DE19952314A1 - Sensor, insbesondere Sensor mit planarer wirksamer Sensorfläche - Google Patents
Sensor, insbesondere Sensor mit planarer wirksamer SensorflächeInfo
- Publication number
- DE19952314A1 DE19952314A1 DE19952314A DE19952314A DE19952314A1 DE 19952314 A1 DE19952314 A1 DE 19952314A1 DE 19952314 A DE19952314 A DE 19952314A DE 19952314 A DE19952314 A DE 19952314A DE 19952314 A1 DE19952314 A1 DE 19952314A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- sensor
- nanostructured
- lotus leaf
- temperature
- direct contact
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y15/00—Nanotechnology for interacting, sensing or actuating, e.g. quantum dots as markers in protein assays or molecular motors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B17/00—Methods preventing fouling
- B08B17/02—Preventing deposition of fouling or of dust
- B08B17/06—Preventing deposition of fouling or of dust by giving articles subject to fouling a special shape or arrangement
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B17/00—Methods preventing fouling
- B08B17/02—Preventing deposition of fouling or of dust
- B08B17/06—Preventing deposition of fouling or of dust by giving articles subject to fouling a special shape or arrangement
- B08B17/065—Preventing deposition of fouling or of dust by giving articles subject to fouling a special shape or arrangement the surface having a microscopic surface pattern to achieve the same effect as a lotus flower
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/6845—Micromachined devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K1/00—Details of thermometers not specially adapted for particular types of thermometer
- G01K1/14—Supports; Fastening devices; Arrangements for mounting thermometers in particular locations
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
- G01K7/16—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P5/00—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft
- G01P5/10—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft by measuring thermal variables
- G01P5/12—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft by measuring thermal variables using variation of resistance of a heated conductor
Abstract
Die Erfindung betrifft einen Sensor, insbesondere einen Sensor mit planarer wirksamer Sensoroberfläche, zur direkten Berührung mit dem Meßmedium, gemäß Oberbegriff des Patentanspruches 1. Um hierbei zu erreichen, daß die Sensoroberfläche bzw. die Oberflächen der darauf aufgebrachten Passivierungsschicht deutlich weniger schmutzanfällig ist, ist erfindungsgemäß vorgeschlagen, daß die Sensoroberfläche mit einer nanostrukturierten, adhäsivitätsreduzierten, nach Art einer Lotusblattoberfläche strukturierten Oberfläche oder Passivierungsschicht beschichtet ist.
Description
Die Erfindung betrifft einen Sensor, insbesondere einen Sensor mit planarer wirksamer
Sensorfläche, zur direkten Berührung mit dem Meßmedium, gemäß Oberbegriff des
Patentanspruches 1.
Aus dem Stand der Technik sind Temperaturfühler in planarer Ausgestaltung bekannt.
Zur Temperaturmessung werden bspw. sogenannte Thermopaarelemente eingesetzt,
die aus paarweise verknüpften Metallen bestehen. Hierbei wird zumeist ein reines
Metall sowie deren Legierung an einer Kontaktstelle zusammengebracht. Mit dem
Kontakt gleichen sich die Fermienergieen, das heißt, die höchsten
Besetzungsenergien im elektronischen Gitter des Metalles an. Beide
Metallkomponenten verhalten sich jedoch bei ansteigender Temperatur
unterschiedlich. Dies liegt an der elektronischen Struktur im jeweiligen metallischen
Gitter. Da die Temperatur bzw die elektronischen Zustände innerhalb des jeweiligen
Metalles unterschiedlich sind, kommt es zwischen den beiden besagten
Metallkomponenten zu einer elektrischen Spannung, die temperaturabhängig ist.
