DE2046421C3 - Piezoelektrische Platte - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine piezoelektrische Platte, auf der auf sich gegenüberliegenden Flächen Elektroden zur Bildung von akustisch untereinander zu Filterabschnitten gekoppelte Resonatorelemente angeordnet sind.

Mit dem Aufkommen des Transistors und seinem wirtschaftlichen Erfolg sowie seiner Verwendung an Stelle von Elektronenröhren wurden umfangreiche Bemühungen auf die Verkleinerung von Schaltungsbauelementen gerichtet.

Piezoelektrische Wellenfilter wurden dadurch verkleinert, daß eine Anzahl von piezoelektrischen Resonatorelementen auf einer einzigen piezoelektrischen Platte vorgesehen wurden. Aus der US-PS 22 622 ist es bekannt, isolierte Resonatorelemente auf einer Platte zur Bildung eines Bandpaßfilters zu verbinden. Üblicherweise erfordern derartige Filter zusätzliche Bauteile, beispielsweise Transformatoren und Kapazitäten. Aus der US-PS 34 16 036 ist es weiterhin bekannt, solche zusätzlichen Schaltungselemente auf der Platte selbst anzuordnen und mit den Resonatorelementen bzw. Filterabschnitten zu verdrahten.

Filter mit einer Anzahl von Resonatorelementen auf einer einzigen Platte und mit einer Trennung zwischen benachbarten Resonatorelementen, die klein genug ist, um eine Zwischenresonatorkopplung zu erreichen, sind von M. O η ο e und H. Jumonji in Electronics and Communications Engineering (Japan) Vol. 48, No. 9, Sept. 1965, S. 85 bis 93. »Analysis of Piezoelectric

Resonators Vibrating in Trapped -Energv Modes« und von R. A. Svkes.W. LSmnh _Und W. |. S ρ _{c n} c e r in IEEE lniernationai Convention Record 1%7. Teil ! I S. 78 bis 93. »Monolithic Crystal Kilters« beschrieben worden. Aus der DT-PS 12 74 675 sind ebenfalls Methoden zur Einkopplung von auf einer Platte angeordneten Resonatorelenienten bekannt, wobei es sich aber jeweils um zu einem Filterabschnitt zusammengefaßte Resonatoreleniente mit einem Mindestmaß an akustischer Zwischenresonatorkopplurg hanjeln. Zur Erstellung einer Anlage mit mehreren akustisch vollständig entkoppelten Resonatorelementen, Filterabschnitten bzw. weiteren Schaltungselemente^ wie Kopplungskapazitäten. sind gemäß dem bekannten Stande der Technik mehrere Bauelemente, insbesonde- ι, re mehrere piezoelektrische Platten erforderlich, die getrennt hergestellt und dann zusammengebaut werden müssen, was einen erheblichen Raumbedarf und Kostenaufwand mit sich bringt.

Die Aufgabe der Erfindung besteht daher darin, die _;o Anzahl getrennter Bauelemente, die in einer Resonaio.--elemente b/w. Filterabschnitte verwendenden Anlage erforderlich sind, /u verringern.

Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelost, daß mehrere jeweils in piezoelektrisch aktiven Bereichen angeordnete, untereinander eweils durch piezoelektrisch inaktive Bereiche akustisch isolierte Resonatorelemente und/oder Filterabschnitte auf dor Platte angeordnet sind und daß in piezoelektrisch inaktiven Bereichen der Platte weitere Schaltungsei;-mente angeordnet sind. Durch die Anordnung ,'Her Resonatorelemente, Fiiterabschnitte und weiterer Schaltungselemente auf einer einzigen piezoelektrischen Platte können die Abmessungen der Anlage und die Herstellungskosten erheblich ν erringen w erden.

In den Unteransprüchen sind vorteilhafte Ausführungsbeispiele von bestimmten Anordnungen von Resonatorelementen, Filterabschnitten und Schaltungselemente^ insbesondere Kopplungskapaziiäten angeführt.

