

Glass used for encapsulation of semiconductors, integrated circuits, etc., or for soldering glass to glass or metal in electric devices, is protected against chemical attack by corrosive industrial atmos. (including CO2-contg. humid air) by surface treatment resulting in the formation of a protective layer of insoluble cpds. of lead and zinc contained in the glass with cpds. used for the surface treatment. Cpds. suitable for this purpose include cpds. of oxygen-contg. anions derived from elements of gps. III, IV, V or VI; oxygen-free anions derived from elements of gp. VI, and also solns. of carbonyl cpds. substd. in the alpha-position or in the vicinity to the alpha-position with a substituent carrying a free electron pair and, hence, capable of forming with metal cations difficulty soluble chelates or complex cpds.; similar CO-contg. hetero cpds. can also be used. Passivation of glass surface is readily carried out without affecting properties of glass such as hardness, dilatation, softening temps. The electric conductivity is hardly affected.

Description

Nach 12minutiger Behandlung nähert sich die After 12 minutes of treatment, the

Abtragung einem Grenzwert, was in dem Diagramm durch den asymptotischen Verlauf der Kurve zu erkennen ist.Ablation of a limit, which is shown in the diagram by the asymptotic The course of the curve can be seen.

Je nach Konzentration und Temperatur der zur Passivierung verwendeten Thioharnstofflösung ändert sich die Behandlungsdauer, die notwendig ist, den Grenzwert zu erreichen. Depending on the concentration and temperature of the used for passivation Thiourea solution changes the duration of treatment, which is necessary, the limit value to reach.

Zum Nachweis, daß die Porosität der Oberfläche durch die Passivierung beseitigt wird, wurde ein bestimmungsgemäß verarbeitetes Glaslot mit passivierter Oberfläche und ein bestimmungsgemäß verarbeitetes unbehandeltes Glaslot 5 Minuten lang in Tinte getaucht und anschließend 1 Minute lang in fließendem Wasser gespült. Es zeigte sich, daß das unbehandelte Glaslot porös ist und deshalb die Tinte aufnimmt, während das passivierte Glaslot eine dichte Oberfläche besitzt, die das Eindringen der Tinte verhindert. To prove that the porosity of the surface due to the passivation is eliminated, became a Properly processed glass solder with passivated Surface and a properly processed untreated glass solder 5 minutes dipped in ink for 1 minute and then rinsed in running water for 1 minute. It turned out that the untreated glass solder is porous and therefore absorbs the ink, while the passivated glass solder has a dense surface that allows penetration the ink prevents.

Claims (6)

Patentansprüche: 1. Einkapselung oder Lötverbindung aus Glaslot, die gegen chemische Einwirkungen, wie sie beim Betrieb von elektrischen Bauelementen vorkommen, insbesondere gegen die chemische Einwirkung einer Industrieatmosphäre, empfindlich ist, d a durch gekennzeichnet, daß auf der Oberfläche der Einkapselung oder der Lötverbindung eine Schicht aus mindestens einer schwerlöslichen Verbindung aufgebracht ist. Claims: 1. Encapsulation or soldered connection made of glass solder, against chemical effects, such as those used in the operation of electrical components occur, especially against the chemical effects of an industrial atmosphere, is sensitive, d a characterized by that on the surface of the encapsulation or a layer of at least one sparingly soluble compound on the soldered connection is upset. 2. Verfahren zur Herstellung der Schicht nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche mit chemischen Verbindungen behandelt wird, die sauerstoffhaltige Anionen der 3., 4., 5. oder 6. Haupt- oder Nebengruppe des chemischen Periodensystems enthalten. 2. A method for producing the layer according to claim 1, characterized characterized in that the surface is treated with chemical compounds that oxygen-containing anions of the 3rd, 4th, 5th or 6th main or subgroup of the chemical Periodic table included. 3. Verfahren zur Herstellung der Schicht nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche mit chemischen Verbindungen behandelt wird, die Anionen sauerstofffreier Säuren der 6. Hauptgruppe des chemischen Periodensystems enthalten. 3. A method for producing the layer according to claim 1, characterized characterized in that the surface is treated with chemical compounds that Anions of oxygen-free acids of the 6th main group of the chemical periodic table contain. 4. Verfahren zur Herstellung der Schicht nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche mit Lösungen von Carbonylverbindungen, die in o:-Stellung oder in unmittelbarer Nachbarschaft der oc-Stellung ein Substituent tragen, das mindestens ein freies Elektronenpaar besitzt und die dadurch in der Lage sind, schwerlösliche Chelat-bzw. Komplexverbindungen mit Metallkationen zu bilden, behandelt wird. 4. A method for producing the layer according to claim 1, characterized characterized that the surface with solutions of carbonyl compounds, which in o: position or a substituent in the immediate vicinity of the oc position wear, which has at least one free electron pair and thereby in the Are capable of sparingly soluble chelate or. Complex compounds with metal cations too form, is treated. 5. Verfahren zur Herstellung der Schicht nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche mit Heterocarbonylverbindungen, die in o:-Stellung oder in unmittelbarer Nachbarschaft der oc-Stellung ein Substituent tragen, das mindestens ein freies Elektronenpaar besitzt und die dadurch in der Lage sind, schwerlösliche Chelat- bzw. Komplexverbindungen mit Metallkationen zu bilden, behandelt wird. 5. A method for producing the layer according to claim 1, characterized characterized in that the surface with heterocarbonyl compounds in the o: position or in the immediate vicinity of the oc position carry a substituent that possesses at least one free electron pair and which are therefore able to produce sparingly soluble To form chelate or complex compounds with metal cations, is treated. Die Erfindung betrifft eine Einkapsetung oder Lötverbindung aus Glaslot, die gegen chemische Einwirkungen, wie sie beim Betrieb von elektrischen Bauelementen vorkommen, insbesondere gegen die chemische Einwirkung einer Industrieatmosphäre, empfindlich ist. The invention relates to an encapsulation or soldered connection made of glass solder, against chemical effects, such as those used in the operation of electrical components occur, especially against the chemical effects of an industrial atmosphere, is sensitive. Eine derartige chemisch empfindliche Lötverbindung aus Glaslot ist in dem Artikel von W. Es p e, »Über einige neue Glaslote in der Vakuum-Technik«, Feinwerktechnik, Jg. 55, H. 12, 1951, auf den Seiten 303 - 306 beschrieben. Such a chemically sensitive soldered connection made of glass solder is in the article by W. Es p e, "About some new glass solders in vacuum technology", Feinwerktechnik, Vol. 55, H. 12, 1951, on pages 303-306. Glaslote eignen sich unter anderem zum Einkapseln von Halbleitern oder elektronischen Schaltungen, wie in der DT-OS 2244708 beschrieben, und zum Verbinden von Gläsern oder von Metallen mit Gläsern. Eine Empfindlichkeit dieser Einkapselungen oder Lötverbindungen gegenüber Wasser oder verdünnten Säuren wirkt sich sehr störend aus, da dadurch beispielsweise der Schutz der eingekapselten Bauteile gegen äußere Einflüsse verloren geht. Selbst feuchte CO2-haltige Luft kann diese Einkapselungen angreifen. Glass solders are suitable, among other things, for encapsulating semiconductors or electronic circuits, as described in DT-OS 2244708, and for connecting of glasses or of metals with glasses. A sensitivity to these encapsulations or soldered connections to water or dilute acids has a very annoying effect because it protects the encapsulated components against external influences, for example Influences is lost. Even moist air containing CO2 can do this attack. Es ist Aufgabe der Erfindung eine Einkapselung oder eine Lötverbindung aus Glaslot anzugeben, deren Oberfläche gegen derartige Einflüsse weitgehend unempfindlich ist. It is an object of the invention to provide encapsulation or a solder joint from glass solder, the surface of which is largely insensitive to such influences is. Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt mit den in den Ansprüchen angegebenen Mitteln. The solution to this problem is carried out with those specified in the claims Means. Die Passivierung der Oberfläche der Einkapselung oder der Lötverbindung ist einfach durchzuführen. Die Eigenschaften der Einkapselung oder der Lötverbindung, wie z. B. Härte, Ausdehnungskoeffizient oder Erweichungstemperatur, werden durch die Passivierung nicht verändert. Auch die elektrischen Eigenschaften (Leitfähigkeit) bleiben nahezu unverändert. Eine Abdekkung der freien Enden von metallischen Durchführungen bei der Passivierung ist nicht erforderlich, weil die Lötbarkeit der Durchführungen erhalten bleibt. The passivation of the surface of the encapsulation or solder joint is easy to do. The properties of the encapsulation or solder joint, such as B. hardness, coefficient of expansion or softening temperature are determined by the passivation does not change. The electrical properties (conductivity) remain almost unchanged. A cover for the free ends of metal bushings during passivation is not necessary because the bushings can be soldered preserved. Zur Passivierung der Oberfläche der Einkapselung oder der Lötverbindung aus Glaslot wird die Oberfläche zur chemischen Reaktion mit anorganischen oder organischen chemischen Verbindungen gebracht. For passivating the surface of the encapsulation or the solder joint from glass solder, the surface becomes a chemical reaction with inorganic or organic ones chemical compounds. Die anorganischen Verbindungen sind chemische Verbindungen aus sauerstoffhaltigen Anionen der 3., 4., 5. oder 6. Haupt- oder Nebengruppe des chemischen Periodensystems oder chemische Verbindungen mit Anionen sauerstofffreier Säuren der The inorganic compounds are chemical compounds made up of oxygen-containing Anions of the 3rd, 4th, 5th or 6th main or subgroup of the chemical periodic table or chemical compounds with anions of oxygen-free acids 6. Hauptgruppe.6th main group. Durch die chemische Reaktion mit dem Passivierungsmittel entstehen an der Oberfläche des bestimmungsgemäß verarbeiteten Glaslots schwerlösliche Verbindungen (vorwiegend Blei- und Zinkverbindungen dieser Anionen), die eine chemische Einwirkung, auch von verdünnten wäßrigen Säuren, auf das Glaslot verhindern. Formed by the chemical reaction with the passivating agent Hardly soluble compounds on the surface of the glass solder used as intended (mainly lead and zinc compounds of these anions), which have a chemical effect, also prevent dilute aqueous acids on the glass solder. Als organische Verbindungen werden Carbonylverbindungen oder Heterocarbonylverbindungen, die in oc-Stellung oder in unmittelbarer Nachbarschaft der o:-Stellung ein Substituent tragen, das mindestens ein freies Elektronenpaar besitzt, verwendet. Sie sind in der Lage, schwerlösliche Chelat- bzw. Komplexverbindungen mit Metallkationen zu bilden. Substituenten mit freien Elektronenpaaren sind hierbei z. B. NR2 (Aminogruppe) oder OH bzw. OR (R= Wasserstoff oder organischer Rest). Organic compounds are carbonyl compounds or heterocarbonyl compounds, those in the oc position or in the immediate vicinity of the o: position have a substituent wear, which has at least one free electron pair, is used. They are in capable of sparingly soluble chelate or complex compounds with metal cations form. Substituents with lone pairs of electrons are z. B. NR2 (amino group) or OH or OR (R = hydrogen or organic radical). Besonders gute Ergebnisse ergaben sich mit Thioharnstoff. Deshalb wird ein Ausführungsbeispiel beschrieben, bei dem zur Passivierung Thioharnstoff verwendet wird. Particularly good results were obtained with thiourea. That's why an exemplary embodiment is described in which thiourea is used for passivation is used. Als Glaslot wurde das Glaslot Nr. 7583 der Firma Corning Glass verwendet. Glass solder No. 7583 from Corning Glass was used as the glass solder. Der Thioharnstoff wird so in Wasser gelöst, daß eine 1-molare Lösung mit einem pH-Wert zwischen 8 und 9 entsteht Zur Passivierung wird das bestimmungsgemäß verarbeitete Glaslot in diese Lösung eingetaucht, die auf 40"C angewärmt ist. Durch die chemische Reaktion entstehen schwerlösliche Chelat-Komplexe aus Thioharnstoff bei Blei bzw. mit Zink. Die Dicke der sich ergebenden Passivierungsschicht beträgt ungefähr 2 um. The thiourea is dissolved in water so that a 1 molar solution with a pH value between 8 and 9 is produced. For passivation, this is used as intended Processed glass solder dipped in this solution, which is warmed to 40 "C. By the chemical reaction creates poorly soluble chelate complexes from thiourea with lead or with zinc. The thickness of the resulting passivation layer is about 2 µm. Durch die Passivierung wird eine chemische Einwirkung auf das bestimmungsgemäß verarbeitete Glaslot weitgehendst vermieden. In dem Diagramm ist dargestellt, wieviel mg/cm2 des Glaslots durch eine einstündige Behandlung mit Wasser, das eine Temperatur von 800 C hat, abgetragen wird. The passivation creates a chemical effect on the intended processed glass solder largely avoided. The diagram shows how much mg / cm2 of the glass solder by treating it with water for one hour at a temperature of 800 C is removed. Bei unbehandeltem Glaslot beträgt die Abtragung 1,8 mg/cm2 während sie nach einer 10minutigen Behandlung mit der Passivierungslösung nur noch weniger als 0,1 mg/cm2 beträgt. With untreated glass solder, the removal is 1.8 mg / cm2 during after a 10-minute treatment with the passivation solution, it only becomes less than 0.1 mg / cm2.
DE19752538119 1975-08-27 Encapsulation or soldered connection made of glass solder with a chemically passivated surface and a method for producing the layer to be applied Expired DE2538119C2 (en)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3442131A1 (en) * 1984-11-17 1986-05-22 Messerschmitt-Bölkow-Blohm GmbH, 8012 Ottobrunn METHOD FOR ENCODING MICROELECTRONIC SEMICONDUCTOR AND LAYER CIRCUITS

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE3442131A1 (en) * 1984-11-17 1986-05-22 Messerschmitt-Bölkow-Blohm GmbH, 8012 Ottobrunn METHOD FOR ENCODING MICROELECTRONIC SEMICONDUCTOR AND LAYER CIRCUITS

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