DE20311615U1 - Manipulator for positioning test head on test device, e.g. for semiconductor device handler or wafer prober and carrying beam with fixing points to allow attachment of cross-arms at variable positions - Google Patents
Manipulator for positioning test head on test device, e.g. for semiconductor device handler or wafer prober and carrying beam with fixing points to allow attachment of cross-arms at variable positionsInfo
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Abstract
Description
Dr.-Ing. Helmuth Heigl München, 28. Juli 2003Dr.-Ing. Helmuth Heigl Munich, July 28, 2003
83059 Kolbermoor Unser Zeichen: 0141 0031 G83059 Kolbermoor Our reference: 0141 0031 G
Handhabungsvorrichtung, insbesondere zum Positionieren
eines Testkopfes an einer PrüfeinrichtungHandling device, in particular for positioning
a test head on a test device
Die Erfindung betrifft eine Handhabungsvorrichtung, die insbesondere zum Positionieren eines Testkopfes an einer Prüfeinrichtung dient. Die Handhabungsvorrichtung ist mit Positionierungsmitteln, durch die ein Testkopf im Raum positionierbar ist, und einem Untergestell, auf dem die Positionierungsmittel angeordnet sind, versehen. Das Untergestell weist wenigstens einen sich in einer Längsrichtung erstreckenden Tragbalken auf, an dem eine Führungsschiene für die Positionierungsmittel angeordnet ist.The invention relates to a handling device which is used in particular for positioning a test head on a test device. The handling device is provided with positioning means by which a test head can be positioned in space, and a base frame on which the positioning means are arranged. The base frame has at least one support beam extending in a longitudinal direction on which a guide rail for the positioning means is arranged.
Eine Handhabungsvorrichtung oder Manipulator verfügt in der Regel über mehrere Translations- und Rotationsfreiheitsgrade, um den Testkopf exakt im Raum zu positionieren. Eine Handhabungsvorrichtung, die zum Positionieren eines Testkopfes an einer Prüfeinrichtung dient, findet bei der Prüfung von elektronischen Bauelementen, wie beispielsweise integrierte Schaltungen (IC) oder Wafer, Anwendung. Um die Funktionsfähigkeit der elektronisehen Bauelemente zu testen, ist es erforderlich, den verhältnismässig schweren Testkopf präzise an die Prüfeinrichtung heranzufahren. Die Prüfeinrichtung, beispielsweise ein Device Handler oder Wafer Prober, stellt die durch den Testkopf zu überprüfenden elektronischen Bauelemente bereit. Ein unverfälschtes Messergebnis bei der Prüfung der elektronischen Bauelemente setzt ein genaues Andocken des Testkopfes an der Prüfeinrichtung voraus. Aus diesem Grund ist eine präzise und leichtgängige Verstellung der den Testkopf positionierenden Handhabungsvorrichtung unerlässlich.A handling device or manipulator usually has several degrees of freedom in terms of translation and rotation in order to position the test head precisely in space. A handling device that is used to position a test head on a test device is used to test electronic components, such as integrated circuits (ICs) or wafers. In order to test the functionality of the electronic components, it is necessary to move the relatively heavy test head precisely to the test device. The test device, for example a device handler or wafer prober, provides the electronic components to be tested by the test head. An unadulterated measurement result when testing the electronic components requires that the test head is docked precisely to the test device. For this reason, precise and smooth adjustment of the handling device that positions the test head is essential.
