DE2045134B2 - Device for atomic fluorescence spectroscopy - Google Patents
Device for atomic fluorescence spectroscopyInfo
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- G01N21/6402—Atomic fluorescence; Laser induced fluorescence
- G01N21/6404—Atomic fluorescence
Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Atomfluoreszenzspektroskopie mit einer Einrichtung zumThe invention relates to a device for atomic fluorescence spectroscopy with a device for
ίο Erzeugen freier Atome im Dampf einer Probe durch Energiezufuhr, einer lementenspezifischen Lichtquelle zum Bestrahlen des Probendampfes und einem Detektor für die vom Probendampf emittierte Strahlung. Bd der der Atomabsorbtionsspektroskopie apparaίο Generating free atoms in the vapor of a sample Energy supply, an element-specific light source for irradiating the sample vapor and a detector for the radiation emitted by the sample vapor. Bd of the atomic absorption spectroscopy appara tiv weitgehend ähnlichen Atomfluoreszenzspektro skopie wird eine zu untersuchende Probe durch Zufuhr thermischer Energie beispielsweise mittels einer Flamme oder eines elektrischen Ofens in atomaren Dampf überführt, in welchem viele, sich auf ihren Grund-tively largely similar atomic fluorescence spectro copy becomes a sample to be examined by feeding thermal energy for example by means of a flame or an electric furnace in atomic steam convicted, in which many, on their fundamental
ao energieniveaus befindende freie Atome vorliegen. Bei Bestrahlung des Probendampfes mit Licht werden die freien Atome auf höhere Energieniveaus angehoben und emittieren beim Zurückfallen auf ihr Grundenergieniveau die sogenannte Fluoreszenzstrahiungthere are free atoms at energy levels. at If the sample vapor is irradiated with light, the free atoms are raised to higher energy levels and emit what is known as fluorescence radiation when they fall back to their basic energy level
»S mit einer oder mehreren, für die jeweilige Atomart typischen Wellenlängen. Die vom Probendampf emittierte Strahlung wird durch einen Detektor erfaßt und ausgewertet. Genau wie bei der Absorbtionsspektroskopie, bei welcher die Absorbtion bestimmter, jeweils »S with one or more wavelengths typical for the respective type of atom. The radiation emitted by the sample vapor is recorded and evaluated by a detector. Just like in absorption spectroscopy, in which the absorption is more specific, in each case
für eine Atomart typischer Wellenlängen aus dem Licht, mit welchem eine thermisch angeregte Probe durchstrahlt wird, beobachtet wird, besteht die Schwierigkeit, die für die in der Probe gesuchte Atomart typischen Wellenlängen bzw. Spektratlinien von derfor a type of atom of typical wavelengths from the light with which a thermally excited sample is irradiated, is observed, there is the difficulty that for the type of atom sought in the sample typical wavelengths or spectral lines of the
übrigen, im System unausweichlich vorkommenden Strahlung zu trennen. Bei letzterer handelt es sich hauptsächlich um Komponenten des zur Bestrahlung der Probe dienenden Lichtes und um die durch die thermische Anregung der Probe erzeugte unspezifischeto separate other radiation that is inevitable in the system. It is the latter mainly to components of the light used to irradiate the sample and to those through the thermal excitation of the sample generated unspecific sogenannte thermische Strahlung.so-called thermal radiation.
Um keine Störungen von dem auf die Probe eingestrahlten Licht zu erhalten, ist es bekannt, die Probe elementenspezifisch, d. h. mit Licht nur solcher Wellenlängen zu beleuchten, die für das in der Probe gesuchteIn order to avoid interference from the light irradiated on the sample, it is known to use the sample element-specific, d. H. to illuminate with light only those wavelengths that are required for what is sought in the sample Flement typisch sind. Zur Erzeugung elementenspezifischen Lichtes sind Monochromatoren bekannt, die entweder einer kontinuierlichen Breitbandquelle nachgeschaltet sind, dann aber ein sehr hohes Auflösungsvermögen haben müssen, oder aber einer LinienquelleFlement are typical. For generating element-specific light, monochromators are known which either a continuous broadband source are connected downstream, but then must have a very high resolution, or a line source in Form der sogenannten Hohlkathodenlampe, in welchem Falle ein geringeres Auflösungsvermögen des Monochromators genügt. Es ist aber auch schon bekannt, unmittelbar elementenspezifisch arbeitende Entladungslampen zu verwenden. Zu diesen gehören einein the form of the so-called hollow cathode lamp, in which case a lower resolution of the Monochromators are sufficient. However, it is also already known to use discharge lamps that work directly in an element-specific manner. These include one für die Absorptionsspektroskopie angegebene Quecksilberresonanzlampe und sowohl für die Absorbtionsals auch die Fluoreszenzspektroskopie angegebene elektrodenlose, durch ein Mikrowellenfeld angeregte Entladungslampen, die besonders scharfe und intenMercury resonance lamp specified for absorption spectroscopy and specified for both absorption and fluorescence spectroscopy electrodeless discharge lamps excited by a microwave field, which are particularly sharp and inten sive Spektrallinien erzeugen.generate sive spectral lines.
Es ist ferner bekannt, zur weiteren oder besseren Unterscheidung der interessierenden Wellenlängenkomponenten von den störenden Modulationsverfahren anzuwenden. Hierzu gehören die periodische Un-It is also known to use modulation methods to further or better differentiate the wavelength components of interest from the interfering modulation methods. These include the periodic terbrechung der Probenzufuhr, alle Zweistrahlverfahren, bei welchen das Licht abwechselnd zwischen der Probe und einem Referenzweg umgeschaltet wird, und die insbesondere für die Fluoreszenzspektroskopieinterruption of the sample feed, all two-beam methods in which the light alternates between the Sample and a reference path is switched, and in particular for fluorescence spectroscopy
geeignete Modulation, insbesondere Zerhackung des «rf die Probe eingestrahlten Lichtes. Zu allen Modulationsverfahren gehört notwendig eine Verknüpfung, insbesondere eine gegenseitige Subtraktion der entsprechend der Modulation abwechselnd erhaltenen Aasgangssignale des Detektors bzw. der Detektoren, mn die angestrebte Unterdrückung des »Hintergrundes«, der bei der Fluoreszenzspektroskopie die thermische Strahlung ist, zu erreichen.suitable modulation, in particular chopping of the light radiated into the sample. All modulation methods require a link, in particular a mutual subtraction of those obtained alternately according to the modulation Output signals from the detector or detectors are used to achieve the desired suppression of the "background", which in fluorescence spectroscopy is thermal radiation.