Eine aus ferroelektrischem keramischen Material bestehende Platte wird durch Anlegen eines hohen elektrischen Feldes piezoelektrisch empfindlich gemacht, was man als Polung bezeichnet. Der piezoelektrisch inaktive Bereich wird vorzugsweise dadurch erzeugt, daß der entsprechende Bereich der Platte ungepolt bleibt. Bei einer aus natürlichen piezoelektrischen Materialier, z. B. Quarz bestehenden Platte wird der piezoelektrisch inaktive Bereich durch Dämpfungsmaterial, insbesondere Massenbeaufschlagung des be- sonderen Gebietes hergestellt, um die mechanische Resonanz dieses Bereiches außerhalb des Durchlässigkeitsbereiches des Filters oder Resonatorelerr.entes auf der gleichen Platte zu schieben. Als Dämpfungsmaterialien werden im allgemeinen Epoxyharze oder dämpfend wirkende metallische Legierungen, beispielsweise Lötmittel, vorgesehen. Diese Methode zur Erzeugung von piezoelektrisch inaktiven Bereichen kann auch bei piezoelektrischer Keramik Anwendung finden, die zuvor beschriebene Methode wird jedoch bevorzugt. e,₀

Im nachfolgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung in Verbindung mit den Figuren beschrieben.

Es zeigt

Fig. 1 eine Draufsicht auf eine piezoelektrische Platte mit zwei isolierten über zwei Resonatorelemente gekoppelte Wellentypfilterabschnitte und einen Koppelkapazitätsabschnitt.

F i R. 2 eine piezoelektrische Platte mit zwei akustisch isolierten gekoppelten VVellenivpfiltern. jeder beste hund aus /uei gekoppelten Resonatorelernenten,

I- 1 g. 3 eine Kombination vo;t zwei akustisch isolierten über zwei Resonaiorelemenu* gekoppelte Wellentypfilter-Abschnitte, eine Kappelkapazitat und einen akustisch isoliertes Resonatorelement auf einer ein/igen piezoelektrischen Platte.

Fig. 3;i eine veränderte Ausführung des rechten Teiles der in F i g. 3 dargestellten Platte, in einem frequen/modulierten Diskriminatorkreis geschaltet.

F 1 g. 4 ein Schnitt entlang der Linie A-4 der Platte von ( 1 g. 2. der Dampfungsmaterial zur akustischer. Isolation darstellt.

Fig. 5 einen Schnitt einer piezoelektrischen Platte mit zwei akustisch isolierten gekoppelten Wellentypfiltern. jeweils bestehend aus drei gekoppelten Resonatoreie-nemen und Dämpfungsmatenai und

F1 g. b. 7 und 8 weitere Ausfuhrungsformen d^-r Erfindung.

Bei einer besonderen Ausfuhrungsform der Erfindung entsprechend den Fig.). 2 und i emhält das Schaltungsbauteil eine dünne. Hjliic Platte 12 mit zwei Stirnflachen 14 und 16.

F 1 g. 1 zeigt eine erfmdungsgemaße Ausführungsform. bei der die Platte 12 in zwei Bereiche 12a und 126 unterteilt ist.

Der Bereich 12a ist piezoelektrisch aktiv, der Bereich Ι2Λ ist piezoelektrisch inaktiv. Die Platte 12 besteht aus keramikrraterial. welches durch Anlegen eines hohen elektrischen Gleichstromfeldes (ein Vorgang, der Polung genannt wird) piezoelektrisch gemacht werden kann. Soirit stellt der Bereich 12a das gepolte Gebiet der Keramik und der Bereich 12b das ungepolte Gebiet dar. Die Stirnfläche 14 weis; zwei Elektrodenpaare 18, 20 und .22, 24 auf; die Oberfläche 16 ist mit Gegenelektroden 19, 23 versehen, die mittels Gegenelektrode 25 verbunden sind. Alle Elektroden und entsprechende Gegenelektroden wirken mit dem da/wischenliegenden piezoelektrischen Material der Platte 12 zusammen, um ein Resonatorelement zu bilden.