Darüber hinaus ist ein eine ausreichende Stabilität der Handhabungsvorrichtung gewährleistendes Fundament unentbehrlich. Bekannte Handhabungsvorrichtungen, wie sie beispielsweise in der DE 201 17 768 U1 beschrieben werden, weisen als Fundament ein Untergestell auf, das sich meist aus zwei Tragbalken zusammensetzt. An den Tragbalken sind Führungsschienen angeordnet, durch die sich die Positionierungsmittel in horizontaler Richtung verschieben lassen. Die Tragbalken sind in der Regel auf Füssen gelagert, die Unebenheiten des Fussbodens ausgleichen, um eine horizontale Ausrichtung der Führungsschienen sicherzustellen. Das Untergestell ist somit an den am jeweiligen Aufstellungsort der Handhabungsvorrichtung vorhandenen Fussboden anzupassen. Überdies ist das Untergestell auf die kinematischen Veränderungen der Positionierungsmittel abzustimmen. Denn ein beispielsweise Schwenken des verhältnismässig schweren Testkopfes um eine vertikale Achse ist mit einer signifikanten Verlagerung des Schwerpunktes der Handhabungsvorrichtung verbunden, die durch das Untergestell kompensiert werden muss. Als nachteilig bei den bekannten Handhabungsvorrichtungen hat sich ein verhältnismässig hoher Aufwand für die Umrüstung des Untergestells erwiesen, wenn die Handhabungsvorrichtung an einem anderen Ort aufgestellt wird oder die Bewegungsabläufe der Positionierungsmittel geändert werden.In addition, a foundation that ensures sufficient stability of the handling device is essential. Known handling devices, such as those described in DE 201 17 768 U1, have a base frame as a foundation, which is usually made up of two support beams. Guide rails are arranged on the support beams, by means of which the positioning means can be moved horizontally. The support beams are usually mounted on feet that compensate for unevenness in the floor in order to ensure that the guide rails are aligned horizontally. The base frame must therefore be adapted to the floor at the respective installation location of the handling device. In addition, the base frame must be adapted to the kinematic changes of the positioning means. For example, pivoting the relatively heavy test head around a vertical axis is associated with a significant shift in the center of gravity of the handling device, which must be compensated for by the base frame. A disadvantage of the known handling devices has been the relatively high cost of converting the base frame if the handling device is set up at a different location or the movement sequences of the positioning means are changed.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Handhabungsvorrichtung der eingangs genannten Art dahingehend weiterzubilden, dass sich ein vergleichsweise einfaches Umrüsten des Untergestells erzielen lässt.The invention is based on the object of developing a handling device of the type mentioned at the outset in such a way that a comparatively simple conversion of the undercarriage can be achieved.
Zur Lösung dieser Aufgabe ist bei einer Handhabungsvorrichtung mit den oben genannten Merkmalen in Übereinstimmung mit Anspruch 1 erfindungsgemäss vorgesehen, dass der Tragbalken auf wenigstens zwei Traversen abgestützt ist, die lösbar mit dem Tragbalken verbunden sind. Der Tragbalken weist zudem eine Vielzahl an Befestigungsstellen auf, an denen die Traversen in Längsrichtung variabel befestigbar sind.To achieve this object, in a handling device with the above-mentioned features in accordance with claim 1, the invention provides that the support beam is supported on at least two cross members which are detachably connected to the support beam. The support beam also has a plurality of fastening points to which the cross members can be variably fastened in the longitudinal direction.
Die erfindungsgemässe Handhabungsvorrichtung beruht auf der Erkenntnis, das Untergestell modular auszugestalten, um ein einfaches Umrüsten sicherzustellen. Die modulare Ausgestaltung wird durch die lösbar mit dem Tragbalken verbundenen Traversen erreicht, die an den in Längsrichtung vorhandenen Befestigungsstellen des Tragbalkens variabel befestigt werden können. Die Vielzahl der Befestigungsstellen macht es möglich, die Traversen auf den jeweiligen Anwendungsfall abgestimmt an dem Tragbalken anzuordnen. Zudem trägt die Vielzahl der Befestigungsstellen dazu bei, die Anzahl der Traversen auf verhältnismässig einfache Weise zu variieren, um das Untergestell an die Stabilitätserfordernisse des jeweiligen Anwendungsfalls anzupassen.The handling device according to the invention is based on the knowledge that the base frame should be designed in a modular manner in order to ensure easy conversion. The modular design is achieved by the crossbars that are detachably connected to the support beam and can be variably attached to the fastening points on the support beam that are present in the longitudinal direction. The large number of fastening points makes it possible to arrange the crossbars on the support beam in a way that is tailored to the respective application. In addition, the large number of fastening points helps to vary the number of crossbars in a relatively simple manner in order to adapt the base frame to the stability requirements of the respective application.
