DE19949912A1 - Vorrichtung für eine Kraftübersetzung, Verfahren zu deren Herstellung und deren Verwendung - Google Patents

Abstract

Eine Vorrichtung für eine Kraftübersetzung, ein Verfahren zu deren Herstellung und deren Verwendung, bei der ein kleiner Hub mit großer Kraft in einen großen Hub übersetzt werden soll. DOLLAR A Erreicht wird dies durch eine Gehäuseschale mit starren Seitenwänden, mit zwei unterschiedlich großen Öffnungen, wobei die größere von einem Antrieb zur Krafterzeugung verschlossen ist und die kleinere als Kraftauskoppelfenster dient und einem elastischen Feststoff, der als Übertragungsmedium zur Kraftübertragung vom Antrieb zur Krafterzeugung auf das Fenster dient. DOLLAR A Vorteilhaft ist die Verwendung in Ventilen oder Pumpen.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung für eine Kraftüberset­ zung nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1, ein Verfahren zu deren Herstellung und deren Verwendung.

Für den Antrieb von Komponenten der Mikrosystemtechnik wurden verschiedene Aktoren entwickelt. So wird z. B. in dem Artikel "Micro liquid dosing system" von R. Roßberg, B. Schmidt und S. Büttgenbach in der Zeitschrift Microsystem Technologies 2 auf den Seiten 11 bis 16, die im Dezember 1995 erschienen ist, ein piezoelektrischer Antrieb für kleine Ventile beschrieben. Durch Anlegen einer Spannung dehnt sich eine piezoaktive Kera­ mikscheibe aus. Die Keramikscheibe ist auf einer nicht piezoak­ tiven Scheibe angebracht, so daß aus der Dehnung der piezoakti­ ven Keramik eine Wölbung wird. Diese Wölbung wird genutzt, eine Ventilöffnung zu verschließen bzw. freizugeben.

Nachteilig bei dieser Art des Antriebs ist, daß eine piezoaktive Scheibe sich bei einer kleinen Bauweise nur um wenige Mikrometer auswölbt und relativ leicht zerbricht.

Ein elektrostatischer Antrieb ist z. B. in dem Beitrag "A New Bistable Microvalve Using an SiO₂ Beam as the Movable Part" von J. H. Babaei, R.-S. Huang, Ch. Y. Kwok in den Proceedings der Kon­ ferenz Actuator '94 auf den Seiten 34 bis 37 beschrieben. Eine ausgewölbte Membran wird durch Anlegen einer elektrischen Span­ nung bewegt, um einen Ventilsitz zu verschließen bzw. zu öffnen.

Nachteilig bei dieser Art des Antriebs ist jedoch, daß elektro­ statischen Kräfte nur bei einem sehr geringen Abstand der Elek­ troden groß genug sind, um ein Ventil zu schalten. Deshalb ist der Hub des Ventiles nur sehr klein und es kann kein großer Durchfluß durch das Ventil erreicht werden.

Weitere Antriebe, bei denen zwar eine verhältnismäßig große Kraft erzeugt wird, aber nur ein kleiner Stellweg erreicht wer­ den kann, sind die thermische Dehnung von Bauteilen und der Formgedächtniseffekt, wie sie z. B. in dem Beitrag von H. Jerman "Electrically-Activated, Normally-Closed Diaphragm Valves" im Digest of technical papers der Konferenz Transducers '91 auf den Seiten 1045 bis 1048 beschrieben sind, bzw. in dem Artikel von K. D. Skrobanek, M. Kohl und S. Miyazaki mit dem Titel "Stress- Optimised Shape Memory Microvalves", der in den Proceedings des 10^th Annual International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS'97 auf den Seiten 256 bis 261 erschienen ist.

Ein als Hydraulik bekanntes Verfahren der Technik ist es, mit einem flüssigen Übertragungsmedium in einem festen Gehäuse einen kleinen Hub mit großer Kraft in einen großen Hub mit ver­ minderter Kraft zu übersetzen. Nachteilig bei diesem Verfahren ist jedoch, daß sich sehr kleine Gehäuse nur schwer blasenfrei mit einer Flüssigkeit füllen lassen und daß nur sehr schwer da­ für Sorge getragen werden kann, daß während des Betriebs einer sehr kleinen Hydraulik keine Flüssigkeit aus dem Gehäuse wieder austritt. Schon sehr kleine Gasblasen oder Hohlräume führen dazu, daß die Funktion einer kleinen Hydraulik nachhaltig ge­ stört wird.

