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Verschiedene Ausführungsbeispiele betreffen eine Vorrichtung und eine Vakuumanordnung.
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Im Allgemeinen können Substrate in einer Vakuumbeschichtungsanlage prozessiert, z.B. bearbeitet, beschichtet, erwärmt, geätzt und/oder strukturell verändert werden. Gängige Verfahren zum Beschichten eines Substrats weisen die physikalische Gasphasenabscheidung (PVD), zu welcher die sogenannte Kathodenzerstäubung (das so genannte Sputtern) gehört, und die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) auf.
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In solchen Vakuumbeschichtungsanlagen gibt es vielfältigen Bedarf, rotierende Komponenten, wie beispielsweise Transportrollen oder Sputtertargets oder andere Walzen bzw. Hülsen, zu lagern. Herkömmlich kommen beidseitig gelagerte Walzen/Hülsen sowie einseitig gelagerte schwere Walzen mit Gegenlager (Cantilever) zu Einsatz.
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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wurde anschaulich erkannt, dass es die herkömmliche Lagerung solcher rotierenden Komponenten erschwert, zusätzliche Funktionen im Inneren der Komponenten bereitzustellen, beispielsweise indem eine Funktionsbaugruppe (hierin auch als Funktionsbauteil oder auch als Bauteil bezeichnet) im Innern der Komponenten angeordnet wird. Dazu ist herkömmlicherweise die Demontage der Komponente nötig.
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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine Vorrichtung bereitgestellt, welche es erleichtert, ein solches Funktionsbauteil im Inneren der Komponente zu erreichen (z.B. zu warten und/oder zu de/montieren), zu lagern und/oder zu betreiben. Dies erreicht, dass ein oder mehr als ein Funktionsbauteil im Inneren der rotierenden Komponente einfacher angeordnet werden kann, welches sich leicht montieren und demontieren lässt, bzw. auch in Konfigurationen, welche sich mit herkömmlicher Konstruktion nur schwer realisieren lassen.
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Die bereitgestellte Vorrichtung kann beispielsweise in Vakuumanlagen bzw. auch in sonstigem (nicht notwendigerweise vakuumtauglichen) Maschinenbau zum Einsatz kommen.
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Beispiele für ein Funktionsbauteil weisen auf: ein Magnetfelderzeugendes Funktionsbauteil, eine Messeinrichtung als Funktionsbauteil, eine Funktionsbauteil mit Kühl- und/oder Heizfunktionen, ein Funktionsbauteil mit Sensorik, und dergleichen.
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Es zeigen
- 1 eine Vorrichtung (auch als Drehvorrichtung bezeichnet) gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht; und
- 2 und 3 jeweils die Vorrichtung in verschiedenen schematischen Querschnittsansichten.
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In der folgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die Teil dieser bilden und in denen zur Veranschaulichung spezifische Ausführungsformen gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann. In dieser Hinsicht wird Richtungsterminologie wie etwa „oben“, „unten“, „vorne“, „hinten“, „vorderes“, „hinteres“, usw. mit Bezug auf die Orientierung der beschriebenen Figur(en) verwendet. Da Komponenten von Ausführungsformen in einer Anzahl verschiedener Orientierungen positioniert werden können, dient die Richtungsterminologie zur Veranschaulichung und ist auf keinerlei Weise einschränkend. Es versteht sich, dass andere Ausführungsformen benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Es versteht sich, dass die Merkmale der hierin beschriebenen verschiedenen beispielhaften Ausführungsformen miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch anders angegeben. Die folgende ausführliche Beschreibung ist deshalb nicht in einschränkendem Sinne aufzufassen, und der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert.
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Im Rahmen dieser Beschreibung werden die Begriffe „verbunden“, „angeschlossen“ sowie „gekoppelt“ verwendet zum Beschreiben sowohl einer direkten als auch einer indirekten Verbindung (z.B. ohmsch und/oder elektrisch leitfähig, z.B. einer elektrisch leitfähigen Verbindung), eines direkten oder indirekten Anschlusses sowie einer direkten oder indirekten Kopplung. In den Figuren werden identische oder ähnliche Elemente mit identischen Bezugszeichen versehen, soweit dies zweckmäßig ist.
