DE1997172U - METHOD AND DEVICE FOR THE PROCESSING OF WORKPIECES USING A LOAD CARRIAGE JET - Google Patents

METHOD AND DEVICE FOR THE PROCESSING OF WORKPIECES USING A LOAD CARRIAGE JET

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DE1997172U
DE1997172U DE19621997172 DE1997172U DE1997172U DE 1997172 U DE1997172 U DE 1997172U DE 19621997172 DE19621997172 DE 19621997172 DE 1997172 U DE1997172 U DE 1997172U DE 1997172 U DE1997172 U DE 1997172U
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K15/00Electron-beam welding or cutting
    • B23K15/06Electron-beam welding or cutting within a vacuum chamber

Description

Zur 3u&rbniuUi"iS kleiner V/o:<:l:s"i;ücko-v/io z<3# äüüoa Udo:..- r.^lcroelsk-fcroailt-Bauwoilo iwi; oh belcar.n-i;, die >/orkr/cüoko in ^ogazirien unterzubr..nsir. urid diose ϊΛιΆ^βζί.ηο vollr.f^^dr. j.-.r: Yakuun; anzuordnen. InJ Vakuum i.'j'i; dann j?env.or eino 5?3τοΏΛ3ο:?ν-vorrichtung vorgocohon, v/olc^o d.iö V/o:cr:ctückü vom Vorra'ür.üu-Ea~ a in zur Böarbijiourißr.ctollo und nach criolg-ocr 3earbe:i.uuns vor. dort :',u einoir. Jinblaöomacazin bringt. Vorrat·.'··!- uüd Kn1Olad©r.aen:j"Ä:%. :f.c';iiiGn durch Gchiour.en gewcchneli v/oraeji. Diocor bo3can)ri;<3 Aui'göu bringt boi dor Boarositurig von großen V/OrJtMtücken doi: ΛδΟΛΐδϋ luv sich, daß sehr großfi Vaicuunkairimcm vorgeschori v/oröor k'usso:-.v da nicht nur das ',V'srkstück., conöern auch die .Vorrichtung xu de^sen Zu- und V/ö££ührur.g in Vakuum untorgobracht worden s;u.r5. „/λο ^.c- Uni. -i;iöi.adoGchlouscjJL bodinson. einen zusätzlichen apparative: u:.d .Vr.rtungsaur-.vand.To 3u & rbniuUi "iS smaller V / o: <: l: s"i; ücko-v / io z <3 # äüüoa Udo: ..- r. ^ Lcroelsk-fcroailt-Bauwoilo iwi; oh belcar.ni; to place the> / orkr / cüoko in ^ ogazirien..nsir. urid diose ϊΛιΆ ^ βζί.ηο vollr.f ^^ dr. j .-. r: Yakuun; to arrange. InJ vacuum i.'j'i; then j? env.or eino 5? 3τοΏΛ3ο:? ν-device vorgocohon, v / olc ^ o d.iö V / o: cr: ctückü vom Vorra'ür.üu-Ea ~ a in to Böarbijiourißr.ctollo and to criolg -ocr 3earbe: i.uuns before. there: ', u einoir. Jinblaöomacazin brings. Stock ·. '··! - uüd Kn 1 Olad © r.aen: j "Ä: % .: F.c'; iiiGn through Gchiour.en gewcchneli v / oraeji. Diocor bo3can) ri; <3 Aui'göu brings boi dor Boarositurig of large V / OrJtMtücke doi: ΛδΟΛΐδϋ luv sich that very large fi Vaicuunkairimcm vorori v / oröor k'usso: -. v because not only the ', work piece., conöern also the .device xu de ^ sen zu - and V / ö ££ ührur.g have been installed in a vacuum s; u.r5. "/ λο ^ .c- Uni. -i; iöi.adoGchlouscjJL bodinson. an additional apparatus: u: .d .Vr.rtungsaur- .vand.

Ι?ία· c. ■.·.: Bearbeitung großer V/er kr, tück·. v/nräon deshalb Gerste, vor-ν/ΟΛίΊον,^ bei vclchsn c<.-r Strahl erz üugu.igsrauiA uxid der 3..;ai^b-.--;t^ 4gü·- rau~. ein geschlossenes Gvakuiorbc.ro.·; G-chäußo bilden. "Di.csor: &ϊϊ.ϊλ::;ο wird-zur. 3e- unä 2ntladcn der V/erkGöückc belüftet. Dadurch ont··Ι? Ία · c. ■. · .: Processing of large V / er kr, tück ·. v / nräon therefore barley, before-ν / ΟΛίΊον, ^ at vclchsn c <.- r ray erz üugu.igsrauiA uxid der 3 ..; ai ^ b -.--; t ^ 4 gü · - rough ~. a closed Gvakuiorbc.ro. ·; Form G-chäuso. "Di.csor: & ϊϊ.ϊλ ::; ο is -for. 3e- unä 2ntladcn the V / ErkGöückc ventilated. This ont ··

1- P ^-11- P ^ -1

stehen· sehr lange effektive Bearbeitungszeiten pro Werkstück, da zwischen zwei Bearbeitungen das neue Werkstück eingespannt und anschließend das gesamte Gerät wieder evakuiert werden muß. Diese Vorbereitungsvorgänge machen ein Mehrfaches der eigentlichen Bearbeitungszeit aus.there are · very long effective machining times per workpiece, since the new workpiece is clamped between two machining operations and then the entire device must be evacuated again. These preparatory processes make several times the actual processing time.

Die vorliegende !Teuerung betrifft nun sine Vorrichtung -The present price increase now concerns his device -

Bearbeitung von Werkstücken mittels eines Ladungsträgerstrahles t durch welche die oben angeführten Nachteile vermieden werden können. Die neue Vorrichtung erlaubt es vor allem, die effektiven Bearbeitungszeiten pro Werkstück ganz wesentlich herabzusetzen.Processing of workpieces by means of a charge carrier beam t by means of which the above-mentioned disadvantages can be avoided. Above all, the new device allows the effective machining times per workpiece to be reduced considerably.