Lichtquelle festgestellt werden können. Es kann deshalb auch bei kleiner Probenmenge eine Analyse avf mehrere Elemente ausgeführt werden.Light source can be determined. An analysis of avf can therefore be carried out even with a small amount of sample several items are run.
Bei der bevorzugten Ausfuhrungsform der Erfindung erfolgt die Energiezufuhr über einen ersten Schalter, während der Detektor dadurch nur in den Pausen wirksam ist, daß seinem Ausgang ein zweiter Schalter nachgeschaltet ist, der zusammen mit dem ersten Schalter und im Gegentakt zu diesen mittels einesIn the preferred embodiment of the invention the energy is supplied via a first switch, while the detector is only activated during the breaks What is effective is that its output is followed by a second switch which, together with the first Switch and in push-pull to this by means of a
Auch bei geschickter Anwendung aller bekannter io Taktgebers mit bestimmter Frequenz gesteuert wird. Maßnahmen zur Verbesserung des Störabstandes ist Andere zweckmäßige Ausgestaltungen der ErfindungEven with skilful use of all known io clocks, it is controlled with a certain frequency. Measures to improve the signal-to-noise ratio are other expedient embodiments of the invention
sind in Unteransprüchen gekennzeichnet Im folgenden wird die Erfindung mit weiteren vor-are characterized in subclaims. In the following, the invention is described with further
teilhaften Einzelheiten an Hand eines schematisch darpartial details on the basis of a schematic
es bei der Fluoreszenzspektroskopie zur Erzielungto achieve it in fluorescence spectroscopy genauer Meßergebnisse zur Zeit noch notwendig, vorexact measurement results still necessary at the moment
dem Detektor einen Monochromator oder mindestensthe detector a monochromator or at least
ein Filter zur Abtrennung der Resonanzlinien des ge- 15 gestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert. In dena filter for separating the resonance lines of the exemplary embodiment presented is explained in more detail. In the
suchten bzw. ausgewählten Elementes von den übrigen, Zeichnungen zeigtsearched or selected element from the remaining, drawings shows
in der empfangenen Strahlung noch vorhandenen und Fig. 1 eine kombiniert schematische und blockbild-still present in the received radiation and FIG. 1 shows a combined schematic and block diagram
insbesondere auf die thermische Anregung zurück- artige Darstellungeiner Vorrichtungnach der Erfindung,in particular a representation of a device according to the invention, which is based on thermal excitation,
gehenden Komponenten anzuordnen. Um wirksam zu Fig. 2a bisegraphische Darstellungen verschiedenerto arrange outgoing components. In order to effectively refer to Fig. 2a bisegraphische representations of various
sein, müssen auch diese Vorrichtungen ein hohes Auf- ao Signalformen, die beim Betrieb der Vorrichtung nachThese devices must also have a high volume of signal shapes that are generated during operation of the device
lösungsvermögen haben. Da sie jeweils nur auf eine Spektrallinie eingestellt sein können, begrenzen sie bei der Untersuchung von Elementen mit einer Vielzahl von Spektrallinien, wie z. B. Kupfer, Nickel und Eisen, die Intensität der für das Element typischen Strahlung. Ein Nachteil ist weiterhin, daß diese Vorrichtungen für jedes zu untersuchende Element entsprechend den verschiedenen Spektrallinien der Elemente ausgewechselt werden müssen, was sehr kostspielig und zeit-have solvency. Since they only work on one Spectral line can be set to limit them when examining elements with a multitude of spectral lines, such as B. copper, nickel and iron, the intensity of the radiation typical of the element. A further disadvantage is that these devices for each element to be examined according to the different spectral lines of the elements have to be replaced, which is very costly and time-consuming
Fig. 3a bis c Diagramme von Spektrallinien, die von einer zu untersuchenden Probe emittiert werden In Fig. 1 ist eine Kammer 11 dargestellt, die eine as Probe einer Substanz aufnehmen kann, die in Bezug auf die Konzentration einer oder mehrere in dieser Probe enthaJtener, ausgewählter Elemente untersucht werden soll. Durch eine Probeneinführvomchtung 13 wird die Probe in die Kammer 11 in solcher FormFIGS. 3a to c show diagrams of spectral lines which are emitted by a sample to be examined In Fig. 1, a chamber 11 is shown, which can accommodate a sample of a substance as in relation examined for the concentration of one or more selected elements contained in this sample shall be. By means of a sample introduction device 13, the sample is introduced into the chamber 11 in such a form
raubend ist. Letzteres ist insbesondere dann ur.ange- 30 eingeführt, daß sie in der Kammer als Dampf vorliegt nehm, wenn nur eine kleine Menge der Probe, die sich und in freie Atome dissoziiert werden kann. Wenn die bei der Umwandlung in atomaren Dampf verbraucht, vorliegt. Eine Untersuchung auf mehrere Elemente wäre hierbei nur mit einem System, welches eine schnelle Umschaltung zwischen verschiedenen Mono- 35 chromatoren gestattet, möglich; ersichtlich ist ein solches System wirtschaftlich undurchführbar. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine sehris consuming. The latter is particularly introduced that it is present in the chamber as vapor if only take a small amount of the sample that can be dissociated and into free atoms. If the consumed in the conversion into atomic vapor, is present. An investigation for several elements would only be with a system, which is a fast switching between different mono 35 chromators permitted, possible; can be seen a such a system economically impracticable. The invention has for its object a very
genau und schnell arbeitende Vorrichtung zur Atom- _ .precise and fast working device for atomic _.