In dem deutschen Patent DE 44 02 119 C2 ist ein Verfahren zur Verklebung von Mikromembranpumpen beschrieben, bei dem Gehäuse­ schalen justiert auf eine Membran geklebt werden, indem Hohl­ räume mit einem Klebstoff gefüllt werden. Dieses Verfahren ist nicht für die Herstellung einer Kraftübersetzung geeignet, weil der Klebstoff zu einer festen Masse aushärtet und danach nicht mehr flexibel ist.

Aufgabe Erfindung ist es, eine Vorrichtung für eine Kraftüber­ setzung so auszugestalten, daß ein kleiner Hub mit großer Kraft in einen großen Hub übersetzt wird sowie ein Verfahren zu ihrer Herstellung anzugeben.

Gelöst wird diese Aufgabe durch die Merkmale der Patentansprüche 1 und 7. Die übrigen Ansprüche beschreiben vorteilhafte Ausge­ staltungen oder nennen vorteilhafte Verwendungen der Erfindung.

Ein besonderer Vorteil der Erfindung besteht darin, daß keine Gefahr besteht, daß Gasblasen oder Hohlräume, die Funktion der Kraftübersetzung stören, oder daß Übertragungsmedium aus dem Ge­ häuse austritt.

Die Erfindung wird im folgenden anhand von den Fig. 1 bis 10 und von fünf Ausführungsbeispielen näher erläutert. Dabei zeigen die Figuren schematisch den Aufbau bzw. die Funktionsweise der gefertigten Produkte bzw. einzelne Stadien während deren Her­ stellung. Die Figuren sind nicht maßstäblich gezeichnet, um sehr dünne bzw. kleine Strukturen neben vergleichsweise großen Strukturen deutlich werden zu lassen. In den Anwendungsbeispie­ len werden Antriebe durch eine piezoelektrische Keramikscheibe beschrieben, es ist aber auch möglich, die hier beschriebene Kraftübersetzung mit anderen Antrieben einzusetzen wie z. B. elektrostatischen Antrieben oder mit Antrieben, deren Funktion auf der thermischen Dehnung oder dem Formgedächtniseffekt be­ ruht.

Das erste Anwendungsbeispiel beschreibt die Herstellung und Funktion von Ventilen mit Kraftübersetzung, bei denen Silikon als Übertragungsmedium eingesetzt wird. In den Figuren sind der Übersichtlichkeit wegen nur zwei Ventile dargestellt, die paral­ lel gefertigt werden. Es können aber viel mehr Ventile parallel hergestellt werden.

Mit dem bekannten Verfahren des Mikrospritzgusses wurden 1,5 mm dicke Gehäuseschalen 2 hergestellt. Dabei wurden immer mehrere Gehäuseschalen in einem Werkstück nebeneinander parallel gefer­ tigt. Diese Gehäuseschalen weisen Öffnungen 4 mit einem Durch­ messer von 4 mm und konischen Öffnungen 6 mit einem Durchmesser von 8-12 mm auf. Das Volumen der Gehäuseschalen liegt bei ei­ ner Höhe zwischen 1 und 15 mm, im Kubikzentimeterbereich. In die Öffnungen 6 wurden 400 µm dicke piezoelektrische Keramikschei­ ben 7 als Antrieb zur Krafterzeugung mit einem Durchmesser von 10 mm eingelegt, auf denen 200 µm dicke VA-Stahlplatten aufge­ klebt waren. Die Gehäuseschalen 2 wurden so zwischen zwei ebene Platten 9 aus PTFE eingespannt, daß die Öffnungen 4 und 6 ver­ schlossen wurden. Fig. 1 zeigt diesen Verfahrensschritt als Schnittbild entlang der Linie A-A in Fig. 3.

