DE2532117C3 - Verfahren zur Messung der Oberflächenebenheit von Gegenständen aus Metall sowie Einrichtung zur Durchführungdes Verfahrens - Google Patents
Verfahren zur Messung der Oberflächenebenheit von Gegenständen aus Metall sowie Einrichtung zur Durchführungdes VerfahrensInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Messung der Oberflächenebenheit von Gegenständen aus Metall
gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie eine Einrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens.
Bei der Herstellung von Erzeugnissen aus Stahl, beispielsweise Stahlplatten, Stahlprofilteilen und Schienen,
treten gewisse periodische Oberflächenunregelmäßigkeiten am Material auf, und diese Unregelmäßigkeiten
sind manchmal so groß, daß das Material den Abnahmevorschriften nicht mehr entspricht.
Diese ungenügende Ebenheit muß genau gemessen werden, damit die Einstellungen der Walzwerke usw. an
der Herstellungsbahn entsprechend einjustiert werden können. Insbesondere dann, wenn die Periode der
Unregelmäßigkeiten relativ kurz ist, besteht eine große Notwendigkeit zum Geraderichten der Unregelmäßigkeiten,
und die Unregelmäßigkeiten müssen mit einem hohen Grad an Genauigkeit gemessen werden.
Es sind verschiedene Verfahren zur Messung der Ebenheit für den obenerwähnten Zweck bekanntgeworden.
Bei einem bekannten Verfahren wird beispielsweise ein elektrisches Bezugsniveau verwendet, und bei
einem anderen Verfahren wird eine Verschiebungsmeßvorrichtung mit einem Differentialtransformator so
verwendet, daß die Ebenheit des zu messenden Materials, welches auf eine Abrichtplatte aufgelegt ist,
als Funktion der Änderungen in der Höhe des Materials bestimmt wird. Diese beiden bekannten Verfahren
haben jedoch ihre eigenen Nachteile, die im folgenden näher beschrieben werden.
Das Meßverfahren, bei dem ein elektrisches Bezugsniveau verwendet wird, ist nachteilig durch Messung des
Grades der Ebenheit der zu messenden Oberfläche in regelmäßigen Intervallen von etwa 200 mm unter
Anwendung des elektrischen Bezugsniveaus auf die Oberfläche des Materials erhalten wird. Dies hat zur
Folge, daß nicht nur die Durchführung der Messung kompliziert ist, indem sie viel Zeit erfordert, sondern die
Messung durch die Bedingungen beeinflußt wird, unter denen das Material angeordnet ist oder durch den Grad
der Ebenheit des Haltegestells und die stärkere Krümmung des Materials im ganzen (nachfolgend mit
»Gesamtkrümmung« bezeichnet), welche es unmöglich machen, eine genaue Messung der wirklichen Unregelmäßigkeiten
in der Oberfläche des Materials durchzuführen.
Die Meßmethode, bei der die Ebenheit eines Materials, unter Verwendung einer Verschiebungsmeßvorrichtung
mit einem Differentialtransformator als Funktion der Änderungen in der Höhe der gemessenen
Oberfläche bestimmt wird, ist auch nachteilig, weil die Messung so durchgeführt wird, daß das zu messende
Material auf eine Abrichtplatte aufgelegt wird, welche einen sehr hohen Ebenheitsgrad aufweist, und die
yerschiebungsmeßvorrichtung in einer Richtung paralel
zuv Oberfläche der Abrichtplatte bewegt wird. Da es lus diesem Grunde notwendig ist, eine Abrichtplatte
ausgezeichneter Ebenheit zu verwenden, ist es schwierig, die geforderte Genauigkeit der /Vorichtplatte
sicherzustellen oder eine geeignete Abrichtplatte zu finden, welche eine lange Meßstrecke zuläßt, so daß es
überhaupt schwierig ist, die notwendige Ausrüstung bereitzustellen. Weiterhin ist nachteilig, daß der
Standort der Messung beschränkt ist durch den Standort der Abrichtplatte, was bei der Durchführung
des Verfahrens schwierige Probleme ergibt, beispielsweise im Hinblick auf den Transport des zu messenden
Materials. Schließlich wird der Wirkungsgrad des Verfahrens auch dadurch eingeschränkt, daß sogar
dann, wenn das Material bei der Messung auf eine Abrichtpiatte aufgelegt ist, die Messung durch die
Gesamtkrümmung des Materials beeinflußt wini
Es ist weiterhin ein Verfahren bekannt (s. »Soviet. Invent Illustr. vom 73.1974 Nr. 3 81 861« und DT-OS
20 23 657), bei dem gegenüber der auszumessenden Oberfläche an drei Meßpunkten Detektoren angeordnet
sind, welche in Meßrichtung in vorgegebenen gleichmäßigen Intervallen auf einer geraden Bezugsachse
liegen. Gegenstand und Meßpunkte werden relativ zueinander in Meßrichtung ohne Veränderung der
gegenseitigen Lage der Meßpunkte bewegt, und die hierbei durchlaufene Strecke wird gemessen. Die
Oberflächenebenheit des Gegenstandes wird bestimmt durch Ermittlung der Differenz zwischen dem arithmetischem
Mittel aus den Signalen der an den Meßpunkten zu beiden Seiten des mittleren Meßpunktes angeordneten
Detektoren und dem Signal des am mittleren Meßpunkt angeordneten Detektors.