Die Vorrichtung nach der vorliegenden Neuerung zeichnet sich dadurch aus, daß die zu bearbeitenden Werkstücke in mehrere, mit je einer Strahleintrittsöffnung versehene Kammern eingebracht v/erden, daß 'diese Kammern nacheinander vorevakuiert und im vorevakuierten Zustand mit einem,- mit einer Strahlauctrittsoffnung versehenen evakuierten Strahlerzeugungsgerät in vakuumdichte Verbindung, gebracht werden, daß nach Herstellen einer solchen Verbindung das in der jeweiligen Kammer enthaltene Werkstück bearbeitet wird und daß nach erfolgter Bearbeitung unter gleichseitiger Herstellung der Verbindung zwischen Strahlerzeugungsgerät und einer anderen Werkstückkammer die das bearbe: tete Werkstück enthaltende Kammer vom Strahlerzeugungsgeräi; getrennt wird, Bei dieser Vorrichtung ist es also möglich, während der Bearbeitung eines Werkstücks ein oder mehrere v/eitere Werkst!The device according to the present innovation stands out characterized in that the workpieces to be processed are introduced into several chambers, each provided with a beam inlet opening v / earth that 'these chambers are pre-evacuated one after the other and in the pre-evacuated state with a, - with a jet vent equipped evacuated beam generating device be brought into vacuum-tight connection, that after such a connection has been established, that contained in the respective chamber The workpiece is being processed and that after the processing has been carried out, the connection between the beam generating device and another workpiece chamber being established at the same time, the processing: The workpiece-containing chamber from the beam generating device; separated With this device it is therefore possible to use one or more other workstations while machining a workpiece.

• — 3 —• - 3 -

für die Bearbeitung vorzubereiten. Sobald ein W'rk.'iviick fertVg bearbeitet wird, v/ird das Strahler ζ eugungsgcrät mit orinz-r anderen Wcrkotückkaminer, welch© schon vorovakuiort ist, in "Verbindung gebracht. Während des Herstellens dieser Verbindung v/ird sov/ühl die Strahlaustrittsöffnung des Strahlörzeugungsgorätoß als auch die Strahleintrittcöffnung der Werkatückkammer verr.chluscjen,prepare for editing. As soon as a work is finished is processed, the emitter ζ eugungsgcrät with orinz-r other Wcrkotückkaminer, which is already vorovakuiort, in "connection brought. While making this connection v / ird so / ühl the beam exit opening of the Strahlörgenerationsgorätoss as well as the jet inlet opening of the workshop chamber verr.chluscjen,

PiUUU £ltJJ."K l/C;x.LCil U\Si" V CL"UJ-IiUUiJ.t5 AUIIiI uümauj.wi[5'j suiux ν U^c iiiciovAvaag des Workstückes erfolgen. PiUUU £ ltJJ. "K l / C; x.LCil U \ Si" V CL "UJ-IiUUiJ.t5 AUIIiI uümauj.wi [5'j suiux ν U ^ c iiiciovAvaag of the work piece.

Solion sehr große Werlcctücke bearbeitet worden, so ist os vorteilhaft, die nouG Vorrichtung go auszubilden, daß s:i.8 mi/ideotons zwei fest* angeordnete und mit je oinor Vakuumpumpe verbundene VfcclcstücldcammerE enthält, deren Strahleintrittsöifnungen in einr.r Gleitfläche liegen. Weiterhin ist ein Strahlcrzeuguiigfigerät vorgesehen, dessen Strahlaustrittsöffnung iii einer isweiten Gleit- : fläche liegt, welche auf der ersten, die Str-ahleintrittsöfJTnurigftn , der 7/erkstückkammern enthaltenden Gleitfläche vakuumdicht ver- ; schiebbar angeordnet ist« Ferner sind Mittel zum Verschieben der beiden Gleitflächen gegeneinander bis zum Herstellen der«? Verbindung zv/isehen, dem Strahlerzeugungsgerät und einer ¥/erkstüclckammer vorgesehen. Es -wird also bei dresftr Vorrichtung das Strahlerzeugungsgerät gegenüber den feststehenden 'Varkstückkammerii verschoben. If very large pieces of work have been processed, it is advantageous the nouG device go to train that s: i.8 mi / ideotons two fixed * arranged and connected to each oinor vacuum pump VfcclcstücldcammerE contains, the beam entry openings in a r Sliding surface. There is also a jet generator provided, the jet outlet opening of which is a wide sliding: area, which is only on the first, the street entrance opening, the sliding surface containing the 7 / component chambers is vacuum-tight; is arranged to be slidable. There are also means for shifting of the two sliding surfaces against each other until the «? link zv / isehen, the beam generating device and a part clip intended. In the case of the dresftr device, it becomes the beam-generating device moved towards the fixed 'Varkstückkammerii.

Sollen kleinere Werkstücke bearbeitet werden, so ist as zweckmäßig, die neue Verrichtung so auszubilden, daß sie mohrer-?; ,* rhstückkammerii enthält, v/elche vakuumdicht auf einer GleitflächeIf smaller workpieces are to be processed, it is advisable to train the new task in such a way that it becomes mohrer- ?; , * rhstückkammerii contains, v / elche vacuum-tight on a sliding surface

C -J C -J

w". vierer, η können. Dieso Gleiti lache ist sit; Oixnuj-.gr-:.w ". fours, η can. Dieso Gleiti lache is sit; Oixnuj-.gr- :.

, ■.. .-!clic a:: Vakuum;· .urüpe \ an3.i:.chlo:;3e- sind. V/o? t rhi;, ■ .. .-! Clic a :: vacuum; · .urüpe \ an3.i: .chlo:; 3e- are. V / o? t rhi;

1.' ::r Gleitfläche dia Strahlaurrbrittriöffiiuns gog il^z'o "Iv... j r., a.; e;.n^r Vaku-anpu^o liegenden ßtrahierzeuguviG---.^^, Z^c. '..'erkwtückicarnaem vcrdan'auf der Glovcfläch^ r,o /;.::;:, <La? ilire Strahjä."itrittr;öXfnungen zuorst mit cU:n1.' :: r sliding surface dia Strahlaurrbrittriöffiiuns gog il ^ z'o "Iv ... j r., a .; e; .n ^ r vacuum anpu ^ o lying ßtrahierzeuguviG ---. ^^, Z ^ c. '. .'erkwtückicarnaem vcrdan'auf der Glovcflä ^ r, o /;. ::;:, <La? ilire Strahjä. "itrittr; openings first with cU: n

bu do- '...-.iaor.. Auf diene V/cir'.e τ:οΐ·αοη also die VcrkGCÜcjrliamsi :l - njhrorcr- Zcv.2on vorevakuiert oho sie mit deia Säraxilcrz-cvi- ■bu do- '...-. iaor .. on diene V / cir'.e τ: οΐ · αοη thus the VcrkGCÜcjrliamsi: l - njhrorcr- Zcv.2on oho pre-evacuates them with deia Säraxilcrz-cvi- ■