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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Begriff „gekoppelt“ oder „Kopplung“ im Sinne einer (z.B. mechanischen, hydrostatischen, thermischen und/oder elektrischen), z.B. direkten oder indirekten, Verbindung und/oder Wechselwirkung verstanden werden. Mehrere Elemente können beispielsweise entlang einer Wechselwirkungskette miteinander gekoppelt sein, entlang welcher die Wechselwirkung ausgetauscht werden kann, z.B. ein Fluid (dann auch als fluidleitend gekoppelt bezeichnet). Beispielsweise können zwei miteinander gekoppelte Elemente eine Wechselwirkung miteinander austauschen, z.B. eine mechanische, hydrostatische, thermische und/oder elektrische Wechselwirkung. Eine Kopplung mehrerer Vakuumkomponenten (z.B. Ventilen, Pumpen, Kammern, usw.) miteinander kann aufweisen, dass diese fluidleitend miteinander gekoppelt sind. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann „gekuppelt“ im Sinne einer mechanischen (z.B. körperlichen bzw. physikalischen) Kopplung verstanden werden, z.B. mittels eines direkten körperlichen Kontakts. Eine Kupplung kann eingerichtet sein, eine mechanische Wechselwirkung (z.B. Kraft, Drehmoment, etc.) zu übertragen.
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Der Begriff „Lagervorrichtung“ bezeichnet hierin eine Vorrichtung (zum Beispiel eine Baugruppe aufweisend), welche zum Lagern (z.B. geführten Positionieren und/oder Halten) eines oder mehr als eines Bauteils (z.B. einer Abdeckblende) eingerichtet ist. Die Lagervorrichtung kann, beispielsweise pro Bauteil (das mittels dieser gelagert wird), ein oder mehr als ein Lager aufweisen zum Lagern (z.B. geführten Positionieren und/oder Halten) des Bauteils. Jedes Lager der Lagervorrichtung kann eingerichtet sein, dem Bauteil einen oder mehr als einen Freiheitsgrad (beispielsweise einen oder mehr als einen Translationsfreiheitsgrad und/oder einen oder mehr als einen Rotationsfreiheitsgrad) bereitzustellen, gemäß welchem das Bauteil bewegt werden kann. Beispiele für ein Lager weisen auf: Radiallager, Axiallager, Radiaxlager, Linearlager (auch als Linearführung bezeichnet).
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Eine Vakuumanordnung kann eine oder mehr als eine Vakuumkammer und im betriebsbereiten Zustand ein Pumpensystem (aufweisend zumindest eine Grobvakuumpumpe und optional zumindest eine Hochvakuumpumpe) aufweisen, welches mit dem Inneren der Vakuumkammer (auch als Kammerinneres bezeichnet) fluidleitend gekoppelt ist.
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Die Vakuumkammer kann ein Kammergehäuse aufweisen, welches mehrere Kammerwände aufweist, die das Innere der Vakuumkammer (auch als Kammerinneres bezeichnet) begrenzen. Das Kammergehäuse kann beispielsweise derart stabil eingerichtet sein, dass dieses dem Einwirken des atmosphärischen Luftdrucks im abgepumpten Zustand standhält.
