DE102019125219A1

DE102019125219A1 - Vakuumanordnung und Vakuumkammer

Info

Publication number: DE102019125219A1
Application number: DE102019125219.9A
Authority: DE
Inventors: Uwe Heydenreich; Peter Traßl
Original assignee: Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Current assignee: Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Priority date: 2019-09-19
Filing date: 2019-09-19
Publication date: 2021-03-25

Abstract

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Vakuumanordnung (500 bis 2000) aufweisen: eine Kammerzarge (802z); einen Kammerdeckel (802b), der eine Deckelwand (102) und ein damit gekuppeltes Deckelgestell (106) aufweist, wobei die Deckelwand (102) eine Durchgangsöffnung (102o) aufweist, eine drehgesichert gelagerte Trägerstange (302), welche stirnseitig mit dem Deckelgestell (106) gekuppelt ist und sich von dem Deckelgestell (106) aus durch die Durchgangsöffnung (102o) hindurch erstreckt ist derart, dass ein Spalt (102s) zwischen der Deckelwand und der Trägerstange (302) gebildet ist; wobei die Kammerzarge (802z) und der Kammerdeckel zusammengefügt einen Hohlraum (104) begrenzen, in welchen hinein die Trägerstange (302) erstreckt ist und von welchem aus sich der Spalt durch die Deckelwand (102) hindurch erstreckt in Richtung zu dem Deckelgestell (106) hin.

Description

Verschiedene Ausführungsbeispiele betreffen eine Vakuumanordnung und eine Vakuumkammer.
Im Allgemeinen kann ein Substrat, beispielsweise ein Glassubstrat, ein Metallsubstrat und/oder ein Polymersubstrat, behandelt (prozessiert), z.B. beschichtet werden, so dass die chemischen und/oder physikalischen Eigenschaften des Substrats verändert werden können. Zum Beschichten eines Substrats können verschiedene Beschichtungsverfahren durchgeführt werden. Beispielsweise kann eine Vakuumbeschichtungsanlage genutzt werden, um eine Schicht oder mehrere Schichten mittels einer chemischen und/oder physikalischen Gasphasenabscheidung auf einem Substrat oder auf mehreren Substraten abzuscheiden. Für einige industriell durchgeführte Prozesse werden sogenannte Flachkammern verwendet, in denen mehrere Substrate in einem Drehteller eingelegt ständig umeinander gedreht werden und dabei beschichtet werden.
Im Allgemeinen sind die Kammerwände einer Vakuumkammer im Betrieb dem Luftdruck ausgesetzt, welcher die Kammerwände in Richtung des innerhalb der Vakuumkammer angeordneten Vakuums verformt. Die Verformung der Vakuumkammer wird herkömmlicherweise mittels Versteifungen gehemmt, welche mit der Kammerwand (meist auf der Außenseite) verbunden sind. Außen an der Kammerwand angebrachte Verstrebungen reduzieren allerdings den Bauraum für weitere Bauteile, welche zum Betrieb der Vakuumkammer benötigt werden. So kann es beispielsweise sein, dass zwischen dicht gesetzten Versteifungsrippen keine leistungsfähige Pumpe mehr Platz findet.
Alternativ werden auch Verstrebungen innerhalb der Vakuumkammer verwendet, um zwei Kammerwände gegeneinander abzustützen. Solche Verstrebungen reduzieren allerdings den Bauraum innerhalb der Vakuumkammer für weitere Bauteile, welche zum Betrieb der Vakuumkammer benötigt werden. So kann es beispielsweise sein, dass innerhalb der Vakuumkammer keine Versteifungsrippe Platz findet, da diese fast vollständig von dem Drehteller belegt ist.
Im Ergebnis wird daher versucht einen Kompromiss zwischen außen liegenden und innenliegenden Verstrebungen zu finden, welche ausreichen, um die Verformung der Kammerwände ausreichend stark zu hemmen. Je kleiner die Dimensionen (z.B. Bauhöhe) der Vakuumkammer sein soll, umso kleiner sind auch die darin vorgesehenen Spaltmaße. Daher kann insbesondere für eine Flachkammer eine möglichst geringe Verformung erforderlich sein.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen werden eine Vakuumanordnung und eine Vakuumkammer bereitgestellt, welche es ermöglichen, die Bauhöhe der Vakuumkammer zu verringern und/oder den Bauraum innerhalb der Vakuumkammer zu vergrößern.
Anschaulich wird die Verformung einer flachen Vakuumkammer aufgrund des Luftdrucks nicht ausschließlich durch außen aufgebrachte Verstrebungen gehemmt, sondern es werden Decke und Boden der Vakuumkammer gegeneinander abgestützt. Die Abstützung kompensiert die auf Decke und Boden wirkenden Kräfte. Decke (auch als Kammerdecke bezeichnet) und Boden (auch als Kammerboden bezeichnet) einer Vakuumkammer sind in diesem Zusammenhang diejenigen Kammerwände, zwischen denen die Kammerzarge angeordnet ist. Anschaulich kann die Kammerdecke im Betrieb der Vakuumkammer die obere Kammerwand sein und analog dazu der Kammerboden die untere Kammerwand sein. Eine Kammerwand kann optional abnehmbar eingerichtet sein und wird dann auch als Kammerdeckel bezeichnet, wie später noch genauer beschrieben wird.
Die bereitgestellte Vakuumanordnung bzw. Vakuumkammer reduziert ferner die parasitäre Erzeugung von Partikeln (z.B. Abrieb), welche die Schichtqualität beeinflussen könnten. Die bereitgestellte Vakuumanordnung bzw. Vakuumkammer reduziert ferner die Masse der Konstruktion.
Anschaulich werden die erforderlichen Vakuum-Drehverbindungen nicht starr mit der Antriebswelle und der Vakuumkammer gekoppelt sondern mittels elastischer Elemente (z.B. Bälge). Dadurch wird die noch verbleibende Verformung von Kammerdecke und Kammerboden nicht auf den Drehteller übertragen.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Vakuumanordnung aufweisen: eine Kammerzarge; einen Kammerdeckel, der eine Deckelwand und ein damit gekuppeltes Deckelgestell aufweist, wobei die Deckelwand eine Durchgangsöffnung aufweist; eine drehgesichert gelagerte Trägerstange, welche stirnseitig mit dem Deckelgestell gekuppelt ist und sich von dem Deckelgestell aus durch die Durchgangsöffnung hindurch erstreckt derart, dass ein Spalt zwischen der Deckelwand und der Trägerstange gebildet ist; wobei die Kammerzarge und der Kammerdeckel zusammengefügt einen Hohlraum begrenzen, in welchen hinein die Trägerstange erstreckt ist und von welchem aus sich der Spalt durch die Deckelwand hindurch erstreckt in Richtung zu dem Deckelgestell hin.
Es zeigen

1 bis 4 jeweils eine Vakuumkammer gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht;
5 bis 17 jeweils eine Vakuumanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht; und
18 bis 21 jeweils eine Vakuumanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Draufsicht.

In der folgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die Teil dieser bilden und in denen zur Veranschaulichung spezifische Ausführungsformen gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann. In dieser Hinsicht wird Richtungsterminologie wie etwa „oben“, „unten“, „vorne“, „hinten“, „vorderes“, „hinteres“, usw. mit Bezug auf die Orientierung der beschriebenen Figur(en) verwendet. Da Komponenten von Ausführungsformen in einer Anzahl verschiedener Orientierungen positioniert werden können, dient die Richtungsterminologie zur Veranschaulichung und ist auf keinerlei Weise einschränkend. Es versteht sich, dass andere Ausführungsformen benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Es versteht sich, dass die Merkmale der hierin beschriebenen verschiedenen beispielhaften Ausführungsformen miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch anders angegeben. Die folgende ausführliche Beschreibung ist deshalb nicht in einschränkendem Sinne aufzufassen, und der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert.
Im Rahmen dieser Beschreibung werden die Begriffe „verbunden“, „angeschlossen“ sowie „gekoppelt“ verwendet zum Beschreiben sowohl einer direkten als auch einer indirekten Verbindung (z.B. ohmsch und/oder elektrisch leitfähig, z.B. einer elektrisch leitfähigen Verbindung), eines direkten oder indirekten Anschlusses sowie einer direkten oder indirekten Kopplung. In den Figuren werden identische oder ähnliche Elemente mit identischen Bezugszeichen versehen, soweit dies zweckmäßig ist.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Begriff „gekoppelt“ oder „Kopplung“ im Sinne einer (z.B. mechanischen, hydrostatischen, thermischen und/oder elektrischen), z.B. direkten oder indirekten, Verbindung und/oder Wechselwirkung verstanden werden. Mehrere Elemente können beispielsweise entlang einer Wechselwirkungskette miteinander gekoppelt sein, entlang welcher die Wechselwirkung (z.B. ein Signal) übertragen werden kann. Beispielsweise können zwei miteinander gekoppelte Elemente eine Wechselwirkung miteinander austauschen, z.B. eine mechanische, hydrostatische, thermische und/oder elektrische Wechselwirkung. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann „gekuppelt“ im Sinne einer mechanischen (z.B. körperlichen bzw. physikalischen) Kopplung verstanden werden, z.B. mittels eines direkten körperlichen Kontakts. Eine Kupplung kann eingerichtet sein, eine mechanische Wechselwirkung (z.B. Kraft, Drehmoment, etc.) zu übertragen.