Ein Nachteil dieses bekannten Verfahrens besteht darin, daß es mit ihm nicht möglich ist, die Wellenlänge
periodischer Oberflächenunregelmäßigkeiten zu bestimmen.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es ausgehend von dem obengenannten bekannten Verfahren ein
Verfahren zu schaffen, durch welches in einfacher Weise eine genaue, kontinuierliche Bestimmung sowohl der
Amplitude als auch der Wellenlänge relativ kurzwelliger periodischer Oberflächenunregelmäßigkeiten von Metallgegenständen
mit verschiedenen Perioden sowie der Periode des Auftretens einer die Oberflächenebenheit
des Gegenstandes beeinträchtigenden Stelle möglich ist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Vereinigung der Merkmale gelöst, daß drei berührungsfrei
arbeitende Detektoren auf einer in einem bestimmten Abstand über dem Gegenstand angeordneten
geraden Bezugsachse liegen und die bei der Relativbewegung zwischen Gegenstand und Detektoren
von diesen abgegebenen Abstandssignale kontinuierlich zu einer Rechenvorrichtung zur Auswertung
gegeben werden, und daß der Abstand der jeweils zu beiden Seiten des mittleren der drei Detektoren
angeordneten Detektoren voneinander nach verschiedenen vorgegebenen Werten derart variiert wird, daß
dieser Abstand in einer bestimmten Beziehung zur Wellenlänge der periodischen Oberflächenunregelmäßigkeit
steht.
Es sind verschiedene Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Verfahrens möglich. So können z. B. bei
der Verwendung von drei Detektoren mehrere Maßreihen aufgenommen werden, wobei jeweils mit
verschiedenen Abständen der beiden äußeren Detektoren voneinander gearbeitet wird. Soll nur mit einer
Meßreihe gearbeitet werden, so ist es vorteilhaft, wenn außer einem ersten Satz von drei Detektoren
mindestens ein zusätzlicher Satz von drei Detektoren auf der gleichen Bezugsachse angeordnet ist, wobei
jeweils die Detektoren der mittleren Meßpunkte der Sätze zusammenfallen und die Detektoren des zusätzlichen
Satzes in vorgegebenen gleichmäßigen Intervallen angeordnet sind, welche von den Intervallen des ersten
Satzes von Detektoren verschieden sind, und bei der
ίο Relativbewegung jeder der Sätze von drei Detektoren
den Abstand zwischen den jeweiligen Detektoren und der Oberfläche des Gegenstandes mißt und entsprechende
Signale zur Rechenvorrichtung zwecks Auswertung gibt.
Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren ist eine sehr genaue Bestimmung nicht nur der Amplituden, sondern
auch der Wellenlängen bei den relativ kurzwelligen periodischen Oberflächenunregelmäßigkeiten, wie sie
beispielsweise bei Stahloberflächen auftreten, möglich.
Gegenstand der Erfindung ist weiterhin eine Einrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens,
bei der eine an die Detektoren angeschlossene Rechenvorrichtung die von jeweils drei Detektoren
eines Satzes von Meßpunkten ausgehenden Signale empfängt und verarbeitet, sowie eine Registriervorrichtung,
eine Analysiervorrichtung zur Berechnung der Amplitude und Periode der tatsächlichen Unregelmäßigkeiten
am Gegenstand, eine Eingabevorrichtung zur Vorgabe des Wertes der Entfernung zwischen den
Detektoren zu beiden Seiten des mittleren Detektors des ausgewählten Satzes von drei Detektoren, eine
Anzeigevorrichtung sowie eine Vorrichtung zur Messung der bei der Relativbewegung zwischen den
Gegenstand und den Detektoren durchlaufenen Strecke vorgesehen sind.