C-:-.2cc :ai ir. Verbindung Iroinssn. Bei der hier bescliricDenon Vorrichtung ist es zweckmäßig, die ■.i'erkctücidcaamier·:· so aur.zu·- jC-: -. 2cc: ai ir. Connection Iroinssn. At the here bescliricDenon Device, it is useful, the ■ .i'erkctücidcaamier ·: · so aur.zu · - j

b:.lc.<.r:, daf» sich die einseinen Kammern vakuumdicht anoinar.äer- .■clili.'ßcn. Dadurch ist gc'.iährlci.vcct, daß keine L £t in das ! b : .lc. <. r:, so that the single chambers are vacuum-tight anoinar. Thereby it is gc'.iährlci.vcct that no L £ t in the!

sseräv e: ndr;:-geu icann. (sseräv e: ndr;: - geu icann. (

Coiler. i:l<tir.ero 'iicrkscüclce boarbsitot werden, so ist e.c-: «;.Llha.C«, d'-- oinzolnoii ViTlcGtücklcammer^ durch Ausnehiaujagor· ir.· ._.. .Λ al j Ganzer verschiebbare α Magaz.i.nir.örper zu bilden. 13 s vr.ixl JCoiler. i: l <tir.ero 'iicrkscüclce boarbsitot be, then e. c -: ";.Llha.C", d '- oinzolnoii ViTlcGtücklcammer ^ by Ausnehiaujagor · ir. · ._ .. .Λ al j to form whole movable α magazines in non-bodies. 13 s vr.ixl J

c.Ir.ο in d :> t%"a I'all der Kagazinkörper gegenüber dem fcstst-jhv;-c.Ir.ο in d:> t% "a I'all the Kagazin body opposite the fcstst-jhv; -

äo vernchcben.äo nechcben.

.V.acasir.lcörpcr üolboo wird zweckmäßig ringJTJriaig aurrgr^bilcc-v -■± . Dr. Lach."'? cV'.G'i'-'S ILignziiirinKGEs kann nenlccecht oder·, parall'-l z;.- Achs3 iV-'J otrahiorzeugungngex^teiG :.rbohen..V.acasir.lcbodycr üolboo is appropriately ringJTJriaig aurrgr ^ bilcc-v - ■ ±. Dr. Laugh. "'? CV'.G'i' - 'S ILignziiirinKGEs can nenlccecht or

Doi* B^arböitungcvorgans selbst kann bei iestetehondom "·>'·*■ r!-..:tücl" durch Bav/Ggon d»?s Ladujigsträgirßtrahlon erfulg-m. Di-..r.c Gtrahl-Doi * B ^ arböitungcvorgans itself can with iestetehondom "·> '· * ■ r! - ..: tücl" by Bav / Ggon d »? s Ladujigsträgirßtrahlon erfulg-m. Di - .. r.c Gtrahl-

1997Π21997Π2

"bergung kanu ontv/cder rein elektrisch durch Strahlabienkcysteae erfolgen es kann a"bei auch eine Bewogungsvorrichtung vorgesehen sein, «eiche zur vakuumdichteη Verschiebung des otrahlerzougungsgerätes gegenüber dem feststehenden Werke:tück diei.t, Hins solche Bswegungsvorricntung ist immer darm vurzucc-.-hei'j., v;onn der Ladungsträgerstrahl über verhältnj.smäßig große Strecken auf dors. Werkstück bev:egt werden soll."Rescue canoe ontv / cder purely electrically by Strahlabienkcysteae it can take place a "with a moving device also provided be, "oak for the vacuum density" displacement of the emitter expansion device compared to the fixed work: tück diei.t, Hins Such a movement device is always darm vurzucc -.- hei'j., vonn der Charge carrier beam over relatively large distances on the dors. Workpiece is to be moved.

Es ist auch möglich, jede Werkstückkammer mit einer eigenen Bev/egungs vorrichtung für- das Werkstück zu versehen, die durch einen in der V/srlcstückkammer befindlichen Motor oder über vakuumdichte Durchführungen von außen angetrieben wird. It is also possible to provide each workpiece chamber with its own movement device for the workpiece, which is driven from the outside by a motor located in the workpiece chamber or via vacuum-tight feedthroughs.

Die Erfindung wird im folgenden an Hand der beigefügten Piguren 1 bis 7 näher erläutert. Dabei 2ä.gen: The invention is explained in more detail below with reference to the attached Piguren 1 to 7. Thereby 2 similar:

. 1 ein Ausführungsbeispiel der ?iouen Vorrichtung, bsi welchem zwei feststehende V/orkstückkammern und ein vorschiobbaro's Strahle:· zeugungngcrät vorgesehen sind;. 1 shows an embodiment of the? Iouen device, in which two fixed front end chambers and a forward bar's jet: generation device are provided;

PiE. 2 einer* Schnitt entlang do.v Linie ΙΙ-ΙΪ doi- Pig. Λ\ PiE. 2 a * cut along do.v line ΙΙ-ΙΪ doi-Pig. Λ \

» 5 diö Draufsicht au* oi;\ aridGror* Auöiuh der nouon Vorrichtung, "bei wöXchora aas Strahleraougun gorät foötGuOht, und diet Werkotiüclücammern vorßchiob-»5 diö top view au * oi; \ aridGror * Auöiuh the nouon device, "at wöXchora aas Strahleraougun gorät foötGuOht, and the work tool room

- 6 bar sind;- are 6 bar;

?ig. 4 einen Schnitt entlang der Linie IV-IV der? ig. 4 shows a section along the line IV-IV of FIG

Fig. 3;Fig. 3;

Fig, 5 eine vereinfachte perspektivische Darstellung5 shows a simplified perspective illustration

eines weiteren Ausführungsbeispieles der neuen Vorrichtung, bei vrelcheH die Werkstücke in einem drehbaren Magazinring untergebracht sind;another embodiment of the new Device at VrelcheH the workpieces in one rotatable magazine ring are housed;

XSv 6 einen üfeiischnitt durch die in Fig. 5 aargestellteXSv 6 shows a section through the one shown in FIG

Vorrichtung;Contraption;

Figo 7 ein weiteres Äus£ührungsbeispisl, bei v/elchenFig. 7 a further example of embodiment, at v / elchen

ebenfalls ein drehbarer Magazinring vorgesehen iata rotatable magazine ring is also provided

In den Figuren 1 und 2 sind mit 1 und 2 zwei W.rks^üclckammern bezeichnet, welche die zu bearbeitenden Werkstücke 5 und 4· enthalten. Diese W~rkstückkammern sind mit StrahleintrittsöXinungen 5 und 6 versehcn,_y/elcho jeweils in einor GleitflUcho 7 bzv7* 8 liegen. Auf diesen Gleitflachen ist ein Ring 9 vakuumdicht verschiebbar angeordnet. Ein Elektromotor 10 dreht über οΛη Getriebe 11 den Hing 9 uni eine Achse 12.In Figures 1 and 2, 1 and 2 are two brackets denotes which workpieces 5 and 4 to be machined contain. These workpiece chambers are equipped with jet entry openings 5 and 6 versehcn, _y / elcho each in a GleitflUcho 7 bzv7 * 8 lie. A ring 9 is vacuum-tight on these sliding surfaces arranged displaceably. An electric motor 10 rotates over οΛη Gear 11 the Hing 9 and an axle 12.