fluoreszenzspektroskopie zu schaffen, die ohne Mono- 40 und die Probe in einer Suspension in die Kammer ein-to create fluorescence spectroscopy, which without mono- 40 and the sample in a suspension in the chamber
chromatoren oder ähnliche Einrichtungen zwischen zuleiten. Feste Proben können direkt auf die Innen-chromators or similar devices between feed. Solid samples can be applied directly to the interior
ler Probe und dem Detektor auskommt. wände der Probenkammer selbst aufgebracht und sothe sample and the detector. walls of the sample chamber itself applied and so
nannten Art wird diese Aufgabe erfindungsgemäß da- werden. Die Kammer 11 wird durch eine Vakuum-According to the invention, this object will be achieved in the named type. The chamber 11 is closed by a vacuum
durch gelöst, daß die Energiezufuhr zum Probendampf 45 pumpe 15 auf einem niedrigen und konstanten Druck,solved by that the energy supply to the sample steam 45 pump 15 at a low and constant pressure,
gepulst erfolgt und der Detektor nur in den Pausen der der typischerweise im bereich von 1 bis 10 mmHgis pulsed and the detector is only used in the breaks of the typically in the range of 1 to 10 mmHg
Erkenntnis, daß die durch die Anregung des Proben- Hochfrequenzenergie über einen gesteuerten behälter dampfes erzeugte thermische Strahlung in den Pausen 5o 19 einer Wicklung 20 zugeführt, die um die Kammer 11 zwischen der Energiezufuhr und damit der Anregung gewickelt ist, um in der Kammer ein elektrisches heldRealization that the excitation of the sample high-frequency energy via a controlled container The thermal radiation generated in the pauses 5o 19 is fed to a winding 20 which surrounds the chamber 11 between the supply of energy and thus the excitation is wrapped around in the chamber an electric hero
zu erzeugen und dadurch die Probe anzuregen, so daß eine große Zahl von Molekülen des Probendampfes in ein Plasma aus freien Atomen dissoziiert, die sich in ihrem Grundenergiezustand befinden. Die Hoch-to generate and thereby to excite the sample, so that a large number of molecules of the sample vapor in a plasma of free atoms dissociates, which are in their basic energy state. The high
Probe aus einem Gas besteht, kann die Probeneinführvorrichtung aus einem einfachen Sparventil bestehen, um in die Kammer eine kontinuierliche Gasströmung unter einem erforderlichen Druck einzuleiten. Bei flüssigen Proben sollte die Probeneinführvonichtung 13 eine Einrichtung enthalten, um die Probe zu verdampfen oder zu vernebeln, wobei die Probe gegebenenfalls mit einem Trägergas gemischt werden kann,Sample consists of a gas, the sample introduction device can consist of a simple economy valve, to introduce a continuous flow of gas into the chamber under a required pressure. at liquid samples, the sample introduction device 13 should contain a device to vaporize or nebulize the sample, whereby the sample can optionally be mixed with a carrier gas,
sehr schnell auf einen im Vergleich zur Fluoreszenzstrahlung niedrigen Wert abfällt und der Detektor daher, wenn man ihn in diesen Pausen wirksam sein läßt, ein Signal abgibt, was weitgehend ausschließlich der Fluoreszenzstrahlung entspricht. Ein noch vorhandener kleiner Anteil an thermischer Strahlung im Ausgangssignal des Detektors läßt sich dann leicht mit den bekannten Methoden vollständig eleminieren. Beidrops very quickly to a value that is low compared to the fluorescence radiation and the detector therefore, if you let it be effective in these pauses, it emits a signal, which is largely exclusive corresponds to the fluorescence radiation. A small amount of thermal radiation still present in the The output signal of the detector can then easily be completely eliminated using the known methods. at
5555
frequenzenergie, durch die die Probe angeregt wird, um sie zu dissoziieren, kann bei einer ausgewählten Frequenz innerhalb eines breiten Frequenzbereiches abgestrahlt werden, der z. B. in der Größenordnungfrequency energy by which the sample is excited in order to dissociate it can be selected at a Frequency are emitted within a wide frequency range, the z. B. in the order of magnitude
der neuen Vorrichtung ist kein Monochromator, Filter 6o von 10 bis 2500 MHz liegt. Obgleich in der Zeichnung od. dgl. zur Unterdrückung der thermischen Strahlung lediglich eine einzige Spule 20 vorgesehen ist, um demthe new device is not a monochromator, filter 6o is from 10 to 2500 MHz. Although in the drawing or the like. To suppress the thermal radiation only a single coil 20 is provided to the
zuführen, können auchfeed, too
vor dem Detektor notwendig. Dieser kann die von der Probe emittierte Strahlung unmittelbar empfangen, was eine große Kostenersparnis, Erhöhung der Empfindlichkeit besonders bei Elementen mit vielen Spektrallinien und eine Erhöhung der Meßgeschwindigkeit bedeutet, so daß z. B. mehrere Elemente nacheinander lediglich durch Umschalten der elementenspezifischennecessary in front of the detector. This can directly receive the radiation emitted by the sample, which results in great cost savings, an increase in sensitivity, especially for elements with many spectral lines, and an increase in the measurement speed means so that z. B. several elements one after the other simply by switching the element-specific
11 Hochfrequenzenergie zu-11 Add high-frequency energy
tu,u.,,w, andere Einrichtungen untei tu , u . ,, w, other institutions untei
Verwendung von normalen kapazitiven oder induktiven Kopplungstechniken verwandt werden. Z. B. kann, wenn die Hochfrequenzanregungsquelle im Mikrowellenbereich liegt, die Probenkammer in einem Resonanzhohlraum angeordnet werden.Using normal capacitive or inductive coupling techniques. E.g. can, if the high-frequency excitation source is in the microwave range, the sample chamber in one Resonance cavity are arranged.