Hierin wird unter anderem eine Vakuumkammer beschrieben, deren Kammergehäuse eine Kammerzarge und optional eine oder mehr als eine Kammerwand aufweist. Im Allgemeinen kann eine solche Kammerwand fest an der Kammerzarge befestigt (z.B. verschraubt) sein, z.B. an einem Flansch der Kammerzarge oder angeschweißt an die Kammerzarge und somit Teil des Kammergehäuses sein. Die Kammerwand kann alternativ dazu auch als Kammerdeckel eingerichtet oder Teil dessen (z.B. dessen Deckelwand bereitstellend) sein, z.B. separat von dem Kammergehäuse. Der Kammerdeckel kann eingerichtet sein, das Kammergehäuse zu verschließen oder von diesem separiert zu werden. Dazu kann der Kammerdeckel Transportelemente (z.B. Ösen) aufweisen, an welchen dieser transportiert werden kann von dem Kammergehäuse weg, z.B. mittels eines Krans. Dies ermöglicht es, schnell und unkompliziert das Innere des Kammergehäuses zugänglich zu machen. An dem Kammerdeckel kann optional eine oder mehr als eine Prozessiervorrichtung befestigt sein, welche es ermöglicht, ein in der Vakuumkammer angeordnetes Substrat zu prozessieren, z.B. zu bearbeiten, z.B. zu beschichten, zu erwärmen und/oder chemisch zu verändern. Alternativ oder zusätzlich kann optional eine oder mehr als eine Vakuumpumpe an dem Kammerdeckel befestigt sein, z.B. an einem Pumpenanschluss des Kammerdeckels.
Das im Folgenden für den Kammerdeckel Beschriebene kann in Analogie für Kammerwände gelten, die Teil des Kammergehäuses sind und andersherum.
Eine Drehdurchführung kann im Allgemeinen zwei ineinander angeordnete und gegeneinander abgedichtete Komponenten (auch als Rotor und Stator bezeichnet) aufweisen, von denen beispielsweise die innenliegende Komponente (z.B. der Rotor) drehbar in der außenliegenden Komponente (z.B. dem Stator) angeordnet ist. Die Abdichtung zwischen den zwei Komponenten der Drehdurchführung kann beispielsweise mittels einer Elastomerdichtung, einer Gleitringdichtung oder einer Laufwerksdichtung bereitgestellt sein. Mittels einer Drehdurchführung kann beispielsweise ein Drehmoment übertragen werden zwischen zwei Bereichen, die sich in ihrem Druck unterscheiden (z.B. um mehr als 0,5 bar). Eine hierin beschriebene Drehdurchführung kann im Allgemeinen vakuumdicht sein, d.h. eine Vakuum-Drehdurchführung sein (vereinfacht auch als Drehdurchführung bezeichnet).
Eine Antriebsvorrichtung kann im Allgemeinen eingerichtet sein, ein Drehmoment bereitzustellen, z.B. indem diese elektrische Leistung in das Drehmoment umwandelt. Mittels des Drehmoments kann eine Drehbewegung bereitgestellt werden, welche mittels der Antriebsvorrichtung angetrieben werden kann. Die Antriebsvorrichtung kann beispielsweise einen elektrischen Motor (allgemeiner elektromechanischen Wandler, auch als Elektromotor bezeichnet) und optional eine Steuervorrichtung aufweisen. Der Elektromotor kann stromdurchflossene Leiterspulen aufweisen, welche (wenn mit der elektrischen Leistung versorgt) ein Magnetfeld erzeugen. Die mittels des Magnetfeldes zwischen den Leiterspulen vermittelten gegenseitige Anziehungs- und/oder Abstoßungskräfte können in das Drehmoment umgesetzt werden. Dazu kann der Elektromotor einen Rotor und einen Stator aufweisen, von denen jeder eine oder mehr als eine der Leiterspulen aufweist. Optional kann der Rotor oder der Stator alternativ zu der Leiterspule(n) entsprechende Dauermagnete aufweisen, welche das Magnetfeld bereitstellen. Im Allgemeinen kann die Antriebsvorrichtung auch einen anderen Wandler aufweisen, der eingerichtet ist, eine Leistungsquelle, z.B. einen Druckunterschied (z.B. Druckluft) oder eine Fluidströmung, in das Drehmoment umzuwandeln. Die Antriebsvorrichtung kann beispielsweise luftgekühlt sein. Dazu kann die Antriebsvorrichtung ein Gehäuse aufweisen, welches eingerichtet ist, dem Wandler thermische Energie zu entziehen (bzw. dessen thermische Energie an die Umgebung abzuführen).
Im Folgenden wird auf einen Druckunterschied Bezug genommen, der die Differenz des Drucks innerhalb der (z.B. abgepumpten) Vakuumkammer und dem Druck außerhalb der Vakuumkammer (z.B. Erdatmosphärendruck, vereinfacht auch als Luftdruck bezeichnet), z.B. der Umgebung der Vakuumkammer, bezeichnet. Der Druckunterschied kann beispielsweise größer sein als 0,5 bar, z.B. größer als 0,9 bar. Der Druckunterschied kann auf die Komponenten der Vakuumkammer wirken, so dass eine Kraft auf diese wirkt, welche die Komponenten der Vakuumkammer verformen und/oder diese verlagern kann. Der Verformung kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen ein Widerstand entgegengesetzt werden (auch als Versteifung bezeichnet), so dass zumindest einige der Komponenten anschaulich möglichst formstabil und/oder ortsfest angeordnet sind.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Substrat zumindest eines von Folgendem aufweisen oder daraus gebildet sein: eine Keramik, ein Glas, ein Halbleiter (z.B. amorphes, polykristalliner oder einkristalliner Halbleiter, wie Silizium), ein Metall, und/oder ein Polymer (z.B. Kunststoff). Beispielsweise kann das Substrat ein Wafer (ein Halbleitersubstrat), eine Metallfolie, ein Metallblech oder eine Glasplatte sein, und optional beschichtet sein oder werden. z.B. mit einem Beschichtungsmaterial.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Beschichtungsmaterial zumindest ein Material der folgenden Materialien aufweisen oder daraus gebildet sein: ein Metall; ein Übergangsmetall, ein Oxid (z.B. ein Metalloxid oder ein Übergangsmetalloxid); ein Dielektrikum; ein Polymer (z.B. ein Kohlenstoff-basiertes Polymer oder ein Silizium-basiertes Polymer); ein Oxinitrid; ein Nitrid; ein Karbid; eine Keramik; ein Halbmetall (z.B. Kohlenstoff); ein Perowskit; ein Glas oder glasartiges Material (z.B. ein sulfidisches Glas); einen Halbleiter; ein Halbleiteroxid; ein halborganisches Material, und/oder ein organisches Material.
Im Allgemeinen können Werkstücke oder Substrate prozessiert oder behandelt, z.B. bearbeitet, beschichtet, erwärmt, geätzt und/oder strukturell verändert werden. Ein Verfahren zum Beschichten eines Substrats ist beispielsweise die Kathodenzerstäubung (das so genannte Sputtern oder die Sputterdeposition). Zum Sputtern kann mittels einer Sputtervorrichtung (z.B. deren Kathode) ein plasmabildendes Gas ionisiert werden, wobei mittels des dabei gebildeten Plasmas ein abzuscheidendes Material (auch als Beschichtungsmaterial bezeichnet) zerstäubt werden kann. Das zerstäubte Beschichtungsmaterial kann anschließend zu einem Substrat gebracht werden, an dem es sich abscheiden und eine Schicht bilden kann. Mittels Sputterns kann beispielsweise eine Schicht oder können mehrere Schichten auf einem Substrat abgeschieden werden.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Trägerstange drehgesichert sein. Drehgesichert kann verstanden werden, als dass die Trägerstange gegen eine Rotation gesichert gelagert ist, z.B. mittels einer Drehmomentstütze oder einer flächigen Befestigung bzw. Befestigung an mehreren Stellen. Damit wird erreicht, dass sich die Trägerstange nicht mit der Hohlwelle bzw. dem Drehteller mit dreht. Beispielsweise kann die Trägerstange mit einem Kammerdeckel (z.B. dessen Deckelwand oder dessen Deckelgestell) gekuppelt sein, z.B. formschlüssig, stoffschlüssig und/oder kraftschlüssig. Die Kupplung kann beispielsweise eine Drehung der Trägerstange relativ zu dem Kammerdeckel blockieren, so dass die Trägerstange z.B. ortsfest und/oder ausrichtungsfest ist (bezüglich einer Referenzgröße) . Die Kupplung kann beispielsweise eine Verschiebung der Trägerstange relativ zu dem Kammerdeckel blockieren. Beispielsweise kann die Trägerstange gegen eine Drehung und eine Verschiebung gesichert eingespannt sein, z.B. zwischen zwei Kammerdeckeln. Optional kann die Trägerstange an einem der zwei Kammerdeckel (z.B. dem oberen Kammerdeckel und/oder der Deckelwand) nur anliegen (diese muss nicht notwendigerweise an diesem befestigt sein). Dies erleichtert es, die Vakuumkammer zu öffnen.
