DE2342495A1 - Objektiv-lochblendeneinheit fuer kohaerentes licht - Google Patents

Objektiv-lochblendeneinheit fuer kohaerentes licht

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DE2342495A1
DE2342495A1 DE19732342495 DE2342495A DE2342495A1 DE 2342495 A1 DE2342495 A1 DE 2342495A1 DE 19732342495 DE19732342495 DE 19732342495 DE 2342495 A DE2342495 A DE 2342495A DE 2342495 A1 DE2342495 A1 DE 2342495A1
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unit
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Groegor Dipl-Phys Antes
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JODON ENGINEERING ASSOCIATES A
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JODON ENGINEERING ASSOCIATES A
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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Description

DlPL-PHYS. M. BECKER
PATENTANWÄLTIN
7 STUTTGART 70
AUF DEM HAIGST 29 - T.600306
JODON Engineering Associates AG., Unterraoosenstrasse 10,
8820 Wädenswil (Schweiz)
Öbjektiv-Lochblendeneiraheit für kohärentes Licht
ßas vorliegende Patent betrifft eine Objektiv-Lochblendeneinheit für kohärentes Licht.
Objektiv«-LochblendenkowibiiraatiQnen werden auf dem Gebiet der kohärenten Optik dazu verwendet» die im Querschnitt begrenzte, ebene, mit Störfeldern überlagerte elektromagnetische Welle eines Lasers in eine itn Raujawinkel begrenzte4 divergierende, ungestörte Kugelwelle umzuwandeln. Dazu lässt man den Laserstrahl mit bestimmtem Helbwerteadius seines Querschnitts in der optischen Achse auf ein Linsensystem^ beispielsweise ein geeignetes Mikroskopobjektiv, folien» weiches zunächst die ebene Welle "des Lasers in eine auf den
des Limsensystesis konvergierende Kugelwelie umwandelt, des Brennpunktes divergiert die Kugelweile innerhalb eines dessen Halbwertswink el als Funktion der ObjektivbreTinweite des Helbwertsradius des Laserstrahls gegeben ist» Bie der ebenen
des Lasers üfeerlagerten Storfeider werden an einem vom Brennpunkt verschiedenen Ort fokussiert» da sie an Streuzentren mit Abstand vü« dar fokussierenden Optik entstanden sind*
lassen ©ich weitgehend eliminieren, wenn man im Brennpunkt «in ilandeiiiöGh von entsprechendeii Durchmesser zwischen 3 μ •und 25 ψ. anbringt, so dass nur die im Brennpunkt fokussierte Welle
durchgelassen wird.
Die bekannten Objektiv-Lochblendenkombinationen bestehen aus einem Mechanismus, in welchem einerseits ein Mikroskop—Objektiv richtungsmässig starr gehältert ist und andererseits eine dejnontierbare Lochblende in den beiden Koordinaten senkrecht zur optischen Achse verschoben werden kann, wobei zudem der Abstand zwischen Objektiv und Lochblende zum Fokussieren verstellbar ist.
Die Justierung der bekannten Objektiv-Lochblejiderakonibinationen muss für jeden Versuchsaufbau und nach jedem allfälligen Wechsel der Objektivbrennweite neu vorgenommen werden. Zudem ist die Justierung erfahrungsgemäss auch bei einiger Uebung des Experimentators zeitlich aufwendig. Das sei anhand des folgenden Standard—Anwendungsproblems erläutert.
Eine Zielflache soll mit einer von Störfelderra befreiten Laser— Kugelwelle aus einem bestimmten Abstand beleuchtet werden.
Für die bekannten Objektiv-Lochblendenkombinationen ergibt sich die folgende Einstellvorschrift:
■1» Den Laserstrahl ohne eingesetzte Objektiv—Lochblendenkonibi— nation auf das Zentrum der Zielfläche richten.