Durch einen Kanal 8 wird dann, wie in Fig. 2 gezeigt, ein han­ delsübliches Silikon in flüssiger Form zugeführt, sodaß alle Hohlräume zwischen den Platten 9 und den Gehäuseschalen 2 bla­ senfrei befüllt werden. Dabei ist der Kanal 8 über in den Figu­ ren nicht dargestellte Zuführungen mit den Öffnungen 4, 6 ver­ bunden. Der aus zwei Komponenten bestehende, kalt vulkanisie­ rende Silikonkautschuk wird vor der Befüllung angerührt und här­ tet nach dem Befüllen zu einem viskoelastischen Feststoff 1 aus. Fig. 3 zeigt eine Aufsicht auf das Werkstück im hier beschrie­ benen Fertigungszustand. Fig. 2 stellt einen Schnitt entlang der Linie B-B in Fig. 3 dar. Das Silikon 1 verklebt die piezo­ elektrischen Keramikscheiben 7 mit den Gehäuseschalen 2, haftet aber nicht auf den PTFE-Platten 9.

Auf die Gehäuse 2 werden positioniert zu der Öffnung 4 Gehäuse­ schalen 10 angebracht, in denen sich Öffnungen für den Ven­ tilauslaß 12 und den Ventileinlaß 11 befinden, wobei eine der beiden Öffnungen 11 oder 12 mittig unter der Öffnung 4 angeord­ net ist. Die Öffnungen 11 und 12 münden in einer zylindrischen Ausnehmung in der Gehäuseschale 10 unterhalb der Öffnung 4. Die so miteinander verbundenen Gehäuseschalen 2 und 10 werden mit einer Säge zerteilt, so daß einzelne Ventile entstehen. Fig. 4a zeigt in einer Schnittzeichnung ein Ventil, das geöffnet ist, wenn keine elektrische Spannung an der piezoelektrischen Scheibe 7 angelegt ist. Die elektrischen Anschlüsse sind in den Figuren nicht dargestellt, sie erfolgen analog zum Anwendungs­ beispiel 2. Durch Anlegen einer elektrischen Spannung von 200 V (Fig. 4b) wölbt sich die piezoelektrische Scheibe 7 in ihrer Mitte um 5 µm nach unten aus. Dadurch wölbt sich das Silikon um 25 µm aus der Öffnung 4 aus und schließt die Ventileinlaßöff­ nung 11. Der Hub der Bewegung der Aktorscheibe 7 führt damit zu einer um einen Faktor 5 vergrößerten Auswölbung des Silikons 1 aus der Öffnung 4 im Gehäuse 2 heraus. Die Befestigung der pie­ zoelektrischen Keramikscheibe 7 am Übertragungsmedium 1 aus Si­ likon hat auch den Vorteil, daß Stöße, die von außen auf das Ventil wirken, durch das Silikon gedämpft werden und daß die piezoelektrische Keramikscheibe 7 deshalb nicht so leicht be­ schädigt werden kann.

Es ist auch möglich, die dafür vorgesehenen Hohlräume mit dem Übertragungsmedium 1 zu befüllen und erst dann die piezoaktive Keramikscheibe 7 im Bereich der Öffnungen 6 anzubringen.

Das zweite Anwendungsbeispiel beschreibt die Herstellung eines Ventils mit Kraftübersetzung, das ohne Energiezufuhr geschlossen ist. Die Form des Übertragungsmediums wird unter anderem durch eine Druckdifferenz eingestellt. Auch in diesem Fall werden in der Regel mehrere Ventile parallel gefertigt. In den Fig. 5, 6 und 7 ist der Übersichtlichkeit wegen nur ein Ventil darge­ stellt.

Mit dem bekannten Verfahren des Mikrospritzgusses wurden 1,5 mm dicke Gehäuseschalen 2 hergestellt. Dabei wurden immer mehrere Gehäuseschalen in einem Werkstück nebeneinander parallel gefer­ tigt. Diese Gehäuseschalen weisen Öffnungen 4 mit einem Durch­ messer von 8 mm und Öffnungen 6 mit einem Durchmesser von 11 mm auf. Ein Draht 15 für den elektrischen Anschluß der piezoelek­ trischen Keramikscheibe 7 wird in einen dafür vorgesehenen Ka­ nal 13 gelegt und mit einem flexiblen, elektrisch leitfähigen Klebstoff 17 wird der Draht eingeklebt und die piezoelektrische Keramikscheibe 7 fixiert. Die elektrische Kontaktierung an der anderen Seite der Keramikscheibe 7 wurde mit einem angelöteten Draht 16 hergestellt.

Auf das Gehäuseteil 2 wurde nun auf der Seite der Öffnung 4 eine Membran 3 aus 10 µm dicker handelsüblicher PTFE-Folie aufge­ klebt. Auf der außen liegenden Seite der Membran 3 wird ein Ge­ häuseteil 10 so positioniert, daß sich die Ventilkammer 14 unter der Mitte der Öffnung 4 in der Gehäuseschale 2 befindet und mit Epoxydharzkleber befestigt. Die Ventilkammer 14 ist torusförmig ausgebildet und umschließt den Ventileinlaß 11.

Durch einen hier nicht dargestellten Kanal 8 wird dann ein han­ delsübliches Silikon in flüssiger Form so zugeführt, daß der Hohlraum, der aus der piezoelektrischen Keramikscheibe 7, der Gehäuseschale 2 und der Membran 3 gebildet wird, blasenfrei be­ füllt wird. Das so zugeführte Übertragungsmedium 1 wird solange unter einem Druck von 0,8 bar gehalten, bis es ausgehärtet ist. Durch diesen Überdruck wölbt sich die Membran 3 aus der Öff­ nung 4 heraus. Ein Gehäuseteil 10 wird auf die nach außen wei­ sende Seite der Membran 3 geklebt, sodaß die Membran 3 und das Übertragungsmedium 1 deformiert werden, gegen den Ventilein­ laß 11 drücken und diesen verschließen. Die Membran 3 wird durch die mechanische Vorspannung des Übertragungsmediums 1 gegen den Ventileinlaß 11 gedrückt und hält ihn auch gegen einen Ge­ gendruck geschlossen. Wenn die Auswölbung der Membran 3 und da­ mit die Auswölbung des Übertragungsmediums 1 nach dem Aushärten durch eine Druckdifferenz eingestellt wird, hat dies den Vor­ teil, daß der Arbeitsbereich des Ventiles durch die Veränderung dieses Druckes auf einfache Weise eingestellt werden kann.

Nach dem Aushärten des Silikons 1 wurden die Ventile mit einer Säge vereinzelt.

Fig. 6 zeigt das Ventil im geschlossenen Zustand. Fig. 7 zeigt das Ventil, wenn an der piezoelektrischen Keramikscheibe 7 Span­ nung angelegt wird. Der Aktor wölbt sich nach oben und öffnet so das Ventil. Dabei wird aus einer verhältnismäßig kleine Auswöl­ bung der piezoelektrischen Keramikscheibe 7 eine vergleichsweise große Auslenkung der Membran 3.

Das dritte Anwendungsbeispiel beschreibt die Herstellung eines Ventils, bei dem die Form des Übertragungsmediums unter anderem durch die thermische Dehnung einer Membran vorgegeben wird. Auch bei diesem Herstellungsverfahren werden in der Regel mehrere Ventile parallel gefertigt werden. In der Fig. 8 ist der Über­ sichtlichkeit wegen nur ein Ventil dargestellt.

Mit dem bekannten Verfahren des Mikrospritzgusses werden 1,5 mm dicke Gehäuseschalen 2 aus Polysulfon hergestellt. Dabei werden immer mehrere Gehäuseschalen in einem Werkstück nebeneinander parallel gefertigt. Diese Gehäuseschalen wiesen Öffnungen 4 mit einem Durchmesser von 3 mm, einer Übertragungskammer 18 mit ei­ nem Durchmesser von 7,5 mm und einer Öffnung 6 mit einem Durch­ messer von 11 mm auf. Ein Draht 15 für den elektrischen Anschluß wird wie im 2. Anwendungsbeispiel in den dafür vorgesehenen Ka­ nal 13 mit einem flexiblen Klebstoff 17 eingeklebt. In die Öff­ nungen 6 werden die piezoelektrischen Keramikscheiben 7 mit ei­ nem Durchmesser von 10 mm eingeklebt. Die elektrische Kontaktie­ rung auf der anderen Seite der Keramikscheibe 7 erfolgt durch Anlöten eines Drahtes 16.