Auf dem Ring 9 ist ein Strahlerzeugungsgerät 1J bekann&Gr angeordnet. Dieses Strahlerzeugungsgersit enthält eine Strahlauc trittßöffnung 14, welche durch eine Bohrung im Ring 9 gebildetA beam generating device 1J is known on the ring 9 & Gr arranged. This jet generating device contains a jet lens outlet opening 14, which is formed by a bore in the ring 9

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Die Strahlerzeugungskammer 15 des Strahlerzeugungsgerätes 13 ist ständig mit einer Vakuumpumpe 16 verbunden. Eine v/eitere Vakuumpumpe 17 ist mit dem als Druckstufe ausgebildeten Raum 18 des Strahlerzeugungsgerätes 13 verbunden.The beam generating chamber 15 of the beam generating device 13 is constantly connected to a vacuum pump 16. Another one Vacuum pump 17 is with the space designed as a pressure stage 18 of the beam generating device 13 is connected.

Die Generatoren zur Erzeugung der notwendigen Spannungen und Ströme für das Strahlerzeugungssystem und die Pokussierungsiinse des Strahierzeugurgsgerätes 13 sind mit 19 und 2C bezeichnet.The generators for generating the necessary voltages and currents for the beam generating system and the focusing lens of the beam generating device 13 are denoted by 19 and 2C.

Die Wirkungsweise der hier dargestellten Vorrichtung ist fol gende. In der Darstellung der !Figuren 1 und 2 ist das Strahier- zeugungsgerät 13 mit der Werkstückkammer 1 so verbunden, daß die Strahlaustrittsöffmmg 1,3 genau über der Strahleintrittsöxinung steht. Die Werkstückkaianer 1 v/ird über die Vakuumpumpe 21 ständig evakuiert, während das Strahlerzeugungsgerat 1J über die Vakuumpumpen. 16 und 17 ständig evakuiert wird» Die Vakuumpumpe 1? dient dabei dazu, eventuell durch die Öffnung 14· des Strahlerssmgungsgeräues 15 eindringendes Gas abzusaugeu, ehft es den Strahlerzeugungsrauin 15 erreichen kann, The operation of the device shown here is fol lowing. In the illustration of FIGS. 1 and 2, the radiation generating device 13 is connected to the workpiece chamber 1 in such a way that the jet outlet opening 1,3 is exactly above the jet inlet opening. The workpiece holder 1 is constantly evacuated via the vacuum pump 21, while the beam generating device 1J is evacuated via the vacuum pumps. 16 and 17 is constantly evacuated »The vacuum pump 1? serves to suck off any gas that may penetrate through the opening 14 of the radiation emission device 15 before it can reach the radiation generation area 15,

Übor oinon, hier nicht dareostellton !"umschalter wird das Struhlerseugungcgci'ät 13 Ging j schal« ·■ , so daß das Werkstück 3 bearbeitet wird. Beispielswoise ist en möglich, das Werkstück Z> zu bohren, zu fräsen, zu löten, zu schweißen oder wärmezubohandoln.Übor oinon, not here dareostellton "selectors is the Struhlerseugungcgci'ät 13 Went j stale" · ■ so that the workpiece is machined third Beispielswoise is s possible to drill the workpiece Z>, to mill, to solder, to weld or warmth to handoln.

-3--3-

V/Khrcnd dor Bearbeitung dor. f/oriwfcüokes: ϊ \ή.?Λ dl ο ^.,rltVuCciUiaiflrn/r 2 gsöfrfnet, und es wird ein 7/erkstv,cl: '·:· GiX1;-«rächt;, »iodouii v;irü die V7 rkstuckkammor v/5.oder geachlouccr. u· d i'.br-z· <ilio Vakuumpumpe 22 evakuiert. Mo Strahleintribtsöffmmg 6 der Vfoar kstüoli« lcammer 2 ist dabei durch die Gleitfläche defl Hinges 9 vakuumdicht abgeschlossen. Es entsteht also in der Worlcsfciiclclcamer 2 ft in TX/wvtraTfMnrn iiiol/ιίιαο tr/ivnvncreijio-i cio, Anm ηιι<".ικο".·ιΛ4 ίίώή Αν*Υ\Λ'ι ίϊίιΑ*»»1/Οι· V / Khrcnd dor processing dor. f / oriwfcüokes: ϊ \ ή.? Λ dl ο ^., rltVuCciUiaiflrn / r 2 gsöfrfnet, and a 7 / erhstv, cl: '·: · GiX 1 ; - «avenges ;,» iodouii v; irü the V7 rkstuckkammor v / 5. or geachlouccr. u · d i'.br-z · <ilio vacuum pump 22 evacuated. Mo Strahleintribtsöffmmg 6 the Vfoar Kstüoli «lcammer 2 is sealed by the sliding surface of the Hinges 9 vacuum-tight. So it arises in the Worlcsfciiclclcamer 2 ft in TX / wvtraTfMnrn iiiol / ιίιαο tr / ivnvncreijio-i cio, A nm ηιι <". Ικο". · ΙΛ4 ίίώή Αν * Υ \ Λ'ι ίϊίιΑ * · »1 / Οι

entspricht.is equivalent to.

2Taeh abgeschlossener Bearbeitung derj Werkstückes 5 wird über· den Motor-10 und das Getriebe 11 die Achse 12 verdreht. Diese· verdreht den Sing 9 ~& lange, bis das Strahlerseugungsisyatea mit der Y/erkstüclckamiaer 2. verbunden ist. Es kann mmmeihr das Werkstück ^- bearbeitet werden, während nach dem Öffnern der Werkstüclckaniner 1 das bearbeitete Werkstück 3 entnommen und durch ein neues Werkstück ersetzt werden kann.When the machining of the workpiece 5 has been completed, the axis 12 is rotated via the motor 10 and the gear 11. This twists the Sing 9 ~ & long until the Emitter Suction Systea is connected to the Y / Erkstüclckamiaer 2.. It can mmmeihr the workpiece ^ - be machined, while after opening the Werkstüclckaniner 1 the machined workpiece 3 can be removed and replaced by a new workpiece.

