DE2155049A1 - Optische Vergleichsvorrichtung mit optischen Fasern - Google Patents
Optische Vergleichsvorrichtung mit optischen FasernInfo
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Description
Optische Vergleichsvorrichtung mit optischen Fasern
Die Erfindung bezieht sich auf eine optische Vergleichsvorrichtung mit optischen Pasern, insbesondere Glasfasern,
die es ermöglicht, den Abstand zwischen einer Pläche und der Vorrichtung in Form von elektrischen Signalen auszudrücken
.
Derartige Vorrichtungen sind bereits bekannt, beispielsweise zur Messung kleiner Verschiebungen von Teilen, die
Schwingungen ausgesetzt 3ind. Sie enthalten ein zentrales Bündel optischer Pasern, welches das von einer Lichtquelle
ausgesendete Licht zu der zu prüfenden Pläche leitet, deren Abstand oder Verstellung gemessen werden soll; der reflektier
te Lichtstrom wird von einem zweiten Faserbündel aufgenommen,
das unmittelbar neben dem ersten Bündel liegt, und zu.einem
photoelektrischen Detektor geleitet, der ein Ausgaog3aignal S
liefert. Die Ansprechkennlinie S(d), welche die Änderungen
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des Signals S als !Funktion des Abstands d zwischen der geprüften Fläche und der optischen Vergleichsvorrichtung
darstellt, weist einen linearen Bereich Δο
auf, in welchem die Vergleichsvorrichtung besonders gut brauchbar ist.
Bei den bekannten Vorrichtungen, bei denen das Empfangsbündel unmittelbar neben dem Sendebündel liegt, sind die
verschiedenen Parameter, die zu der Ausbildung dieser Kennlinie beitragen und später noch erläutert werden,
nicht unabhängig.
Das Ziel der Erfindung ist die Überwindung dieser Einschränkung zur Erweiterung des Bereichs der meßtechnischen
Anwendungen von Geräten dieser Art und insbesondere zur Anwendung der Vorrichtung für die Messung der Dicke
von lichtdurchlässigen Körpern.
Die optische Vergleichsvorriehtung nach der Erfindung
enthält ein einen Lichtstrom aussendendes erstes Faserbündel (Sendebündel) und wenigstens ein zweites Faserbündel
(Empfangsbündel), das den von der Fläche reflektierten
lichtstrom empfängt, um ihn auf einen mit einem Verstärker verbundenen photoelektrischen Detektor zu richten, und
sie ist dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Empfangsbündel nicht unmittelbar neben dea Sendebündel liegt.
Die Erfindung wird an Hand der Zeichnung beispielshalber beschrieben. Darin zeigen:
Fig.1 eine optische Vergleichavorrichtung bekannter Art,
deren Kennlinie in Fig.1A dargestellt ist,
Fig.2A bis 2E Beispiele von möglichen Querschnitten der Faserbündel bsi optischen V er gle i ο hs vor richtungen
bekannter Art,
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Pig.3 eine optische Vergleichsvorrichtung nach der Erfindung,
deren Kennlinie in Fig.3A dargestellt ist,
Fig.4 eine andere Vergleichsvorrichtung nach der Erfindung
mit einstellbarem Maßstab, deren Kennlinien in Fig. 4A-dargestellt
sind,
Fig.5 eine optische Vergleichsvorrichtung , die für die
Messung der Dicke von lichtdurchlässigenKörpern geeignet ist und deren Kennlinien in Fig.5A und Fig.5B
gezeigt sind, und
Fig.6 eine weitere Ausführungsform der optischen Vergleichsvorrichtung nach der Erfindung.
Fig.1 zeigt schematisch den Auf bau einer optischen Vergleichsvorrichtung bekannter Art. Eiu Bündel 10 aus optischen
Fasern liegt senkrecht zu der zu prüfenden Fläche 11 in
der Richtung der relativen Verstellungen dieser Fläche. Diesem ersten Bündel ist ein zweites Bündel 12 zugeordnet,
das zu einem photoelektrischenDeteltor 13, beispielsweise einem Phototransistor, einer Photodiode oder einem Photowiderstand
das Licht leitet, das von der Fläche 11 reflektiert wird, wenn diese von dem Lichtstrom einer Lichtquelle
beleuchtet wird, der von dem Sendebündel 1 geführt wird. Der photoelektrische Detektor 13 liefert ein Signal S,
das die Messung der Änderungen des Abstands d zwischen der Vergleichsvorrichtung und der zu prüfenden Fläche 11
ermöglicht.