Auf das Gehäuseteil 2 wird nun auf der Seite der Öffnung 4 auf eine Membran 3 aus 25 µm dicker, handelsüblicher Polyimidfolie aufgeklebt. Das Verkleben erfolgt bei einer Temperatur von 80°C. Durch den größeren thermischen Ausdehnungskoeffizienten von Polyimid im Vergleich zu dem des Polysulfons kommt es zu ei­ ner Auswölbung der Membran 3 um ca. 80 µm in ihrem Zentrum, wenn das Werkstück nach der Verklebung wieder auf Raumtemperatur ab­ kühlt. Vorteilhaft bei der Auswölbung der Membran 3 durch die thermische Dehnung von Gehäuse 2 und Membran 3 ist, daß die Aus­ wölbung und damit die Kraft, mit der das Ventil geschlossen ge­ halten wird, durch die Wahl der Temperatur sehr genau einge­ stellt werden kann.

Es ist auch möglich, die Auswölbung der Membran auf eine andere Weise hervorzurufen. So kann z. B. das Gehäuse 2 vor der Verbin­ dung mit der Membran 3 gedehnt oder die Membran 3 vor der Ver­ bindung gestaucht werden. Vorteilhaft bei einer Dehnung bzw. Stauchung ist, daß sich die Auswölbung bei späteren Temperatu­ ränderungen beim Einsatz des Ventils nicht mehr so leicht verän­ dert.

Durch einen hier nicht dargestellten Kanal 8 wird dann das Über­ tragungsmedium 1 in Form eines handelsüblichen Silikons in flüs­ siger Form so zugeführt, daß der Hohlraum, der aus der piezo­ elektrischen Keramikscheibe 7, der Gehäuseschale 2 und der Mem­ bran 3 gebildet wird, blasenfrei befüllt wird. Wenn das Übertra­ gungsmedium 1 ausgehärtet ist, wird das Gehäuseteil 10 so auf die Membran 3 gepreßt, daß sich die Ventilkammer 14 mit einem Durchmesser von 4 mm mittig unter der gewölbten Membran befin­ det. Durch das Zusammenpressen werden die Membran 3 und das Übertragungsmedium 1 so verformt, daß sie dichtend auf dem Ven­ tileinlaß 11 anliegen und diesen auch gegen einen von außen an­ liegenden Druck geschlossen halten. In dieser Position wird das Gehäuseteil 10 mit der Membran 3 verklebt. Die Funktionsweise ist analog zu dem Ventil aus dem zweiten Anwendungsbeispiel und wird in Fig. 6 und 7 skizziert.

Es ist auch möglich, nach der Verklebung und Abkühlung auf Raum­ temperatur eine Wölbung der Membran 3 in die Gehäuseschale 2 hinein zu erreichen. Dies führt zu einem Ventil, das geöffnet ist, wenn an der piezoaktiven Keramikscheibe 7 keine elektrische Spannung angelegt ist. Durch Anlegen einer geeigneten elektri­ schen Spannung an der piezoelektrischen Scheibe 7 wird das Ven­ til dann verschlossen.

Das vierte Anwendungsbeispiel beschreibt die Herstellung einer Pumpe, bei der ein Übertragungsmedium aus einer kleinen Auslen­ kung einer piezoelektrischen Keramikscheibe eine große Auslen­ kung der Pumpmembran erzeugt. Auch bei diesem Herstellungsver­ fahren können mehrere Pumpen parallel gefertigt werden. Fig. 9 zeigt schematisch den Querschnitt durch eine solche Pumpe.

Wie beim dritten Anwendungsbeispiel werden durch Mikrospritzguß 1,5 mm dicke Gehäuseschalen 2 mit 8 mm breiten Öffnungen 4 und 11 mm breiten Öffnungen 6 hergestellt. In die Öffnungen 6 wird eine piezoelektrische Keramikscheibe 7 eingelegt und elektrisch kontaktiert.