Während der Verschiebung des Strahlerzeugungsgeräte?; bleibt die StrahleintrittsÖffnusg 6 der vZ-xrlcistückkammer 2 durch die Gleitfläche dec Hinges 9 vakuumdicht abgeschlossen, während die Lwr-l"i£USürittsöff:rung I^ des Strahlerzeugungsgeräte.o 13 durch <l"o Gl-iGlIJcho άοί, die Öffnu&jen 5 und 6 enthaltende1:, F.ingcc 303:3ch.lv/i~cen bleibt,During the displacement of the beam generating device ?; The jet entry opening 6 of the vZ-xrlcistückkammer 2 remains vacuum-tight by the sliding surface dec Hinges 9, while the Lwr-l "i £ USürittsöff: rung I ^ of the beam generating device.o 13 by <l" o Gl-iGlIJcho άοί, the openings 5 and 6 containing 1 :, F.ingcc 303: 3ch.lv/i~cen remains,

Z rl dsz: i:* GjH Pigur:;i 3 und 3- ßargestellton Ausxührungsbe:.sOiel Z rl dsz: i: * GjH Pigur:; i 3 and 3-shown execution terms: .sOiel

ar.gjordr.st» welche ait einer S-brahlaustrittsöifnurig 24 ver-ar.gjordr.st »which ait an S-brahlaaustrittsöifnurig 24 ver

-9--9-

^ ist. Mittels der Handräder 25 und 2S ka>'.n das Ötrahlsrzougungsgerät. Ί 3 entgegen der V/ir'-ung der !'Odern 2? und 28 i^ do." Papierebene und senkrecht zur Papierebene verschoben worein (j?ig,4). Bei dieser Verschiebung gleitet die mit dom Strahleri&eugungsgerät 13 verbundene Platte 29 vakuumdicht auf der Platto^ is. Using the handwheels 25 and 2S ka> '. N the oil spray gun. Ί 3 against the V / ir'-ung der! 'Odern 2? and 28 i ^ do. " Paper plane and shifted vertically to the paper plane worein (year old, 4). With this shift the mit dom emitter & eugungsgerät slides 13 connected plate 29 vacuum-tight on the plate

Die Platte 23 enthält eine v/eitere Öffnung 3^, welche mit einer Vakuumpumpe 31 in Verbindung steht. s The plate 23 contains a further opening 3 ^ which is connected to a vacuum pump 31. s

Zur UriterbrinBuns des1 zu bearbeitenden Vterkstücke sind Y/orkstücldcamiaorn 32 bis 3β vorgesehen, welche durch Schienen 37 und 38 auf der Grundplatte 39 geführt sind.Y / orkstücldcamiaorn 32 to 3β, which are guided by rails 37 and 38 on the base plate 39, are provided for the original mounting of the 1 to be machined.

Die V7irkungsv73is3 der hier dargestellten Vorrichtung ist folgende. V7ährond das Y/orkotüclc 40 in der V/erk.otüclclcainmer 3Z!- bearbeitet wird, wird in äio V/crkstücklcaiamer 52 ein Werkstück liA eingebracht.Nach erfolgtiii? Bearbeitung des Werkstückes 40 v/ercen die seitlich an der V7crkstückkamsier 32 angebrachten Mitri£ihmehebt>l *..' 42 und 43 in die gestrichelt gesoichaets Stellung ausgeklappt* Die auf den Transportband era 44 und 45 angeordneten Mitnchnicrstifte bev/egen nunmehr die v/erkstückkanmior 32 so τ/eit in d-r ^xchtunc des Pfeiles 46 bis die Werkstückkaamer 32 über die öffnurig 3·^ mit der Vakuumpumpe 3"' verbundeii ist. In dieser Stellung v;iid die Werkstückkasser 52 vcrcvskuiert-* Glsi.cks@itig wird aas ;/r r".:-··-·;:ck 4'7 in der Werkstückkammer 33 > welche nicn nunsehr unterhcilb derThe effect of the device shown here is as follows. V7ährond the Y / orkotüclc 40 in the V / erk.otüclclcainmer 3 Z - is being processed, is / crkstücklcaiamer 52 erfolgtiii a workpiece li A eingebracht.Nach in Äio V? Machining of the workpiece 40 v / ercen the mitri £ ihme lifts attached to the side of the V7crkstückkamsier 32> l * .. '42 and 43 folded out into the dashed position * The center pins arranged on the conveyor belt era 44 and 45 now move the v / Erkstückkanmior 32 so τ / eit in the third direction of the arrow 46 until the workpiece camera 32 is connected to the vacuum pump 3 "'via the opening 3 · ^. In this position v; iid the workpiece cassette 52 vcrcvskuiert- * Glsi.cks@itig aas ; / rr ".: - ·· - ·;: ck 4'7 in the workpiece chamber 33> which is now very different

2':· b&Cindotj bearbeitet. Nach erfolgter Boarbo'-tung dioouc; W TkstUc4..oa vird übar die-· Transportbänder 4-'·!· unö ^v cino nouc Y/ferkütuckkamm&r unter die Öffnung 30 geschoben. Diese -louo "/•jrkstückkammßr' verschiebt die Worlsstückkammer 322 ': · b & Cindotj processed. After Boarbo'-tung dioouc; W TkstUc 4 ..oa vird the- · conveyor belts 4- '·! · Unö ^ v cino nouc Y / ferkütuckkamm & r pushed under the opening 30. This -louo "/ • jrkstückkammßr 'moves the worlsstückkammer 32

J so lango, biß sio mit dor OtrehlaurrörittsöffnunE 2Lv verbunden lät. Ilürimohr rfirä das Werkstück 41 nach Eirssohsit-en 4es Strafel-J so long, bit sio connected to the OtrehlaurrörittsöffnunE 2 L v . Ilürimohr rfirä the workpiece 41 after Eirssohsit-en 4es Strafel-

über einen, hier nicht dargestellten Schaltervia a switch, not shown here

boarboitot, ßchlioßlieh «:-.rd nach Zuführen weiterer neuer V/ork- ' stückkammorn dio V/orkstüokkammor 32 so weit :Ln Sichtung dos Pfoiloi 46 vorschoben> daß eio die Deckplatte 23 va^läßt* Sas bearbeitete Werkstück 41 kann nunmehr entnommen v/ordon.boarboitot, ßchlioßlieh ": -. after adding further new V / ork- ' Piece comborn dio V / orkstüokkammor 32 so far: Ln sighting dos Pfoiloi 46 advanced> that eio left the cover plate 23 va ^ * Sas worked on Workpiece 41 can now be removed.