Es können, auch andere Einrichtungen verwandt Zufallsanregung aller Atome in der Probenkammer auf werden,um die Probe zu einem Plasma von freien Energieniveaus oberhalb der Grundenergieniveaus beAtomen anzuregen. Z. B. kann die Energiequelle 17 wirkt wird. Es stellt sich eine Zufallsverteilung der durchweinen Hochgleichspannungsentladungskreis er- Atome ein, die in dieser Weise angeregt werden und setzt werden,' und die Spule 20 kann druch zwei Ent- 5 nachfolgend auf niedrigere Energieniveaus fallen und ladungselektroden ersetzt werden, die im Inneren der dabei Energie bei einer Vielzahl von Wellenlängen ab-Prpbenkammer Ii angeordnet sind. geben. Die in dieser Weise von allen Atomen abgege- ;;Mehrere Velektrodenlose. Metalldampf-Entladungs- bene Energie wird thermische Strahlung genannt und lampen 21, 23, 25 sind so miteinander ausgerichtet, wird ebenso wie die Fluoreszenzstrahlung in allen daß sie ihr Licht alle in Richtung eines gemeinsamen, 10 Richtungen emittiert. Die thermische Strahlung ist an in die Kammer 11 führenden Strahlenweges abgeben. sich unerwünscht, da sie die Untersuchungsempfind-Jede Lampe besteht aus einer kleinen Glasampulle, in lichkeit und die Untersuchungsselektivität nachteilig der eine kleine Menge eines bestimmten Elementes beeinflußt. Sie wird deshalb in Bezug auf die Fluores- oder einer Zusammensetzung, die dieses Element ent- zenzstrahlung so klein wie möglich gehalten, hält, zusammen mit einem inerten Gas eingeschlossen 15 Die gesamte von der Probe erhaltene Strahlung, d. h. ist. Das jeweils in einer Lampe enthaltene Element ist sowohl die Fluoreszenzstrahlung als auch die thermiso gewählt, daß es einem Element in dem Proben- sehe Strahlung, wird durch ein Fenster auf der Seite plasma entspricht, das untersucht werden soll. Wenn der Probenkammer 11 einem Detektor 43 zugestrahlt, also in der Probe drei verschiedene Elemente festge- Geeignete Lichtsammellinsenelemente (nicht gezeigt) stellt werden sollen, enthalten die drei Lampen 21, 23, ao können zwischen der Probenkammer und dem Detek-25 jeweils ein anderes dieser drei Elemente. Eine ge- tor angeordnet werden. Die Fenster auf der Seite und eignete Metalldampf-Entladungslampe ist in der USA.- den Enden der Kammer sind aus einem Material her-Patentschrift 33 19 119 beschrieben. gestellt, das für die charakteristische Strahlung aller Die Entladungslampen werden in ähnlicher Weise der in der Probe zu untersuchenden Elemente durchmit Energie gespeist wie die Probenkammer 11. Im as lässig ist. Für die meisten Elemente reichen Glaseinzelnen sind die drei Lampen 21, 23, 25 jeweils durch fenster aus; für bestimmte Elemente sind jedoch Spulen 27,29, 31 über Schalter 33, 35,37 an die Hoch- Fenster aus Quarz, Saphir, Lithiumfluorid oder aus frequenz-Energiequelle 17 angekoppelt. Die Schalter anderen Materialien erforderlich. Das Fenstermaterial 33, 35, 37 werden so betätigt, daß sie in irgendeiner muß die Plasmatemperaturen aushalten, die in den ausgewählten Folge Hochfrequenzenergie an die Am- 30 Probenkammern erzeugt werden und typischerweise pullen abgeben. Die Schalter 33, 35, 37 sind ebenso bei 1000° C oder höher liegen, wie der Schalter 19 in gestrichelten Linien angedeutet, Durch die Vakuumpumpe 15 wird das Plasma in um anzuzeigen, daß sie in irgendeiner geeigneten Weise der Probenkammer 11 auf einem niedrigen Druck geso ausgebildet sein können, daß sie für die besondere halten, der niedriger als Atmosphärendruck ist, um Frequenz und die Höhe der Spannung der durch die 35 die Ausbeute der Fluoreszenzstrahlung zu erhöhen und Energiequelle 17 zugeführten Energie geeignet sind. die durch Druck hervorgerufene Verbreiterung der Wenn z. B. durch die Energiequelle 17 Energie im Spektrallinien zu verringern. Hierdurch wird anderer-Mikrowellenbereich erzeugt wird, können die Schalter seits die gesamte Untersuchungsempfindlichkeit und Wellenleiter-Zirkulatoren sein. die Selektivität des Systems verbessert. Auf Grund des Durch die Hochfrequenzenergie von der Energie- 40 Niederdruckplasmas erhält man auch eine Strahlungsquelle 17 wird das Gas in einer ausgewählten Ampulle durchlässigkeit im fernen Ultraviolett bereich des Spekionisiert und es werden die Atome des darin enthal- trums, wodurch der Untersuchungsbereich auf eine tenen Elementes angeregt, so daß Licht in den Wellen- größere Zahl von Elementen, einschließlich von einigen längen des charakteristischen Spektrums des Elementes Nichtmetallen, ausgedehnt werden kann, emittiert wird. Der von der jeweils gewählten Entla- *5 Die von der Probe erhaltene Strahlung wird direkt dungslampe erzeugte Lichtstrahl tritt durch ein Fenster auf den Detektor 43 gegeben. Es brauchen keine Filter am Ende der Kammer 11 in diese ein. Der Strahl kann oder Monochromatoren zwischen der Probenkammer , dadurch in der Probenkammer verstärkt werden, daß 11 und dem Detektor 43 eingesetzt werden, so daß der an beiden Enden der Probenkammer Fenster sowie Detektor das ganze, sich über einen weiten Weilen- ! zwei Spiegel 39 und 41 vorgesehen sind, zwischen So längenbereich erstreckende Strahlungsspektrum emr> j denen die Strahlung durch die Probenkammer hin- fängt. Der Detektor umfaßt vorzugsweise einen oderIt can, also other facilities related to random excitation of all atoms in the sample chamber to excite the sample to a plasma of free energy levels above the basic energy levels. For example, the energy source 17 can be effective. It turns out a random distribution of the Weeping through high voltage discharge circuit er atoms that are excited in this way and are set, 'and the coil 20 can drop to lower energy levels two consecutive times and Charge electrodes are replaced, which are arranged inside the thereby energy at a variety of wavelengths from sample chamber Ii. give. Which are given off in this way by all atoms ;; Several electrodesless. Metal vapor discharge level energy is called thermal radiation and Lamps 21, 23, 25 are aligned with one another, as is the fluorescent radiation in all of them that it emits its light all in the direction of a common ten directions. The thermal radiation is on release into the chamber 11 leading beam path. Each lamp consists of a small glass ampoule, disadvantageous in probability and the examination selectivity which affects a small amount of a certain element. It is therefore used in relation to the fluorescence or a composition that keeps this element de- centent radiation as small as possible, holds, enclosed along with an inert gas 15 All radiation received from the sample, i.e. H. is. The element contained in each lamp is both the fluorescent radiation and the thermiso chosen so that it is an element in the sample see radiation, is through a window on the side plasma that is to be examined. If the sample chamber 11 is radiated to a detector 43, that is, three different elements are fixed in the sample Suitable light-collecting lens elements (not shown) are to be set, the three lamps 21, 23, ao can each contain a different of these three elements between the sample chamber and the Detek-25. A geor can be arranged. The windows on the side and A suitable metal vapor discharge lamp is in the USA.