2* Die Objektiv-Lochblendenkombination ohne eingesetzte Lochblende im genannten Abstand von der Zielfläche in einer geeigneten Haltevorrichtung mit der optischen Achse nach Augenmass parallel zur Achse des Laserstrahls bringen»
3* Bie Objektiv—Lochblendenkombination in den beiden Koordinaten senkrecht zur optischen Achse verschieben, bis der aufgeweitete, unfiltrierte Strahl um die Mitte der Zielfläche zentriert ist, fäarc hat so keine Gewähr, dass Laserstrahl und optische Achse wirklich parallel sind, denn die Richtung des austretenden Lichtkegels ist wohl eine Funktion der Winkel zwischen optischer Achse und einfallendem Laserstrahl, hängt aiber auch νση deren
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gegenseitiger Versetzung ab.
4. Die Lochblende in die Qbjektiv-Lochblendenkombination einsetzen und mit Hilfe von drei Mikrometertrieben in den drei Koordinaten auf den Brennfleck justieren. Das Auffinden der richtigen Position wird erleichtert, indem man das Objektiv zunächst so defokussiert, dass der Brennfleck nicht exakt in die Lochblendenebene fällt, und somit auf dieser eine grössere Fläche beleuchtet wird. Es lässt sich dann nach einigem Suchen ein lichtschwaches Beugungsscheibchen auf der Zielfläche finden, das durch Justieren der Lochblende näherungsweise auf die optische Achse zentriert werden kann. Da die Intensität dieses Beugungsscheibchens sehr schwach ist, behilft man sich mit einem weissen Projektionsschirm, den man nahe ans Objektiv heranrückt. Wird jetzt das Objektiv langsam fokussiert, wächst das Beugungsscheibchen und wandert aus dem Zentrum der Zierfläche ab, was durch erneutes Justieren der Lochblende in den beiden Koordinaten senkrecht zur optischen Achse kompensiert werden muss. Diese Einstellung wird umso kritischer, j*e mehr sich die Blendenebene dem Brennfleck nähert. Durch iteratives Verschieben des Objektivs in der optischen Achse und Justieren der Lochblende in den Koordinaten senkrecht dazu wird schliesslich der Brennfleck ins Zentrum der Lochblende gebracht, so dass daraus eine filtrierte Kugelwelle emittiert wird, welche die Zielfläche beleuchtet.
Zweck der vorliegenden Erfindung ist, den Nachteil des umständlichen EinsteilVerfahrens bekannter Obj ektiv-Lochblendenkombinationen zu vermeiden. Erfindungsgemäss ist die Objektiv-Lochblendeneinheit dadurch gekennzeichnet, dass an der Frontseite eines Objektivs eine Trägerhülse mit ihrem einen Ende am Objektiv befestigt ist und dass am andern Ende der Trägerhülse eine mit einer .Lochblendenscheibe versehene Lochblendenträgerplatte mittels einer Kunststoff zwischenschicht angebracht ist, wobei das Blendenloch der Lochblsndenscheibe im Brennpunkt des Objektivs liegt.
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Die Erfindung bezieht sich ferner auf ein Verfahren zum Betrieb der oben definierten Objektiv-Lochblendeneinheit, welches Verfahren erfindungsgemäss dadurch gekennzeichnet ist, dass zwecks Beleuchtung einer Zielfläche aus einem bestimmten Abstand mit einer von Störfeldern befreiten Laser-Kugelwelle die Objektiv-Lochblenden— einheit im genannten Abstand vor der Zielfläche mit ihrer optischen Achse in einer Schwenk- und Schiebevorrich.tung parallel zum Laserstrahl ausgerichtet wird, worauf durch Parallelverschieben der Objektiv—Lochblendeneinheit in zwei zueinander und zum Laserstrahl senkrechten Richtungen der Lichtkegel auf die Zielfläche zentriert wird, derart, dass die optische Achse der Objektiv-Lochblendeneinheit und der Laserstrahl koaxial sind.