Vorteilhafte Weiterbildungen der erfindungsgemässen Handhabungsvorrichtung stellen die Gegenstände der Ansprüche 2 bis 10 dar.Advantageous further developments of the handling device according to the invention are the subject matters of claims 2 to 10.
Von Vorteil ist es, die Befestigungsstellen des Tragbalkens in Längsrichtung äquidistant anzuordnen, um eine kostengünstige Fertigung sicherzustellen.It is advantageous to arrange the fastening points of the supporting beam equidistantly in the longitudinal direction in order to ensure cost-effective production.
Von Vorteil ist femer, wenn das Untergestell wenigstens zwei Tragbalken aufweist, die in einer senkrecht zur Längsrichtung verlaufenden Querrichtung voneinander beabstandet und vorzugsweise parallel zueinander angeordnet sind. Denn auf diese Weise lässt sich eine verhältnismässig grosse Standfläche des Untergestells realisieren, die zu einer hohen Stabilität der Handhabungsvorrichtung beiträgt. Um eine ergonomische Ausgestaltung der Handhabungsvorrichtung zu gewährleisten, ist vorteilhafterweise zwischen den Tragbalken eine die Traversen abdeckende Abdeckplatte angeordnet. Die Abdeckplatte kann zum Beispiel als Trittfläche für eine die Handhabungsvorrichtung betätigende Person genutzt werden.It is also advantageous if the base frame has at least two support beams that are spaced apart from one another in a transverse direction perpendicular to the longitudinal direction and are preferably arranged parallel to one another. This is because a relatively large base area for the base frame can be achieved, which contributes to a high level of stability for the handling device. In order to ensure an ergonomic design of the handling device, a cover plate covering the cross members is advantageously arranged between the support beams. The cover plate can be used, for example, as a step surface for a person operating the handling device.
Bevorzugt weisen die Traversen eine Vielzahl an Befestigungsstellen auf, an denen die Traversen in Querrichtung variabel an dem Tragbalken befestigbar sind. Die Vielzahl der Befestigungsstellen ermöglicht es, die Traversen aufPreferably, the traverses have a plurality of fastening points at which the traverses can be variably fastened to the supporting beam in the transverse direction. The plurality of fastening points makes it possible to
einfache Weise in der Querrichtung auszurichten. Werden die Traversen beispielsweise in Art eines Auslegers an dem Tragbalken befestigt, lässt sich die Länge des in Querrichtung über den Tragbalken hinausragenden Teils der Traversen gezielt auf den jeweiligen Anwendungsfall anpassen.
5easy to align in the transverse direction. If the traverses are attached to the supporting beam in the manner of a cantilever, for example, the length of the part of the traverses that protrudes beyond the supporting beam in the transverse direction can be specifically adapted to the respective application.
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Um eine kostengünstige Fertigung der Traversen zu gewährleisten, ist es ferner von Vorteil, die Befestigungsstellen in Querrichtung äquidistant anzuordnen. In order to ensure cost-effective production of the trusses, it is also advantageous to arrange the fastening points equidistantly in the transverse direction.
In einer bevorzugten Ausgestaltung der erfindungsgemässen Handhabungsvorrichtung sind der Tragbalken und/oder die Traversen an den Befestigungsstellen mit Öffnungen versehen. Die Traversen sind dabei mittels die Öffnungen durchgreifenden Schraubenverbindungen an dem Tragbalken befestigt. Die Schraubenverbindungen gewährleisten auf praxisgerechte Weise eine lösbare Verbindung der Traversen mit dem Tragbalken.In a preferred embodiment of the handling device according to the invention, the support beam and/or the cross members are provided with openings at the fastening points. The cross members are attached to the support beam by means of screw connections that pass through the openings. The screw connections ensure a detachable connection of the cross members to the support beam in a practical manner.