- The ends of the chamber are made of a material described in patent specification 33 19 119. put that for the characteristic radiation of all The discharge lamps are energized in a manner similar to the elements to be examined in the sample as the sample chamber 11. Im as is casual. The three lamps 21, 23, 25 each through a window are sufficient for most elements. for certain items, however Coils 27, 29, 31 via switches 33, 35, 37 to the high windows made of quartz, sapphire, lithium fluoride or off frequency energy source 17 coupled. The switches require other materials. The window material 33, 35, 37 are operated in such a way that they must be able to withstand the plasma temperatures in the selected sequence radio frequency energy to the am- 30 sample chambers are generated and typically pull out. The switches 33, 35, 37 are also at 1000 ° C or higher, like the switch 19 indicated in dashed lines, the vacuum pump 15 is the plasma in to indicate that they can be designed in any suitable manner of the sample chamber 11 at a low pressure so that they hold for the particular, which is lower than atmospheric pressure in order to Frequency and the level of the voltage of the 35 to increase the yield of the fluorescent radiation and Energy source 17 supplied energy are suitable. the widening of the If z. B. to reduce the energy source 17 energy in the spectral lines. As a result, another microwave range is generated, the switches can control the entire examination sensitivity and Be waveguide circulators. the selectivity of the system is improved. Due to the The high-frequency energy from the energy low-pressure plasma also provides a radiation source 17, the gas in a selected ampoule is permeable in the far ultraviolet range of the specionized and the atoms contained therein, thereby reducing the examination area to a element excited, so that light in the waves- larger number of elements, including some lengths of the characteristic spectrum of the element non-metals, can be extended, is emitted. The radiation received from the sample is direct The light beam generated by the lamp passes through a window onto the detector 43. It doesn't need filters at the end of the chamber 11 in this one. The beam can or monochromators between the sample chamber , are amplified in the sample chamber in that 11 and the detector 43 are used so that the at both ends of the sample chamber window and detector all over a long distance ! two mirrors 39 and 41 are provided, radiation spectrum emr> extending between So length range j which the radiation traps through the sample chamber. The detector preferably comprises one or
■ durch reflektiert wird. Das von den eiementenspezi- mehrere Photomultiplier, die so gewählt sind, daß sie ! tischen Entladungslampen ausgestrahlte Licht wird eine spektrale Ansprechempfindlichkeit aufweisen, die ''■ durch die Atome des spezifischen Elementes im Pro- von dem Infrarotbereich bis zum fernen Ultraviolett·■ is reflected through. That of the element-specific several photomultipliers, which are chosen so that they! tables discharge lamps emitted light will have a spectral responsivity, the '■ by the atoms of the specific element in the process from the infrared region to the far ultraviolet ·
■ bcnplasma absorbiert, wodurch die Atome von ihren 55 bereich. Z. B. von Wellenlängen in der Größe von Grandenergieniveaus zu höheren Energieniveaus ange- 8000 bis 1000 A, reicht. Der Detektor 43 ist so angej regt werden. Anschließend kehren viele der angeregten ordnet, daß er nur Strahlung aufnimmt, die von dem Atome zu ihrem Grundenergieniveau zurück und emit- Plasma emittiert wird, und keine direkte Strahlung von j: tieren dabei in zufälligen Richtungen wieder Strahlung den Entladungslampen 21. 23, 25 empfängt.■ bcnplasma absorbed, removing the atoms from their 55 area. For example, from wavelengths in the size of grand energy levels to higher energy levels, 8000 to 1000 A is sufficient. The detector 43 is to be excited. Then reverse many of the excited arranged that it only receives radiation emitted by the atoms to its ground energy level back and emit plasma is emitted, and no direct radiation from j: animals while in random directions again radiation the discharge lamps 21, 23, 25 receives .
j mit einer oder mehreren charakteristischen Wellen- *° Das von dem Detektor 43 erhaltene Ausgangssignaij with one or more characteristic waves- * ° The output signal obtained from the detector 43
längen. Dieses Phänomen wird als Atomfluoreszenz wird durch einen Verstärker 45 verstärkt und sodannlength. This phenomenon is called atomic fluorescence is amplified by an amplifier 45 and then
bezeichnet über einen gesteuerten Schalter 47 und einen gesteuer-denotes a controlled switch 47 and a controlled
■ Das Probenplasma emittiert zusätzlich zu der Strah- ten Umschalter 49 abwechselnd zwei den Mittelwert lung mit den charakteristischen Wellenlängen der durch des Ausgangssignales bildenden Schaltungen 51 bzw. . das Licht angeregten Atome auch Strahlung bei einer 65 53 zugeführt. Wie noch weiter unten erläutert wird, 1J weiteren Zahl von Weilenlängen. Dies beruht darauf, entspricht das Ausgangssignal von der Schaltung 51In addition to the beam switch 49, the sample plasma alternately emits two the mean value with the characteristic wavelengths of the circuits 51 and, respectively, which form the output signal. the light excited atoms also supplied radiation at a 6 5 53. As will be explained further below, 1 J another number of lengths of time. This is because the output signal from the circuit 51 corresponds
daß durch die Hochfrequenzenergie von der Energie- der gesamten Strahlung von der Probe, die größten-that due to the high frequency energy of the energy - the total radiation from the sample, the greatest -
auelle 17. durch die die Probe dissoziiert, auch eine teils auf Fluoreszenz beruht und einen kleinen Anteilauelle 17. by which the sample dissociates, also partly based on fluorescence and a small part
" 8" 8th
an !thermischer Strahlung besitzt, während das Aus- voneinander unterschieden, daß das auf den Probengangssignal
von der Schaltung 53 lediglich der thermi- dampf eingestrahlte Licht mit Hilfe eines mechanischen
Untergrundstrahlung entspricht. Das Unter- sehen Chopperrades 63, das um eine Achse 65, die
grjuiiidsignal vom Ausgang der Schaltung 53 wird vom parallel zur Zeichenebene verläuft, durch geeignete,
Aiiisigangssignal der Schaltung 51 in einem Subtrahier- 5 nicht dargestellte Antriebseinrichtungen gedreht wird,
gliidd 55 subtrahiert, um ein Signal zu erzeugen, das moduliert oder periodisch unterbrochen wird. Das
lediglich der Fluoreszenzstrahlung proportional ist. Chopperrad 63 weist geeignete Segmente derart auf,
D,aü Ausgangssignal des Subtrahiergliedes 55 wird daß der Lichtstrahl mit einer vorbestimmten: Frequenz