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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuumanordnung eine Beschichtungsmaterialquelle in der Vakuumkammer aufweisen zum Beschichten zumindest eines Substrats (d.h. einen oder mehr als eines Substrats) darin, welches z.B. durch die Vakuumkammer hindurch transportiert wird. Beispielsweise kann die Beschichtungsmaterialquelle zum Bereitstellen eines gasförmigen Beschichtungsmaterials (Materialdampf) und/oder flüssigen Beschichtungsmaterials eingerichtet sein, welches z.B. auf dem zumindest einen Substrat zum Bilden einer Schicht abgeschieden werden kann. Eine Beschichtungsmaterialquelle kann zumindest eines von Folgendem aufweisen: eine Sputtervorrichtung, eine thermisch-Verdampfen-Vorrichtung (z.B. einen Laserstrahlverdampfer, einen Lichtbogenverdampfer, einen Elektronenstrahlverdampfer und/oder einen thermischen Verdampfer), eine Präkursorgasquelle, einen Flüssigphasenzerstäuber. Eine Sputtervorrichtung kann zum Zerstäuben des Beschichtungsmaterials mittels eines Plasmas eingerichtet sein. Eine thermisch-Verdampfen Vorrichtung kann zum Verdampfen des Beschichtungsmaterials mittels thermischer Energie eingerichtet sein. Je nach der Beschaffenheit des Beschichtungsmaterials kann alternativ oder zusätzlich zu dem thermischen Verdampfen, d.h. ein thermisches Überführen eines flüssigen Zustands (flüssige Phase) in einen gasförmigen Zustand (gasförmige Phase), auch ein Sublimieren, d.h. ein thermisches Überführen eines festen Zustands (feste Phase) in einen gasförmigen Zustand, auftreten. Mit anderen Worten kann die thermisch-Verdampfen-Vorrichtung das Beschichtungsmaterial auch sublimieren. Ein Flüssigphasenzerstäuber kann zum Aufbringen eines Beschichtungsmaterials aus der Flüssigphase eingerichtet sein.
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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuumanordnung eine Transportvorrichtung aufweisen, die eingerichtet ist, das Substrat in der Vakuumkammer und/oder durch diese hindurch zu transportieren, z.B. entlang eines Transportpfads. Die Transportvorrichtung kann beispielsweise mehrere Rollen (bzw. Walzen) aufweisen, mit denen das transportierte Substrat in Kontakt kommt oder zumindest ein Substratträger, der das transportierte Substrat trägt.
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Das Pumpensystem kann eingerichtet sein, dem Kammerinneren ein Gas zu entziehen, so dass darin ein Vakuum (d.h. ein Druck kleiner als 0,3 bar) bereitgestellt sein oder werden kann, beispielsweise ein Druck in einem Bereich von ungefähr 1 mbar bis ungefähr 10-3 mbar (mit anderen Worten Feinvakuum) oder weniger, z.B. ein Druck in einem Bereich von ungefähr 10-3 mbar bis ungefähr 10-7 mbar (mit anderen Worten Hochvakuum) oder weniger, z.B. ein Druck von kleiner als Hochvakuum, z.B. kleiner als ungefähr 10-7 mbar (mit anderen Worten Ultrahochvakuum).
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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine Vorrichtung (z.B. Lagervorrichtung) bereitgestellt zum einseitigen oder beidseitigen Lagern eines offenen Gehäuses (z.B. offenen Walze oder Hülse). Die Vorrichtung ist eingerichtet derart, dass während dem Rotieren des Gehäuses, Elemente von außen ins Innere des Gehäuses (d.h. in dessen Hohlraum) reinragen können bzw. sich mit Zugang von außen im Innern agieren.
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Das Gehäuses (z.B. eine Walze oder eine Hülse) der Drehvorrichtung kann auf einer Seite konventionell (z.B. zentrisch) mittels eines Drehlagers gelagert und angetrieben sein, ggf. auch doppelwandig mittels einer Drehdurchführung, welche das Drehlager aufweist. Auf der Gegenseite des Gehäuses ist dieses (z.B. nicht zentrisch) mittels eines Lagerbocks gelagert, der die Gegenlagerfunktion bereitstellt. Der Lagerbock kann beispielsweise eine oder zwei Rollen (z.B. mittels Kugellager gelagert) aufweisen, welche im Innern des Gehäuses angeordnet sind. Optional können diese Rollen verstellbar (z.B. in ihrem Abstand voneinander) sein, was es vereinfacht, das Gehäuse auszurichten (beispielsweise horizontal in Waage zu bringen).
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Der Lagerbock, wie er gemäß verschiedenen Ausführungsformen bereitgestellt ist, erreicht, dass trotz Rotation des Gehäuses die Öffnung des Gehäuses (auch als Gehäuseöffnung bezeichnet) für funktionelle Bauteile permanent zugänglich bleibt.