Solche Temperaturfühler sind in der Regel sehr träge, haben aber den Vorteil, daß sie
nahezu unabgeschirmt dem Meßmedium direkt ausgesetzt werden können. Dies liegt
daran, daß die eigentlich sensitive Grenzfläche die geschmolzene Trennfläche
zwischen beiden Metallen ist. Diese ist somit naturgemäß nicht dem Meßmedium
ausgesetzt und auch nicht der Korrosion unterworfen. Bei langzeitigem Aussetzen
aggressiver Medien wird jedoch die anfangs nur oberflächlich wirkende chemische
Reaktion tiefenwirksam und es kommt zur Diffusionen von Metallionen in die
Grenzfläche. Auch in diesem Falle werden solche einfachen Thermopaarfühler mit der
Zeit angegriffen und die Thermospannungsergebnisse, und damit die daraus
resultierenden Temperaturwerte sind nicht mehr zuverlässig.
Zur Realisierung schnell ansprechender Thermometer werden vielfach
Temperaturwiderstände benutzt, welche als Leiterbahnen auf dünne keramische oder
isolierende Schichten aufgebracht werden. Das Widerstandselement ist dabei als
dünner metallischer Leitpfad mäanderförmig auf den besagten Isolator aufgebracht.
Durch die Tatsache, daß der Widerstandsdraht sehr dünn ist, reagiert derselbe auch
deutlich schneller auf Temperaturwechsel bzw. nimmt deutlich schneller
Temperaturänderungen an. Das Drahtmaterial selber ist dabei normales Drahtmaterial
mit dem üblichen temperaturabhängigen Widerstandszuwachs, wie er in der Regel bei
metallischen Leitern vorliegt.
Darüber hinaus sind sogenannte Dünnfilmmeßwiderstände beispielsweise aus der DE 90 06 967 U1
beim Einsatz in einem Anemometer bekannt. Das Substratmaterial ist
dabei ein elektrisch isolierender Werkstoff mit kleiner spezifischer Wärmekapazität, auf
welchem ein Metallfilm, vorzugsweise aus Platin, aufgebracht ist und der zu
erreichende elektrische Widerstand anschließend durch errosive Nachbearbeitung
strukturiert und getrimmt wird. Oftmals werden solche Dünnfilmmeßwiderstände
abschließend passiviert, indem man eine dünne Schutzschicht aus Siliziumoxyd
aufbringt. Die besagten Deckschichten sind dabei schlüssig und eben und haben eine
annähernd glasartige Oberfläche. Mit einer solchen Passivierung will man erreichen,
daß die Sensoren auch aggressiven Medien ausgesetzt werden können und
gegenüber diesen resistent sind.
Werden solche Sensoren jedoch dem Meßmedium ausgesetzt, so ist die Verhinderung
einer chemisch reaktiven Oberflächenreaktion ein Thema. Ein anderes Thema und
damit auch ein anderes Problem ist jedoch die Tatsache, daß die Oberflächen im
Meßmedium verschmutzen können. Die Adsorption dünner Schmutzfilme
verschlechtert dabei die thermische Ankopplung ganz enorm. Je nach Einsatzgebiet
und nach Adhäsivität der im Meßmedium vorkommenden Gase oder Aerosole hängt
die mittlere Betriebszeit eines solchen Sensors, innerhalb der noch adäquate
Meßergebnisse erzielt werden können, davon ab. Ein Reinigungsvorgang mit Wasser
oder Wasserdampf bewirkt ohne zusätzlichen mechanischen oder chemischen Eingriff
keine hinreichende Reinigung der Sensoroberflächen bzw. der
Passivierungsoberflächen.
Der Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, einen Sensor der gattungsgemäßen
Art dahingehend weiterzubilden, daß die Sensoroberflächen bzw. die Oberflächen der
darauf aufgebrachten Passivierungsschicht deutlich weniger schmutzanfällig ist.
Die gestellte Aufgabe wird bei einem Sensor der gattungsgemäßen Art
erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruches 1
gelöst.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den abhängigen
Ansprüchen 2 bis 6 angegeben.
Kern der Erfindung ist hierbei, daß die Sensoroberfläche mit einer nanostrukturierten,
adhäsivitätsreduzierten, nach Art einer Lotusblattoberfläche strukturierten Oberfläche
beschichtet ist. Von der Lotusblattoberfläche weiß man, daß Mikrostrukturen im
Mikrometer- und Nanometerbereich die Adhäsivität auf den Oberflächen nahezu
eliminiert. Das heißt, selbst pastöse, ansonsten extrem stark anhaftende Substanzen
können an dieser Oberfläche nicht bleibend haften. Da aus diesem Grunde auch
Wasser auf der Oberfläche nicht haften kann, bewirkt allein die Benetzung
beispielsweise von Wasserdampf, daß zufällig, vielleicht nur statisch anhaftende
Partikel sofort von der Oberfläche wegfließen.