1 veranschaulicht eine Vakuumkammer 100 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht. Die Vakuumkammer 100 weist eine Kammerzarge 802z und einen Kammerdeckel 802b auf.
Die Kammerzarge 802z kann anschaulich eine umlaufende Kammerwand aufweisen (anschaulich wie ein Rahmen), welche einen Hohlraum 104 begrenzt (auch als Prozessierraum 104 bezeichnet). Die Kammerwand (auch als seitliche Kammerwand bezeichnet) kann ein Metall (z.B. Stahl) und/oder Verstrebungsrippen aufweisen. Beispielsweise kann die Kammerwand ringförmig eingerichtet sein.
Ferner kann die Kammerzarge 802z eine oder mehr als eine Öffnung 104o (auch als Kammeröffnung 104o bezeichnet) aufweisen, welche den Prozessierraum 104 freilegt. Beispielsweise können die Kammeröffnungen 104o den Prozessierraum 104 auf einander gegenüberliegenden Seiten 200u, 200o der Vakuumkammer 100 freilegen (vereinfacht auch als Unterseite 200u und Oberseite 200o bezeichnet).
Ausgehend von einer Kammeröffnung 104o der Kammerzarge 802z kann sich der Prozessierraum 104 parallel zu einer Richtung 105 in die Kammerzarge 802z hinein und/oder zu der anderen Kammeröffnung 104o hin erstrecken. Die Richtung 105 kann im Betrieb der Vakuumkammer 100 entlang der Gravitationsrichtung sein (dann als Vertikale 105 bezeichnet). Im Folgenden wird vereinfachend auf die Richtung 105 als Vertikale 105 Bezug genommen. Das Beschriebene kann in Analogie auch für eine schräg zur Gravitationsrichtung verlaufenden Richtung 105 gelten und/oder für eine Richtung 105, die parallel zu einer Drehachse 802r (vgl. 8) verläuft.
Eine Ausdehnung der Kammerzarge 802z und/oder des Prozessierraums 104 entlang einer Ebene 101, 103 (vereinfacht auch als Horizontale 101, 103 bezeichnet), die quer zu der Vertikalen 105 ist, kann größer sein als eine Ausdehnung der Kammerzarge 802z bzw. des Prozessierraums 104 entlang der Richtung 105.
Eine Kammeröffnung 104o kann im Allgemeinen eingerichtet sein, von einem dazu passenden Kammerdeckel abgedeckt zu werden, z.B. derart, dass zwischen diesen eine vakuumdichte Verbindung gebildet wird. Dazu kann die Kammeröffnung 104o von einem Flansch der Kammerzarge 802z umgeben werden, an welchem der Kammerdeckel 802b befestigt werden kann. Im Allgemeinen können verschiedene Kammerkomponenten der Vakuumkammer 100 miteinander verbunden werden, derart, dass eine vakuumdichte Verbindung zwischen diesen gebildet wird. Zum vakuumdichten Verbinden kann die Vakuumkammer 100 entsprechende Dichtungen (z.B. Kunststoffdichtungen oder Metalldichtungen) aufweisen, welche an den zusammengefügten Kammerkomponenten (z.B. Kammerzarge und Kammerdeckel) vakuumdicht anliegen.
Der Kammerdeckel 802b kann eine Deckelwand 102 und Deckelgestell 106 aufweisen. Das Deckelgestell 106 kann mit der Deckelwand 102 gekuppelt sein. Beispielsweise kann das Deckelgestell 106 an die Deckelwand 102 angeschraubt oder anderweitig daran befestigt sein (z.B. angeschweißt). Das Deckelgestell 106 kann eine Stützfunktion bereitstellen, wie später genauer beschrieben wird.
Die Deckelwand 102 kann entlang der Vertikalen von einer Öffnung 102o (auch als Durchgangsöffnung 102o oder Wellenöffnung 102o bezeichnet) durchdrungen sein, z.B. entlang der Richtung 105, wenn die Deckelwand 102 mit der Kammerzarge 802z zusammengefügt ist.
2 veranschaulicht eine Vakuumkammer 200 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, z.B. eingerichtet wie die Vakuumkammer 100, wobei die Kammerzarge 802z und der Kammerdeckel 802b (auch als unterer Kammerdeckel 802b oder Kammerboden 802b bezeichnet) zusammengefügt sind, z.B. jeweils an einer Dichtung 202 anliegend. Der Kammerdeckel 802b kann eine der Kammeröffnungen 104o (vereinfacht auch als untere Kammeröffnungen 104o bezeichnet) abdecken.
Die Kammerzarge 802z und der Kammerdeckel 802b (z.B. dessen Kammerwand 802b) können zusammengefügt den Prozessierraum 104 begrenzen, z.B. auf zumindest fünf Seiten. Die Deckelwand 102 kann zwischen dem Prozessierraum 104 und dem Deckelgestell 106 bzw. einem Bereich 200b (auch als Umgebungsbereich 200b bezeichnet) angeordnet sein. Das Deckelgestell 106 kann in dem Umgebungsbereich 200b angeordnet sein, z.B. auf der Unterseite 200u der Deckelwand 102. Beispielsweise kann das Deckelgestell 106 einen Teil des Umgebungsbereichs 200b umgeben.
Die Durchgangsöffnung 102o kann den Prozessierraum 104 fluidleitend mit einem Umgebungsbereich 200b verbinden, in welchem das Deckelgestell 106 angeordnet ist. Der Umgebungsbereich 200b kann beispielsweise Teil der Umgebung der Vakuumkammer 200 sein. Der Umgebungsbereich 200b kann beispielsweise auf einer Unterseite 200u der Vakuumkammer 200 angeordnet sein.
3 veranschaulicht eine Vakuumkammer 300 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, z.B. eingerichtet wie die Vakuumkammer 100 oder 200, wobei die Vakuumkammer 300 ferner eine Trägerstange 302 aufweist.
Die Trägerstange 302 kann zwei einander gegenüberliegende Endabschnitte 302e (auch als stirnseitige Abschnitte bezeichnet) aufweisen und durch die Durchgangsöffnung 102o hindurch erstreckt sein, so dass zwischen den Endabschnitten 302e die Deckelwand 102 angeordnet ist. Einer der Endabschnitte 302e (vereinfacht auch als oberer Endabschnitt 302e bezeichnet) kann in dem Prozessierraum 104 angeordnet sein. Der andere der Endabschnitte 302e kann mit dem Deckelgestell 106 gekuppelt sein, z.B. an diesem anliegen (d.h. dieses berühren und lösbar von diesem sein) und/oder an diesem befestigt sein, z.B. angeschraubt oder anderweitig daran befestigt (z.B. angeschweißt). Optional kann ein oder mehr als ein Endabschnitt 302e der Trägerstange 302 verdickt sein, z.B. in Form eines Stempels eingerichtet sein. Dies vergrößert die Fläche, über welche Kraft eingetragen wird und hemmt damit eine plastische Verformung des Kammerdeckels.
Die Durchgangsöffnung 102o kann beispielsweise entlang der Horizontalen 103, 101 eine größere Ausdehnung aufweisen als die Trägerstange 302, so dass zwischen diesen ein Spalt 102s gebildet ist. Der Spalt 102s kann die Trägerstange 302 umgeben, z.B. ringförmig (vereinfacht auch als Ringspalt 102s bezeichnet). Der Ringspalt 102s kann den Prozessierraum 104 fluidleitend mit dem Umgebungsbereich 200b verbinden, in welchem das Deckelgestell 106 angeordnet ist.
Die Durchgangsöffnung 102o kann entlang der Horizontalen 103, 101 eine größere Ausdehnung aufweisen als der untere Kammerdeckel 802b entlang der Vertikalen 105.
4 veranschaulicht eine Vakuumkammer 400 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, z.B. eingerichtet wie eine der Vakuumkammern 100 bis 300, wobei die Vakuumkammer 400 ferner einen zusätzlichen Kammerdeckel 802t (vereinfacht auch als oberer Kammerdeckel 802t oder Kammerdecke 802t bezeichnet) aufweist.
Die Kammerzarge 802z und der obere Kammerdeckel 802t können zusammengefügt den Prozessierraum 104 begrenzen, z.B. auf zumindest fünf Seiten. Der obere Kammerdeckel 802t kann mit dem oberen Endabschnitt 302e gekuppelt sein, z.B. an diesem anliegen und/oder an diesem befestigt sein, z.B. angeschraubt oder anderweitig daran befestigt (z.B. angeschweißt).
Die Trägerstange 302 kann drehgestützt gelagert sein, z.B. mittels des Kontakts zu dem untere Kammerdeckel 802b und/oder zu dem oberen Kammerdeckel 802t.
Mittels der Trägerstange 302 können der obere Kammerdeckel 802t und der untere Kammerdeckel 802b gegeneinander abgestützt werden. Dies verringert eine Verformung der Kammerdeckel, wenn der Prozessierraum 104 evakuiert (d.h. abgepumpt wird), und hemmt damit deren Annäherung zueinander. Somit kann die Vakuumkammer 400 formstabiler sein. Die Verformung kann von einem Druckunterschied zwischen dem Prozessierraum 104 und der Umgebung der Vakuumkammer (in welcher beispielsweise Luftdruck herrscht) bewirkt werden. Je formstabiler (auch als versteifter bezeichnet) die Kammerdeckel 802b, 802t eingerichtet sind, desto geringer kann deren Verformung sein.