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Hierin wird vornehmlich auf einen Lagerbock Bezug genommen, der in das Gehäuse hineinragt, beispielsweise dessen Innenwand abstützend. Es kann verstanden werden, dass das diesbezüglich Beschriebene in Analogie für einen außerhalb des Gehäuses angeordnet Lagerbock gelten kann, der beispielsweise die Außenwand des Gehäuses abstützt.
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Anschaulicher gesprochen, kann die Lagerung im Innern des Gehäuses (beispielsweise einen Kontakt der Räder mit der Gehäuse-Innenringfläche bildend) eingerichtet sein, so dass beispielsweise eine hängende Walze bereitgestellt ist. Alternativ oder zusätzlich kann die Lagerung auch derart eingerichtet sein, dass die Räder auf der Außenringfläche des Gehäuses laufen, so dass beispielsweise eine liegende Walze bereitgestellt ist.
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1 veranschaulicht eine Vorrichtung 100 (auch als Drehvorrichtung bezeichnet) gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht.
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Die Drehvorrichtung 100 weist eine Komponente mit einem Gehäuse 102 auf, dass einen Hohlraum 102h aufweist. Anschaulich kann das Gehäuse 102 ein Hohlkörper sein. Beispielsweise kann das Gehäuse 102 zylinderförmig sein. Beispielhafte Implementierungen des Gehäuses 102 weisen auf: eine Hülse, eine Walze (auch als Rolle bezeichnet).
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Die Komponente kann optional noch weitere Maschinenteile aufweisen, muss dies aber nicht notwendigerweise. Zur Vereinfachung wird nachfolgend vornehmlich auf das Gehäuse 102 der Komponente Bezug genommen, wobei das diesbezüglich Beschriebene in Analogie zu einer mehrteiligen Komponente gelten kann.
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Die Drehvorrichtung 100 weist ein ferner eine Lagervorrichtung auf, mittels welcher das Gehäuse 102 drehbar gelagert ist (z.B. nur) um eine Drehachse 201 herum und/oder mittels welcher fünf Freiheitsgrade des Gehäuses 102 blockiert sind (siehe Drehrichtung 111r). Dies erreicht, dass die Lagervorrichtung dem Gehäuse 102 einen Rotationsfreiheitsgrad gemäß der Drehachse 201 bereitstellt. Beispielsweise kann die Drehachse 201 quer oder zumindest schräg zu einer Gravitationsrichtung der Erde sein.
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Die Lagervorrichtung weist ein Drehlager 104 (in der Ansicht verdeckt, vgl. auch nachfolgende Figuren) auf, mittels welchem das Gehäuse 102 (z.B. dessen Welle) um die Drehachse 201 (vgl. auch nachfolgende Figuren) herum drehbar gelagert ist. Das Drehlager 104 ist auf einer ersten Seite 101a der Drehvorrichtung 100 bzw. des Gehäuses 102 angeordnet bzw. berührt eine erste Stirnseite 101a des Gehäuses 102.
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Die Lagervorrichtung weist ferner einen Lagerbock 106 auf, mittels welchem das Gehäuse 102 um die Drehachse herum drehbar gelagert ist. Der Lagerbock 106 ist auf einer zweiten Seite 101b der Drehvorrichtung 100 bzw. des Gehäuses 102 angeordnet bzw. berührt eine zweite Stirnseite 101b des Gehäuses 102.
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Das Gehäuse 102 weist beispielsweise eine (z.B. umlaufende) Gehäusewand 102w auf, welche den Hohlraum 102h umgibt bzw. diesen quer zu der Drehachse 201 des Gehäuses 102 begrenzt. Die Gehäusewand 102w weist beispielsweise eine dem Hohlraum 102h zugewandte Innenfläche und eine dem Hohlraum 102h abgewandte Außenfläche auf.
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Das Gehäuse 102 weist an der zweiten Stirnseite eine den Hohlraum 102h umgebende Lauffläche 108 (z.B. in Form einer Rotationsfläche) auf, die beispielsweise Teil der Innenfläche ist oder Teil der Außenfläche ist. Beispielsweise kann die Lauffläche 108 an den Hohlraum 102h angrenzen. Beispielsweise kann das Gehäuse 102 an der zweiten Stirnseite hülsenförmig sein.