Schliesslich bezieht sich die Erfindung auf ein Verfahren zur Herstellung der oben definierten Objektiv-Lochblendeneinheit. Erfindungsgemäss ist das Verfahren dadurch gekennzeichnet, dass das Objektiv mit am einen Ende befestigter Trägerhülse auf einer Schwenk- und Schiebevorrichtung angebracht wixd, auf welcher eine die mit der Lochblendenscheibe versehene Lochblendenträgerplatte festhaltende, drei zueinander senkrechten Richtungen bewegbare Feinverschiebungsvorrichtung derart befestigt wird, dass zwischen dem anderen Ende der Trägerhülse und der Lochblendenträgerplatte ein ringförmiger 5palt vorliegt, woraif in den genannten Spalt eine aushärtbare Kunststoffschicht eingebracht wird, dass anschliessend mittels der Schwenk- und Schiebevorrichtung die optische Achse des Objektivs koaxial zu einem Laserstrahl ausgerichtet und mittels der Feinverschiebungsvorrichtung die Lochblendenträgerplatte verschoben wird, bis das Zentrum des Blendenlochs im Brennpunkt des Objektivs liegt, und dass die Kunststoffschicht ausgehärtet wird.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachstehend anhand der Zeichnung beschrieben. Es zeigen:
Fig. 1 einen Längsschnitt einer Objektiv-Lochblendeneinheit,
Fig. 2 eine perspektivische Ansicht eines Schwenk- und Schiebehalters für die Dbjektiv-Lochblendeneinheit zu deren Her-
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Stellung und Betrieb.
Bei der .in Fig„ 1 dargestellten ..Objektiv-Lochblendeneinheit ist an der Frontseite eines Mikroskopobjektivs 1 das eine Ende einer Trägerhülse 2 koaxial aufgeschraubt und mit einer Madenschraube 3 gesichert. Das andere mit einem Absatz 4 versehene Ende hält über eine Kunststoffzwischenschicht 5 die Lochblendenträgerplatte 6 in solcher Position, dass das Blendenloch 7 des auf der Lochblendenträgerplatte 6 festgeklebten Lochblendenscheibchens B im Brennpunkt des Objektivs liegt, so dass jede ebene Welle 9"eines Lasers, die parallel zur optischen Achse 10 in die Eintrittsblende 11 der Objektiv-Lochblendeneinheit fällt, durchgelassen wird. Eine Bohrung 12 dient zum Luftausgleich bei der später beschriebenen Herstellung der dargestellten Objektiv-Lochblendeneinheit. Der Absatz 4 bildet zusammen mit der Lochblendenträgerplatte 6 eine Nut7in welche zum Absprengen der Platte 6 ein hebeiförmiges Werkzeug eingesetzt werden kann.
Zur Herstellung der vorliegenden Objektiv-Lochblendeneinheit und zu deren Gebrauch ist der in Fig. 2 dargestellte und nachstehend beschriebene Schwenk- und Schiebehalter von Vorteil.
Der dargestellte Schwenk- und Schiebehalter ist in der gewünschten Lage an einer feststehenden 5äule 21 mittels einer Schraubenklemmvorrichtung 22 befestigt, welche eine erste geläppte Gleitschiene 23 mit einer Zahnstange 24 für die X-Verschiebung trägt. An der Gleitschiene 23 hält sich ein Magnetwürfel 25 einerseits direkt an der vertikalen Fläche der Gleitschiene 23, wobei er sich auf eine an ihm befestigte Dreipunktauflage 26 stützt, andererseits indirekt an der oberen horizontalen Fläche der Gleitschiene 23 über einen an ihm befestigten Polschuh 27 mit zwei Auflageflächen 28. Auf gleiche statisch bestimmte Art hält die andere Seite des Magnetwürfels 25 in Verbindung mit einem Polschuh 29 eine zweite geläppte Gleitschiene 30 mit einer Zahnstange 31 für die Y-Verschiebung. In einer Bohrung an den Polschuhen läuft eine in der Zeichnung verdeckte Welle, auf der einerseits ein Drehknopf 32 und ein entsprechendes, in die