Trotz der gegeneinander abgestützten Kammerdeckel 802t, 802b kann dennoch eine geringe Verformung der Kammerdeckel 802t, 802b erfolgen und/oder eine Verschiebung der Trägerstange 302 relativ zu der Kammerzarge. Diese Veränderungen können kompensiert bzw. kaum (oder nicht) auf Fixkomponenten übertragen werden, wie im Folgenden genauer beschrieben ist.
5 veranschaulicht eine Vakuumanordnung 500 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, welche eine der Vakuumkammern 100 bis 400 aufweist. Die Vakuumanordnung 500 kann ferner eine Hohlwelle 502 aufweisen, welche die Trägerstange 302 (verdeckter Abschnitt gestrichelt dargestellt) umgibt. Als Hohlwelle 502 kann eine Welle verstanden werden, welche entlang einer Rotationsachse 802r der Welle von einer Öffnung (auch als Hohlwellenöffnung bezeichnet) durchdrungen ist (d.h. welche ein Hohlkörper ist). In der Hohlwellenöffnung kann die Trägerstange 302 angeordnet sein. Die Rotationsachse 802r der Hohlwelle 502 kann parallel zu der Vertikalen 105 sein.
Die Hohlwelle 502 kann derart gelagert sein, dass diese relativ zu der Trägerstange 302 rotieren kann um die Rotationsachse herum. Dies ermöglicht es, ein Drehmoment von außerhalb des Prozessierraums 104 in den Prozessierraum 104 hinein zu übertragen. Alternativ oder zusätzlich kann die Hohlwelle 502 derart gelagert sein, dass diese relativ zu der Trägerstange 302 verschoben werden kann. Dies ermöglicht es, dass die Hohlwelle 502 ortsfest gegenüber der Kammerzarge 802z verbleibt, wenn sich ein oder mehr als ein Kammerdeckel 802b, 802t der Vakuumkammer verformt.
Die Durchgangsöffnung 102o kann entlang der Horizontalen 103, 101 eine größere Ausdehnung aufweisen als die Hohlwelle 502, so dass zwischen diesen ein Spalt 112s gebildet ist. Der Spalt 102s kann die Hohlwelle 502 umgeben, z.B. ringförmig (vereinfacht auch als Ringspalt 112s bezeichnet). Der Ringspalt 112s kann den Prozessierraum 104 fluidleitend mit dem Umgebungsbereich 200b verbinden, in welchem das Deckelgestell 106 angeordnet ist. Dies verhindert, dass eine Verformung des unteren Kammerdeckels 802b auf die Hohlwelle 502 übertragen wird.
Anschaulich können die zwei gegeneinander abgestützten Kammerdeckel 802b, 802t Komponenten einer ersten Baugruppe (vereinfacht auch als Varkomponenten bezeichnet) sein, welche beim Evakuieren der Vakuumkammer relativ zueinander verformt und/oder verschoben werden (d.h. ihre Form und/oder ihren Abstand voneinander ändern). Die Hohlwelle 502 und die Kammerzarge 802z können Komponenten einer zweiten Baugruppe (vereinfacht auch als Fixkomponenten bezeichnet) sein, die ortsfest zueinander angeordnet bleiben, wenn die Verformung erfolgt. Dies ermöglicht es, reproduzierbare Prozessbedingungen bereitzustellen.
Die erste Baugruppe kann als Varkomponenten aufweisen: den oberen Kammerdecke 802t, den unteren Kammerdeckel 802b und/oder die Trägerstange 302.
6 veranschaulicht eine Vakuumanordnung 600 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, welche zumindest den unteren Kammerdeckel 802b und die Hohlwelle 502 aufweist und ferner eine Drehdurchführung 602 aufweist (z.B. in dem Teil des Umgebungsbereichs 200b). Die Vakuumanordnung 600 kann beispielsweise ferner eingerichtet sein, wie die Vakuumanordnung 500.
Die Drehdurchführung 602 kann einen Rotor 602r aufweisen, welcher mit der Hohlwelle 502 gekuppelt ist, z.B. derart, dass der Rotor 602r vakuumdicht mit der Außenseite (auch als Mantelfläche oder Umfangsfläche bezeichnet) der Hohlwelle 502 verbunden ist. Die Drehdurchführung kann einen Stator 602s aufweisen, welcher mit der Deckelwand 102 gekuppelt ist, z.B. derart, dass der Stator 602s vakuumdicht mit der Deckelwand 102 verbunden ist. Die Hohlwelle 502 kann optional verschiebbar entlang der Vertikalen 105 in der Drehdurchführung 602 (z.B. deren Rotor 602r) gehalten werden.
Die Drehdurchführung 602 kann beispielsweise auf der der Unterseite 200u der Vakuumkammer zugewandten Seite der Deckelwand 102 angeordnet sein (z.B. in dem Umgebungsbereich 200b). Die Drehdurchführung 602 kann alternativ in dem Prozessierraum 104 angeordnet sein oder werden, z.B. auf der dem Umgebungsbereich 200b bzw. der Unterseite 200u der Vakuumkammer abgewandten Seite der Deckelwand 102.
7 veranschaulicht eine Vakuumanordnung 700 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, welche beispielsweise eingerichtet sein kann wie die Vakuumanordnung 500 oder 600 und ferner eine Antriebsvorrichtung 702 aufweist (z.B. in dem Teil des Umgebungsbereichs 200b). Der Rotor 702r der Antriebsvorrichtung 702 kann mit der Hohlwelle 502 gekuppelt sein, z.B. derart, dass der Rotor 702r ein Drehmoment auf diese übertragen kann. Der Stator 702s kann derart gehalten werden, dass dieser ortsfest gegenüber der Kammerzarge 802z ist, so dass eine Verformung der Deckelwand 102 nicht (oder kaum) auf die Antriebsvorrichtung 702 übertragen wird.
8 veranschaulicht eine Vakuumanordnung 800 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, welche beispielsweise eingerichtet sein kann wie eine der Vakuumanordnungen 500 bis 700 und ferner eine Lageranordnung 802 aufweist (z.B. in dem Teil des Umgebungsbereichs 200b). Die Lageranordnung 802 (z.B. ein Festlager) kann die Hohlwelle 502 drehbar lagern, z.B. derart dass diese entlang und/oder entgegen der Vertikalen 105 relativ zu der Referenzgröße eingespannt ist. Die Lageranordnung 802 unterbindet beispielsweise eine Verschiebung der Hohlwelle 502 (relativ zu der Referenzgröße) parallel zur Vertikalen 105 und ermöglicht deren Drehung um die Rotationsachse 802r.
9 veranschaulicht eine Vakuumanordnung 900 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, z.B. deren zweite Baugruppe, welche beispielsweise eingerichtet sein kann wie eine der Vakuumanordnungen 500 bis 800. Die zweite Baugruppe kann als Fixkomponenten aufweisen: die Hohlwelle 502 und die Kammerzarge 802z, ein Tragwerk 902 (hier schematisch nur der Kraftübertragungspfad eingezeichnet), optional die Lageranordnung 802 und optional die Antriebsvorrichtung 702. Das Tragwerk 902 kann die Hohlwelle 502 und die Kammerzarge 802z ortsfest zueinander lagert.
Die Kammerzarge 802z kann hierin die Referenzgröße der ortsfesten Lagerung sein. Es kann allerdings auch eine anderer Referenzgröße verwendet werden, z.B. der Untergrund 904, auf welchem das Tragwerk 902 steht. Das Tragwerk 902 kann derart versteift und verstärkt sein, dass die von dem Tragwerk 902 unmittelbar gestützten Fixkomponenten der Vakuumanordnung 900 (die mit dem Tragwerk 902 zusammen Komponenten der zweiten Baugruppe sind) beim Abpumpen der Vakuumkammer weniger verformt und/oder verlagert werden als die Varkomponenten, z.B. die zwei Kammerdeckel 802b, 802t und/oder die Trägerstange 302. Mit anderen Worten kann das Tragwerk 902 den Fixkomponenten einen höheren Widerstand gegen eine Verformung und/oder Verlagerung (z.B. Verschiebung oder Drehung), die von dem über dem Druckunterschied bewirkt wird, bereitstellen als den Varkomponenten bereitgestellt ist.
Das Tragwerk 902 kann beispielsweise die Lageranordnung 802 stützen, z.B. ortsfest zu der Kammerzarge 802z als Referenzpunkt. Das Tragwerk 902 kann beispielsweise die Antriebsvorrichtung 702 stützen, z.B. ortsfest zu der Kammerzarge 802z als Referenzpunkt.
10 veranschaulicht eine Vakuumanordnung 1000 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, z.B. deren zweite Baugruppe, welche beispielsweise eingerichtet sein kann wie eine der Vakuumanordnungen 500 bis 900. Die zweite Baugruppe der Vakuumanordnung 1000 kann als Komponente ferner ein Drehteller 1002 aufweisen.