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Generell kann eine Rotationsfläche (auch als Drehfläche bezeichnet) als Fläche verstanden werden, die entsteht, wenn eine ebene Kurve um die Drehachse 201 herum rotiert wird. Beispielsweise kann die Rotationsfläche zylinderförmig sein. Hierin wird vornehmliche auf eine Rotationsfläche als Lauffläche 108 Bezug genommen, wobei das dafür Beschriebene in Analogie für eine andere geformte (z.B. Zähne aufweisende) Lauffläche 108 gelten kann. Im Allgemeinen wirkt die Lauffläche 108 mit dem zumindest einen Rad 106r des Lagerbocks derart zusammen, dass das Gehäuse 102 um die Drehachse 201 herum rotiert werden kann.
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Ferner kann der Hohlraum 102h auf der zweiten Stirnseite 101b bzw. der zweiten Seite 101b freiliegen. Dann kann das Gehäuse 102 eine Öffnung 1020 (auch als Gehäuseöffnung bezeichnet) aufweisen, welche aus Richtung der zweiten Seite 101b in dem Hohlraum 102h mündet und/oder diesen in Richtung der zweiten Seite 101b freilegt, z.B. mindestens ungefähr 50% (oder 75%, 90% oder 95%) der Querschnittsfläche des Hohlraums 102h.
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Der Lagerbock 106 kann zumindest ein (d.h. ein oder mehr als ein) drehbar gelagertes Rad 106r (in der Ansicht verdeckt, vgl. auch nachfolgende Figuren) aufweisen, welches an der Rotationsfläche 108 anliegt.
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Der Lagerbock 106 kann neben der Drehachse 201 angeordnet sein, so dass ein Funktionsbauteil an dem Lagerbock 106 vorbei in den Hohlraum 102h hinein oder aus diesem heraus gebracht werden kann (siehe auch 3). Dies kann erreicht werden, wenn eine sogenannte Freiraumbedingung erfüllt ist. Beispielhafte Implementierungen, in denen die Freiraumbedingung erfüllt ist, werden nachfolgend erläutert.
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In einer beispielhaften Implementierung, in der die Freiraumbedingung erfüllt ist, ist ein Abstand a des Lagerbocks 106 von der Drehachse 201 größer als ungefähr n% einer Referenzstrecke. Beispielhafte Werte für n weisen auf: 10, 20, 30 oder 40. Je größer n ist, desto leichter zugänglich ist der Hohlraum 102h an dem Lagerbocks 106 vorbei.
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Die Referenzstrecke kann beispielsweise die Ausdehnung d (z.B. Durchmesser d) der Rotationsfläche 108 oder des Hohlraums sein. Die Referenzstrecke kann quer zur Drehachse 201 und/oder entlang einer Referenzrichtung 101 (siehe auch nachfolgende Figuren) gemessen werden. Die Referenzrichtung 101 kann zumindest an dem Lagerbock 106 vorbei gerichtet sein, z.B. quer zur Drehachse 201.
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In einer beispielhaften Implementierung, in der die Freiraumbedingung erfüllt ist, kann die Drehvorrichtung 100 (z.B. deren Lagerbock 106) frei sein von einem Bauteil, welches den Hohlraum 102h entlang der Drehachse abdeckt.
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In einer beispielhaften Implementierung, in der die Freiraumbedingung erfüllt ist, kann neben dem Lagerbock 106 ein quaderförmiger Bereich (auch als Freibereich bezeichnet) angeordnet sein, der an den Lagerbock 106 und den Hohlraum angrenzt und der frei ist von einem nicht-fluiden (z.B. festen) Material. Beispielsweise kann der Freibereich eine Ausdehnung (z.B. quer zur Drehachse 201) aufweisen entlang der Referenzrichtung 101 die größer ist als die Referenzstrecke.
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Beispielsweise kann der Freibereich eine Ausdehnung aufweisen entlang der Drehachse 201 die größer ist als n% einer Ausdehnung des Hohlraums 102h entlang der Drehachse 201.