In der in den Figuvon $ und l>* dargoctollton Vorrichtung sind die der Platte 23 sugokohrton Flächen dt-r V/orkstückksranorn 32 bis 36 so bearbeitet, daß sie vakuumdicht entlang aar Platte 23 bewegt v/erden können. Vorteilhaft eine! daboi auch diß DoitcnfiächOi der Werkstücke so bearbeitet, daß sich die \7 rkatückkanunern vakuumdicht aneinanderschlioßcn. Dadurch wird ein J2indj;ingen von Luft in das Strahlorzeugungsgerät 1$ verhindert.In the * dargoctollton in the Figuvon and $ l> the apparatus of the plate 23 are areas sugokohrton dt r V / orkstückksranorn processed 32 to 36 so as to v / ground that it moves along a vacuum-tight aar plate 23rd Advantageously one! daboi also the work pieces are processed in such a way that the return channels connect to one another in a vacuum-tight manner. This prevents air from being drawn into the jet generating device.

Bei der in den Figuren £ und 6 dargestellton Vurrichturig ist ein rir^förmiger Magazinkörpor 4-3 vorgosoheti, -.volchsr als V/erlcstücklrammern ausgebildete Aur.nehiaungoji enthält. In l?ig. ';', cxr.d lediglich die WerkstücklcammGrn l'S und 50 sichtbar. Die ober:. Eläche des Magazinringes 48 ist als Gleitfläche ausgebildet. Diese gleitet vakuumdicht in einer weiteren ringsegmeritförmigen G-lsit-In the case of the Vurrichturig shown in Figures 6 and 6, a rir-shaped magazine body is contained 4-3 vorgosoheti, -.volchsr aur.nehiaungoji designed as lugs. In l ? ig. ';', cxr.d only the workpiece lcammGrn l 'S and 50 visible. The upper :. The surface of the magazine ring 48 is designed as a sliding surface. This slides vacuum-tight in a further ring segment-shaped G-lsit-

-11--11-

11-11-

f3.LichG ί>1. Die Gleitfläche 51 ist mit Öffnungen vercch.··:-, -.'. über die Leitungen Γ>2,£3 und y-\- mit Vakuumpumpen vr.rbur.d^n :;..ϋα.f3.LichG ί> 1. The sliding surface 51 is covered with openings. ··: -, -. '. via the lines Γ> 2, £ 3 and y - \ - with vacuum pumps vr.rbur.d ^ n:; .. ϋα.

Zum Drehen doc Magazinlwrpors '!O in Richtung äoc Pfc/.los D. ißt eine hier nicht sichtbare Sowogusgsvurx-ichtung v^rgocohon Bei dor Drohung dots Magazinkosrpern 5! gelimgt Joclo V/erkatückl.rarr.mr>Y ttarthr>j_2^g»^λύ «lit; 5C21 PliSi^^SJiSdiiUSiUlsiiili11"^« 2 ·ί UiiCl ;Λ in Vorbildung, Dadurch v/i.rd joclo Werkotückkaramar avJT don notweadigsj Arbeitsdruck vorsvakuior-rt. Kach sriolgtcr Vorovslraierur; oinor Workctückkammer solongt diose boim V/-iitcrdrehon dc?c Masazinkörporr: 48 in Verbindung mit dem StrahlcrseuguriSRserät 1?>. Nach Einschalton des Ladungsträgerstrahles kann sodann das in dieser Kammer angiiordaeto Y/rkstück bearbeitet \verde:a. Nüch erfolgter Bearbeitung dos Werkstückes t.'ird der Magazinlrörpor *SÖ v;eitergedreht, \?obei schließlich die betrachtete Werkstückkammer die Glexti'lächo 51 v;ieder vei-läßt. Dabei wird die \verkstückkammer belüftet und das bearbeitete Werkstück kann entnomiaen. und durch ein neues v/^.rkstüclr sr setzt werden,To turn doc Magazinlwrpors'! O in the direction of äoc Pfc / .los D. a sowogusgsvurx-ichtung not visible here eats v ^ rgocohon At the threat dots magazine bodies 5! limgt Joclo V / Erkatückl .rarr.m r> Y ttarthr> j_ 2 ^ g "^ λύ "lit; 5C21 PliSi ^^ SJiSdiiUSiUlsiiili 11 "^« 2 · ί UiiCl; Λ in training, thereby v / i.rd joclo Werkotückkaramar avJT don notweadigsj working pressure vorsvakuior-rt Masazinkörporr: 48 in connection with the StrahlcrseuguriSRserät 1?>. After the charge carrier beam has been switched on, the workpiece can then be processed in this chamber: a. After the workpiece has been processed, the magazinelörpor * SÖ is rotated, \ Finally, the workpiece chamber under consideration is veiled. The workpiece chamber is ventilated and the machined workpiece can be removed and replaced with a new workpiece.

Wie aus dem in Fig. 6 dargestellten ü?eilschnitt zu erkennen ist, 1st jedes Werkstück in ei nor W.irkstückkammer auf einem Drohtisch gelagert. Dieser Drehtisch ist für die vJr.-rlcccüclckaiamer ;.-? mit Z8 bezeichnet. Der Drohtisch ;"-8 ist durch eine Dichtung ZS im Magazinkörpcr 48 geführt«As can be seen from the partial section shown in FIG. 6, each workpiece is stored in a workpiece chamber on a threatening table. This turntable is for the vJr.-rlcccüclckaiamer; .-? designated with Z8 . The threatening table; "- 8 is guided through a seal ZS in the magazine body 48"

Die Grundplatte 60 enthält einen axial -verschiebbare::: ofciit 6"-, welcher bei einer Vers chi obung nach oben in eine ontcpi-.oric-.cThe base plate 60 contains an axially displaceable ::: ofciit 6 "-, which in case of an upward movement is converted into an ontcpi-.oric-.c

-12--12-

U . ohr.rang der JLch.cc 62 des Dvohtr-.-.-cheG ,8 eingreift, Die:ο : j.:.;hi ^bu^g dr-s Stiften 61 v;ird über omon HoOoI 65 "bev/ir-kt, : ldior b^i einer .'JinGchaltu/3 co-: Dlektr-oraagivr-ter. 6-: betätigt ._::.. Ξο~·. der AiLfv-art.ibevogur-g des Stiftos 6Ί 3:υχιτ« ΰί: ^i:.μ- ö^ccs ;. J-J f:;.jt vorbunäc^ic Zah_:-r-ac 6;· ~i-J 2ir..;n: Z^j^nracl 63 ir_ ^i^grr-.ff, .T-lcJiviC i^eer .-.i-eei: ^J? 'ilctronot;or 67 c "Ξ - trieb 3 ;i \?ird.U ohr.rang der JLch.cc 62 des Dvohtr -.-.- cheG, 8 intervenes, The: ο: j.:.;hi ^ bu ^ g dr-s pins 61 v; ird about omon HoOoI 65 "bev / ir -kt,: ldior b ^ i one .'JinGchaltu / 3 co- : Dlektr-oraagivr-ter. 6-: actuated ._ :: .. Ξο ~ ·. der AiLfv-art.ibevogur-g des Stiftos 6Ί 3: υχιτ "ΰί: ^ i: .μ- ö ^ ccs; JJ f:;. .jt vorbunäc ^ ic Zah _: - r-ac 6 · 2n ~ iJ ..; n: Z ^ j ^ nracl 63 ir_ ^ i ^ grr-.ff, .T-lcJiviC i ^ eer .-. i-eei: ^ J? ' i lctronot; or 67 c "Ξ - drove 3; i \? ird.