Der Drehteller 1002 kann mit der Hohlwelle 502 gekuppelt sein, z.B. derart, dass die Hohlwelle 502 ein Drehmoment auf den Drehteller 1002 übertragen kann. Der Drehteller 1002 kann mehrere Öffnungen 1002o aufweisen (z.B. diesen durchdringend), von denen jede Öffnung 1002o (auch als Substrataufnahme 1002o bezeichnet) eingerichtet ist, ein Substrat aufzunehmen. Eine Substrataufnahme 1002o kann optional sich entgegen der Vertikalen 105 verjüngen (z.B. stufenweise), so dass das Substrat nicht hindurchfällt. Die Substrate können beispielsweise mittels eines Halterahmens oder unmittelbar in der Substrataufnahme 1002o gehalten werden. Die Halterahmen ermöglichen es, verschiedene Größen von Substraten ohne Veränderung des Drehtellers 1002 zu halten.
Der Drehteller 1002 kann beispielsweise nur von der Hohlwelle 502 gehalten werden.
Die Lageranordnung 802 kann optional mehrere Lager aufweisen, zwischen denen der Drehteller 1002 angeordnet ist. Dies hemmt ein Präsidieren der Hohlwelle 502.
Optional kann ein Abstand (z.B. entlang der Vertikalen 105) des Drehtellers 1002 von dem oberen Kammerdeckel 802t und/oder dem unteren Kammerdeckel 802b kleiner sein als eine Ausdehnung des Drehtellers 1002 entlang des Abstands und/oder der Vertikalen 105. Anschaulich kann die Vakuumkammer derart flach eingerichtet sein, dass nur geringe Spaltmaße verbleiben, was das abzupumpende Volumen reduziert. Beispielsweise können der obere Kammerdeckel 802t und/oder der untere Kammerdeckel 802b eine oder mehr als eine Platte aufweisen, welche an der Deckelplatte des entsprechenden Kammerdeckels befestigt werden und den Abstand des entsprechenden Kammerdeckels zu dem Drehteller 1002 reduzieren.
11 veranschaulicht eine Vakuumanordnung 1100 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, welche beispielsweise eingerichtet sein kann wie eine der Vakuumanordnungen 500 bis 1000, wobei die Hohlwelle 502 stirnseitig an dem Drehteller 1002 befestigt ist. Der Drehteller 1002 kann eine Durchgangsöffnung aufweisen, welche mit dem Inneren 502h der Hohlwelle 502 fluchtet.
Das Innere der Hohlwelle 502 (z.B. Der Ringspalt zwischen der Hohlwelle 502 und der Trägerstange 302) kann mit der Umgebung der Vakuumkammer verbunden sein, z.B. mit der umgebenden Erdatmosphäre. Damit diese nicht in den Prozessierraum 104 eindringt, kann das Innere der Hohlwelle 502 gegenüber dem Prozessierraum 104 abgedichtet sein.
Dazu können verschiedene Typen einer Dichtstruktur verwendet werden, welche das Innere der Hohlwelle 502 gegenüber dem Prozessierraum 104 abdichten. Beispielsweise kann die Dichtstruktur die untere oder obere Stirnseite der Hohlwelle 502 (bzw. den Ringspalt zwischen der Hohlwelle 502 und der Trägerstange 302 an dieser Stelle) abdichten, z.B. mittels einer innerhalb der Hohlwelle 502 angeordneten Drehdurchführung als Dichtstruktur. Beispielsweise kann die Dichtstruktur die Verbindung zwischen der Hohlwelle 502 und dem Drehteller 1002 abdichten, z.B. mittels einer zwischen diesen angeordneten Elastomerdichtung. Diese Typen von Dichtstrukturen können allerdings konstruktive Einschränkungen bewirken.
Um diese konstruktiven Einschränkungen zu vermeiden, kann eine Hülse 1102 (schraffiert dargestellt) als Dichtstruktur verwendet werden, durch welche die Hohlwelle hindurch erstreckt ist. Die Hülse 1102 kann beispielsweise mit dem Rotor der Drehdurchführung 602 vakuumdicht und mit dem Drehteller 1002 vakuumdicht verbunden sein.
Damit sich die Hohlwelle 502 relativ zu der Drehdurchführung 602 verschieben kann, kann die Hülse 1102 eingerichtet sein, deren Relativbewegung auszugleichen. Beispielsweise kann die Hülse 1102 längenverformbar (z.B. dehnbar und/oder komprimierbar) sein entlang der Vertikalen 105, ohne zu brechen. Die relative Längenverformbarkeit der Hülse 1102 (entspricht dem Quotienten aus Längenänderung zu Ausgangslänge) kann beispielsweise mehr sein als ungefähr 1%, z.B. als ungefähr 2 %, z.B. als ungefähr 3 %.
Beispielsweise kann die Hülse 1102 einen Federbalg oder Faltenbalg aufweisen. Alternativ oder zusätzlich kann die Hülse 1102 ein Elastomer oder ein Metall aufweisen, z.B. einen Faltenbalg aus Metall. Letzteres ist für eine hohe Vakuumqualität geeignet.
Die Hülse 1102 verhindert anschaulich, dass aus der Stirnseite der Hohlwelle 502 austretendes Gas das Vakuum in dem Prozessierraum 104 verunreinigt.
Ist die Drehdurchführung 602 auf der anderen Seite (als dargestellt) der Deckelwand 102 angeordnet, kann eine kürzere Hülse 1102 verwendet werden. Die Hülse 1102 kann auch zwischen der Deckelwand 102 und dem Drehteller 1002 angeordnet sein und dann mit der Deckelwand 102 vakuumdicht verbunden sein, z.B. wenn die Drehdurchführung 602 und die Hülse 1102 vertauscht (bezüglich der Darstellung) angeordnet sind.
12 veranschaulicht eine Vakuumanordnung 1200 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, welche beispielsweise eingerichtet sein kann wie eine der Vakuumanordnungen 500 bis 1100, wobei die Vakuumanordnung 1200 eine zusätzliche Drehdurchführung 612 als zusätzliche Dichtstruktur aufweist.
Zwischen der Dichtstruktur 1102 und der zusätzlichen Dichtstruktur 612 kann beispielsweise der Drehteller 1002 angeordnet sein.
Der Drehteller 1002 kann eine Durchgangsöffnung 1002d (vereinfacht auch als Telleröffnung 1002d bezeichnet) aufweisen, welche beispielsweise mit dem Inneren der Hohlwelle 502 (bzw. den Ringspalt zwischen der Hohlwelle 502 und der Trägerstange 302 an dieser Stelle) fluchtet. Die Trägerstange 302 kann sich durch die Telleröffnung 1002d hindurch erstrecken.
Beispielsweise kann die zusätzliche Drehdurchführung 612 die Telleröffnung 1002d gegenüber dem Prozessierraum 104 abdichten. Die zusätzlich Drehdurchführung 612 kann ihren Stator 612s innerhalb ihres Rotors 612r aufweisen. Der Stator 612s der zusätzlichen Drehdurchführung 612 kann mit der Trägerstange 302 gekuppelt sein, z.B. vakuumdicht. Der Rotor 612r der zusätzlichen Drehdurchführung 612 kann mit dem Drehteller 1002 gekuppelt sein, z.B. vakuumdicht. Die zusätzliche Drehdurchführung 612 verhindert anschaulich, dass aus der Stirnseite der Hohlwelle 502 austretendes Gas durch die Telleröffnung 1002d hindurch strömt und das Vakuum in dem Prozessierraum 104 verunreinigt.
Optional kann zwischen der zusätzlichen Drehdurchführung 612 und dem Drehteller 1002 eine zusätzliche Hülse (analog zu Hülse 1102) angeordnet sein.
13 veranschaulicht eine Vakuumanordnung 1300 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, welche beispielsweise eingerichtet sein kann wie eine der Vakuumanordnungen 400 bis 1200, wobei die Vakuumanordnung 1300 eine oder mehr als eine Prozessiervorrichtung 1302 aufweisen kann. Zugeordnet zu jeder Prozessiervorrichtung 1302 kann der obere Kammerdeckel 802t eine Durchgangsöffnung 1300o (auch als Prozessieröffnung bezeichnet) aufweisen, welche mittels der Prozessiervorrichtung 1302 abgedeckt ist und durch welche hindurch die Prozessiervorrichtung 1302 auf ein Substrat in dem Drehteller 1002 einwirkt. Mit anderen Worten kann der obere Kammerdeckel 802t von einer oder mehr als einer Prozessieröffnung 1300o durchdrungen sein.