Solche nanostrukturierten adhäsivitätsreduzierten Oberflächen können dabei entweder
in Form spezieller Lacke aufgetragen werden, die beim Aushärten eine entsprechend
strukturierte Oberfläche bilden oder durch Beschichtungen, die mit einer Ionenkanone
oder einem Elektronenstrahl oder einem Laserstrahl nachträglich mikrostrukturiert
werden.
In erfindungsgemäßer Ausgestaltung ist dabei ein Sensor vorgehen, der als
Temperatursensor ausgebildet ist.
Eine weitere Ausgestaltungsmöglichkeit ist, den Sensor für eine
Anemometeranordnung in der entsprechenden Weise zu bestimmen bzw. zu
strukturieren.
In weiterer vorteilhafter Ausgestaltung ist vorgegeben, daß der Sensor ohne
Schutzhülle dem Meßmedium direkt ausgesetzt ist.
Solche Dünnfilmmeßwiderstände haben aufgrund ihrer geringen spezifischen
Wärmekapazität und ihrer direkten Aussetzung zum Meßmedium eine sehr schnelle
Temperaturführung. Mit anderen Worten sind die besagten Temperaturmeßelemente
nicht träge sondern relativ flink.
In weiterer vorteilhafter Ausgestaltung ist angegeben, daß zur Realisierung höherer
Temperaturen die nanostrukturierte Schicht aus nanostrukturierter Keramik besteht.
Dabei können natürlich auch keramische Lacke verwendet werden, die nicht
nachträglich nanostrukturiert werden müssen, sondern nach dem
Austrocknungsvorgang aufgrund ihrer Materialeigenschaft ihre Oberfläche selbständig
zerklüften, in der beschriebenen nanostrukturierten Weise mit dem beschriebenen
Lotusblatteffekt.
In weiterer Ausgestaltung können jedoch auch temperaturfeste Polymere eingesetzt
werden, die entweder nachträglich mikrostrukturiert werden oder durch eine
entsprechende Beigabe nach Auftragen derselben beim Austrocknen
mikrostrukturieren.
Im Meßeinsatz bedeutet dies, daß beispielsweise bei der Messung in Rauchgas die
Sensoroberflächen bei herkömmlichen Sensoren extrem schnell verschmutzen. Dies
führt dazu, daß die Sensoren zumeist dem Meßmedium gar nicht direkt ausgesetzt
werden können. Der vorliegende erfindungsgemäße Sensor kann dies jedoch und die
ansonsten extrem stark haftenden Rußpartikel bleiben, wenn überhaupt, nur
oberflächlich temporär abgeschieden, werden jedoch von dem im Rauchgas
vorhandenen Wasserdampf wieder von der besagten Oberfläche, an der sie ohnehin
kaum Adhäsion aufbringen, abgelöst. Der Sensor ist sozusagen im Einsatz strömender
Medien absolut selbstreinigend.
Damit lassen sich chemisch resistente Sensoren dieser Art in extrem einfacher Weise
fertigen und ihre Meßgenauigkeit über die Betriebsdauer hin bleibt erhalten und das
Meßergebnis weiterhin zuverlässig.
Die Erfindung ist in einem Ausführungsbeispiel in der Zeichnung dargestellt und
nachfolgend beschrieben.
Die Abbildung zeigt einen Sensor 1 als Temperaturmeßwiderstand, nach Art eines
Dünnfilmsensors. Hierbei ist der Sensor 1 bzw der Temperaturmeßwiderstand in
Mäanderform als dünne Leiterbahnen auf einen keramischen Träger 10 mit kleiner
spezifischer Wärmekapazität aufgebracht. Hierzu ist dann in erfindungsgemäßer
Weise die Sensoroberfläche, d. h. der Temperaturmeßwiderstand 1 mit einer
nanostrukturierten adhäsivitätsreduzierten Passivierungsschicht 2 beschichtet, nach
Art einer Lotusblattoberfläche. Dieses ist wegen des zu erhaltenden guten thermischen
Durchgangs natürlich weiterhin auch extrem dünn auszuführen. Dem Meßmedium ist
dabei die nanostrukturierte Passivierungsschicht 2 in der besagten Weise zugewandt.