Das Diagramm von Fig.1A stellt die Ansprechkennlinie S(d)
dieser Vergleichsvorrichtung dar. Sie weist einen linearen
Bereich Δ auf, der zentrisch zu einem Wert d liegt,
und in welchem die Vergleichsvorrichtung verwendet wird.
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Die geometrische Form und die Abmessungen der Faserbündel bestimmen diese Kennlinie, insbesondere die Ausdehnung
des Bereichs A0 » die maximale Amplitude S und den
Wert des entsprechenden Abstands dn.
In Fig.2A bis 2E sind Querschnitte verschiedener Formen der optischen Vergleichsvorrichtungen dargestelt, wobei
jeweils das Sendefaserbündel mit 10 und das Empfangsfaserbündel
mit 12 bezeichnet sind. Unter diesen Bedingungen sind der mittlere Stirnabstand einer Vergleichsvorrichtung,
d.h.. der Wert des Abstands dQ , die Empfindlichkeit der
Vergleichsvorrichtung (Steilheit des linearen Bereichs), ihr Meßbereich Δο und ι
unabhängigen Parameter.
unabhängigen Parameter.
ihr Meßbereich Δο und demzufolge ihre Genauigkeit keine
Bei der iti Fig.3 dargestellten optischen Vergleichsvorrichtung
liegt das Empfangs bund el 22, das beispielsweise
eine der in Fig.2A bis 2E dargestellten Formen hat, nicht unmittelbar neben dem Sendebündel 10; Der Abstand des
Empfangsbündels 22 vom Sendebündel 10, der beispielsweise
durch den mittleren Durchmesser Φο eines ringförmigen
Empfangsbereichs gekennzeichnet ist, bestimmt den Stirnabstand
dQ der Vergleichsvorrichtung. Die Breite L bestimmt
die Ausdehnung /S. des linearen Arbeitsbereichs. Der
maximale Wert S des Signals S für d = d_ hängt von dem
UJ C
ausgesendeten Lichtstrom ab, also von dem Querschnitt SÄ
des Sendebündels 10 und von dem Verhältnis des Querschnitts des Empfangsbünöels ?' zu dem Gesamtquerschnitt der Vergleichs
vo rri ch tu ng.
Es ist somit zu erkennen, daß es durch Einstellung der drei zuvor definierten Parameter φ , L und S möglich ist,
eine Reihe von Vergleichsvorrichtungen mit einstellbarem
Stirnabstand zu erhalten, die alle den gleichen Meßbereich Δ
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und die gleiche Empfindlichkeit (abhängig von Δ und
Sffl) aufweisen.
Die Kenntnis von A0 ermöglicht nämlich die Bestimmung
von L. Die Wahl des Wertes ö bestimmt den Durchmesser φ Zur Kompensation des Empfindlichkeitsverlusts gegenüber
der bekannten Vergleichsvorrichtung von Pig.1 , bei der
gilt α.ί**ΔΓ./2 , wird S0 entsprechend vergrößert. Es
ist jedoch zu bemerken, daß der Wert der Empfindlichkeit
auch dadurch eingestellt werden kann, daß auf den Verstärkungsfaktor des an den Ausgang des photoelektrische η
D-etektors angeschlossen Vorverstärkers eingewirkt wird.
Durch Aneinanderfüge» einer Reihe von EmpfangsbundeIn,
die einem Sendebündel zugeordnet sind, ist es möglich, den Arbeitsbereich der Vergleichsvorrichtung der Entfernung nach zu vergrößern, ohne daß deren Empfindlichkeit
oder Genauigkeit verändert werden.
Diese Ausführungs form ist in Pig.4 dargestellt, wo
einem zentralen Sendebündel 10 mehrere Empfangsbündel 22^,
22p ...22 gleicher Form und gleicher Breite L zugeordnet
sind. Die Verstärkungsfaktoren der verschiedenen entsprechenden
Vorverstärker vsrden so eingestellt, daß die Steilheiten P1, Pp ... Pn der linearen Bereiche der entsprechenden
Kennlinien S1, S2 ... Sn gleich sind. Wenn
die Anordnung so getroffen ist, daß die Kennlinien ihr Maximum bei Werten d . 2αΛ... nd_ haben, verwendet man
CC C
das Signal S^des k-ten Empfangsbündele 22^ in seinem
linearen Arbeitsbereich, wenn der Abstand der zu prüfenden
Fläche von der Vergleichsvorrichtung zwischen(k-1) d und
kdc liegt (Fig.4A).