Im folgenden werden anhand der Zeichnungen Ausführungsbeispiele für das erfindungsgemäße Verfahren
und die erfindungsgemäße Einrichtung näher erläutert.
F i g. 1 zeigt in einem schematischen Diagramm die typische Anordnung eines zu messenden Materials im
Hinblick auf die Meßvorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens.
F i g. 2 ist eine schematische Darstellung ähnlich Fig. 1, in der angenommen wird, daß die Unregelmäßigkeiten
in der Oberfläche eines Materials durch einen allgemeinen mathematischen Ausdrui k darstellbar sind,
wobei das Bild der Oberflächenunregelmäßigkeiten graphisch als eine diesem Ausdruck entsprechende
Kurve dargestellt ist.
F i g. 3 ist ein Diagramm, welches die Einwirkung der Entfernung zwischen den Detektoren auf das Verhältnis
zwischen den gemessenen Amplitudenwerten, welche die ausgemessenen Lücken repräsentieren, und der
Amplitudenwerten der tatsächlichen Unregelmäßigkeit ten darstellt.
Fig.4 ist ein Diagramm, welches graphisch dif
gemessenen Werte /d/12 einer Gesamtkrümmung und di<
gemessenen Werte Ah\ einer welligen Krümmung, di<
Gegenstand der Messung ist, zeigt.
F i g. 5 ist ein Diagramm, welches graphisch die au den Größen ah\ und Ahi zusammengesetzte Wellen
form zeigt.
F i g. 6 ist ein schematisches Blockdiagramm, welche den Aufbau einer Meßeinrichtung zur Messung de Oberflächenunregelmäßigkeit zeigt.
F i g. 6 ist ein schematisches Blockdiagramm, welche den Aufbau einer Meßeinrichtung zur Messung de Oberflächenunregelmäßigkeit zeigt.
F i g. 7 zeigt zwei Diagramme mit den Ergebnisse von tatsächlichen Messungen.
Fig.8 ist eine Darstellung analog Fig.2 bei
Verwendung von mehr als drei Detektoren.
Fig.9 ist eine Darstellung analog Fig.6 einer
Einrichtung mit mehr als drei Detektoren.
Wie aus dem schematischen Diagramm in Fig. 1, welches zur Erklärung des allgemeinen Prinzips der
vorliegenden Erfindung nützlich ist, hervorgeht, ist ein Unterstützungsteil E das eine ausgezeichnete Geradlinigkeit
und Ebenheit besitzt und als gerade Bezugsachse dient, in Meßrichtung 5 über der zu messenden
Oberfläche eines Werkstückes 1 angeordnet An dem Unterstützungsteil £sind an drei in gleichen Abständen
voneinander angeordneten Punkten Detektoren D\, D2,
D3 angeordnet.
Es werden nun entweder das Unterstützungsteil E '5
welches die Detektoren Dx, D2, D3 trägt, oder das
Werkstück 1 in Meßrichtung S relativ zueinander bewegt, und die Ausgangssignale der Detektoren
werden zur Bestimmung der Ebenheit der gemessenen Oberfläche weiterverarbeitet.
Dies geschieht in folgender Weise:
Nimmt man an, daß Ai, A2 und A3 jeweils die
gemessenen Werte der Detektoren D1, D2 und D3 sind,
dann ist die resultierende Oberflächenwelligkeit Ah gegeben durch:
Ah
A1 + A3
-A2.
Daher können durch Vorgabe eines Gesamtabstandes L zwischen den beiden äußeren Detektoren mit
verschiedenen geeigneten Werten Oberflächenunregelmäßigkeiten mit verschiedenen Perioden quantitativ
gemessen werden.
Wenn man annimmt, wie dies in Fig.2 graphisch
dargestellt ist, daß die periodische Welligkeit der Materialoberfläche gegeben ist durch
Y[x) = AsmωX- B
(wobei ω = 2 π/λ ι die Periode der Welligkeit ist) und
L/2 der Abstand zwischen den Detektoren ist, dann werden die von den Detektoren D\, D2, D3 angezeigten
Werte durch folgende Ausdrücke gegeben:
Ai = B—Asm ω χ
A2 = Β—Asm ω (χ+L/2)
A3 = Β— Asm ω (χ +L)
Hierbei ist χ die Strecke der Relativbewegung zwischen dem Werkstück und den Meßpunkten in
Meßrichtung. Die sich hieraus ergebende Oberflächenweiligkeit Ah ist gegeben durch den Ausdruck:
.1/I=(Zi1 + /i3)/2-A2
= A M -
<„L\
cos -—- J
cos -—- J
sin κι
( L\
ί χ + — J
ί χ + — J
besitzt also einen Amplitudenwert, der proportional zu den Oberflächenunregelmäßigkeiten des Materials ist
und der die gleiche Periode wie diese Oberflächenunregelmäßigkeiten aufweist.
Der gemessene Amplitudenwert kann wegen der gewünschten Abhängigkeit von dem Abstand L
zwischen den äußersten Detektoren eingestellt werden Wenn also a ein Amplitudenverhältnis, und zwar das
Verhältnis der Amplitude von Ah zur Amplitude der Unregelmäßigkeiten der gemessenen Oberfläche bedeutet,
dann wird dieses Amplitudenverhältnis gegeben durch
a = A ( 1 - cos.-T~)IA = ( 1 - cos.-r —).
Das Amplitudenverhältnis kann also in Abhängigkeit vom Wert der Größe L/Ai, wie in F i g. 3 dargestellt, auf
den Wert 1 gebracht werden. Da die Periode Ai aus den
gemessenen Werten ermittelt werden kann, ist es in der Praxis möglich, das Verhältnis des gemessenen Amplitudenwertes
zu dem wirklichen Amplitudenwert aufgrund der Beziehung zwischen der Periode λ\ und einem
vorgegebenen Wert von Leinzustellen.
Wenn andererseits bei dem zu messenden Material zusätzlich zu solch einer periodischen unregelmäßigen
Welligkeit (nachfolgend als »Wellenkrümmung« bezeichnet) eine Gesamtkrümmung auftritt, so hat diese
Gesamtkrümmung auf den gemessenen Wert Ah die nachstehend erläuterte Wirkung.
Wenn man annimmt, daß die Wellenkrümmung durch
A1 sin —— χ
gegeben ist und die Gesamtkrümmung durch
gegeben ist und die Gesamtkrümmung durch
55
Dies bedeutet, daß der gemessene Wert Ah sich
ausdrücken läßt als eine Wellenform, deren Amplitude gegeben ist durch
A I 1 - cos .-r v
A2 sin
2 π
Jf+1),
45 so ergibt sich der gemessene Wert Ah als Summe der
Wellenkrümmungskomponente zlAi und einer Gesamtkrümmungskomponente
Ah2 in folgender Weise:
Ah = Ah1 +Ah2
λ
= A1
= A1
In Fig.4 sind als Diagramm graphisch die obenerwähnten
Komponenten Ah\ und Ah2 dargestellt, und
Fig.5 zeigt alü Diagramm in graphischer Form die
zusammengesetzte Wellenform Ah = Ah\+Ah2. Wie
aus den F i g. 4 und 5 zu ersehen, ist der Amplitudenweri (Maximum) einer Wellenlänge der zusammengesetzter
Wellenform, wie sie in F i g. 5 dargestellt ist, beispielsweise die Wellenlänge zwischen
und deren Periode λ, beträgt. Der gemessene Wert Ah gleich der Summe einer WellenkrümmuneskomDonentc
2 Ai und einer Gesamtkrümmungskomponente AB,
v/obei dieses AB einem durch die Gesamtkrümmung hervorgerufenen Fehler entspricht. Der Wert von Δ Β
ergibt sich aus folgender Beziehung
AB = IZi2U1)- Wj2(A2)
-sin
Iß/2 Λ, =A2f] -cos-ry
χ 2cos^- [(„ + !) A1+/] sin I ^1
χ 2cos^- [(„ + !) A1+/] sin I ^1
cos
■ sin J |
.Iß/2/1, g 210 · IO
Hieraus folgt, daß das Verhältnis der Komponente Δ Β
zur Wellenkrümmungsamplitude 2A\ gegeben wird durch den Ausdruck:
Hieraus ergibt sich unter der Voraussetzung, daß LI A, = 1/2
Wenn weiterhin vorausgesetzt wird, daß die Periode X2 der Gesamtkrümmung zwanzig Mal so groß ist wie
die Periode Ai der Wellenkrümmung, dann ergibt sich
35
Es ergibt sich damit, daß bei dem oben beschriebenen Meßverfahren die Auswirkung einer Gesamtkrümmung
mit einer Periode, die normalerweise sehr viel größer ist als die Periode der Wellenkrümmung, so gering ist, daß
sie praktisch vernachlässigt werden kann, und es ist möglich, allein die Wellenkrümmung genau zu messen.
Wenn für die Messung ein Satz von drei Meßpunkten verwendet wird, kann die sich ergebende Distanz L
zwischen den beiden äußersten Detektoren im Verlauf einer Messung nicht verändert werden, und aus diesem
Grunde muß, wenn die Benutzung einer anderen Distanz L gewünscht wird, das Meßverfahren von
neuem durchgeführt werden. Wenn jedoch beispielsweise eine Anzahl vcn Detektoren, die größer ist als drei, im
voraus auf einem Unterstützungsteil angeordnet ist, können die Detektoren in verschiedener Weise
ausgewählt werden, um gleichzeitige Messungen mit verschiedenen Distanzen L zu ermöglichen.
In Fig.8 ist dargestellt, wie eine Messung mit mehr
als drei Detektoren durchgeführt werden kann. Am Unlerstützungsteil E sind z. B. sechs Detektoren Di, D;,
D), D4, D'„ Db angeordnet, wobei die am mittleren
Meßpunkt angeordneten Detektoren D2 und Ds
zusammenfallen. Der Abstand der Detektoren D\ und Dj voneinander sei L Der Abstand der Detektoren D4
und Df. voneinander sei U. Es werden nun zu den
Abstandswerten h\ bis Λ3 noch die Abstandswerte Λ4 und
hb bestimmt und zusammen mit dem Abstandswert h2 in
der gleichen Weise ausgewertet wie weiter oben anhand von F i g. 2 geschildert. Es kann dann bestimmt werden,
welche der Intervalle L/2 oder L72 zur Bestimmung der
Wellenlänge der periodischen Unregelmäßigkeit geeigneter sind. Selbstverständlich können durch Verwendung
von noch mehr Detektoren weitere Intervalle L"/2 usw. überprüft werden.
F i g. 6 zeigt den Aufbau einer Meßeinrichtung gemäß einer Ausführungsform des Meßverfahrens, die zur
Messung der welligen Deformation von Schienen benutzt wird.
Mit 1 ist eine Schiene oder ein anderes zu messendes Werkstück bezeichnet. An einem Meßwagen C ist ein
Unterstützungsteil E befestigt, an dem Detektoren D\, D2, Dj angeordnet sind. An den Enden des Unterstützungsteiles
E sind angetriebene Rollen R angeordnet, sowie an einem Ende ein Impulsoszillator 4 vom
Rollentyp zur Einstellung des Kartenantriebs einer Registriervorrichtung 3 zur Registrierung der Meßlänge.
Der Rechenvorrichtung 2 werden die durch die Detektoren Dt, D2, Dj gemessenen Werte Zj1, fa und Λ3
zugeführt, aus denen sie den Wert Δ = (h\ +hj)/2 — h2
berechnet und der Registriervorrichtung zuführt, auf der dieser Wert in Abhängigkeit von der Meßlänge
festgehalten wird.
Fig.9 zeigt den Aufbau einer Meßeinrichtung für
eine andere Ausführungsform des Meßverfahrens, das anhand von F i g. 8 weiter erläutert wurde.
Diese Meßeinrichtung unterscheidet sich von der Meßeinrichtung nach Fig.6 dadurch, daß am Unterstützungsteil
Einsgesamt fünf Detektoren Di, D2, D3, D4
D6 angeordnet sind, die jeweils mit der Rechenvorrichtung
2 verbunden bzw. verbindbar sind.
Bei den Meßeinrichtungen nach den F i g. 6 und 9 isi
der Ausgang der Rechenvorrichtung 2 über einer zweiten Zweig verbunden mit einer Analysatorvorrich
tung 5, welche die Amplitude und Periode dei tatsächlichen Unregelmäßigkeiten an der Schiene 1
bzw. dem Werkstück berechnet, die aus einer mit Hilf« einer Eingabevorrichtung 6 vorgegebenen Distanz /
bzw. U für die Detektoren und dem Ausgangssignal Al der Rechenvorrichtung 2 bestimmt werden, wobei da;
Ausgangssignal der Analysatorvorrichtung 5 mit Hilfe einer Anzeigevorrichtung 7 angezeigt wird.