Eine Prozessiervorrichtung kann beispielsweise eingerichtet sein, ein Beschichtungsmaterial in den Prozessierraum 104 hinein zu emittieren (dann auch als Beschichtungsvorrichtung bezeichnet), z.B. in Richtung zu dem Drehteller 1002 hin. Eine Beschichtungsvorrichtung kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen zum Beschichten eines Substrats mit dem Beschichtungsmaterial eingerichtet sein. Beispielsweise kann die Beschichtungsvorrichtung zum Bereitstellen eines gasförmigen Beschichtungsmaterials (z.B. Materialdampf oder Präkursorgas) und/oder flüssigen Beschichtungsmaterials eingerichtet sein, welches z.B. auf das Substrat zum Bilden einer Schicht abgeschieden werden kann. Eine Beschichtungsvorrichtung kann zumindest eines von Folgendem aufweisen: eine Sputtervorrichtung, eine thermisch-Verdampfungsvorrichtung (z.B. einen Laserstrahlverdampfer, einen Lichtbogenverdampfer, einen Elektronenstrahlverdampfer und/oder einen resistiv-thermischen Verdampfer), eine Präkursorgasquelle, einen Flüssigphasenzerstäuber. Eine Sputtervorrichtung kann zum Zerstäuben des Beschichtungsmaterials mittels eines Plasmas eingerichtet sein. Eine thermisch-Verdampfungsvorrichtung kann zum Verdampfen des Beschichtungsmaterials mittels thermischer Energie eingerichtet sein. Je nach der Beschaffenheit des Beschichtungsmaterials kann alternativ oder zusätzlich zu dem thermischen Verdampfen, d.h. ein thermisches Überführen eines flüssigen Zustands (flüssige Phase) in einen gasförmigen Zustand (gasförmige Phase), auch ein Sublimieren, d.h. ein thermisches Überführen eines festen Zustands (feste Phase) in einen gasförmigen Zustand, auftreten. Mit anderen Worten kann die thermisch-Verdampfungsvorrichtung das Beschichtungsmaterial auch sublimieren. Ein Flüssigphasenzerstäuber kann zum Aufbringen eines Beschichtungsmaterials aus der Flüssigphase eingerichtet sein, z.B. eines Farbstoffs. Nach zugrundeliegendem Mechanismus der Abscheidung unterteilt, kann die Beschichtungsvorrichtung zum Durchführen einer chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) (z.B. mittels eines Präkursorgases) oder einer physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) eingerichtet sein.
Eine Prozessiervorrichtung kann beispielsweise eingerichtet sein, Strahlung in den Prozessierraum 104 hinein zu emittieren (dann auch als Bestrahlungsvorrichtung bezeichnet), z.B. in Richtung zu dem Drehteller 1002 hin. Die Strahlung kann beispielsweise Licht und/oder thermische Strahlung aufweisen.
Eine Prozessiervorrichtung kann beispielsweise eingerichtet sein, ein Material des Substrats abzutragen (dann auch als Ätzvorrichtung bezeichnet), z.B. mittels eines Plasmas und/oder mittels Ionen. Das Abtragen des Materials kann beispielsweise unter Verwendung einer Ionenstrahlquelle, einer Plasmaquelle und/oder einer Ätzgasquelle als Ätzvorrichtung erfolgen.
Beispielsweise kann die Vakuumanordnung 1300 eine oder mehr als eine Beschichtungsvorrichtung aufweisen und/oder eine oder mehr als eine Ätzvorrichtung aufweisen.
14 veranschaulicht eine Vakuumanordnung 1400 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, welche beispielsweise eingerichtet sein kann wie eine der Vakuumanordnungen 400 bis 1300. Wie in 14 dargestellt, kann der obere Kammerdeckel 802t mittels der Trägerstange 302 an dem unteren Kammerdeckel 802b abgestützt sein, z.B. an dessen Deckelgestell 106. Damit wird außerhalb des Prozessierraums 104 (in dem im Betrieb der Vakuumanordnung ein Vakuum gebildet ist) ein an Atmosphäre liegender Bereich 200b bereitgestellt, in welchem diejenigen Fixkomponenten der Vakuumanordnung 1400 angeordnet sind, die zum Übertragen eines Drehmoments auf den Drehteller 1002 eingerichtet sind. Diese Fixkomponenten der Vakuumanordnung 1400 sind somit leicht zugänglich und leichter zu kühlen. Ferner ermöglicht deren Anordnung außerhalb des Prozessierraums 104, den Prozessierraum 104 kleiner zu bauen, was es wiederum ermöglicht, ein Vakuum mit höherer Qualität bereitzustellen und/oder den Prozessierraum 104 schneller abpumpen zu können.
15 veranschaulicht eine Vakuumanordnung 1500 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, welche beispielsweise eingerichtet sein kann wie eine der Vakuumanordnungen 400 bis 1400, wobei eine Antriebsbaugruppe 1602 die Antriebsvorrichtung, die Lageranordnung und die Drehdurchführung aufweist. Das Drehmoment kann anschaulich außerhalb des Prozessierraums 104 (an atmosphärischen Druck) gebildet werden, und mittels der Hohlwelle in den Prozessierraum 104 hinein übertragen werden. Beispielsweise kann in dem Betrieb der Vakuumkammer der Druckunterschied zwischen dem Prozessierraum 104 und dem Umgebungsbereich 200b bereitgestellt sein, welcher auf den unteren und/oder oberen Kammerdeckel 802t, 802b einwirkt.
16 veranschaulicht eine Vakuumanordnung 1600 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, welche beispielsweise eingerichtet sein kann wie eine der Vakuumanordnungen 400 bis 1500 und ferner ein Pumpensystem 1604 aufweisen kann, welches mit der Vakuumkammer gekoppelt ist. Das Pumpensystem 1604 (aufweisend zumindest eine Grobvakuumpumpe und optional zumindest eine Hochvakuumpumpe) kann eingerichtet sein, der Vakuumkammer ein Gas (z.B. das Prozessgas) zu entziehen, so dass innerhalb der Vakuumkammer bzw. in dem Prozessierraum 104 ein Vakuum (d.h. ein Druck kleiner als 0,3 bar oder weniger), z.B. ein Druck in einem Bereich von ungefähr 1 mbar bis ungefähr 10^-3 mbar (mit anderen Worten Feinvakuum) oder weniger, z.B. ein Druck in einem Bereich von ungefähr 10^-3 mbar bis ungefähr 10^-7 mbar (mit anderen Worten Hochvakuum) oder weniger, z.B. kleiner als ungefähr 10^-7 mbar (mit anderen Worten Ultrahochvakuum), bereitgestellt sein oder werden kann.
Zugeordnet zu jeder Pumpe des Pumpensystems 1604 kann der obere Kammerdeckel 802t eine Durchgangsöffnung (auch als Pumpöffnung bezeichnet) aufweisen, welche von einem Anschlussflansch umgeben ist (zusammen auch als Pumpenanschluss bezeichnet). An dem Anschlussflansch kann die entsprechende Pumpe befestigt sein, so dass diese durch die Pumpöffnung hindurch das Gas entzieht. Die Drehachse 802r kann beispielsweise in der Pumpöffnung angeordnet sein. Alternativ oder zusätzlich kann die Pumpöffnung mit der Durchgangsöffnung 102o des unteren Kammerdeckels 802b fluchten. Im letzteren Fall kann die Pumpöffnung beispielsweise mehrere Segmente aufweisen, die von einer oder mehr als einer Strebe des oberen Kammerdeckel 802t voneinander separiert sind. Die Trägerstange 302 kann mit der/den Strebe(n) gekuppelt sein. Dieser ermöglicht eine besonders platzsparende Anordnung.
17 veranschaulicht eine Vakuumanordnung 1700 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht (nur die halbe Vakuumanordnung dargestellt), welche beispielsweise eingerichtet sein kann wie eine der Vakuumanordnungen 400 bis 1600, wobei die Vakuum-zu-Erdatmosphäre-Grenze 1711 hervorgehoben ist. Die Kammerdeckel 802t, 802b können jeweils eine Ausstülpung 1752 aufweisen, in welcher jeweils die Drehdurchführung angeordnet ist. Dies verringert das abzupumpende Volumen weiter.
18 veranschaulicht eine Vakuumanordnung 1800 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Draufsicht (z.B. aus Richtung 105 und/oder auf den oberen Kammerdeckel 802t), welche beispielsweise eingerichtet sein kann wie eine der Vakuumanordnungen 400 bis 1700 und ferner zwischen zwei einander gegenüberliegenden Prozessieröffnungen 1300o die Pumpöffnung 1500o angeordnet sein kann.
19 veranschaulicht eine Vakuumanordnung 1900 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Draufsicht (z.B. aus Richtung 105 und/oder auf den unteren Kammerdeckel 802b), welche beispielsweise eingerichtet sein kann wie eine der Vakuumanordnungen 400 bis 1800, wobei ferner der untere Kammerdeckel 802b eine oder mehr als eine Prozessieröffnung 1300o aufweisen kann. Zugeordnet zu jeder Prozessieröffnung 1300o des unteren Kammerdeckels 802b kann die Vakuumanordnung 1900 eine Prozessiervorrichtung (nicht dargestellt) aufweisen, welche die Prozessieröffnung 1300o abgedeckt und welche durch die Prozessieröffnung 1300o des unteren Kammerdeckels 802b hindurch auf ein Substrat in dem Drehteller 1002 einwirkt. Mit anderen Worten kann der untere Kammerdeckel 802t von einer oder mehr als einer Prozessieröffnung 1300o durchdrungen sein.
Dies ermöglicht ein beidseitiges Prozessieren. Beispielsweise kann die Vakuumanordnung 1900 zumindest zwei Prozessiervorrichtungen aufweisen, zwischen denen der Prozessierraum 104 angeordnet ist.