Dünnfilmwiderstände dieser Art können als Temperatursensor oder in einer
Anemometeranordnung zum Einsatz kommen. Der Sensor kann direkt dem
Meßmedium ausgesetzt werden und bedarf keiner Schutzhülle. Die Schutz- oder
Passivierungsschichten selbst können dabei entweder aus keramischen Werkstoffen
oder aus temperaturfesten Polymeren bestehen. Es wäre auch denkbar, die ansonsten
verwendeten Siliziumoxydoberflächen durch eine entsprechende Nachbehandlung wie
oben bereits dargestellt, an der der dem Meßmedium zugewandten Oberfläche in der
angegebenen Weise zu nanostrukturieren, um den Lotusblatteffekt auch mit diesem
bekannten Materialkomposit zu erreichen.
Claims (6)
1. Sensor, insbesondere Sensor mit planarer wirksamer Sensoroberfläche, zur
direkten Berührung mit dem Meßmedium,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Sensoroberfläche bzw der Sensor (1) mit einer nanostrukturierten
adhäsivitätsreduzierten, nach Art einer Lotusblattoberfläche strukturierten
Oberfläche oder Passivierungsschicht (2) beschichtet ist.
2. Sensor nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Sensor (1) ein Temperatursensor ist.
3. Sensor nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Sensor (1) für eine Anemometeranordnung bestimmt ist.
4. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Sensor (1) ohne Schutzhülle dem zu messenden Medium ausgesetzt ist.
5. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß zur Realisierung höhere Temperaturen die nanostrukturierte
Passivierungsschicht (2) aus nanostrukturierter Keramik besteht.
6. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß zur Realisierung höherer Temperaturen die nanostrukturierte
Passivierungsschicht (2) aus temperaturfestem Polymerwerkstoff besteht.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19952314A DE19952314C2 (de) | 1999-10-29 | 1999-10-29 | Sensor, insbesondere Sensor mit planarer wirksamer Sensorfläche |
US09/865,116 US20020175802A1 (en) | 1999-10-29 | 2001-05-24 | Sensor with a planar effective sensor surface |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19952314A DE19952314C2 (de) | 1999-10-29 | 1999-10-29 | Sensor, insbesondere Sensor mit planarer wirksamer Sensorfläche |
US09/865,116 US20020175802A1 (en) | 1999-10-29 | 2001-05-24 | Sensor with a planar effective sensor surface |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19952314A1 true DE19952314A1 (de) | 2001-05-17 |
DE19952314C2 DE19952314C2 (de) | 2002-06-20 |
Family
ID=26055411
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19952314A Expired - Fee Related DE19952314C2 (de) | 1999-10-29 | 1999-10-29 | Sensor, insbesondere Sensor mit planarer wirksamer Sensorfläche |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20020175802A1 (de) |
DE (1) | DE19952314C2 (de) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10123040A1 (de) * | 2001-05-11 | 2002-11-21 | Bosch Gmbh Robert | Sensor zur Messung der Viskosität einer Flüssigkeit |
DE10142802A1 (de) * | 2001-08-31 | 2003-03-20 | Bosch Gmbh Robert | Verschmutzungssicherer Sensor |
DE10202513A1 (de) * | 2002-01-23 | 2003-08-07 | Infineon Technologies Ag | Selbstreinigende Oberflächen für bildgebende Sensoren |
WO2003090824A2 (en) * | 2002-04-26 | 2003-11-06 | Glaxo Group Limited | Medicament dispenser |
EP1430530B1 (de) * | 2001-05-14 | 2009-09-02 | M.Pore Gmbh | Wärmetauscher |
DE102014105483A1 (de) * | 2014-04-17 | 2015-10-22 | Heraeus Sensor Technology Gmbh | Sensorelement, Sensormodul, Messanordnung und Abgasrückführsystem mit einem solchen Sensorelement sowie Herstellungsverfahren |