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Zahnstange 24 eingreifendes erstes Ritzel 33 festsitzen und andererseits ein Drehknopf 34 fest verbunden mit einem zweiten Ritzel 35 im Eingriff mit der Zahnstange 31 frei drehbar lagert. Eine Dbjektiv-Lochblendeneinheit 36, deren Aufbau anhand der Fig. beschrieben wurde, ist in eine Standarte 37 eingeschraubtj in der eine in der Mitte gelochte Glasplatte 38 versenkt eingelassen ist, deren ohjektivseitige Oberfläche mit einer reflexhindernden, undurchsichtigen Schicht versehen und deren andere spiegelnde Seite senkrecht zur optischen Achse 39 steht. Die Standarte 37 ist mit einem Ende einer Platte 40 verschraubt, deren anderes Ende zwei Bohrungen zur Aufnahme von zwei 5tahlkugeln 41 aufweist und durch eine federnde Klammer 42 mit dem übereinstimmend gelochten, rechten Teil eines Winkels 43 zusammengepresst wird, so dass in Verbindung mit einer Winkelstellschraube 44 eine Dreipunktauflage mit einer vertikalen Drehachse 45 durch beide Kugelzentren entsteht. In gleicher Weise ist der untere Teil des Winkels 43 durch eine in Fig. 2 verdeckte Klammer und Kugeln mit einer Grundplatte 46 und einer Stellschraube 47 verbunden, so dass eine horizontale Drehachse 48 koplanar zur vertikalen Drehachse 45 gebildet wird. Die Grundplatte 46 und die Gleitschiene 3G sind miteinander verschraubt.
Der dargestellte Schwenk— und Schiebehalter erlaubt in übersichtlicher und trotz einfachem Aufbau präziser Weise eine spielfreie Verschiebung der Objektiv-Lochblendeneinheit 36 in den mit Pfeilen bezeichneten X- und Y-Richtungen sowie ein Schwenken der Objektiv-Lochblendeneinheit um zwei senkrecht aufeinanderstehende Drehachsen 45 und 48 in den dargestellten Richtungen Cp bzw. ~\iß . Die Verbindung der Gleitschienen 23 und 30 mittels des Magnetwürfels erlaubt es, den Halter ohne Werkzeug in Einzelteile zu trennen und unter Benutzung der gleichen horizontalen Gleitschiene 23 zwei Halter nebeneinander anzuordnen.
Nachstehend werden zwei beispielsweise Verfahren zum Betrieb der vorliegenden Objektiv-Lochblendeneinheit beschrieben.
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Das eingangs anhand einer bekannten Objektiv-Lochblendenkombination beschriebene Standard-Anwendungsproblem, nämlich die Beleuchtung einer Zielfläche mit einer vor Störfeldern befreiten Laser-Kugelwelle aus einem bestimmten Abstand, kann mit der vorliegenden, im 5chwenk- und Schiebehalter der Fig. 2 montierten Objektiv-Lochblendeneinheit dadurch gelöst werden, dass man ihre optische Achse gemäss einem der beiden nachstehend beschriebenen Einstellverfahren koaxial zur ebenen Welle des Laserstrahls legt, wobei diese ebene Welle automatisch auf das Blendenloch fokussiert und von diesem durchgelassen wird. Beiden'Verfahren gemeinsam ist die Benützung eines kleinen gelochten Projektionsschirmes, der so zwischen Laser und Objektiv-Lochblendeneinheit in den Laserstrahl eingesetzt wird, dass der Strahl durch das Loch fällt. Der nicht dargestellte Projektionsschirm, der besipielsweise aus ferromagnetischem Material besteht, ist auf der dem Laser zugewandten Seite zur Vermeidung von Blendreflexen schwarz, auf der anderen Seite weiss gefärbt und wird an einem Kagnetfuss frei verschiebbar gehaltert.
Das erste Einstellverfahren umfasst die folgenden Schritte:
1. Den Laserstrahl ohne eingesetzte Objektiv-Lochblendeneinheit 36 auf das Zentrum der Zielfläche richten (gleicher Schritt wie bei den bekannten Objektiv-Lochblendenkombinationen).'