Es ist nicht notwendig, daß alle Abschnitte des Bereichs 12a polarisiert sind. Die piezoelektrische Aktivität ist in dem Material nur zwischen und unmittelbar in der Umgebung der Elektroden erforderlich. So kann beispielsweise geeignete Polarisation über temporäre Elektroden erreicht werden, die einen Bereich überdeckt, der ein wenig über die Elektroden 18, 20 und 22, 24 hinausragt.

In Fig. 1 stellen die beiden Resonatorelemente, die von dem Elektrodenpaar 18, 20 zusammen mit der Gegenelektrode 19 gebildet werden, einen gekoppelten Wellentyp^nfilter-Abschnitt dar, ferner die beiden von dem Elektrodenpaar 22, 24 zusammen mit der Gegenelektrode 23 gebildeten Resonatorelemente einen zweiten gekoppelten Wellentypfiher-Abschnitt. Die mit zwei Resonatoren versehenen, gekoppelten Wellentypfilter-Abschnitte sind akustisch voneinander isoliert. Die akustische Isolation der Filterabschnitte kann entweder dadurch erreicht werden, daß eine genügende Menge von Dämpfungsmatenai zwischen ihrrn angebracht wird oder daß die Elektroden speziell angeordnet werden, d. h. indem die Elektroden, die den besonderen Filterabschnitt bilden, genügend weit von dem anderen Elektrodensatz entfernt angeordnet werden.

Die gekoppelten Wellentypfilter-Abschnitte können entweder mittels eines Widerstandes, einer Kapazität

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oder einer Verstärkungsstufe zusammengekoppelt sein. Vorzugsweise wird eine Kapazität benutzt, das Widerstandskopplung einen Verlust oder Schwächung bewirkt und bei einer Verstärkungsstufe ein geringfügiges »akustisches Leck« zwischen den Filterabschnitten unerwünschte Oszillationen hervorrufen könnte.

Es wird ferner vorgezogen, daß die Koppelkapa/ität mittels eingelagerter Elektroden auf der gleichen Plattevorgesehen ist. Für diesen Fall darf die Kapazität jedoch nicht piezoelektrisch aktiv in oder nahe bei der Frequenz des Filterdurchlaßbereiches sein. Mit piezoelektrischen keramischen Materialien oder mit den meisten ferroelektrischen Kristallen wird dies einfach dadurch erreicht, daß das für die Kapazität vorgesehene Gebiet ungepolt bleibt. In Fig. 1 ist der ungepolte is Bereich 12i> mit der Kapazitätselektrode 26 gegenüber einer Gegenelektrode 25 versehen, die über eine Verbindung 28 an die Filterabschnitte angekoppelt ist. Leitungen 30 und 32 stellen die Verbindung zu dem elektrischen Schaltkreis dar, wobei die eine als Eingang und die andere als Ausgang zu dem Filter dient. Der gemeinsame äußere Anschluß wird zu der Gegenelektrode 25 geführt, die integral mit den Gegenelektroden 19,23 gebildet ist. Elektrischer Anschluß an den äußeren Schaltkreis wird bei oder nahe der Kante der Platte in ₂s gutem Abstand von dem Bereich signifikanter akustischer Vibration alier Resonatorelemente vorgesehen. Die Verbindungspunkte sind daher ebenfalls akustisch von den Resonatoren isoliert. Die Verbindungen können durch leitendes Epoxy, beispielsweise silberbeaufschlagtes Epoxy, Lötmasse oder mittels eines Metallisierungsvorganges, wie er bei integrierten Schaltungen verwendet wird, hergestellt werden.