Bevorzugt weisen die Traversen in Querrichtung eine unterschiedliche Länge auf, um eine stabilitätsgerechte Ausgestaltung des Untergestells zu gewährleisten. Die Traversen mit der grössten Länge werden zweckmässigerweise in einem Bereich angeordnet, in denen bei den üblichen Bewegungsabläufen der Positionierungsmittel eine hohe Belastung infolge von beispielsweise Biege- und Torsionsmomenten auftritt.Preferably, the crossbeams have different lengths in the transverse direction in order to ensure that the underframe is designed to be stable. The crossbeams with the greatest length are expediently arranged in an area in which a high load occurs during the usual movement sequences of the positioning means as a result of, for example, bending and torsional moments.
Vorteilhafterweise sind die Traversen auf Füssen, vorzugsweise Tellerfüssen, gelagert, die zu einem erschütterungsfesten Stand des Untergestells auf dem Fussboden beitragen. In diesem Zusammenhang ist es ferner zweckmässig, die Füsse in vertikaler Richtung verstellbar an den Traversen anzuordnen. The crossbeams are advantageously mounted on feet, preferably disc feet, which help to ensure that the base frame is stable on the floor against vibrations. In this context, it is also expedient to arrange the feet on the crossbeams so that they can be adjusted vertically.
Einzelheiten und weitere Vorteile der erfindungsgemässen Handhabungsvorrichtung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung zweier bevor-Details and further advantages of the handling device according to the invention emerge from the following description of two preferred
zugter Ausführungsbeispiele. In den die Ausführungsbeispiele lediglich schematisch darstellenden Zeichnungen veranschaulichen im Einzelnen:The drawings, which merely schematically illustrate the embodiments, show in detail:
Fig. 1 eine Seitenansicht einer Handhabungsvorrichtung, an der einFig. 1 is a side view of a handling device on which a
Testkopf angeordnet ist;test head is arranged;
Fig. 2 eine Draufsicht auf eine erste Ausführungsform des UntergestellsFig. 2 a plan view of a first embodiment of the base frame
der Handhabungsvorrichtung gemäss Fig. 1;the handling device according to Fig. 1;
Fig. 3 eine perspektivische Ansicht des Untergestells gemäss Fig. 2;Fig. 3 is a perspective view of the base frame according to Fig. 2;
Fig. 4 eine Draufsicht auf eine zweite Ausführungsform des UntergestellsFig. 4 a plan view of a second embodiment of the base frame
der Handhabungsvorrichtung gemäss Fig. 1 undthe handling device according to Fig. 1 and
Fig. 5 eine perspektivische Ansicht des Untergestells gemäss Fig. 4.Fig. 5 is a perspective view of the base frame according to Fig. 4.
Die in Fig. 1 gezeigte Handhabungsvorrichtung dient zum Positionieren eines Testkopfes 40 an einer nicht dargestellten Prüfeinrichtung für elektronische Bauelemente, wie zum Beispiel IC oder Wafer. Zu diesem Zweck verfügt die Handhabungsvorrichtung über Positionierungsmittel 10, die eine sich in vertikaler Richtung &zgr; erstreckende Säule 11 und eine den Testkopf 40 tragende Halterung 12 umfassen. Die Halterung 12 ist in vertikaler Richtung &zgr; verstellbar an der Säule 11 angeordnet und ermöglicht ein Schwenken des Testkopfes 40 um eine vertikale und, falls erforderlich, auch um eine horizontale Achse. Die Säule 10 ist in einer horizontalen Längsrichtung &khgr; bewegbar auf einem Untergestell 20 angeordnet. Das Untergestell 20 weist hierfür zwei in der Längsrichtung &khgr; parallel zueinander verlaufende Tragbalken 21, 22 auf, auf denen die Säule 11 leitende Führungsschienen 23 angeordnet sind. Um die Säule 10 auf den Führungsschienen 23 zu bewegen, sind Antriebsmittel 13 vorgesehen. Die Antriebsmittel 13 weisen ein Zugmittel in Form von beispielsweise einem