2. Die Objektiv-Lochblendeneinheit 36 bei eingesetztem Projektionsschirm angenähert koaxial zum Laserstrahl im 5chwenk- und Schiebehalter der Fig. 2 in einem bestimmten Abstand von der Zielfläche ausrichten. Dabei reflektieren die verschiedenen Linsenoberflächen den Strahl partiell, so dass auf dem Projektionsschirm ein Muster von exzentrischen Interferenz— ringen entsteht, die durch Verstellen der beiden Winkelstellschrauben 44, 47 in Fig. 2 leicht zur konzentrischen Ueberlagerung gebracht werden können. Nun sind die Achsen parallel und der gefilterte Strahl tritt durch das Blendenlach aus.
3. Durch Parallelverschieben der Objektiv-Lochblendeneinheit in X- und Y-Richtung wird der Lichtkegel auf die Zielfläche
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zentriert, wobei nun der Strahl und die optische Achse koaxial justiert sind. Die vorgängig erwähnte, in die Objektivstandarte 37 eingelassene, gelochte Glasplatte 38 wird bei diesem Einstellverfahren nicht benützt.
Die beschriebjien Interferenzmuster können bei gewissen Mikroskopobjektiven nicht simultan in konzentrische Lage gebracht werden, weil ihre Linsen nicht mit interferometrischer Präzision ausgerichtet sind. In solchen Fällen wendet man mit Vorteil das nachstehende, zweite Einstellverfahren an, bei welchem wiederum ein gelochter Projektionsschirm zwischen Laser und Objektiv-Lochblendeneinheit in den Laserstrahl eingesetzt wird.
1. Den Laserstrahl ohne eingesetzte Objektiv-Lochblendeneinheit auf das Zentrum der Zielfläche richten.
2. An der ungeschwärzten Seite der Glasplatte 3B wird der in Fig. 2 punktiert dargestellte Laserstrahl 49 in zunächst axial versetzter Stellung der Objektiv-Lochblendeneinheit 36 reflektiert und vom Projektionsschirm aufgefangen. Durch winkelrichtige Justierung der Winkelstellschrauben 44 und 47 wird erreicht, dass der reflektierte Laserstrahl in das Loch des Projektionsschirmes zurückfallt. Nun sind der Strahl und die optische Achse wieder parallel und der gefilterte 5trahl tritt durch das Blendenloch aus.
3. Durch Parallelverschieben der Objektiv-Lochblendeneinheit 36 in X- und Y-Richtung wird der Lichtkegel wiederum auf die Zielfläche zentriert, wobei nun der Strahl und die optische Achse koaxial justiert sind.
Zur Herstellung der Objektiv-Lochblendeneinheit nach Fig. 1 wird zunächst das Mikroskopobjektiv 1 in den anhand der Fig. 2 beschriebenen Schwenk- und Schiebehalter eingeschraubt. An der Ob-jektivstandarte 37 (Fig. 2) wird ein nicht dargestellter Verschiebemechanismus festgeschraubt, der auf bekannte Weise in den drei Koordinaten eine Feinverschiebung der an ihm mit einem
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zentrisch gelochten Topfmagneten in Brennpunktnähe festgehaltenen Lochblendenträgerplatte 6 mit dem Lochblendenscheibchen B gestattet. Zwischen der Trägerhüls.e 2 und der Peripherie der Lochblendenträgerplatte 6 wird ringförmig eine zunächst niederviskose Zweikomponenten-Kunststoffschicht 5 eingebracht. Nun lässt man gemäss einem der beiden vorgängig beschrietsien Einstellverfahren den Laserstrahl koaxial in die Eintrittsblende 11 fallen und verschiebt die Lochblendenträgerplatte 6, bis das Zentrum des Blendenlochs 7 im Brennpunkt liegt, wonach die Kunststoffschicht 5 innert weniger Minuten aushärtet, so dass das Objektiv 1 und die Lochblende 8 in justierter Position fest verbunden bleiben, worauf der nicht dargestellte Verschiebemechanismus von der Qbjektiv-Lochblendeneinheit getrennt werden kann.