Da die in dieser Weise ausgebildete Vergleichsvorrichtung nur in den linearen Abschnitten der Kennlinien S1, Sp ...S
209820/071 2
BAD ORIGWAL
BAD ORIGWAL
verwendbar ist, bestehen noch "blinde" Bereiche zwischen
diesen linearen Bereichen. Dieser Nachteil kann jedoch leicht dadurch beseitigt werden, daß zwei Reihen I, II
von elementaren Vergleichsvorrichtungen vorgesehen werden, die jeweils derjenigen von Pig.4 gleich sind, die jedoch
gegeneinander versetzt sind, wie in der Stirnansicht von Pig.4B dargestellt ist. Auf diese Weise wird erreicht,
daß die linearen Bereiche der Kennlinien der einen Reihe mit den "blinden" Bereichen der Kennlinien der anderen
Reihe zusammenfallen, so daß die Vergleichsvorrichtung
im gesamten Arbeitsbereich lückenlos verwendbar ist, wobei stets die gleiche Empfindlichkeit und die gleiche
Genauigkeit erhalten wird.
Pig.5 aeigt das Schema einer Vergleichsvorrichtung, die
für die Messung der Dicke eines lichtdurchlässigenKörpers
ausgebildet ist. Sie enthält ein zentrales Sendebündel und zwei ringförmige Empfangs bündel 22.. und 222, welche
die an der Vorderfläche 11 bzw. an der Rückfläche 11' des Korps rs 14 reflektierten Licht ströme zu zwei photo elektrischen
Detektoren 13^ bzw. 132 leiten.Die Ausgänge dieser
photoelektrischen Detektoren sind über einen Vorverstärker bzw. 162 mit den beiden Eingängen eines Differenzverstärkers
15 verbunden, der das Ausgangs signal S liefert, das die gemessene Dicke e darstellt.
Die Parameter L und φ der Vergleichsvorrichtung sind
so bemessen, daß die zu den beiden Empfangskanälen gehöre-nden
Kennlinien S^ Und S2, die in P ig.5A dargestellt sind,
so liegen, daß die Mitten ihrer linearen Bereiche, die
jeweils die gleiche Steilheit ρ haben, in einem Abstand e0
voneinander liegen, der gleich der mittleren Dicke der Lichtschicht ist, die derjenigen de3 zu messenden Körpers
äquivalent ist. Die Ausdehnung A ist 30 gewählt, daß sie
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2155Ö4S
einerseits die Änderungen der wirklichen Dicke e zu beiden Seiten des Wertes e* umfaßt, und andrerseits die möglichen
Änderungen des Abstands d zwischen der Vergleichsvorrichtung und der Fläche 11 des Körpers 14. Wenn dieser Abstand
im Mittelwert gleich äoist und die Empfindlichkeiten der
beiden Empfangskanäle durch Einstellung der Verstärkungsfaktoren der Vorverstärker U1 f U2 einander gleich gemacht
sind, entspricht die Kennlinie des Signals S als Funktion der Dicke e für die so gebildete Differenz-Vergleichsvorrichtung der Darstellung von Fig.5B. Es ist zu erkennen,
daß sie einen linearen Bereich der Ausdehnung Δ_ zu beiden Seiten des Mittelwerts e'o aufweist.Eine Kennlinie dieser
Form kann leicht dazu verwendet werden, entweder die Dicke selbst zu messen oder RegeVorrichtungen zum Zweck der
Erzielung eines Erzeugnisses konstanter Dicke zu steuern.
Es ist offensichtlich, daß bei dieser Anwendung der Wert
des Signals S. im linearen Bereich der Kennlinie S« ziemlich
klein und ausreichend linear sein muß, damit keine Verzerrung des Differenzsignals S verursacht wird. Im Fall
einer Dickenregelung ist diese Einschränkung jedoch sehr
viel weniger streng.