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In einer beispielhaften Implementierung, in der die Freiraumbedingung erfüllt ist, kann die (z.B. kreisrunde oder) Querschnittsfläche des Hohlraums 102h, die quer zur Drehachse 201 ist und umlaufend an das Gehäuse angrenzt, eine erste (z.B. kreisrunde oder quadratische) erste Querschnittsteilfläche aufweisen, die neben dem Lagerbock 106 angeordnet ist, und eine (z.B. kreisrunde oder quadratische) zweite Querschnittsteilfläche aufweisen, die von dem Lagerbock durchdrungen wird. Die erste Querschnittsteilfläche kann größer sein als eine zweite Querschnittsteilfläche, z.B. um n% der zweiten Querschnittsteilfläche.
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2 veranschaulicht die Drehvorrichtung 100 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht 200.
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Der Lagerbock 106 kann beispielsweise zwei Räder 106r aufweisen, welche in einem Abstand (auch als Räderabstand bezeichnet) entlang der Referenzrichtung 101 angeordnet sind. Beispielsweise kann jedes der Räder 106r eine Rolle aufweisen und/oder (z.B. innen) an der Rotationsfläche 108 anliegen.
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Beispielsweise kann der Lagerbock 106 ein Gestell 106p (z.B. eine oder mehr als eine Platte aufweisend oder daraus bestehend) aufweisen, mittels welchem das zumindest eine Rad 106r gehalten ist. Beispielsweise kann der Lagerbock 106 pro Rad 106r ein Drehlager aufweisen, mittels welchem dem Rad relativ zu dem Gestell 106p ein Rotationsfreiheitsgrad bereitgestellt ist um eine Raddrehachse 301, die beispielsweise entlang der Drehachse 201 ist.
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Optional kann der Lagerbock 106 (z.B. dessen Gestell 106p) derart eingerichtet sein (dann auch als verstellbarer Lagerbock 106 bezeichnet), dass ein Abstand (auch als Lagerabstand bezeichnet) eines oder mehr als eines Rads 106r des Lagerbocks 106 von einem Referenzobjekt verändert werden kann. Das Referenzobjekt kann die Drehachse 201 und/oder ein anderes Rad 106r des Lagerbocks 106 sein.
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In einer exemplarischen Implementierung des verstellbaren Lagerbocks 106 ist ein oder mehr als ein Rad 106r des Lagerbocks 106 exzentrisch gelagert, so dass dieses um seinen exzentrischen Lagerpunkt herum geschwenkt werden kann, um den Lagerabstand zu verstellen. In der oder einer anderen exemplarischen Implementierung des verstellbaren Lagerbocks 106 ist ein oder mehr als ein Rad 106r des Lagerbocks 106 mittels eines Langlochs gelagert, so dass dieses entlang der Ausdehnung des Langlochs verschoben werden kann, um den Lagerabstand zu verstellen.
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Optional kann der Lagerbock 106 ein Stellglied (z.B. Stellschraube, Getriebe oder elektromechanischer Aktor) aufweisen, welches eingerichtet ist, ein oder mehr als ein Rad 106r zu verschieben in Antwort darauf, angesteuert zu werden, um den Lagerabstand zu verändern.
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3 veranschaulicht die Drehvorrichtung 100 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht A-A.
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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann in den Hohlraum 102h ein Funktionsbauteil 302 (vereinfacht auch als Bauteil bezeichnet) eingebracht sein oder werden, beispielsweise an einer Montagestruktur (nicht dargestellt) montiert und/oder in das Gehäuse 102 hineingelegt. Beispielsweise kann das Funktionsbauteil 302 entlang einer Transportrichtung, die zu der ersten Seite 101a hin (z.B. entlang der Drehachse 201) gerichtet ist, und/oder durch die Gehäuseöffnung 102o hindurch, in den Hohlraum 102h ein (vereinfacht auch als Bauteil bezeichnet) eingebracht sein oder werden.