Zahnriemen 14 auf, das mit einem Antriebsrad 15 zusammenwirkt. Das Antriebsrad 15 wird im vorliegenden Fall von einem Kurbeltrieb 16 angetrieben. Alternativ kann das Antriebsrad 15 auch von einem Elektromotor angetrieben werden.The handling device shown in Fig. 1 is used to position a test head 40 on a test device (not shown) for electronic components, such as ICs or wafers. For this purpose, the handling device has positioning means 10 which comprise a column 11 extending in the vertical direction ζ and a holder 12 supporting the test head 40. The holder 12 is arranged on the column 11 so as to be adjustable in the vertical direction ζ and enables the test head 40 to be pivoted about a vertical and, if necessary, also about a horizontal axis. The column 10 is arranged on a base frame 20 so as to be movable in a horizontal longitudinal direction ν. The base frame 20 has two support beams 21, 22 which run parallel to one another in the longitudinal direction ν, on which guide rails 23 which guide the column 11 are arranged. In order to move the column 10 on the guide rails 23, drive means 13 are provided. The drive means 13 have a traction means in the form of, for example, a toothed belt 14, which interacts with a drive wheel 15. In the present case, the drive wheel 15 is driven by a crank mechanism 16. Alternatively, the drive wheel 15 can also be driven by an electric motor.
Wie aus den Fig. 2 und 3 ersichtlich ist, sind die Tragbalken 21, 22 auf insgesamt sieben Traversen 24, 25, 26, 27, 28 abgestützt. Die Traversen 24, 25, 26, 27, 28 sind jeweils auf Tellerfüssen 32 gelagert, die in vertikaler Richtung &zgr; verstellbar sind. Sowohl die Tragbalken 21, 22 als auch die Traversen 24, 25, 26, 27, 28 sind mit einer Vielzahl an Befestigungsstellen versehen, die Öffnungen 29, 30 aufweisen. Die Öffnungen 29 der Tragbalken 21, 22 sind in Längsrichtung &khgr; äquidistant angeordnet, wohingegen die Öffnungen 30 der Traversen 24, 25, 26, 27, 28 in einer zur Längsrichtung &khgr; orthogonalen Querrichtung y äquidistant verteilt sind. Die Traversen 24, 25, 26, 27, 28 sind mittels die Öffnungen 29, 30 durchgreifenden Schraubenverbindungen an den Tragbalken 21, 22 lösbar befestigt. Zwischen den Tragbalken 21, 22 ist eine die Traversen 24, 25, 26, 27, 28 abdeckende Abdeckplatte 31 angeordnet, die als Trittfläche für eine die Handhabungsvorrichtung betätigende Person benutzt werden kann. Die Fig. 2 und 3 lassen überdies erkennen, dass an zumindest einer der Führungsschienen 23 Anschläge 33 angeordnet sind, welche die Bewegung der Säule 11 auf den Führungsschienen 23 begrenzen.As can be seen from Fig. 2 and 3, the support beams 21, 22 are supported on a total of seven cross members 24, 25, 26, 27, 28. The cross members 24, 25, 26, 27, 28 are each mounted on plate feet 32 which are adjustable in the vertical direction &zgr;. Both the support beams 21, 22 and the cross members 24, 25, 26, 27, 28 are provided with a plurality of fastening points which have openings 29, 30. The openings 29 of the support beams 21, 22 are arranged equidistantly in the longitudinal direction &khgr;, whereas the openings 30 of the cross members 24, 25, 26, 27, 28 are arranged at an angle to the longitudinal direction &khgr;. orthogonal transverse direction y are equidistantly distributed. The cross members 24, 25, 26, 27, 28 are detachably attached to the support beams 21, 22 by means of screw connections passing through the openings 29, 30. Between the support beams 21, 22 there is a cover plate 31 which covers the cross members 24, 25, 26, 27, 28 and can be used as a step for a person operating the handling device. Figs. 2 and 3 also show that stops 33 which limit the movement of the column 11 on the guide rails 23 are arranged on at least one of the guide rails 23.