DE102015206617A1 (de) | 2015-04-14 | 2016-10-20 | Robert Bosch Gmbh | Sensor und Verfahren zu seiner Herstellung |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10356752A1 (de) | 2003-12-04 | 2005-06-30 | Roche Diagnostics Gmbh | Beschichtete Testelemente |
US7798017B2 (en) * | 2005-07-14 | 2010-09-21 | Systec Controls Mess-Und Regelungstechnik Gmbh | Ram pressure probe having two ducts and a differential pressure increasing element |
US7954230B2 (en) * | 2007-11-29 | 2011-06-07 | Delphi Technologies, Inc. | Method for making soot sensor |
JP5713293B2 (ja) * | 2011-10-27 | 2015-05-07 | 株式会社アンド | ワイヤリング装置 |
DE102015013947A1 (de) | 2015-10-29 | 2017-05-04 | Audi Ag | Beleuchtungsvorrichtung für ein Kraftfahrzeug |
US10209709B2 (en) | 2016-08-15 | 2019-02-19 | Ford Global Technologies, Llc | LIDAR sensor frost detection |
CN108780495A (zh) * | 2017-02-10 | 2018-11-09 | 深圳市汇顶科技股份有限公司 | 生物传感器 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5352493A (en) * | 1991-05-03 | 1994-10-04 | Veniamin Dorfman | Method for forming diamond-like nanocomposite or doped-diamond-like nanocomposite films |
WO1997015818A1 (fr) * | 1995-10-27 | 1997-05-01 | Schlumberger Industries S.A. | Filtre fabry-perot accordable pour determiner une concentration de gaz |
DE19709165A1 (de) * | 1997-03-06 | 1998-01-15 | Daimler Benz Ag | Verwendung von Nano-Partikeln zur Oberflächenbehandlung |
DE19748725A1 (de) * | 1997-11-05 | 1999-05-06 | Thomas Dipl Ing Frank | Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung und Bewuchsverhinderung der Meßflächen von in Fluiden befindlichen Sensoren |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE9006967U1 (de) * | 1990-06-22 | 1991-10-24 | Sensycon Gesellschaft Fuer Industrielle Sensorsysteme Und Prozessleittechnik Mbh, 3000 Hannover, De |
-
1999
- 1999-10-29 DE DE19952314A patent/DE19952314C2/de not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-05-24 US US09/865,116 patent/US20020175802A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5352493A (en) * | 1991-05-03 | 1994-10-04 | Veniamin Dorfman | Method for forming diamond-like nanocomposite or doped-diamond-like nanocomposite films |
WO1997015818A1 (fr) * | 1995-10-27 | 1997-05-01 | Schlumberger Industries S.A. | Filtre fabry-perot accordable pour determiner une concentration de gaz |
DE19709165A1 (de) * | 1997-03-06 | 1998-01-15 | Daimler Benz Ag | Verwendung von Nano-Partikeln zur Oberflächenbehandlung |
DE19748725A1 (de) * | 1997-11-05 | 1999-05-06 | Thomas Dipl Ing Frank | Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung und Bewuchsverhinderung der Meßflächen von in Fluiden befindlichen Sensoren |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10123040A1 (de) * | 2001-05-11 | 2002-11-21 | Bosch Gmbh Robert | Sensor zur Messung der Viskosität einer Flüssigkeit |
EP1430530B1 (de) * | 2001-05-14 | 2009-09-02 | M.Pore Gmbh | Wärmetauscher |
DE10142802A1 (de) * | 2001-08-31 | 2003-03-20 | Bosch Gmbh Robert | Verschmutzungssicherer Sensor |
DE10202513A1 (de) * | 2002-01-23 | 2003-08-07 | Infineon Technologies Ag | Selbstreinigende Oberflächen für bildgebende Sensoren |
DE10202513B4 (de) * | 2002-01-23 | 2006-03-30 | Infineon Technologies Ag | Selbstreinigende Oberflächen für bildgebende Sensoren |
WO2003090824A2 (en) * | 2002-04-26 | 2003-11-06 | Glaxo Group Limited | Medicament dispenser |
