DE20004616U1 - Vorrichtung zur Regelung der Ausgangsleistung eines Lasers - Google Patents

Vorrichtung zur Regelung der Ausgangsleistung eines Lasers

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Claims (13)

1. Vorrichtung zur Regelung der Ausgangsleistung eines La­ sers (100), welcher Strahlung (102, 114) mit einer Wellenlän­ ge zwischen 10 und 250 nm emittiert, mit
  • a) einem Quantenkonverter (212-1) zur Wandlung emittierter Strahlung (114) in Licht mit einer Wellenlänge zwischen 300 und 800 nm;
  • b) mindestens einem Detektor (212-2, 212-3) zur Erfassung des gewandelten Lichtes; und
  • c) einer Regeleinheit (202) zur Regelung der Ausgangslei­ stung des Lasers (100) in Abhängigkeit von einem Ausgangs­ signal des mindestens einen Detektors (212-2, 212-3).
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Quantenkonverter (212-1) ein mit Störstellen dotiertes dielektrisches Material ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Quantenkonverter (212-1) im sichtbaren Wellenlängenbe­ reich transparent ist.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Quantenkonverter (212-1) Seitenflächen (212-4) aufweist, welche parallel oder unter einem spitzen Winkel zu der auf den Quantenkonverter (212-1) treffenden kohärenten Strahlung (214) verlaufen, und daß aus den Seitenflächen (212-4) aus­ tretende Licht dem mindestens einem Detektor (212-2, 212-3) zugeführt wird.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der mindestens eine Detektor (212-2, 212-3) auf den Seiten­ flächen (212-4) des Quantenkonverters (212-1) angeordnet ist.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der mindestens eine Detektor (212-2, 212-3) eine Photodiode ist.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß in Strahlrichtung vor dem Quantenkonverter (212-1) eines oder mehrere Elemente (216-1, 216-2, 216-3) zur Abschwächung der kohärenten Strahlung (114) angeordnet sind.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das oder die Elemente (216-1, 216-2, 216-3) zur Abschwächung einen solchen Abschwächungsgrad aufweisen, daß eine Laser­ pulsenergie zwischen 0,01 µJ und 100 µJ auf den Quantenkon­ verter (212-1) trifft.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung einen Strahlteiler (210) umfaßt, der einen Teil (114) der vom Laser emittierten kohärenten Strahlung (102) dem Quantenkonverter (212-1) zuführt.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung ein evakuierbares Gehäuse (206) aufweist.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (206) einen Anschluß (207) zur Einleitung eines Gases in das Gehäuse (206) aufweist.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß in Strahlrichtung vor dem Quantenkonverter (212-1) eine oder mehrere Blenden (214-1, 214-2) angeordnet sind.
13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Laser (100) ein F2-Gasentladungslaser ist.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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EP1386377A1 (de) * 2001-05-11 2004-02-04 Cymer, Inc. Gasentladungslaser mit verbessertem strahlweg

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1386377A1 (de) * 2001-05-11 2004-02-04 Cymer, Inc. Gasentladungslaser mit verbessertem strahlweg
EP1386377A4 (de) * 2001-05-11 2006-03-29 Cymer Inc Gasentladungslaser mit verbessertem strahlweg

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