DE20116816U1 - Kapsel zum Herstellen von Metall-Keramik-Verbundmaterialien, insbesondere Metall-Keramik-Substraten - Google Patents

Kapsel zum Herstellen von Metall-Keramik-Verbundmaterialien, insbesondere Metall-Keramik-Substraten

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Claims (21)

1. Kapsel zur Verwendung bei einem Verfahren zur Herstellen von Metall-Keramik- Verbundmaterialien, insbesondere Metall-Keramik-Substraten, bei dem (Verfahren) als Verbindungskomponenten wenigstens ein vorzugsweise plattenförmiges Keramiksubstrat mit einer oxidierten Metallfolie durch Direct-Bonding miteinander verbunden werden, dadurch gekennzeichnet, daß die Kapsel wenigstens einen Reaktionsraum (8, 8c) zur Aufnahme der Verbindungskomponenten bildet, und daß der Reaktionsraum (8, 8a) zumindest teilweise nach außen verschlossen oder verschließbar ist.
2. Kapsel nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Reaktionsraum dicht oder nahezu dicht nach außen verschließbar ist.
3. Kapsel nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Kapselung des Reaktionsraumes (8, 8a), die (Kapselung) als prozentualer Anteil eines geschlossenen Teils einer den Reaktionsraum umschließenden Gesamtfläche bezogen auf diese Gesamtfläche definiert ist, größer als 60% ist.
4. Kapsel nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß ihre Kapselung im Bereich zwischen 99 bis 65% liegt.
5. Kapsel nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sie wenigstens eine Öffnung (7, 7a, 7b) aufweist.
6. Kapsel nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ihre Kapselung für eine Verwendung in einer äußeren Sauerstoffatmosphäre, die einen Sauerstoffanteil von etwa 50 bis 100 ppm aufweist, zwischen 60 und 80% beträgt.
7. Kapsel nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ihre Kapselung für eine Verwendung in einer äußeren Sauerstoffatmosphäre, die einen Sauerstoffanteil von etwa 2 bis 20 ppm aufweist, 60-80% beträgt.
8. Kapsel nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ihre Kapselung für eine Verwendung in einer äußeren Schutzgasatmosphäre, die einen Sauerstoffanteil von etwa 50 bis 200 ppm Sauerstoff aufweist, 80-95% beträgt.
9. Kapsel nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ihre Kapselung für eine Verwendung in einer äußeren Sauerstoffatmosphäre, die einen Sauerstoffanteil von etwa 1 bis 20 ppm aufweist, 80 bis 95% beträgt.
10. Kapsel nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ihre Kapselung für eine Verwendung in einer äußeren Schutzgasatmosphäre, die einen Sauerstoffanteil von weniger als 20 ppm oder größer als 200 ppm aufweist, größer als 95% ist.
11. Kapsel nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch ihre Herstellung aus einem hochtemperaturfesten und oxidationsbeständigem Material, beispielsweise aus Metall.
12. Kapsel nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sie aus wenigstens einem Keramikmaterial, beispielsweise aus Al2O3, Si3N4, SiC, Forsterit und/oder Mullit besteht.
13. Kapsel nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sie die Form eines den Reaktionsraum umschließenden Rahmens aufweist.
14. Kapsel nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sie aus einer oberen Wandung, einer unteren Wandung sowie aus diese Wandungen im gegenseitigen Abstand haltenden Abstandhaltern (11) besteht.
15. Kapsel nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sie an wenigstens einer Umfangsseite zum Einbringen und Entnehmen der Verbindungskomponenten offen ist.
16. Kapsel nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sie schalenartig mit einem Deckel (3) ausgebildet ist.
17. Kapsel nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sie mit wenigstens einer Öffnung (7, 7a, 7b) an einer Umfangsseite und/oder an einem Boden und/oder an einem Deckel ausgebildet ist.
18. Kapsel nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sie stapelbar ausgebildet ist.
19. Kapsel nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sie wenigstens eine Anlage (4, 12) für die Verbindungskomponenten aufweist.
20. Kapsel nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in dem wenigstens einen Reaktionsraum eine Puffersubstanz zur Schaffung eines Sauerstoffgleichgewichtes während des Direct-Bonding vorgesehen ist.
21. Kapsel nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Puffersubstanz auf der Basis von Kupferoxid, beispielsweise auf der Basis von Kupferoxid/Kupfer hergestellt ist.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003031372A2 (de) * 2001-10-01 2003-04-17 Schulz-Harder Juergen Verfahren zum herstellen von metall-keramik-verbundmaterialien, insbesondere metall-keramik-substraten sowie nach diesem verfahren hergestelltes keramik-verbundmaterial, insbesondere metall-keramik-substrat
DE102004056879A1 (de) * 2004-10-27 2006-05-04 Curamik Electronics Gmbh Verfahren zum Herstellen eines Metall-Keramik-Substrates bzw. Kupfer-Keramik-Substrates sowie Träger zur Verwendung bei diesem Verfahren
WO2011098071A1 (de) * 2010-02-12 2011-08-18 Curamik Electronics Gmbh Verfahren zum herstellen von metall-keramik-verbundmaterialien, insbesondere metall-keramik-substraten sowie nach diesem verfahren hergestelltes keramik-verbundmaterial, insbesondere metall-keramik-substrat

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003031372A2 (de) * 2001-10-01 2003-04-17 Schulz-Harder Juergen Verfahren zum herstellen von metall-keramik-verbundmaterialien, insbesondere metall-keramik-substraten sowie nach diesem verfahren hergestelltes keramik-verbundmaterial, insbesondere metall-keramik-substrat
WO2003031372A3 (de) * 2001-10-01 2003-08-28 Juergen Schulz-Harder Verfahren zum herstellen von metall-keramik-verbundmaterialien, insbesondere metall-keramik-substraten sowie nach diesem verfahren hergestelltes keramik-verbundmaterial, insbesondere metall-keramik-substrat
DE102004056879A1 (de) * 2004-10-27 2006-05-04 Curamik Electronics Gmbh Verfahren zum Herstellen eines Metall-Keramik-Substrates bzw. Kupfer-Keramik-Substrates sowie Träger zur Verwendung bei diesem Verfahren
DE102004056879B4 (de) * 2004-10-27 2008-12-04 Curamik Electronics Gmbh Verfahren zum Herstellen eines Metall-Keramik-Substrates
US8377240B2 (en) 2004-10-27 2013-02-19 Curamik Electronics Gmbh Method for the production of a metal-ceramic substrate or copper-ceramic substrate, and support to be used in said method
WO2011098071A1 (de) * 2010-02-12 2011-08-18 Curamik Electronics Gmbh Verfahren zum herstellen von metall-keramik-verbundmaterialien, insbesondere metall-keramik-substraten sowie nach diesem verfahren hergestelltes keramik-verbundmaterial, insbesondere metall-keramik-substrat
DE102010007919B4 (de) 2010-02-12 2022-03-03 Rogers Germany Gmbh Verfahren zum Herstellen von Metall-Keramik-Substraten sowie nach diesem Verfahren hergestelltes Metall-Keramik-Substrat

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