Beispielsweise kann zwischen zwei einander gegenüberliegenden Prozessieröffnung 1300o des unteren Kammerdeckels 802b die Wellenöffnung 102o angeordnet sein.
20 veranschaulicht eine Vakuumanordnung 2000 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Draufsicht (z.B. aus Richtung 105 und/oder auf die Oberseite 202o), welche beispielsweise eingerichtet sein kann wie eine der Vakuumanordnungen 400 bis 1900 und ferner mehrere Anbaumodule (auch als obere Anbaumodule bezeichnet) aufweisen kann.
Im Allgemeinen können die Vakuumkammer (z.B. deren oberer Kammerdeckel 802b und/oder der obere Kammerdeckel 802t) und ein oder jedes Anbaumodul derart zueinander eingerichtet sein, dass das Anbaumodul an jede der Prozessieröffnungen der Vakuumkammer montiert werden kann und/oder zwei Anbaumodule in ihrer Montageposition gegeneinander ausgetauscht werden können. Mit anderen Worten kann die Vakuumkammer mehrere kongruente Befestigungsstrukturen aufweisen, die zu jedem der Anbaumodule passen. Dies erleichtert ein Umkonfigurieren der Vakuumanordnung 2000.
Beispielsweise kann die Vakuumanordnung 2000 eine oder mehr als eine Beschichtungsvorrichtung 1302a als oberes Anbaumodul ersten Typs aufweisen, die an den oberen Kammerdeckel 802t montiert ist. Beispielsweise kann die Vakuumanordnung 2000 eine oder mehr als eine Ätzvorrichtung 1302b als oberes Anbaumodul zweiten Typs aufweisen, die an den oberen Kammerdeckel 802t montiert ist. Beispielsweise kann die Vakuumanordnung 2000 eine Substratschleuse 1302c als Anbaumodul dritten Typs aufweisen, die an den oberen Kammerdeckel 802t montiert ist. Die Substratschleuse 1302c kann mit einer Substratkassette 1304 gekoppelt sein, aus welcher ein Substrat in die Vakuumkammer hinein eingeschleust werden kann.
21 veranschaulicht eine Vakuumanordnung 2100 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Draufsicht (z.B. aus Richtung 105 und/oder auf die Unterseite 202u), welche beispielsweise eingerichtet sein kann wie eine der Vakuumanordnungen 400 bis 2000 und ferner mehrere zusätzliche Anbaumodule (auch als untere Anbaumodule bezeichnet) aufweisen kann analog zu der Vakuumanordnung 2000.
Beispielsweise kann die Vakuumanordnung 2100 eine oder mehr als eine Beschichtungsvorrichtung 1302a als Anbaumodul ersten Typs aufweisen, die an den unteren Kammerdeckel 802b montiert ist. Beispielsweise kann die Vakuumanordnung 2100 eine oder mehr als eine Ätzvorrichtung 1302b als Anbaumodul zweiten Typs aufweisen, die an den unteren Kammerdeckel 802b montiert ist. Beispielsweise kann die Vakuumanordnung 2100 eine Hubvorrichtung 1302d als Anbaumodul vierten Typs aufweisen, die an den untere Kammerdeckel 802b montiert ist. Die Hubvorrichtung 1302d kann eingerichtet sein, durch den Drehteller (z.B. dessen Substrataufnahme(n) 1002o) hindurch in die Substratschleuse 1302c hinein zu greifen, dort ein Substrat aufzunehmen und dieses in den Drehteller (z.B. dessen Substrataufnahme(n) 1002o) hinein abzusenken (bzw. andersherum zum Entnehmen von Substraten).
Im Folgenden werden verschiedene Beispiele beschrieben, die sich auf vorangehend Beschriebene und in den Figuren Dargestellte beziehen.
Beispiel 1 ist eine Vakuumanordnung, aufweisend: eine Kammerzarge; einen Kammerdeckel, der eine Deckelwand und ein damit gekuppeltes Deckelgestell aufweist, wobei die Deckelwand eine Durchgangsöffnung aufweist, eine drehgesichert gelagerte Trägerstange, welche stirnseitig mit dem Deckelgestell gekuppelt ist und sich von dem Deckelgestell aus durch die Durchgangsöffnung hindurch erstreckt derart, dass ein Spalt zwischen der Deckelwand und der Trägerstange gebildet ist; wobei die Kammerzarge und der Kammerdeckel zusammengefügt einen Hohlraum begrenzen, in welchen hinein die Trägerstange erstreckt ist und/oder in welchen hinein die Trägerstange (302) erstreckt ist und von welchem aus sich der Spalt durch die Deckelwand (102) hindurch erstreckt in Richtung zu dem Deckelgestell (106) hin, wobei beispielsweise der Hohlraum von dem Spalt mit einer Seite der Deckelwand verbunden wird, auf welcher das Deckelgestell angeordnet (z.B. befestigt) ist.
Beispiel 2 ist die Vakuumanordnung gemäß Beispiel 1, ferner aufweisend: eine Hohlwelle, welche durch den Spalt hindurch erstreckt ist und durch welche die Trägerstange hindurch erstreckt ist.
Beispiel 3 ist die Vakuumanordnung gemäß Beispiel 2, ferner aufweisend: eine Lageranordnung, mittels welcher die Hohlwelle relativ zu der Trägerstange drehbar gelagert ist (z.B. so, dass diese sich um die Trägerstange herum drehen kann), wobei die Lageranordnung beispielsweise derart eingerichtet ist, dass die Hohlwelle relativ zu der Trägerstange verschiebbar und/oder drehbar ist, wobei die Lageranordnung beispielsweise derart eingerichtet ist, dass der Hohlwelle genau ein Rotationsfreiheitsgrad (d.h. drehbar gelagert) und genau ein Translationsfreiheitsgrad (d.h. verschiebbar gelagert) relativ zu der Trägerstange bereitgestellt sind, wobei die Lageranordnung beispielsweise ortsfest zu der Kammerzarge gehalten wird gegenüber der Verformung.
Beispiel 4 ist die Vakuumanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 3, ferner aufweisend: eine erste Drehdurchführung, welche den Spalt zumindest teilweise (d.h. teilweise oder vollständig) abdichtet und durch welche hindurch die Trägerstange und/oder die Hohlwelle erstreckt sind, wobei beispielsweise ein Rotor der Drehdurchführung mit der Hohlwelle gekuppelt ist, wobei beispielsweise ein Stator der Drehdurchführung mit der Deckelplatte gekuppelt ist, wobei beispielsweise zwischen der Drehdurchführung und der Trägerstange ein zusätzlicher Spalt (z.B. Ringspalt) angeordnet ist (in welchen beispielsweise die Hohlwelle passt).
Beispiel 5 ist die Vakuumanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 4, ferner aufweisend: eine Antriebsvorrichtung, welche außerhalb des Hohlraums angeordnet und/oder von dem Deckelgestell umgeben ist, und welche beispielsweise eine Durchgangsöffnung aufweist, durch welche die Trägerstange und/oder die Hohlwelle hindurch erstreckt sind; wobei Antriebsvorrichtung die beispielsweise eingerichtet ist, ein Drehmoment auf die Hohlwelle zu übertragen.
Beispiel 6 ist die Vakuumanordnung gemäß Beispiel 5, wobei die Antriebsvorrichtung einen Stator und einen Rotor aufweist, welche relativ zueinander drehbar gelagert sind, wobei der Rotor beispielsweise die Durchgangsöffnung der Antriebsvorrichtung aufweist, wobei beispielsweise der Rotor mit der Hohlwelle gekuppelt ist. Beispielsweise kann der Rotor auch ein Getriebe, Zahnrad oder Ähnliches aufweisen, welche mit der Hohlwelle gekuppelt sind.
Beispiel 7 ist die Vakuumanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 6, ferner aufweisend: einen in dem Hohlraum angeordneten Drehteller, welcher eine zweite Durchgangsöffnung aufweist, durch welche die Trägerstange hindurch erstreckt ist, wobei der Drehteller drehbar relativ zu der Trägerstange gelagert ist und/oder mit der Hohlwelle gekuppelt ist, z.B. an eine Stirnseite der Hohlwelle angrenzend.
Beispiel 8 ist die Vakuumanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 7, ferner aufweisend: eine zweite Drehdurchführung, welche in dem Hohlraum angeordnet ist, wobei die zweite Drehdurchführung beispielsweise die zweite Durchgangsöffnung gegenüber dem Hohlraum abdichtet, wobei beispielsweise durch die zweite Drehdurchführung hindurch die Trägerstange erstreckt ist, wobei beispielsweise ein Rotor der zweiten Drehdurchführung mit dem Drehteller und/oder einer Stator der zweiten Drehdurchführung mit der Hohlwelle gekuppelt ist, wobei beispielsweise der Drehteller zwischen der ersten Drehdurchführung und der zweiten Drehdurchführung angeordnet ist.
Beispiel 9 ist die Vakuumanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 8, ferner aufweisend: eine Hülse, welche einen ersten Bereich des Hohlraums umgibt und den ersten Bereich von einem zweiten Bereich des Hohlraums vakuumdicht separiert, wobei die Trägerstange durch den ersten Bereich hindurch erstreckt ist und/oder wobei die Hülse einen Balg aufweist.