durch eine Schaltung 57 in ein Signal umgewandelt, in der Größenordnung von z. B. 50 Hz unterbrochen
dsis der Konzentration eines besonderen ausgewählten io wird. Der gesteuerte Schalter 49 wird synchron mit
Elementes in der Probe proportional ist. Die Schaltung dem Chopperrad betätigt. Wenn sich das Chopperrad
57 ist im Prinzip ein logarithmischer Funktionsgene- 63 in einer das Licht freigebenden Stellung befindet,
rotor; es können jedoch zusätzliche komplexe Um- wird das Ausgangssignal vom Detektor zur MittelwertwaiFidlungsfunktionen
vorgesehen werden, um den schaltung 51 durchgelassen. Wenn der Lichtstrahl
Bereich der erfaßbaren Elementkonzentrationen zu 15 nicht in das Plasma fallen kann, wird das Detektorei
weitern. ÜbeT eine Rückkopplungsleitung 58 ist der signal zu der Mittelwertschaltung 53 geleitet. Am Ausfogarithmische
Funktionsgenerator 57 mit dem Schal- gang des Subtrahiergliedes 55 wird folglich, wie bereits
ter 19 gekoppelt, um die Schaltgeschwindigkeit, mit erläutert, ein lediglich der reinen Fluoreszenzstrahlung
#er die Hochfrequenzenergie an die Probenkammer proportionales Signal erhalten,
angelegt wird, zu steuern und so eine Überanregung «o An Stelle des mechanischen Chopperrades können
de« Plasmas zu verhindern. auch andere Einrichtungen verwandt werden, um dasthermal radiation, while the off distinguishes from one another in that the light radiated onto the sample path signal from the circuit 53 corresponds only to the thermal vapor with the aid of mechanical background radiation. The lower see chopper wheel 63, which is rotated about an axis 65, the large signal from the output of the circuit 53 runs parallel to the plane of the drawing, by a suitable output signal of the circuit 51 in a subtracting device (not shown), gliidd 55, subtracted generate a signal that is modulated or periodically interrupted. That is only proportional to the fluorescence radiation. Chopper wheel 63 has suitable segments in such a way that the output signal of the subtracter 55 is converted into a signal of the order of magnitude of z. B. 50 Hz interrupted dsis the concentration of a particular selected io. The controlled switch 49 is synchronized with element in the sample is proportional. The circuit operated by the chopper wheel. When the chopper wheel 57 is in principle a logarithmic function gene- 63 is in a position releasing the light, rotor; However, additional complex conversions can be provided around the circuit 51 for the output signal from the detector for the mean value detection functions. If the light beam cannot fall into the plasma in the range of detectable element concentrations up to 15, the detector will continue to expand. If a feedback line 58 is used, the signal is passed to the averaging circuit 53. At the Ausfogarithmic function generator 57 with the switching of the subtracter 55 is consequently, as already coupled ter 19, to the switching speed, with explained, a signal that is only proportional to the pure fluorescence radiation or the high-frequency energy to the sample chamber,
is applied to control and thus an overexcitation «o Instead of the mechanical chopper wheel, de« plasmas can be prevented. other facilities can also be used to achieve this
Die Zufuhr der Anregungsenergie von der Hoch- auf den Probendampf eingestrahlte Licht zu modufrequenz-Energiequelle 17 zum Probendampf erfolgt Heren. Z. B. können die Lichtquellen selbst durch zeitgepulst mit einer vorbestimmten Wiederholungsire- lieh gesteuerte Schaltungen, die auf die Schalter 33,35, quenz von z. B. 500 Hz. Dies wird dadurch erreicht, »5 37 einwirken, oder einen zusätzlichen Schalter, der in daß der Schalter 19 unter der Steuerung eines Takt- der Speiseleitung für eine Lampe liegt, periodisch eingebers 59 periodisch geöffnet und geschlossen wird. und ausgeschaltet werden. In diesem Falle würde der Während eines Teils jeder Taktgeberperiode wird gesteuerte Schalter 49 synchron mit den Zeitgeber-Hochfrequenzenergie auf die Probe gegeben, um die schaltungen betätigt, die die Lampenschalter betätigen. Atome der Probe anzuregen. Während eines nach- 3° Der Betrieb, der in Fig. 1 gezeigten Vorrichtung folgenden Teiles derselben Taktgeberperiode wird die kann am besten an Hand der Diagramme in den Hochfrequenzenergie an dem Probenplasma abge- Fig. 2 und 3 verstanden werden. Fig. 2a zeigt den schaltet, wodurch die thermische Strahlung von den Durchschnittswert der Hochfrequenzenergieimpulse, Atomen in der Probe schnell abfällt. Es existiert ein die am Ausgang des gesteuerten Schalters 19 erzeugt Zeitraum nach diesem Abfall, typischerweise 1 bis 35 werden. Die Impulse beginnen in Intervallen von 110 msec, währenddessen die Atome in der Probe noch 2 msec entsprechend der Taktgebergeschwindigkeit in ihrer dissoziierten Form vorliegen. Während dieser von 500 Hz. In der Figur entspricht die Nutzungsdauer Zeh kann die Probe von einer der Entladungslampen, jedes Impulses einer halben Periode der Taktgeberdie das charakteristische Spektrum der ausgewählten frequenz; es kann jedoch auch eine kürzere Nutzungs-Atomart aufweist, mit Licht beleuchtet werden, und 40 dauer gewählt werden. Fig. 2b zeigt das mittlere Ausin .ir die freien Atome dieser Atomart können Licht gangssignaJ an dem Detektor 43, das auf der gesamten •absorbieren. Wie bereits oben beschrieben wurde, Strahlung von dem Probenplasma beruht. Die Strahsixahlen die Atome, die das Licht absorbieren, dieses lung ist während der Hochfrequenzenergieimpulse so dann wieder aus, wodurch eine Fluoreszenzstrahlung maximal. Während der Zeitintervalle zwischen den erzeugt wird. Folglich erhält man während dieses Zeit- 45 Impulsen hängt die von dem Probendampf emittierte raumes von der Probenkammer ein großes Fluores- Strahlung davon ab, ob Licht in das Plasma eingezenzsignal mit einer verhältnismäßig kleinen thermi- strahlt oder gesperrt wird. Bei Abwesenheit des Lichtschen Strahlung. Strahls fällt die Probenstrahlung schnell auf einen nie-The supply of the excitation energy from the high light radiated onto the sample vapor to the modufrequency energy source 17 for the sample vapor takes place here. For example, the light sources themselves can be controlled by circuits which are pulsed with a predetermined repeat rate and which act on the switches 33,35, frequency of z. B. 500 Hz. This is achieved by acting, or an additional switch which is periodically opened and closed in that the switch 19 is under the control of a clock of the supply line for a lamp, periodically. and be turned off. In this case, the switch 49 controlled during a portion of each clock period would be applied to the sample in synchronism with the clock radio frequency energy to operate the circuits that operate the lamp switches. To excite atoms of the sample. During a part of the same clock period following the operation of the device shown in FIG. 1, this can best be understood from the diagrams in the high-frequency energy on the sample plasma. Fig. 