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Die Montagestruktur kann anschaulich eingerichtet sein, dass das Funktionsbauteil 302 daran befestigt werden kann, z.B. formschlüssig. Beispielhafte Komponenten der Montagestruktur weisen auf: ein Gewinde, eine Schiene, eine Steckkupplung.
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Beispielsweise kann die Montagestruktur Teil des Gehäuses 102 sein oder ortsfest relativ zu dem Lagerbock 106 gehalten sein (z.B. in einem Abstand von dem Gehäuse), z.B. mittels eines Trägers. Beispielsweise kann der Träger außerhalb des Gehäuses 102 abgestützt sein und/oder durch das Drehlager 104 hindurch erstreckt sein.
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Exemplarische Komponenten des Funktionsbauteils 302 weisen auf: einen Schaltkreis, einen elektromechanischen Wandler (z.B. einen Motor), einen Sensor (z.B. Drucksensor und/oder Temperatursensor), eine Temperiervorrichtung (z.B. eine Heiz- und/oder Kühlvorrichtung aufweisend), eine Elektrode (z.B. eine elektrische Feldquelle bereitstellend), eine Gasleitung (z.B. eine Gaszuführung und/oder eine Gasabsaugung bereitstellend), und/oder einen Magneten.
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In einer beispielhaften Implementierung ist die Drehvorrichtung 100 als Prozessierrolle-Vorrichtung, die beispielsweise einer Sputtervorrichtung (z.B. deren Sputtertarget) unmittelbar gegenüber liegt, eingerichtet. Dann weist das Gehäuse 102 eine Transportrolle auf und das Funktionsbauteil 302 ist ein Magnetsystem, welches optional eine Temperiervorrichtung aufweist und/oder elektromechanisch verstellbar eingerichtet ist, z.B. einen oder mehr als einen elektromechanischen Aktor aufweisend, einen oder mehr als einen Generator aufweisend, einen oder mehr als einen Steuerschaltkreis aufweisend, usw.
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In einer beispielhaften Implementierung ist die Drehvorrichtung 100 als Transportvorrichtung eingerichtet. Dann weist das Gehäuse 102 beispielsweise eine Transportrolle auf und das Funktionsbauteil 302 weist eine Temperiervorrichtung auf, welche eingerichtet ist, der Transportrolle thermische Energie zuzuführen und/oder zu entziehen, und/oder weist eine Gaszuführung auf.
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In einer beispielhaften Implementierung ist die Drehvorrichtung 100 als Beschichtungsvorrichtung eingerichtet. Dann weist das Gehäuse 102 beispielsweise eine Beschichtungsmaterialquelle auf und das Funktionsbauteil 302 ist eine elektrische und/oder magnetische Feldquelle.
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Weist das Gehäuse 10 eine Transportrolle oder ein Sputtertarget auf, kann die Drehvorrichtung 100 ferner eine Antriebsvorrichtung (auch als Antriebsstrang bezeichnet), z.B. einen Motor und optional ein Getriebe aufweisend, aufweisen, welches eine Drehbewegung 111r der Transportrolle antreiben, d.h. dieser ein Drehmoment zuführen kann.
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In einer beispielhaften Implementierung weist die Drehvorrichtung 100 ein, vorzugsweise plattenförmiges, Wandelement 502 auf, welches mittels des ersten Drehlagers mit dem Gehäuse gekuppelt ist. Das Wandelement 502 kann beispielsweise Teil eines Gestells oder einer Kammer, z.B. eine Vakuumkammer oder Atmosphärenkammer sein.
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In einer beispielhaften Implementierung kommt das Gehäuse 102 im Vakuum bzw. im Inneren einer Vakuumkammer zu Einsatz. Eine dementsprechende Vakuumanordnung kann eine Vakuumkammer oder zumindest deren Vakuumkammerwand als Wandelement 502 aufweisen. Ferner kann der Hohlraum 102h mit dem Inneren der Vakuumkammer und/oder mit einem Pumpensystem fluidleitend verbunden sein. Mit anderen Worten kann im Betrieb der Drehvorrichtung 100 der Hohlraum 102h ein Vakuum aufweisen, beispielsweise Feinvakuum oder weniger, Hochvakuum oder weniger.