Die Vibrationsmodes der Resonatoren sind im allgemeinen Dickenmodes, entweder Dickenscher- ^ schwingungen oder Dickenausdehnungsschwingungen. Somit kann die in den Zeichnungen dargestellte Platte 12 aus einer Vielzahl von Materialien hergestellt sein. beispielsweise natürlichen piezoelektrischen Kristallen wie Quarz und Zinkoxyd, und polarisierbarem ferroelektrischen Keramikmaterial, wie Bariumtitanat, und Modifikationen davon, oder polarisierbare ferroelektrische Kristalle, wie Lithiumtantalat oder Lithiumniobat. Es soli jedoch darauf hingewiesen werden, daß bei natürlichem piezoelektrischem Material, wie Quarz, der ungepolte Bereich 12b nicht existiert; für diesen Fall wird Dämpfungs- oder Beaufschlagungsmaterial benutzt, um zu verhindern, daß der Kapazitätsbereich 26 in der Nähe des Durchlaßbereiches des Filters piezoelektrisch anspricht. Das Dämpfungsmaterial sollte eine ziemlich hohe Steifigkeit haben, um eine akustische Anpassung an die Platte zu erhalten. Obgleich das Material gut dämpfen sollte, sollte der Qualitätsfaktor Qm klein sein verglichen mit dem der Platte. Epoxidverbindungen haben sich als gutes Dämpfungsmaterial herausgestellt Genügende Beaufschlagung mit einem Material mit hohem Qm kann ebenfalls zu diesem Zweck dienen, indem die mechanische Resonanz physikalisch verschoben wird Materialien mit niedrigem Qm werden vorgezogen, da sie nicht nur die Resonanz verschieben, sondern auch die Resonanzansprechempfindlichkeit verringern.

In F i g. 2 ist ein Schaltungsbauteil mit einer dünnen piezoelektrischen Platte 12 dargestellt die der in F i g. 1 dargestellten gleicht jedoch nur zwei akustisch isolierte gekoppelte Wellentypfilter-Abschnitte mit zwei Resonatoren, ohne Kapazität aufweist Da dort keine Kapazität vorliegt kann die gesamte Platte piezoelektrisch aktiv sein, jeder Filterabschnitt hat getrennte Verbindungsleitungen 30', 30". mit einer Gegenelektrode 19 und 32'. 32", mit einer Gegenelektrode 23.

F i g. 3 ist ein Schaltungsbauteil ahnlich dem Teil 10 von Fig. 1; zusätzlich enthalt es ein Resonatorelement, das von einer Elektrode 34 auf der Stirnfläche 14 und einer Gegenelektrode 34' auf der Stirnfläche 16 gebildet wird. Das Resonatorelement kann als Teil eines Diskriminator^, in Frequenzmodulationsempfängern betrieben werden, was zu dem Vorleil einer sehr kleinen Ausführung des Schaltungsbauteils auch ein Minimum an getrennten zusammenzusetzenden Teilen mit sich bringt. Das Resonatorelement. das von der Elektrode 34 und der Gegenelektrode 34' gebildet wird, die die Leitungen 36, 38 aufweisen, muß von den gekoppelten Wellentypfilter-Abschnitten entweder durch genügenden Abstand auf der Platte oder durch Anordnung von Dämpfungsmaterial oder Verlustmaterialablagerung akustisch isoliert sein.