'Γ. O .· j.ilCU._*2;3'.;cil'-:j0 Q.C;" ~±±Z j. ._g. O da.TgOli'Gr.ii'o-j-i ^^'..'CgU^fi^^VOX^XC^l--'Γ. O. · J.ilCU ._ * 2 ; 3 '.;Cil' -: j0 QC; " ~ ± Z j. ._G. O da.TgOli'Gr.ii'o-ji ^^ '..' CgU ^ fi ^^ VOX ^ XC ^ l- -

".v.rco, bir. die 'Jerkstücüraffiüicr 57 2^it don StranlorscusimgGgorllt '5 --"- V.:rbiiidur_s st^tit, v/ird άί?ϊ· jülektrosjagnot 6l'r ei'.50 Gehalt «st. Z .durch, T-/:'rd der Stift 6"· r.ach. oben bft-.:.-.gr ■ titid .ote3.iT: ein' drc-h-■ ·-■.chore Vcrbindurg ait der Achso 62 der Drehtischen ^S ilex1. C-X-3ichsoiti^ lcciniaerL die Zahnräder 60 ur-d 66 miteinander· in 2ir.grilf. Ka<;li erfolgter Einschaltung des Ladur.s.^trügerstrahlscrätoc 13 l:anri :.Una-ihr r^ach ^inschaltsr. des Elolctruraotors 6? äcx· Drehtisch fS i)i Ci:\.-ur.3chter '.;oice gedreht v/ordon. Nach erfolgter Bearbeitu;:c doc '..'-.rl-stüclcc.·: [:6 wird dor Sloktronotwr 6? und der -;lolctr«.r.a.s:v)t S. sbgo-ehaltet. Der Stift 61 bewegt r.ich :iach unten, so de.3 d:.r .V.asazJ.nkr^rpcr ^-3 Go lange vo.vdreht v?ordoE kann, bis οί.ηε .:·α: ;.rv-:rkctv.'.cl;i:anun'jr mit dem ötrahlcrzousur.gsgorät 15 in".v.rco, bir. die 'Jerkstücüraffiüicr 57 2 ^ it don StranlorscusimgGgorllt' 5 -" - V.:rbiiidur_s st ^ tit, v / ird άί? ϊ · jülektrosjagnot 6 l 'r ei'.50 salary «st . Z .by, T - /: 'rd the pen 6 "· r.ach. Above bft-.:.-.gr ■ titid .ote3.iT: a' drc-h- ■ · - ■ .chore Vcrbindurg ait der Achso 62 of the turntables ^ S ilex 1. CX-3ichsoiti ^ lcciniaerL the gears 60 ur-d 66 together r ^ ach ^ inschaltsr. des Elolctruraotors 6? äcx · turntable fS i) i Ci: \ .- ur.3chter '.; oice rotated v / ordon. After processing;: c doc'..'-. rl-stüclcc . ·: [: 6 becomes dor Sloktronotwr 6? And the -; lolctr «.ras: v) t S. sbgo-ehalt. The pen 61 moves r.ich: i down, so de.3 d: .r .V .asazJ.nkr ^ rpcr ^ -3 Go long vo.vturns v? ordoE can, until οί.ηε.: · α:;. r v-: rkctv. '. cl; i: anun'jr with the ötrahlcrzousur.gsgorät 15 in

1.. ό-.:_ :.r. rig, S dargost-llton Aur .ührungcbo: r:7\el ist die !>.■"-hich.-\-; drr> I.Iagazir.korxiers /-!-Q parallel zur AchriO da.? Stra'.ilcr-U'igr.gor ätiis 17».1 .. ό -.:_ : .r. rig, S dargost-llton Aur .führungcbo: r: 7 \ el is the!>. ■ "-hich .- \ - ; dr r> I.Iagazir.korxiers / -! - Q parallel to the AchriO da.? Stra '.ilcr-U'igr.gor ätiis 17 ».

- 13 - :- 13 -:

]?ig. 7 zeigt ein v/eitere & Ausführungsbeispiöl der neuen Vorrichtung, bei welchem ebenfalls sin. Magazinkörper 63 vcrg sehen ist. Hier cteht die Achse des Strahierzcugurgr.gerätcs 13 senkrecht auf dei1 Drehachse der.; Liasazinkörpers 53.]? ig. 7 shows a further embodiment of the new device in which sin. Magazine body 63 can be seen vcrg. Here, the axis of the cteht Strahierzcugurgr.gerätcs 13 perpendicular to the axis of rotation of the dei 1 .; Liasazine body 53.

Der Magazinkörper 68 enthält verfehl cd er. e «'srkstüclcka.inci·;..', von denen in IPig. 7 lediglich ä.'.o Kansc.vn 69 und ?ü sichtbar sind. Die Wirlcungsvieiso diesei1 Vor-richtung ist genau dic-solbß x;±e die üirlrongwciso dc-r in den !Fig. ';■ xtzA 6 Vcrrich'irung.The magazine body 68 contains missed CDs. e «'srkstüclcka.inci ·; ..', of which in IPig. 7 only ä. '. O Kansc.vn 69 and? Ü are visible. The Wirlcungsvieiso diesei 1 Pre-direction is exactly dic solbß x; ± e üirlrongwciso the dc-r in FIGS!. '; ■ xtzA 6 Verrich'irung.

In Fig. 7 i-"c der Bcwegungsacchanisiaus für den Magaainlcörpcr 63 jIn Fig. 7 i- "c the pathway sacchanisiaus for the magaainl body 63j

sichtbar. Dieser besteht aus einem Zahnkranz 7^» welcher auf der Innenf lache des Magazinlcörperc 63 angeordnet irst. Mit diosoa Zahn'tranz ?1 steht ein Zahnrad 72 in Singriff, welches übe;." einen, liier nicht sichtbaren Elektromotor getrieben v?ird, I;ach Einschalten diesem Elektromotors wird über das Getriebe 72,7^ der Magazinkörper 68 so lange verdreht, bis eine neue v/arkstückkainmer iL.rt dom Strahlerseugungsgorät 13 in Vorbindung kommt.visible. This consists of a ring gear 7 ^ »which on the inner surface of the magazine body 63 is arranged. With diosoa Zahn'tranz? 1 is a gear 72 in singriff, which practice ;. " a not visible electric motor is driven, I; ach This electric motor is switched on via the transmission 72.7 ^ the magazine body 68 rotated until a new v / arkstückkainmer iL.rt dom emitter suction device 13 comes into play.