2a shows the switches, whereby the thermal radiation drops rapidly from the average value of the radio frequency energy pulses, atoms in the sample. There is a period of time generated at the output of the controlled switch 19 after this drop, typically 1 to 35. The pulses begin at intervals of 110 msec, during which the atoms in the sample are still present in their dissociated form for 2 msec according to the clock speed. . During this corresponds to 500 Hz in the figure, the service life toe, the sample from one of the discharge lamps, each pulse of half a period of the Taktgeberdie the characteristic spectrum of the selected frequency; However, it can also have a shorter atomic type of use, be illuminated with light, and be selected permanently. Fig. 2b shows the mean Ausin .ir the free atoms of this type of atom can light output signals to the detector 43 absorb, which on the entire •. As already described above, radiation from the sample plasma is based. The beam stacks the atoms that absorb the light, this treatment is then off again during the high-frequency energy pulses, creating a maximum of fluorescence radiation. During the time intervals between the is generated. Consequently, during this period of time, a large amount of fluorescence radiation is obtained from the sample chamber, depending on whether light is emitted into the plasma with a relatively small thermal radiation or is blocked. In the absence of light radiation. Beam, the sample radiation quickly falls on a low
Der Detektorausgang wird lediglich während der drigen Wert ab, der der thermischen Strahlung entZeiträume
zwischen den Anregungsiirrpulsen von der So spricht, w*s durch den Teil 67 der Kurve der Fig. 2b
Energiequelle 17 aufgetastet, wodurch der größte Teil dargestellt ist. Wenn Licht eingestrahlt wird, ergibt
der durch die thermische Untergrundstrahlung hervor- sich eine Probenstrahlung, die durch den gestrichelt
gerufenen unerwünschten Effekte ausgeschaltet wird. gezeichneten Teil 69 der Kurve angedeutet isi. Diese
Km einzelnen wird der Schalter 47 geschlossen, um das Strahlung entspricht weitgehend der Fteoreszenz-
-ran dem Detektor erhaltene Ausgangssignal während SS strahlung der ausgewählten Art von Atomen und ist
irines vorbestimmten Zeitraumes während jeder Perio- größer und fällt mit geringerer Geschwindigkeit ab
<äe, wenn der Hochfrequenzschaher 19 geöffnet ist, als die Strahlung in Abwesenheit des Lichtes,
weiterzuleiten. Die beiden Schalter 19,47 werden dazu Aus Fig. 2c ist zu ersehen, daß der Schalter 47
durch den Taktgeber 59 gemeinsam im Gegentakt be- lediglich während eines vorbestimmten Zeitintervalls
tätigt. Dabei wird der Schalter 47 mittels eines vorge- ®° zwischen den Hochfrequenzenergieimpulsen geschlosschaheten
monostabilen Kippgliedes 61 jeweils ver- sen ist. Die in dieser Figur dargestellten Impulse entzögert
erst nach dem anfänglichen Abfall der thermi- sprechen den Ausgangsimpulsen des monostabilen
sehen Strahlung geschlossen. Kippgliedes 61. Jeder Impuls ist so verzögen, daß erThe detector output is only gauged during the third value from which the thermal radiation away from the thermal radiation speaks of the So, w * s through the part 67 of the curve of FIG. 2b energy source 17, whereby the largest part is shown. When light is irradiated, the result of the thermal background radiation is a sample radiation that is switched off by the undesired effects indicated by the dashed line. drawn part 69 of the curve indicated isi. This km the switch 47 is closed, so that the radiation largely corresponds to the fluorescence output signal obtained from the detector during radiation of the selected type of atoms and is greater in a predetermined period of time during each period and falls at a slower rate. when the high frequency switch 19 is open, as the radiation in the absence of light,
forward. The two switches 19, 47 are used for this purpose. From FIG. 2c it can be seen that the switch 47 is actuated jointly by the clock generator 59 in push-pull mode only during a predetermined time interval. In this case, the switch 47 is closed by means of a monostable toggle element 61 which is closed between the high-frequency energy pulses. The pulses shown in this figure are delayed only after the initial drop in the thermal speak to see the output pulses of the monostable radiation closed. Flip-flop 61. Every impulse is so delayed that it
Auf Grund obiger Maßnahmen beruht der größte nach einem vorbestimmten Zeitintervall I« nach demDue to the above measures, the largest is based after a predetermined time interval I «after
Teil des Ausgangssignales von dem Schalter 47 bereits 6S Ende des HochfreqeenzEne^gieimpalses beginnt. DiePart of the output signal from the switch 47 already 6 S end of the HochfreqeenzEne ^ gieimpalses begins. the
auf der Fluoreszenzstrahlung von dem Plasma; es liegt Signale, die übertragen werden, während der Schalteron the fluorescent radiation from the plasma; it lies signals that are transmitted while the switch
jedoch auch noch ein kleiner Anteil thermischer Strah- 47 geschlossen ist. sind in Fig. 2d gezeigt. Es sind diehowever, a small proportion of the thermal jet is still closed. are shown in Figure 2d. They are
lung vor. Diese beiden Anteile werden weiter dadurch verstärkten Detektorausgangssignale, die auftreten.ment. These two components are further amplified by the detector output signals that occur.
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nachdem die thermische Strahlung etwas abgesunken dar. Während der Erzeugung des Plasmas entsprechenafter the thermal radiation has dropped somewhat. During the generation of the plasma correspond
ist. die Spektrallinien im wesentlichen der thermischenis. the spectral lines are essentially thermal
Fig. 2e stellt den Ausgang des Schalters 47 in einer Strahlung, die auf der Hochfrequenzanregung beruht,Fig. 2e shows the output of the switch 47 in a radiation which is based on the high frequency excitation,
etwas größeren Zeitskala dar. Während das Licht durch Die Strahlung der Lichtquelle ist für das ausgewählteslightly larger timescale. While the light passes through The radiation of the light source is selected for the
das Ghopperrad 63 gesperrt ist, werden jeweils mehrere 5 Element charakteristisch und trägt zu der Erzeugungthe Ghopperrad 63 is locked, each several 5 element are characteristic and contributes to the generation
Signalimpulse 67 abgegeben, da das Chopperrad den der »£«-Peaks bei. Diese Peaks schwanken in ihrerSignal pulses 67 emitted, since the chopper wheel at the "£" peaks. These peaks fluctuate in hers
Lichtstrahl mit einer Frequenz unterbricht, die kleiner Intensität mit der Frequenz, mit der das eingestrahlteLight beam interrupts with a frequency, the smaller intensity with the frequency with which the irradiated
als die Pulsfrequenz für die Hochfrequenzenergie ist. Licht unterbrochen wird.than is the pulse rate for the radio frequency energy. Light is interrupted.