WO2003090824A3 (en) * | 2002-04-26 | 2004-01-29 | Glaxo Group Ltd | Medicament dispenser |
DE102014105483A1 (de) * | 2014-04-17 | 2015-10-22 | Heraeus Sensor Technology Gmbh | Sensorelement, Sensormodul, Messanordnung und Abgasrückführsystem mit einem solchen Sensorelement sowie Herstellungsverfahren |
US11506526B2 (en) | 2014-04-17 | 2022-11-22 | Heraeus Nexensos Gmbh | Sensor element, sensor module, measuring assembly and exhaust-gas re-circulation system comprising a sensor element of this type, and production method |
DE102015206617A1 (de) | 2015-04-14 | 2016-10-20 | Robert Bosch Gmbh | Sensor und Verfahren zu seiner Herstellung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE19952314C2 (de) | 2002-06-20 |
US20020175802A1 (en) | 2002-11-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE19952314C2 (de) | Sensor, insbesondere Sensor mit planarer wirksamer Sensorfläche | |
EP0019135B1 (de) | Messonde zur Verwendung bei der Messung der Temperatur oder Masse eines strömenden Mediums und Verfahren zu ihrer Herstellung | |
DE3301659A1 (de) | Fluidleckage-nachweiselement | |
CH663844A5 (de) | Thermischer massendurchflussmesser, insbesondere fuer gase. | |
EP2089696A1 (de) | Sensoranordnung | |
DE2407081A1 (de) | Verfahren zum nachweis der bildung von anhaftenden niederschlaegen auf in fluessigkeiten eingetauchten oberflaechen | |
DE3231345C3 (de) | Verfahren zur Herstellung von Sonden zur Messung der Masse und/oder Temperatur eines strömenden Mediums | |
AT403851B (de) | Widerstandsthermometer mit einem messwiderstand | |
DE19753642A1 (de) | Elektrischer Widerstand mit wenigstens zwei Anschlußkontaktfeldern auf einem Keramik-Substrat sowie Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE3519576C2 (de) | ||
DE102004043122A1 (de) | Sensorelement für Partikelsensoren und Verfahren zur Herstellung desselben | |
DE19941420A1 (de) | Elektrischer Widerstand mit wenigstens zwei Anschlußkontaktfeldern auf einem Substrat mit wenigstens einer Ausnehmung sowie Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE102015100421A1 (de) | NOx Sensor | |
EP3057707B1 (de) | Messanordnung mit einem trägerelement und einem sensor | |
EP3132144B1 (de) | Sensorelement, sensormodul, messanordnung und abgasrückführsystem mit einem solchen sensorelement sowie herstellungsverfahren | |
DE102019201167A1 (de) | Thermischer erfassungssensor | |
DE102015112018B3 (de) | Magnetisch-induktives Durchflussmessgerät zur Messung der Durchflussgeschwindigkeit oder dem Volumendurchfluss von Medien in einer Rohrleitung und Verfahren zur Herstellung eines solchen Durchflussmessgeräts | |
DE19917717C2 (de) | Kapazitiver Feuchtesensor | |
DE102018130547A1 (de) | Sensorelement, Verfahren zu dessen Herstellung und thermischer Strömungssensor | |
DE19816941A1 (de) | Temperatursensor und Verfahren zu seiner Herstellung | |
EP0447596B1 (de) | Temperaturfühler | |
DE102019216129A1 (de) | Sensor mit verstärkter Membran zur Konzentrationsmessung eines Analysefluids | |
DE4417679C1 (de) | Heißfilmfolie für strömungstechnische Messungen und Verfahren zu ihrer Herstellung | |
DE4243410C2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Dünnfilmmeßwiderstandes | |
DE19506863A1 (de) | pH-Sensor in Dickschichttechnik und Verfahren zu seiner Herstellung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: ABB PATENT GMBH, 68526 LADENBURG, DE |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: ABB AG, 68309 MANNHEIM, DE |
|
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |