DE2231405A1 - Verfahren zur temperaturbestimmung duenner, zu beschichtender stoffe und katodenzerstaeubungsanlage mit einer messeinrichtung zur durchfuehrung des verfahrens - Google Patents

Verfahren zur temperaturbestimmung duenner, zu beschichtender stoffe und katodenzerstaeubungsanlage mit einer messeinrichtung zur durchfuehrung des verfahrens

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US3432416A (en) * 1966-10-03 1969-03-11 Gen Electric High purity niobium films formed by glow discharge cathode sputtering

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