Die vorliegende Dbjektiv-Lochblendeneinheit weist gegenüber den bekannten Objektiv-Lochblendenkombinationen verschiedene Vorteile auf. Einmal ist im Gebrauch der Einheit das eingangs erwähnte, umständliche Iterationsverfahren vermieden und durch ein einfaches Einstellverfahren ersetzt. Die vorliegende Objektiv-Lochblendeneinheit weist zudem einen einfachen Aufbau und kleine Abmessungen auf. Ferner können die bei den bekannten Objektiv-Lochblendenkombinationen erforderlichen drei Mikrometer-Feintriebe durch eine einfache mechanische Vorrichtung (Fig. 2) zur Positionierung der Objektiv-Lochblendeneinheit ersetzt werden. Schliesslich sind eine Richtungsänderung des gefilterten, aufgeweiteten Laserstrahls innerhalb der Grenzen der Apertur des Objektivs sowie das Auswechseln von Objektiv-Lochblendeneinheiten für verschiedene Aufweitungen des Laserstrahls ohne Neujustierung der Objektiv—Lochblendeneinheit möglich.
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Claims (1)

  1. PATENTANSPRUECHE
    j 1J Objektiv-Lochblendeneinheit für kohärentes Licht, dadurch gekennzeichnet, dass an der Frontseite eines Objektivs (1) eine Trägerhülse (2) mit ihrem einen Ende am Objektiv befestigt ist und dass am andern Ends der Trägerhülse eine mit einer Lochblendenscheibe (B) versehene Lochblendenträgerplatte (6) mittels einer Kunststoff zwischenschicht (5) angebracht ist', wobei das Blendenlach (7) der Lochblendenscheibe (8) im Brennpunkt des Objektivs (1) liegt.
    2. Einheit nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Trägerhülse (2) auf das Objektiv (1) aufgeschraubt ist,,
    3. Einheit nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Kunststoffzwischenschicht (5) aus einem ausgehärteten Zweikomponenten-Kunststoff besteht.
    4. Einheit nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Trägerhülse (2) an ihrem mit der Lochblendenträgerplatte (6) versehenen Ende einen Absatz (4) zum Absprengen der Lochblenüenträgerplatte aufweist.
    5. Verfahren zur Herstellung der Objektiv-Lochblendeneinheit nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Objektiv (1) mit am einen Ende befestigter Trägerhülse (2) auf einer Schwenk- und Schiebsvorrichtung angebracht wird, auf welcher eine die mit der Lüchblendenscheibe (8) versehene Lochblendenträgerplatte (6) festhaltende, in drei zueinander senkrechten Richtungen bewegbare Feinverschiebungsvorrichtung derart befestigt wird, dass zwischen dem anderen Ende der Trägerhülse (2) und der Lochblendenträgerplatte (6) ein ringförmiger Spalt vorliegt, worauf in den genannten 5palt eine aushärtbare Kunststoffschicht (5) eingebracht wird, dass anschliessend mittels der Schwenk- und Schiebevorriditung die optische Achse des Objektivs (1) koaxial zu einem Laserstrahl ausgerichtet und
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    mittels der Feinverschiebungsvorrichtung die Lochblendenträgerplatte verschoben wird, bis das Zentrum des Blendenlochs (7) im Brennpunkt des Objektivs (1)· liegt, und dass die Kunststoffschicht (5) ausgehärtet wird.
    6„ Verfahren zum Betrieb der Objektiv-Lochblendeneinheit nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zur Beleuchtung einer Zielfläche aus einem bestimmten Abstand mit einer von Störfeldern befreiten Laser-Kugelwelle die Objektiv-Lochblendeneinheit (36) im genannten Abstand vor der Zielfläche mit ihrer optischen Achse in einer Schwenk- und Schiebevorrichtung parallel zum Laserstrahl ausgerichtet wird, worauf durch Parallelver— schieben der Objektiv-Lochblendeneinheit in zwei zueinander und zum Laserstrahl senkrechten Richtungen (X, Y) der Lichtkegel auf die Zielfläche zentriert wird, derart, dass die optische Achse der Objektiv-Lochblendeneinheit und der Laserstrahl koaxial sind»
    7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass vorgängig dem Parallelrichten der Laserstrahl ohne Objektiv-Lochfalendeneinheit (36) auf das Zentrum der Zielfläche gerichtet wird.