Weiterhin ist aus den Fig. 2 und 3 ersichtlich, dass an den Tragbalken 21, 22 fünf unterschiedliche Typen von Traversen 24, 25, 26, 27, 28 angeordnet sind, die sich zwar allesamt in Querrichtung y erstrecken, aber zum einen in der Dimensionierung und zum anderen in der Ausgestaltung der Tellerfüsse 32 unterscheiden. Von den Traversen 24 eines ersten Typs sind insgesamt drei Traversen 24 vorhanden, die sich an einer Stirnseite des Untergestells 20 und an weniger stark belasteten Stellen in der Mitte des Untergestells 20 befinden. Eine Traverse 25 eines zweiten Typs befindet sich an der anderen Stirnseite des Untergestells 20, wohingegen Traversen 26, 27, 28 eines dritten, vierten und fünften Typs an einer bei einer Bewegung der Positionierungsmittel 10 infolge von Biege- und Torsionsmomenten stark belasteten Stelle des Untergestells 20 angeordnet sind.Furthermore, it can be seen from Fig. 2 and 3 that five different types of crossbeams 24, 25, 26, 27, 28 are arranged on the support beams 21, 22, which all extend in the transverse direction y, but differ in terms of their dimensions and in the design of the disc feet 32. Of the crossbeams 24 of a first type, there are a total of three crossbeams 24, which are located on one end of the base frame 20 and at less heavily loaded points in the middle of the base frame 20. A crossbeam 25 of a second type is located on the other end of the base frame 20, whereas crossbeams 26, 27, 28 of a third, fourth and fifth type are arranged at a point on the base frame 20 that is heavily loaded when the positioning means 10 moves as a result of bending and torsional moments.
• ♦ · · · I•♦ · · · I
Sämtliche der Traversen 24, 25, 26, 27, 28 ragen in Art eines Auslegers auf einer Seite des Untergestells 20 in Querrichtung y über den Tragbalken 22 hervor, wobei die Traverse 27 den Ausleger mit der grössten Länge und die Traversen 24 den Ausleger mit der geringsten Länge darstellen. Auf diese Weise gewährleisten die Traversen 24, 25, 26, 27, 28 eine wirksame Abstützung der Positionierungsmittel 10 bei einem Bewegen des in der Regel verhältnismässig schweren Testkopfes 40 rechts von dem Untergestell 20. Demgegenüber ragen die Traversen 24, 25, 26, 27, 28 bei der in Fig. 4 und 5 gezeigten Ausführungsform des Untergestells 20 in Querrichtung y über den Tragbalken 21 hervor und gewährleisten somit eine wirksame Abstützung der Positionierungsmittel 10 bei einem Bewegen des Testkopfes 40 links von dem Untergestell 20.All of the cross members 24, 25, 26, 27, 28 protrude in the manner of a cantilever on one side of the base frame 20 in the transverse direction y over the supporting beam 22, whereby the cross member 27 represents the cantilever with the greatest length and the cross members 24 represent the cantilever with the shortest length. In this way, the cross members 24, 25, 26, 27, 28 ensure effective support of the positioning means 10 when the test head 40, which is usually relatively heavy, is moved to the right of the base frame 20. In contrast, in the embodiment of the base frame 20 shown in Fig. 4 and 5, the cross members 24, 25, 26, 27, 28 protrude in the transverse direction y over the support beam 21 and thus ensure effective support of the positioning means 10 when the test head 40 is moved to the left of the base frame 20.
Den zuvor beschriebenen Ausführungsformen des Untergestells 20 ist eine modulare Bauweise gemein. Dies ist in erster Linie auf die lösbare Befestigung der Traversen 24, 25, 26, 27, 28 an den Tragbalken 21, 22 zurückzuführen. Darüber hinaus trägt zu der modularen Bauweise die Vielzahl an Befestigungsstellen, welche die Tragbalken 21, 22 und die Traversen 24, 25, 26, 27, 28 aufweisen, bei. Denn die Vielzahl der Befestigungsstellen ermöglicht eine variable Anordnung der Traversen 24, 25, 26, 27,-28 an den Tragbalken 21, 22, und zwar sowohl in Längsrichtung &khgr; als auch in Querrichtung y. Ein Umrüsten des Untergestells 20 von beispielsweise der in den Fig. 2 und 3 gezeigten Ausführungsform auf die in den Fig. 4 und 5 gezeigte Ausführungsform lässt sich somit auf verhältnismässig einfache Weise durchführen. Nicht zuletzt bilden die unterschiedlichen Typen an Traversen 24, 25, 26, 27, 28 ein Baukastensystem, das es ermöglicht, das Untergestell 20 den Anforderungen des jeweiligen Anwendungsfalls entsprechend zusammenzubauen. The previously described embodiments of the base frame 20 have a modular design in common. This is primarily due to the detachable fastening of the cross members 24, 25, 26, 27, 28 to the support beams 21, 22. In addition, the large number of fastening points that the support beams 21, 22 and the cross members 24, 25, 26, 27, 28 have contribute to the modular design. This is because the large number of fastening points enables a variable arrangement of the cross members 24, 25, 26, 27, 28 on the support beams 21, 22, both in the longitudinal direction x and in the transverse direction y. The conversion of the base frame 20 from, for example, the embodiment shown in Figs. 2 and 3 to the embodiment shown in Figs. 4 and 5 can thus be carried out in a relatively simple manner. Last but not least, the different types of crossbeams 24, 25, 26, 27, 28 form a modular system that allows the base frame 20 to be assembled according to the requirements of the respective application.
40 Testkopf40 test head
&khgr; Längsrichtung&khgr; longitudinal direction
y Querrichtungy transverse direction
&zgr; vertikale Richtungζ vertical direction
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| DE20311615U1 true DE20311615U1 (en) | 2003-10-23 |
Family
ID=29285932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE20311615U Expired - Lifetime DE20311615U1 (en) | 2003-07-28 | 2003-07-28 | Manipulator for positioning test head on test device, e.g. for semiconductor device handler or wafer prober and carrying beam with fixing points to allow attachment of cross-arms at variable positions |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE20311615U1 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102004008404A1 (en) * | 2004-02-20 | 2005-09-08 | Heigl, Helmuth, Dr. | Handling device for positioning a test head on a testing device comprises a column, a horizontal carriage and double-hinged arms having a first end hinged on a holder and a second arm hinged on the horizontal carriage |
| DE102004008403A1 (en) * | 2004-02-20 | 2005-09-08 | Heigl, Helmuth, Dr. | Handling device for positioning a test head on a testing device comprises a column, a horizontal carriage, a pivoting arm arranged on the horizontal carriage, and a holder arranged on the pivoting arm |
| CN110058138A (en) * | 2013-10-29 | 2019-07-26 | 东京毅力科创株式会社 | Wafer inspector |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| DE3917544A1 (en) | 1988-05-30 | 1989-12-14 | Mitsubishi Electric Corp | CAREER FOR A MOBILE INDUSTRIAL ROBOT |
| WO1996035555A1 (en) | 1995-05-08 | 1996-11-14 | Aeg Automation Systems Corporation | Modular robot auxiliary axis system |
| DE19921729A1 (en) | 1999-05-12 | 2000-11-30 | Prokon Gmbh Fahrzeugtechnische | Guide unit for moving manipulator, especially robot, to and fro; has guide rails secured to floor with releasable tensioning devices, where manipulator moves on guide rails |
| DE20117768U1 (en) | 2001-10-31 | 2002-01-17 | Heigl, Helmuth, Dr.-Ing., 83059 Kolbermoor | Handling device, in particular for positioning a test head on a test device |
-
2003
- 2003-07-28 DE DE20311615U patent/DE20311615U1/en not_active Expired - Lifetime
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