Während der Lichtstrahl durch das Chopperrad in die Die Fig. 3b und 3c stellen das Spektrum der Probiinkammer 11 einfallen kann, werden von dem io Strahlung von der Probe dar, wenn die Erzeugung des Detektor entsprechend mehrere Signalimpulse 69 über- Plasmas ausgeschaltet ist, d. h. während der Zeitintertragen. Da der Schalter 49 synchron mit dem Chopper- valle zwischen den Anregungsimpulsen von der Hochrad 63 betätigt wird, gelangen die Signalimpulse 67 zur frequenzenergiequelle 17. Der in diesen beiden Figuren Schaltung 53 und die Signalimpulse 69 zur Schaltung gezeigte Wellenlängenbereich ist derselbe wie der in 51. Durch die anschließende Subtraktion wird der 15 Fig. 3a; die Lichtintensität/ist jedoch in einem Maßdurch die thermische Untergrundstrahlung hervorge- stab dargestellt, der einer lOOmal größeren Empfindrufene Störeffekt ausgeschaltet. lichkeit entspricht als der Maßstab in Fig. 3a. Fig. 3bWhile the light beam through the chopper wheel in the Figs. 3b and 3c represent the spectrum of the The sample chamber 11 can be affected by the radiation from the sample when the generation of the Detector corresponding to several signal pulses 69 over plasma is switched off, d. H. during the time carrying. Since the switch 49 is synchronous with the chopper interval between the excitation pulses from the high wheel 63 is actuated, the signal pulses 67 reach the frequency energy source 17. The one in these two figures Circuit 53 and the signal pulses 69 to the circuit shown wavelength range is the same as that in FIG 51. By the subsequent subtraction, the 15 Fig. 3a; however, the light intensity / is through to a certain extent the thermal background radiation is clearly shown, that of a 100 times greater sensation Disruptive effect switched off. Liability corresponds to the scale in Fig. 3a. Figure 3b
Wie oben bereits bemerkt wurde, sind keine Filter- gilt für abgeschaltetes und Fig. 3c für eingeschaltetesAs noted above, there are no filters - applies to switched off and Fig. 3c to switched on
oder Monochromatorelemente zwischen der Proben- Licht. Wie aus der Fig. 3b zu ersehen ist, ist die ge-or monochromator elements between the sample light. As can be seen from Fig. 3b, the
kamrner 11 und dem Detektor 43 erforderlich und es *° samte Strahlung von der Probe sehr klein, wenn sowohlKamrner 11 and the detector 43 are required and all radiation from the sample is very small if both
entfalllen die mit solchen Vorrichtungen verbundenen das Plasma nicht erregt wird und das Licht abgeschal-omitted the associated with such devices the plasma is not excited and the light is switched off.
Nachteile. Ungeachtet dieser Nachteile kann durch die tet ist. Wenn jedoch, wie es in Fig. 3c dargestellt ist,Disadvantage. Notwithstanding these drawbacks, it is possible to use the tet. However, if, as shown in Fig. 3c,
Verwendung eines Filters oder eines Monochromators das Licht eingeschaltet ist, so werden durch die Strah-If the light is switched on using a filter or a monochromator, the beam
dit Untersuchungsempfindlichkeit noch weiter erhöht lung des Lichtes lediglich die ausgewählten Atome an-The sensitivity of the examination increases the light only the selected atoms.
werden. »5 geregt, wodurch die genau definierten spektralen Peakswill. »5 excited, creating the well-defined spectral peaks
Die Vorteile der Erfindung werden besser an Hand erzeugt werden. Da die Anregung des Plasmas zu der graphischen Darstellung der Fig. 3a bis c ver- dieser Zeit abgeschaltet ist, ist die thermische Unterständlich. In Fig. 3a ist die spektrale Verteilung der grundstrahlung von der Probe sehr niedrig im VerStrahlung vom Probedampf in der Kammer 11 für gleich zu der charakteristischen Strahlung des ausgeden Fall dargestellt, daß durch einen Impuls von der 3° wählten Elementes. Da außerdem das gesamte in den Hochfrequenzenergiequelle 17 das Plasma erzeugt graphischen Darstellungen der Fig. 3b und 3c gezeigte ist. Spektrum der Strahlung direkt auf den Detektor 43The advantages of the invention will be better produced by hand. As the excitation of the plasma increases 3a to c is switched off before this time, the thermal is obscure. In Fig. 3a the spectral distribution of the fundamental radiation from the sample is very low in radiation of the sample steam in the chamber 11 for equal to the characteristic radiation of the exhaust Case represented that by a pulse from the 3 ° selected element. In addition, since the entire in the Radiofrequency power source 17 that generates plasma graphs shown in Figures 3b and 3c is. Spectrum of the radiation directly on the detector 43
Die Intensität / der spektralen Peaks ist willkürlich gegeben wird, so daß alle charakteristischen Spektral-The intensity / of the spectral peaks is given arbitrarily, so that all characteristic spectral
in Einheiten bis zu 400 dargestellt. Das besondere fest- linien zu dem nutzbaren Ausgangssignal beitragen, istshown in units up to 400. The special fixed lines contribute to the usable output signal is
zustellende Element besitzt bestimmte charakteristische 35 die Untersuchungsempfindlichkeit ohne die Verwen-the element to be delivered has certain characteristic 35 the examination sensitivity without the use
spekirale Fluoreszenzpeaks, die mit E bezeichnet sind. dung von Filtern sehr hoch. Es können eine Vielzahlspeciral fluorescence peaks denoted by E. The use of filters is very high. There can be a multitude
Die anderen Spektrallinien stellen die nicht fluores- von Elementen in der Probe dadurch festgestellt wer-The other spectral lines represent the non-fluorescent elements in the sample that are thereby determined
zierenden Übergänge des ausgewählten Elementes wie den, daß lediglich die Entladungslampen wahlweiseornamental transitions of the selected element such as that only the discharge lamps are optional
auch anderer Arten von Atomen in der Probenkammer nacheinander eingeschaltet werden.other types of atoms in the sample chamber are also turned on one after the other.
Hierzu 2 Blatt ZeichnungenFor this purpose 2 sheets of drawings
Claims (10)
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US85736069A | 1969-09-12 | 1969-09-12 | |
US85736069 | 1969-09-12 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2045134A1 DE2045134A1 (en) | 1971-03-18 |
DE2045134B2 true DE2045134B2 (en) | 1975-09-25 |
DE2045134C3 DE2045134C3 (en) | 1976-05-06 |
Family
ID=
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5032837B1 (en) | 1975-10-24 |
GB1282659A (en) | 1972-07-19 |
DE2045134A1 (en) | 1971-03-18 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) |