Bei der soeben beschriebenen Ausführungsform ist die Verwendung einer Differenzvergleichsvorrichtung also
auf Fälle beschränkt, bei denen der Bruchteil des vom Sendebündel abgegebenen Licht st ro ms, der an der
Rückfläche des lichtdurchlässigen Körpers, dessen Dicke zu messen ist, reflektiert und von dem inneren Empfangsbündel
aufgenommen wird, klein gegen den Bruchteil des lichtstroms ist, der von dem gleichen Empfangsbündel
nach Reflexion an der Vorderfläche aufgenommen wird,
und außerdem im Meßintervall ausreichend konstant ist. Mit anderen Worten bedeutet dies, daß diese Differenzvergleichsvorrichtüng
nur dann befriedigend arbeitet, wenn
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die Diclre des lichtdurchlässigen Körpers groß gegen den
Stirnabstand der Vergleichsvorrichtung ist, und vetrn das
Reflexionsvermögen der Rückfläche des lichtdurchlässigen
Körpers in Bezug auf dasjenige dor Vorderfläche nicht
zu groß ist.
Hierzu sei auf Fig.5A Bezug genommen, wo S1 und S2 die
Signale sind, die den Lichtströroen entsprechen, die von dem inneren Empfangs bündel bzw. dem äußeren Empfangs b'.i η del
empfangen werden, d der Stirnabstand der Vergleichs vorrichtung
ist und e den Mittelwert der Dicke der Luftschicht darstellt, die der Dicke des zu messenden lichtdurchlässigen
Körpers äquivalent ist, während ρ die gemeinsam Steilheit der linearen Bereiche A0 der beiden Empfänger
bezeichnet; man kann dann schreiben:
51 = ρ (d - d0) + Q [(d + e) - (d0 + e0)] + SQ + so
52 = p[(d + e) - (d0 + e0)] + S0
In diesen Ausdrucken ist S der gemeinsame Wert von S.
und S2 für d = d und d+e = d + e , wenn der Beitrag
der Rückfläche zum Signal S. gleich Null angenommen wird;
q und S0 sind für eine gegebene Einstellung die Steilheit
der Kennlinie S. bzw. ihr Wert für d = d + e , wenn der
Beitrag der Vorderfläche unter Berücksichtigung der Werte der Reflexionsfaktoren der Rückfläche bzw. der Vorderfläche
des lichtdurchlässigen Körpers gleich Null angenommen wird.
Der Wert des Differenzsignals S = S2 - S1 ist dann :
S = (p - Q) (e - e0) - Q(d - dQ) - S0
209820/071?
BAD ORIGINAL
— g _
Wenn dQ + e0 groß gegen äQ ist, ist q. praktisch vernachlässigbar
(q<^0) , und wenn die Reflexionsfaktoren üer beiden
Flächen des lichtdurchlässigen Körpers in der gleichen
Größenordnung liegen, gilt So«?0. Man erhält dann den
einfachen EaIl, der in Fig.5B dargestellt ist.
Wenn dagegen der Parameter Q nicht mehr als vernachlässigbar angesehen werden kann, besteht die Gefahr, daß das
Störglied Q (d - d ) beträchtliche Fehler hervorruft, wenn
nicht der Abstand d der Vergleichsvorrichtung von der Vorderfläche des lichtdurchlässigen Körpers sehr konstant bleibt*
Es können Maßnahmen getroffen werden, mit denen dieses unerwünselite Störglied beseitigt werden kann. Das Schema'
einer entsprechenden Vergleichsvorrichtung ist in Fig.6
dargestellt. Diese zeigt den lichtdurchlässigen Körper 14,
dessen Dicke e gemessen werden soll, das Sendebündel 10, drei Empfangbündel 221, 222 und 22Q + ^, von denen die
beiden ersten unmittelbar nebeneinander liegen und die
entsprechenden photoelektrischen Detektoren 13-p 132>
13 +1 . Die Vorderfläche 11 des lichtdurchlässigen Körpers
14 liegt im Abstand d von der Vergleichsvorrichtung, und die Rückfläche 11' liegt im Abstand D von der Vergleichsvorrichtung.
Die photoelektrischen Detektoren 13-j
und 13p sind mit den Eingängen eines ersten Differenzverstärkers
31 jeweils über ihren Vorverstärker Ie1 bzw.