Dio in den beigefügten Figuren dargestellten Ausführungsboispiele können sämtlich so ausgebildet werden, da.B dor gesamte BearbeitunsoprozeGG automatisch abläuft» iüinc solche automatische Stcuorurs dorj B^arbcitung^.rroaesses ißt besonders vorteilhaft b^i dor in don Piguren 5 "bin 7 dargestellten Vorrichtung on zu erreichen.The exemplary embodiments shown in the accompanying figures can all be designed in such a way that Processing procedure runs automatically »iüinc such automatic Stcuorurs dorj B ^ arbcitung ^ .rroaesses eats b ^ i particularly advantageously dor in don Piguren 5 "bin 7 device shown on to achieve.

In diesem jJ'all ist on lediglich notwendig, die Drohung des Ivt ziiücörpers 5 die Einschaltung des Ladungsträgorctrahlgerätos sowie die Bewagungsvorrichtung für das V/orlc'/bücl·: automatisch zu steuern.In this jJ'all one is only necessary, the threat of Ivt ziiücörpers 5 the activation of the charge carrier beam device as well as the moving device for the V / orlc '/ bücl ·: automatic to control.

J. «7 ο/ C 1 €J. «7 ο / C 1 €

Claims (1)

Z 7970/49 1 Gbm
United Aircraft Corp.
Z 7970/49 1 Gbm
United Aircraft Corp.
]< e u e Schutzansprüehe] <e u e claims for protection 1. Vorrichtung zur Bearbeitung von Werkstücken mittels eines Ladungsträgerstrahles, gekennzeichnet durch mindestens zwei fest angeordnete und mit je einer Vakuumpumpe verbundene Werkstückkammern, deren Strahleintrittsöffnuhgenj, in, einer Gleitfläche, liegen, auf welcher eine zweite Gleitfläche vakuumdicht verschiebbar angeordnet ist, durch ein, an einer Vakuumpumpe liegendes Strahlerzeugangsgerät, dessen Strahlaustrittsöffnung in der zweiten Gleitfläche liegt sowie durch Mittel zum Versphieben' der "beiden Gleitflächen1. Device for processing workpieces by means of of a charge carrier beam, characterized by at least two fixedly arranged and each with one Vacuum pump connected workpiece chambers, whose jet inlet openingsj, in, a sliding surface, on which a second sliding surface can be moved in a vacuum-tight manner is arranged, by a, lying on a vacuum pump beam generating device, whose beam outlet opening lies in the second sliding surface and by means of displacing 'the' two sliding surfaces gegeneinander bis zum Ktrstellen der Verbindung zwischen dom Strahlerzeugungsgerät und einer Werkstückkamtner. against each other until the connection between dom beam generating device and a workpiece attendant. Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch ein fest angeordnetes, an einer Vakuumpumpe liegendes Strahl· erzeugungsgerät, dessen Strahlaustrittsöffnung in einer Gleitfläche liegt, durch v/eitere in dieser Gleitfläche angeordnete, rr.it Vakuumpumpen verbundene Öffnungen, so-Device according to claim 1, characterized by a fixed jet lying on a vacuum pump generating device, the beam exit opening in a The sliding surface lies through further openings arranged in this sliding surface and connected to vacuum pumps, so- L 2 .L 2. wie durch Mittel zum Verschieden der vakuumdicht auf dieser Gleitfläche verschiebbaren Werkstück-Iranmern in der Weise, daß ihre Strahleintrittsöffnungen zuerst mit den Pumpanschlüssen und sodann mit dem Strahlerzeugungsgerät verbunden werden.as by means of differentiating the vacuum-tight Workpiece Iranmern that can be moved on this sliding surface in such a way that their jet entry openings first with the pump connections and then be connected to the beam generating device. 3· Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Außenflächen der vierkstückkaiTuneru so tet sind, daß sich die einzelnen Kammern vakuumdicht aneinanderschließen.3. Device according to claim 2, characterized in that that as the outer surfaces of the VierkstückkaiTuneru so tet are that the individual chambers are vacuum-tight join together. 4· Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, 4. Device according to claim 2, characterized in that daß die einzelnen Y/erkstückkammern durch Ausnehmun ßen in einem als ganzem verschieobaren Magazinkörper gebildet sind. that the individual Y / Erkstückkammern are formed by Ausnehmun ßen in a magazine body that can be moved as a whole. 5· Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Magazinkörper ringförmig gestaltet ist.5. Device according to claim 4, characterized in that that the magazine body is designed ring-shaped. 6. Vorrichtung nach Anspruch 2, 4 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehachse des Mr.gazinringes senkrecht zur Achse des Strahlerzeugung-,gerätes steht.6. Apparatus according to claim 2, 4 and 5, characterized in that the axis of rotation of the Mr.gazinringes is perpendicular to the axis of the beam generating device. 7. Vorrichtung nach Anspruch 2, 4 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehachse des Magazinringes parallel zur Achse des Strahleraeugungsgerätes steht.7. Apparatus according to claim 2, 4 and 5, characterized in that that the axis of rotation of the magazine ring is parallel to the axis of the Strahleraeugungsgerätes. δ. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1.bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Strahlerzeugungsgerät mit einem an sich bekannten Druckstufensystem ausgestattet ist.δ. Device according to one or more of claims 1 to 7, characterized in that the beam generating device is equipped with a known compression system. §. Vorrichtung .nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 "bis 7» gekennzeichnet durch eine zur vakuumdichten Verschiebung des Strahlerzeugungsgerätes gegenüber dorn feßtctchonden Werkstück dienende Bewegungsvorrichtung. §. Device .according to one or more of the claims 1 "to 7» marked by a for vacuum-tight Displacement of the beam-generating device in relation to the moving device serving to move the workpiece. 1.0. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß jede Werkstückkaramer Kittel euro gewogen "des Werkstückes relativ zum1.0. Device according to one or more of the claims 1 to 7, characterized in that each workpiece karamer Kittel euro weighed "of the workpiece relative to the /
Ladungsträgerstrahl enthält.
/
Contains charge carrier beam.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch rekennzeichnet, daß vakuumdichte Durchführungen zur Steuerung der Werkstüclcbewegung vorgesehen sind.11. The device according to claim 10, characterized in that that vacuum-tight bushings are provided for controlling the movement of the workpiece.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2010063436A1 (en) * 2008-12-01 2010-06-10 All Welding Technologies Ag Apparatus for machining workpieces under a vacuum, with a housing base which is rotatable in relation to the housing

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