    B. Verfahren nach den Ansprüchen 6 und 7, dadurch gekennzeichnet, dass ein gelochter Projektionsschirm im Strahlengang vor der Objektiv-Lochblendeneinheit (36) in den Laserstrahl eingesetzt wird, dass hierauf die Objektiv-Lochblendeneinheit angenähert koaxial zum Laserstrahl ausgerichtet wird, wobei ein auf dem Projektionsschirm entstehender, von partiellen Reflexionen des Laserstrahls an Linsenoberflachen des Objektivs herrührendes Muster von exzentrischen Interferenzringen beobachtet wird, und dass die Objektiv-Lochblendeneinheit mittels der Schwenk- und Schiebevorrichtung derart bezüglich des Laserstrahls geschwenkt wird, bis die Interferenzringe konzentrisch um das Loch des Projektionsschirms angeordnet sind.
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    9. Verfahren nach den Ansprüchen 6 und 7, dadurch gekennzeichnet, dass ein gelochter Projektionsschirm im Strahlengang vor der Qbjektiv-Lochblendeneinheit (36) in den Laserstrahl eingesetzt wird, dass ferner im Strahlengang unmittelbar vor dem Objektiv (1) eine ebene, gelochte, reflektierende Platte, z.B. eine objektivseitig geschwärzte Glasplatte (3B), senkrecht zur optischen Achse des Objektivs angebracht wird, und dass die Objektiv-Lochblendeneinheit zusammen mit der reflektierenden Platte mittels der Schwenk- und Schiebevorrichtung derart bezüglich des Laserstrahls geschwenkt wird, dass der von der genannten Platte reflektierende Laserstrahl in das Loch des Projektionsschirmes zurückfällt.
    1D. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass eine Schwenk- und Schiebevorrichtung verwendet wird, welche eine erste, ortsfeste Gleitschiene (23) und eine zweite, senkrecht zur ersten Gleitschiene bewegbare Gleitschiene (30) umfasst, wobei die beiden Gleitschienen über Auflageflächen (26,28) an gegenüberliegenden Seitenflächen eines Permanentmagnets (25) magnetisch haften, und dass Antriebselemente vorgesehen sind, z.B. eine auf jeder Gleitschiene (23,30) befestigte Zahnstange (24,31) und je ein mit dieser Zahnstange in Eingriff stehendes, am Permanentmagnet (25) gelagertes Ritzel (33,35), welche eine Relativbewegung zwischen der ersten Gleitschiene (23) und dem Permanentmagnet (25) bzw. zwischen dem Permanentmagnet und der zweiten Gleitschiene (30) in zwei zueinander senkrechten Richtungen (X,Y) bewirken.
    11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass jede Gleitschiene (23,30) am Permanentmagnet (25) in fünf Punkten (26,28) statisch bestimmt gelagert wird.
    12. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass eine Schwenk- und Schiebevorrichtung verwendet wird, bei welcher die zweite, bewegbare Gleitschiene (30) mit einer Grundplatte (46) versehen ist, mit welcher ein Winkelstück (43) längs einer Kante der Grundplatte und einer benachbarten ersten Kante des
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    Winkelstücks schwenkbar verbunden ist, wobei eine abgewinkelte Befestigungsplatte (37,40) für die Dbjektiv-Lochblendeneinheit (36) mit dem Winkelstück (43) längs einer zweiten Kante des Winkelstücks, welche zur ersten Kante senkrecht steht, und einer benachbarten Kante der Befestigungsplatte schwenkbar verbunden ist.
    13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass zur Verbindung der benachbarten Kanten je eine Federklammer (42) und zwei Auflagekugeln (41) und zum Einstellen des Schwenkwinkels (Cp , γ) zwischen der Grundplatte (46) und dem Winkelstück (43) bzw. zwischen dem Winkelstück (43) und der Befestigungsplatte (37,40) je eine Stellschraube (47,44) vorgesehen werden.
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