16p mit einstellbarem Verstärkungsfaktor angeschlossen.
Ferner ist ein zweiter Differenzverstärker 32 vorgesehen,
von dem ein Eingang an den Ausgang des Vorverstärkers 16 ,
des photoelektrischen Detektors 13_+1 angeschlossen ist,
während sein anderer Eingang an den Ausgang des Differenzverstärkers 31 angeschlossen ist.
Diese Anordnung arbeitet dann in folgender Weise: Der erste Detektor 13-j empfängt von der Vorderfläche 11 des licht-
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durchlässige n Körpers 14 einen Licht strom, der eiern
folgenden Wert proportional ist :
ρ (ft - ao) + so
Die Lichtströme, welche die photoelelctrischen Dste&oren
von der Rückfläche 11' des lichtdurchlässigen Körpers 14
empfangen, sind den folgenden Werten proportional:
Für 13., Q(D:- D0) + S0
Pur 132 Qf(D - D0) + s'o
Für 13n+1 P(D -D0) + SQ
Dabei ist Qf die Steilheit der Kennlinie S2 für d = ü + eo<
Die Detektoren 132 und 13η+1 empfangen praktisch keinen
Lichtstrom von der Vorderfläche 11 des lichtdurchlässigen
Körpers infolge des Aufbaus der Vergleichsvorrichtung nach den folgenden U ngle ic hhe its bedingungen.
Daraus folgt, daß die Ausgangssignale S1, S2, Sn+1 der
drei Detektoren 13-,, 132, 13Q+1 die folgende Form haben:
51 = ρ (d - ao) + Q(D - D0) + S0 + S0
52 = Q' (D -D0) + b«0
Sn +Γ P <D - V + So
mit den Bedingungen:
und Δο ^ , ^ , . Δο
20982070712
. - 11 -
Der erste Differenzverstärker 31 bildet die folgende
Differenz:
S1 - S2 = p(d - d0) +(Q- Q') (D -D0) + So + S0 - s'
Durch Einwirkung auf die Verstärkung des Vorverstärkers kann man die Gleichheit Q=Q1 der Steilheiten des abfallenden
Bereichs der Kennlinien S. und S2 in ihrem
jeweils nutzbaren Teil erhalten. Dann gilt:
S1 - S2 = p(d -do) +S0+S0 -s'o,
da das von den beiden ersten Empfangsbundelη gelieferte
Differenzsignal bis auf eine Konstante den Abstand d
proportional ist. Wenn anschließend die Differenz
Sn+1 - <S1 - V
im Differenzverstärker 32 gebildet wird, erhält man
schließlich ein Aus gangs signal S :
s = .p[(i> -d) - (D0 -a0V] + S'o - so
das in die folgende Form gebracht werden kann:
S = ρ [ e - (eo + εο)] «nit B0 =
Au3 diesem Ausdruck ist zu erkennen, daß das Signal S nicht mehr von dem Abstand d zwischen der Vergleichsvorrichtung und der Vorderfläche des lichtdurchlässigen
Körpers abhängt. Ferner ist die mittlere Dicke der äquivalenten Luftschicht nicht mehr gleich eQ, sondern e + £ ,
und sie hängt demzufolge nicht nur von der mittleren Dicke des lichtdurchlässigen Körpers ab, sondern auch von den
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Eigenschaften der Vergleichsvorrichtung selbst.
Es kann noch bemerkt werden, daß das Differenzsignal S^-
der beiden unmittelbar nebeneinanderliegenden inneren
Empfangsbündel die Messung des Abstands d ermöglicht,
Es ist daher mit einer Vergleichs vor rieh tu ng dieser Art
möglich, die Größen d und e unabhängig voneinander und ohne Störung durch den an der Rückfläche reflektierten
Lichtstrom zu messen.
Natürlich kann das erste Empfangs bündel einen beliebigen
Rang k haben, während das unmittelbar danebenliegende
zweite Empfangsbündel dann den Rang k + 1 hat. Die Verbindung dieser beiden Empfangs bündel ermöglicht
dann die Messung des Abstands d in dem Intervall
Dabei bezeichnet £ die Verschiebung des Ursprungs, wenn
man von einem Empfangsbündel· zum nächsten übergeht, d.h.
den Teilungsschritt der Kennlinien der Empfangs bündel.