Eine weitere Vereinfachung eines Frequenzmodulationsempfängers kann durch Hinzufügen einer Kapazität zu dem rechten Teil der Platte von F i g. 3, wie in F i g. 3a dargestellt, erreicht werden. Die Kapazität wird von einer Elektrode 82 und einer Gegenelektrode 82' auf dem piezoelektrisch inaktiven Teil der Platte gebildet und ersetzt eine getrennte Kapazität, die sonst bei der Frequenzmodulations-Diskriminatorschaltung verwendet würde. Eine geeignete Schaltung ist in Fig. 3a dargestellt. Durch geeignete Beziehung der Gebiete der Resonatorelektroden für den Filter und den Diskriminator kann erreicht werden, daß die Mittenfrequenz des Filterdurchlaßbereiches in die Mitte zwischen den Resonanz- und Antiresonanz-Frequenzen des Diskriminatorresonators fällt. Durch Auswahl geeigneter Gebiete für die Kapazitätselektroden 82. 82' und geeigneter Werte für Widerstände 83, 84 kann erreich) werden, daß die Diskriminatorschaltung bei dei Mittenfrequenz abgeglichen ist. Bezüglich des Aufbaue; und der Finregnlierung von Resonanzfrequenz unc Elektrodengebiete kann auf das Buch »Design öl Resonant Piezoelectric Device"-" ^von R. H ο !! 2 η c und E. P. Eernisse. Research Monograph No. 56, The M. I. T. Press. Cambridge. Massachusetts, verwieser werden.

Der Diskriminatorteil. der in Fig. 3a dargestellt ist kann, wenn erwünscht, auf einer getrennten Platts hergestellt sein.

Fig.4 ist eine Querschnittsdarstellung eines Schal tungsbauteiles ähnlich dem in F i g. 2 gezeigten, es stell jedoch auch Dämpfungsmaterial 40 dar, welche; hinzugefügt werden kann, um akustische Isolatioi vorzusehen oder zu verbessern.

In den Fig. 2 bis 5 haben die auf der Platt« dargestellten beiden Filterabschnitte Resonatorelemen te, die nahezu identisch sind, so daß die Durchlaßbe reichs-Charakteristiken und Mittenfrequenzen überein stimmen. Durch Benutzung von Resonatorelementei verschiedener Gebiete in den beiden Abschnitten ode durch Aufbringung von mehr Elektrodenmassenbeauf schlagung auf einen Filterabschnitt können jedoch Filte mit unterschiedlichen Durchlaßbereichs-Charakteristi ken und unterschiedlichen Mittenfrequenzen erhaltei werden.

F i g. 5 ist eine Querschnittsdarstellung eines Schal tungsbauteiles mit zwei akustisch isolierten Filterab schnitten, wobei jeder drei Resonatorelemente au! weist die durch Elektroden 42, 44, 46 und ein Gegenelektrode 43 für den ersten und Elektroden 4t

50, 52 und eine Gegenelektrode 49 für den /weilen Abschnitt bezeichnet sind. Dampfungsmaterial 40 ist /ur akustischen Isolation vorgesehen.

Allgemein fordert der Aufbau des Filters einen Kurzschluß über das zentrale Resonatorelement jedes I ilterabschnittes. Somit würde die Elektrode 44 mit der Klektrode 43 und die Klektrode 50 mit der Klektrodc 49 verbunden sein. Dies kann extern oder mittels leitungen auf der Oberfläche der Platte ahnlich der Leitung 32 von F i g. 2 geschehen, die am Rand der Platte \erbunden sind.

Die I-i g. b und 7 veranschaulichen abweichende Anordnungen der verschiedenen Kiemente auf der piezoelektrischen Platte. In I i g. b ist der Querschnitt einer natürlichen piezoelektrischen Platte dargestellt. die einen gekoppelten Wellentyp-Kilterabschnitt aufv\eist. der von Elektroden 54 und 56 und einer Gegenelektrode 53 gebildet ist, ein Resonalorelemcnt w ird von der Elektrode 60 und einer Gegenelektrode 61 und ein Kapaz.itätsclement von einer Elektrode 62 und einer Gegenelektrode 63 gebildet. Der gekoppelte Wellentvpfilterabschnitt und das Resonatorelement sind voneinander durch Dämpfungsmatcrial 58 getrennt, um akustische Isolation zu erreichen. Der Kapazitatsabschnitt ist piezoelektrisch inaktiv gemacht. indem in diesem Gebiet Dämpfungsmaterial über den ganzen Kapazitatsabschnitt abgelagert ist.