Die Fig. 7a und 7b zeigen die Ergebnisse vor
Messungen, die mit einer Meßeinrichtung nach Fig.(
bei einer Bewegung des Meßwagens C entlang de Schiene in Meßrichtung 5durchguführt wurden.
F i g. 7a zeigt Werte von Ah, welche in Längsrichtunj
der Schiene mit einem Wert von L - 600 mm gcmessci
wurden, wahrend Fig. 7b das Ergebnis einer ahnlichci
Messung mit einem Wert L — 1000 nun zeigt.
Hier/u (1 Wall /x'ichiHiiim.'n
Claims (3)
- Patentansprüche:!. Verfahren zur Messung eier Oberflächenebenheit von Gegenständen aus Metall, unter Verwendung von gegenüber der auszumessenden Oberfläche an drei Meßpunkten angeordneten Detektoren, welche in Meßrichtung in vorgegebenen gleichmäßigen Intervallen auf einer geraden Bezugsachse liegen, wobei Gegenstand und Meßpunkte relativ ι ο zueinander in Meßrichtung ohne Veränderung der gegenseitigen Lage der Meßpunkte bewegt und die hierbei durchlaufene Strecke gemessen werden, und die Oberflächenebenheit des Gegenstandes durch Ermittlung der Differenz zwischen dem arithmetisehen Mitte! aus den Signalen der an den Meßpunkten zu beiden Seiten des mittleren Meßpunktos angeordneten Detektoren und dem Signal des am mittleren Meßpunkt angeordneten Detektors bestimmt wird, gekennzeichnet durch die Vereinigung der Merkmale, daß drei berührungsfrei arbeitende Detektoren (Di bis D3) auf einer in einem bestimmten Abstand (A) über dem Gegenstand (1) angeordneten geraden Bezugsachse (E) liegen und die bei der Relativbewegung zwischen 2;> Gegenstand und Detektoren von diesen abgegebenen Abstandssignale kontinuierlich zu einer Rechenvorrichtung (2) zur Auswertung gegeben werden, und daß der Abstand (L) der jeweils zu beiden Seiten des mittleren der drei Detektoren angeordneten Detektoren (Di, D3) voneinander nach verschiedenen vorgegebenen Werten derart variiert wird, daß dieser Abstand (L) in einer bestimmten Beziehung zur Wellenlänge der periodischen Oberflächenunregelmäßigkeit steht.
- 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß außer einem ersten Satz von dre Detektoren (U1 bis Ds) mindestens ein zusätzliche! Satz von drei Detektoren (D4 bis Db) auf der gleicher Bezugsachse (E) angeordnet ist, wobei jeweils die Detektoren der mittleren Meßpunkte der Sätze zusammenfallen und die Detektoren (D4 bis D6) des zusätzlichen Satzes in vorgegebenen gleichmäßigen Intervallen (L72) angeordnet sind, welche von den Intervallen (L/2) des ersten Satzes von Detektoren (Di bis Dj) verschieden sind, und daß bei der Relativbewegung jeder der Sätze von drei Detektoren den Abstand zwischen den jeweiligen Detektoren und der Oberfläche des Gegenstandes mißt und entsprechende Signale zur Rechenvorrichtung (2) zwecks Auswertung gibt.
- 3. Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche I oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine an die Detektoren angeschlossene Rechenvorrichtung (2) die von jeweils drei Detektoren eines Satzes von Meßpunkten ausgehenden Signale empfängt und verarbeitet sowie eine Registriervorrichtung (3), eine Analysiervorrichtung (5) zur Berechnung der Amplitude und Periode der tatsächlichen Unregelmäßigkeiten am Gegenstand (1), eine Eingabevorrichtung (6) zur Vorgabe des Wertes der Entfernung (L) zwischen den Detektoren zu beiden Seiten des mittleren Detektors des ausgewählten Satzes von drei Detektoren, eine Anzeigevorrichtung (7) sowie eine Vorrichtung (4) zur Messung der bei der Relativbewegung zwischen dem Gegenstand und den Detektoren durchlaufenen Strecke (x) vorgesehen sind.
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