Das dritte Empfangsbündel wird dann vom Rang η derart gewählt, daß es für (n - k) tQ = eQ die Messung der Dicken
der äquivalenten Luftschicht in dem folgenden Intervall ermöglicht:
eo + ρ i 2
Eine solche Vergleichsvorrichtung ist besonders dann anwendbar, wenn die Rückfläche des lichtdurchlässigen Körpers
auf einer reflektierenden, beispielsweise metallischen Fläche
aufliegt.
Patentansprüche
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Claims (9)
- P1 at e η t a ns prücheOptische Vergleichsvorrichtung rait optischen Pasern,ie es ermöglicht, den Abstand zu einer Fläche in Form von elektrischen Signalen auszudrücken, mit einem einen Lichtstrom aussendenden ersten Fas&rbündel (Sendebündel) und wenigstens einem zweiten Faserbündel (Empfangs bundel), das den von der Fläche reflektierten Lichtstrom empfängt, um ihn auf einen mit einem Verstärker verbundenen photoelektrischen Detektor zu richten, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Empfangs bund el nicht unmittelbar neben dem Senüebündel liegt.
- 2. 'Optische Vergleichsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das bzw. die nicht unmittelbar neben dem Sendebündel· liegenden Empfangs bund el in gleichen Abständen von diesem liegen und den von der Fläche reflektierten Licht strom auf einen einzigen photoelektrischen Detektor richten.
- 3. Optische Vergleichsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Empfangs bündel unmittelbar nebeneinander liegen, und daß jedem von ihnen ein· photoelektrischer Detektor zugeordnet ist.
- 4. Optische Vergleichsvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Empfangs bund el unmittelbar neben dem Sendebündel liegt.
- 5« Optische Vergleichsvorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß einem einzigen Sendebündel zwei Reihen von gegeneinander versetzten Empfangs bundelη zugeordnet sind.209820/071221S5Ö49
- 6. Optische Vergleichsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Verstärkungsfaktor der den Empfangs bündel η zugeordneten Verstärker so bemessen ist, daß die Steilheiten der linearen Bereiche ihrer Kennlinien gleich sind.
- 7. Optische Vergleichovorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zur Messung der Dicke eines lichtdurchlässigen Körpers zwei Empfangs bündel vorgesehen sind, und daß ihre beiden photoelektrischen Detektoren jeweils mit einem der beiden Eingänge eines Differenzverstärkers verbunden sind.
- 8. Optische Vergleichsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zur Messung der Dicke eines lichtdurchlässigen Körpers einem einzigen Sendebündel drei EmpTangsbündel zugeordnet sind, von denen die beiden ersten Empfangs bundel unmittelbar nebeneinanderliegen und in Abhängigkeit von dem mittleren Abstand zwischen der Vergleichsvorrichtung und der Vorderfläche des lichtdurchlässigen Körpers gewählt sind, daß die Verstärkungen der entsprechenden Verstärker so bemessen sind, daß die Steilheiten des abfallenden Bereichs ihrer Kennlinien in ihren nutzbaren Teilen gleich sind, und daß das nicht unmittelbar neben den beiden ersten Empfangsbündeln liegende dritte Empfangäbündel in Abhängigkeit von dem mittleren Abstand zwischen der Vergleichsvorrichtung und der hinteren Fläche des lichtdurchlässigen Körpers gewählt ist.
- 9. Vergleichsvorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgänge der den beiden unmittelbar nebeneinanderliegenden ersten Empfangs bündel η zugeordneten Verstärker mit den Eingängen eines ersten Differenzverstärkers verbunden sind, dessen zweiter Eingang an den Ausgang des dem dritten Empfangs bündel zugeordneten Verstärkers angeschlossen ist.209820/0712Leerseite
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR7040004A FR2112717A5 (de) | 1970-11-06 | 1970-11-06 | |
FR7101304A FR2122040A6 (de) | 1971-01-15 | 1971-01-15 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2155049A1 true DE2155049A1 (de) | 1972-05-10 |
Family
ID=26216037
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19712155049 Pending DE2155049A1 (de) | 1970-11-06 | 1971-11-05 | Optische Vergleichsvorrichtung mit optischen Fasern |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE2155049A1 (de) |
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