F i g. 7 veranschaulicht eine gegenüber F i g. b geänderte Anordnung, indem die Kapazität zwischen dem gekoppelten Wellentypfilter-Abschnitt und dem Resonatorelement angeordnet ist. Der Kapazitatsabschnitt, mit Dämpfungsmaterial bedeckt, schafft einen inaktiven Bereich, welcher wiederum für akustische Isolation zwischen dem Filterabschnitt und dem Resonatorelement sorgt.

I-' i g. 8 ist eine weitere Ausführung der Krl'indung. dii die gleichen Vorteile, wie zuvor beschrieben, aufweist jedoch einen unterschiedlichen Aufbau verwende! Polycristalline, nichtferroclektrische Materialien zu sammengesetzt aus dihexagonalen. polarisierten Kri stallen der Klasse Il bis IV haben bekanntlich piezoelektrische Eigenschaften (vgl. US-Patentschrif Nr. 34 09 464). Somit kann die Platte 12 in den F i g. 1 bi:

ίο 7 durch eine dünne Schicht 66 über einer Unterlage 6} ersetzt werden, wobei die Schicht piezoelektrisch um aus polykristallinem, nichtferromagnetischem Materia gebildet ist, das aus der Gruppe, bestehend au· Cadmiumsulfid. C'admiumselenid. Zinkoxyd, Beryllium oxyd, Wurtzit-Zinksulfid, und Lösungen davon, ausge wählt ist. Die Unterlage 68 kann aus piezoelektrischen Material, wie Quarz, oder nichtpiezoelektrischen Material, wie Glas, bestehen. Klektrodenpaare 70, Ti und 74, 76 bilden mit Gegenelektroden 71 und 75 /wc akustisch isolierte Filtcrabschnitte, die jeweils aus zwe gekoppelten Resonatorelementen bestehen. Die Klektrode 78 und die Gegenelektrode 79 bilden ein akustisch isoliertes Resonatorelement auf der gleichen Schicht Dämpfungsmaterial 80 sorgt für die notwendige akustische Isolation. In diesem Zusammenhang sol darauf hingewiesen werden, daß die I i g. I bis 8 keine maßstäblichen Darstellungen sind. Insbesondere kann eine größere Trennung zwischen dem Dämpfungsmaterial und den benachbarten Resonatorelementen erforderlich sein. Darüber hinaus ist die Plattendicke wesentlich geringer als aus den Figuren ersichtlich. Im allgemeinen haben die Resonatorelektroden seitliche Abmessungen in der Größenordnung von zwei- bis zehnmal der Dicke der Platte.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

409 641/130

Claims (19)

Patentansprüche:

1. Piezoelektrische Platte, auf der auf sich gegenüberliegenden Flächen Elektroden zur BiI-dung von akustisch untereinander zu Filierabschnitten gekoppelte Resonatorelemente angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere jeweils in piezoelektrisch aktiven Bereichen (!2a) angeordnete, untereinander jeweils durch piezoelekfrisch inaktive Bereiche akustisch isolierte Resonatorelemente und/oder Filterabschnitte (18, 19, 20; 22. 23, 24) auf der Platte (12) angeordnet sind und daß in piezoelektrisch inaktiven Bereichen (126) der Platte (12) weitere Schaltungselemente (25. 26) angeordnet sind.

2. Piezoelektrische Platte nach Anspruch !. dadurch gekennzeichnet, daß -uf der Platte !12) zwei Filterabschnkte («8, 19, 20; 22, 23, 24) und in einem piezoelektrisch inaktiven Bereich (126,Jeine Kapazitat (25,26) angeordnet sind ( Fig. I).

3. Piezoelektrische Platte nach Anspruch 1. dadurch gekennzeichnet, daß auf der Platte (12) zwei Filterabschnitte (18, 19, 20; 22, 23, 24/42, 43, 44, 46; 48,49,50, 52) angeordnet sind ( F i g. 2.4, 5).