Beispiel 10 ist die Vakuumanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 9, ferner aufweisend: einen zusätzlichen Kammerdeckel, welcher mit der Kammerzarge zusammengefügt den Hohlraum auf einer dem Kammerdeckel gegenüberliegenden Seite begrenzt, wobei der zusätzliche Kammerdeckel einen Pumpenanschluss aufweist.
Beispiel 11 ist die Vakuumanordnung gemäß einem der Beispiele 1 bis 10, ferner aufweisend: ein Tragwerk, mittels welchem die Kammerzarge gekuppelt ist (z.B. derart, dass das Deckelgestell und/oder die Trägerstange bei einer Verformung der Deckelwand relativ zu der Kammerzarge verlagert wird, wobei beispielsweise mittels des Tragwerks die Antriebsvorrichtung und/oder die Lageranordnung mit der Kammerzarge gekuppelt sind (beispielsweise derart, dass diese bei einer Verformung des Kammerdeckels relativ zueinander ortsfest verbleiben), wobei das Tragwerk beispielsweise eine größere Biegesteifigkeit aufweist als der Kammerdeckel.
Beispiel 12 ist eine Vakuumanordnung, aufweisend: eine Vakuumkammer, welche eine erste Kammerwand (z.B. einen unteren Kammerdeckel bereitstellend) und eine zweite Kammerwand (z.B. einen oberen Kammerdeckel bereitstellend) und zwischen diesen eine Kammerzarge aufweist, wobei die zwei Kammerwände mittels einer in der Vakuumkammer angeordnete Trägerstange gegeneinander abgestützt sind; eine Hohlwelle, durch welche hindurch die Trägerstange erstreckt ist, wobei beispielsweise die Hohlwelle verschiebbar und/oder drehbar relativ zu der Trägerstange und beispielsweise ortsfest relativ zu der Kammerzarge gehalten wird; wobei die erste Kammerwand eine Durchgangsöffnung aufweist, durch welche hindurch die Hohlwelle erstreckt ist derart, dass ein Spalt zwischen der ersten Kammerwand und der Hohlwelle gebildet ist, so dass eine Verformung der ersten Kammerwand relativ zu der Hohlwelle ermöglicht wird.
Beispiel 13 ist eine Vakuumkammer, aufweisend: eine Kammerzarge (welche beispielsweise einen Hohlraum bereitstellt); eine erste Kammerwand (z.B. einen unteren Kammerdeckel bereitstellend) und eine zweite Kammerwand, (z.B. einen oberen Kammerdeckel bereitstellend) zwischen denen die Kammerzarge angeordnet ist, wobei die erste Kammerwand eine Durchgangsöffnung aufweist; und eine drehgesichert gelagerte Trägerstange, welche stirnseitig mit der zweiten Kammerwand gekuppelt ist, wobei sich die Trägerstange durch die Kammerzarge und durch die Durchgangsöffnung hindurch erstreckt ist derart, dass ein Spalt zwischen der ersten Kammerwand und der Trägerstange gebildet ist.
Beispiel 14 ist ein Verfahren, aufweisend: Transportieren eines Substrats durch den Hohlraum eine Vakuumanordnung bzw. Vakuumkammer gemäß einem der Beispiele 1 bis 13, wobei das Substrat von einem Drehteller in dem Hohlraum getragen wird, der gedreht wird (z.B. um eine Drehachse); und Prozessieren (z.B. Bestrahlen, Beschichten und/oder Ätzen) des Substrats einseitig und/oder zweiseitig, z.B. entlang der Drehachse (z.B. aus Richtung 105 und/oder in Richtung 105).

Claims

Vakuumanordnung (500 bis 2000), aufweisend: • eine Kammerzarge (802z); • einen Kammerdeckel (802b), der eine Deckelwand (102) und ein damit gekuppeltes Deckelgestell (106) aufweist, • wobei die Deckelwand (102) eine erste Durchgangsöffnung (102o) aufweist, • eine drehgesichert gelagerte Trägerstange (302), welche stirnseitig mit dem Deckelgestell (106) gekuppelt ist und sich von dem Deckelgestell (106) aus durch die erste Durchgangsöffnung (102o) hindurch erstreckt derart, dass ein Spalt (102s) zwischen der Deckelwand (102) und der Trägerstange (302) gebildet ist; • wobei die Kammerzarge (802z) und der Kammerdeckel (802b) zusammengefügt einen Hohlraum (104) begrenzen, in welchen hinein die Trägerstange (302) erstreckt ist und von welchem aus sich der Spalt (102s) durch die Deckelwand (102) hindurch erstreckt in Richtung zu dem Deckelgestell (106) hin.
Vakuumanordnung (500 bis 2000) gemäß Anspruch 1, ferner aufweisend: eine Hohlwelle (502), welche durch den Spalt (102s) hindurch erstreckt ist und durch welche die Trägerstange (302) hindurch erstreckt ist.
Vakuumanordnung (500 bis 2000) gemäß Anspruch 2, ferner aufweisend: eine Lageranordnung (802), mittels welcher die Hohlwelle (502) relativ zu der Trägerstange (302) drehbar gelagert ist.
Vakuumanordnung (500 bis 2000) gemäß Anspruch 3, wobei die Lageranordnung (802) derart eingerichtet ist, dass die Hohlwelle (502) relativ zu der Trägerstange (302) verschiebbar ist.
Vakuumanordnung (500 bis 2000) gemäß einem der Ansprüche 2 bis 4, ferner aufweisend: eine Antriebsvorrichtung (702), welche außerhalb des Hohlraums (104) angeordnet und eingerichtet ist, ein Drehmoment auf die Hohlwelle (502) zu übertragen.
Vakuumanordnung (500 bis 2000) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, ferner aufweisend: ein Tragwerk (902), mittels welchem die Kammerzarge (802z) derart gekuppelt ist, dass das Deckelgestell (106) bei einer Verformung der Deckelwand (102) relativ zu der Kammerzarge (802z) verlagert wird.
Vakuumanordnung (500 bis 2000) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, ferner aufweisend: eine erste Drehdurchführung (602), welche den Spalt (102s) zumindest teilweise abdichtet und durch welche hindurch die Trägerstange (302) erstreckt ist.
Vakuumanordnung (500 bis 2000) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7, ferner aufweisend: einen in dem Hohlraum (104) angeordneten Drehteller (1002), welcher eine zweite Durchgangsöffnung aufweist, durch welche die Trägerstange (302) hindurch erstreckt ist, wobei der Drehteller (1002) drehbar relativ zu der Trägerstange (302) gelagert ist.
Vakuumanordnung (500 bis 2000) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 8, ferner aufweisend: eine Hülse (1102), welche einen ersten Bereich des Hohlraums (104) umgibt und den ersten Bereich von einem zweiten Bereich des Hohlraums (104) vakuumdicht separiert, wobei die Trägerstange (302) durch den ersten Bereich hindurch erstreckt ist.
Vakuumanordnung (500 bis 2000)gemäß Anspruch 9, wobei die Hülse (1102) einen Balg aufweist.
Vakuumanordnung (500 bis 2000) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 10, ferner aufweisend: einen zusätzlichen Kammerdeckel (802t), welcher mit der Kammerzarge (802z) zusammengefügt den Hohlraum (104) auf einer dem Kammerdeckel (802b) gegenüberliegenden Seite (200o) begrenzt, wobei der zusätzliche Kammerdeckel (802t) einen Pumpenanschluss aufweist.
Vakuumanordnung (500 bis 2000), aufweisend: • eine Vakuumkammer (100 bis 400), welche eine erste Kammerwand (802b) und eine zweite Kammerwand (802t) und zwischen diesen eine Kammerzarge (802z) aufweist, wobei die zwei Kammerwände (802b, 802t) mittels einer in der Vakuumkammer (100 bis 400) angeordneten Trägerstange (302) gegeneinander abgestützt sind; • eine Hohlwelle (502), durch welche hindurch die Trägerstange (302) erstreckt ist, wobei die Hohlwelle (502) verschiebbar relativ zu der Trägerstange (302) und ortsfest relativ zu der Kammerzarge (802z) gehalten wird; • wobei die erste Kammerwand (802b) eine Durchgangsöffnung (102o) aufweist, durch welche hindurch die Hohlwelle (502) erstreckt ist derart, dass ein Spalt (102s) zwischen der ersten Kammerwand (802b) und der Hohlwelle (502) gebildet ist, so dass eine Verformung der ersten Kammerwand (802b) relativ zu der Hohlwelle (502) ermöglicht wird.
Vakuumkammer (100 bis 400), aufweisend: • eine Kammerzarge (802z); • eine erste Kammerwand (802b) und eine zweite Kammerwand (802t), zwischen denen die Kammerzarge (802z) angeordnet ist, wobei die erste Kammerwand (802b) eine Durchgangsöffnung (102o) aufweist; und • eine drehgesichert gelagerte Trägerstange (302), welche stirnseitig mit der zweiten Kammerwand (802t) gekuppelt ist, wobei die Trägerstange (302) durch die Kammerzarge (802z) und durch die Durchgangsöffnung (102o) hindurch erstreckt ist derart, dass ein Spalt (102s) zwischen der ersten Kammerwand (802b) und der Trägerstange (302) gebildet ist.