4. Piezoelektrische Platte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf der Platte (12) zwei Filterabschnitte (18, 19, 20; 22, 23, 24) und ein Resonatorelement (34, 34) und in einem piezoelektrisch inaktiven Bereich (12W eine Kapazität (25. 26) angeordnet sind (Fig. 3).

5. Piezoelektrische Platte nach Anspruch 1. dadurch gekennzeichnet, daß auf der Platte (12) ein Resonatorelement (34, 34) und in iinem piezoelektrisch inaktiven Bereich eine Kapazität (82. 82') angeordnet sind (Fig. 3a).

6. Piezoelektrische Platte nach Anspruch t. dadurch gekennzeichnet, daß auf der Plare(12)zwei Filterabsch.nitte (18, 19, 20; 22, 23, 24) und ein Resonatorelement (34, 34) und jeweils in einem piezoelektrisch inaktiven Bereich zwei Kapazitäten (25,26; 82,82') angeordnet sind ( F i g. 3.3a).

7. Piezoelektrische Platte nach Anspruch !, dadurch gekennzeichnet, daß auf der Platte (12) ein Filterabschiitt (53,54,56) und ein Resonatorelement (60, 61) und in einem piezoelektrisch inaktiven Bereich (58) eine Kapazität (62, 63) angeordnet sind (Fig. 6.7).

8. Piezoelektrische Platte nach Anspruch 1. dadurch gekennzeichnet, daß auf der Platte zwei Filterabschnitte (70, 71, 72; 74, 75, 76) und ein Resonatorelement (78,79) angeordnet sind (Fig. 8).

9. Piezoelektrische Platte nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet daß die Filterabschnitte aus zwei akustisch gekoppelten Resonatorelementen bestehen.

10. Piezoelektrische Platte nach Anspruch 9. dadurch gekennzeichnet, daß die Resonatorelemente identisch sind.

11. Piezoelektrische Platte nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Filterabschnitte aus drei akustisch gekoppelten Resonatorelementen bestehen.

12. Piezoelektrische Platte nach einem der Ansprüche I bis 1 !.dadurch gekennzeichnet, daß die Platte aus ferroelektrischem keramischen Material besteht und die Resonatorelemente Dickenschwingungen ausführen.

13. Piezoelektrische Platte nach Anspruch 12 dadurch gekennzeichnet, daß der piezoelektrisch inaktive Bereich aus einem ungepolten Gebiet dei Platte besteht.

14. Piezoelektrische Platte nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Platte aus natürlichen piezoelektrischen Kristallen besteht und die Resonatorclemente Dickenschwingungen ausführen.

15. Piezoelektrische Platte nach Anspruch 14 dadurch gekennzeichnet, daß die Platte mit Dämpfungsmaterial versehen ist, um einen inaktiven Bereich der Platte zu bilden.

!6. Piezoelektrische Platte nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Platte mit einer Massenbelastung versehen ist. um den inaktiven Bereich der Platte zu bilden.

17. Piezoelektrische Platte nach Anspruch 15. dadurch gekennzeichnet, daß das Dämpfungsmaterial Epoxyharz enthält.

18. Piezoelektrische Platte nach einem der Ansprüche 1 bis 1 !,dadurch gekennzeichnet, daß die Platte aus polykristallinen!, nichtferroelektrischem Material besteht, welches aus der Gruppe bestehend aus Cadmiumsulfid. Cadmiumselenid, Zinkoxyd, Berylliumoxyd. Wurtzit-Zinksulfid und festen Lösungen davon ausgewählt ist, und daß die Resonatorelemente Dickenschwingungen ausführen.

19. Piezoelektrische Platte nach einem der Ansprüche 1 bis I !,dadurch gekennzeichnet, daß die Platte aus einem Kristall besteht, der aus der Gruppe bestehend aus Quarz, Zinkoxyd, Lithiumniobat und Lithiumtantalat ausgewählt ist. und daß die Resonatorelemente Dickenschwingungen ausführen.