Auf das Gehäuseteil 2 wird auf der Seite der Öffnung 4 auf eine Membran 3 aus 2 µm dickem Polyimid aufgeklebt. Auf die außen liegende Seite der Membran 3 wird ein Gehäuseteil 10, in das eine Pumpenkammer eingebracht wurde, so positioniert, daß sich die Pumpenkammer unter dem Zentrum der Öffnung 4 befindet und mit Epoxydharzkleber aufgeklebt. Neben der Pumpenkammer 20 be­ finden sich Ventilkammern 21, in denen sich Ventilsitze 22 be­ finden. Die Befüllung mit dem Übertragungsmedium 1 erfolgt in gleicher Weise wie bei den vorangegangenen Anwendungsbeispielen. Pumpenkammer 20, Ventilkammern 21 und Ventilsitze 22 sind, wie in der DE 44 02 119, Fig. 1 dargestellt und in der Beschreibung Spalte 2 Zeilen 32 bis 59 erläutert, ausgeführt.

Die große Auslenkung der Membran 3, die durch die Kraftüberset­ zung erreicht wird, hat für die Pumpe den Vorteil, daß ein gro­ ßer Förderhub und damit eine große Förderrate erreicht werden.

Das fünfte Anwendungsbeipiel beschreibt einen optischen Schal­ ter. Die Herstellung erfolgt analog zu den vorhergegangenen An­ wendungsbeispielen, allerdings wird vor dem Einpressen des Über­ setzungsmediums 1 eine Fahne 24 auf die Membran 3 unter der Öff­ nung 4 geklebt. Durch die Auslenkung der piezoelektrischen Kera­ mikscheibe 7 wird die Fahne 24 ausgelenkt und der Strahlengang zwischen zwei Glasfasern 19 bzw. 23 wird, wie in Fig. 10 dar­ gestellt, unterbrochen. Wenn keine elektrische Spannung angelegt ist, wird die Fahne 24 wieder aus dem Lichtweg entfernt. Hat die Öffnung 4 einen Durchmesser von 8 mm und die Schalterkammer einen Durchmesser von 2 mm, bewirkt die Auslenkung des Aktors von 5 µm bei 200 V eine Bewegung der Fahne 24 von 80 µm.

Für die oben beschriebenen Anwendungsbeispiele wurde als An­ trieb zur Krafterzeugung eine piezoaktive Keramikscheibe bei­ spielhaft gewählt. Darüber hinaus eignen sich die folgenden An­ triebe für diese Anwendungsbeispiele:

Ein elektrostatischer Antrieb, wie er in dem Beitrag "A New Bis­ table Microvalve Using an SiO₂ Beam as the Movable Part" von J. H. Babaei, R.-S. Huang, Ch. Y. Kwok in den Proceedings der Kon­ ferenz Actuator '94 auf den Seiten 34 bis 37 beschrieben ist.

Ein Bimaterialaktor, bestehend aus einer Membran, die aus zwei Schichten mit unterschiedlicher thermischer Dehnung aufgebaut ist, so daß sich die Membran bei Temperaturänderungen auswölbt.

Ein Formgedächtnisaktor, bei dem sich die Form einer Membran durch Temperaturerhöhung ändert.

Ein Piezoaktor, der über einen Hebel oder direkt auf eine starre Scheibe auf dem Übertragungsmedium wirkt.

Claims (13)

1. Vorrichtung für eine Kraftübersetzung, bestehend aus einer Gehäuseschale mit starren Seitenwänden, zwei unterschiedlich großen Öffnungen, wobei die größere von einem Antrieb zur Krafterzeugung verschlossen ist und die kleinere als Kraft­ auskoppelfenster dient und einem Übertragungsmedium zur Kraftübertragung vom Antrieb zur Krafterzeugung auf das Fen­ ster, dadurch gekennzeichnet, daß das Übertragungsmedium (1) ein elastischer Feststoff ist.

2. Vorrichtung für eine Kraftübersetzung nach Anspruch 1, da­ durch gekennzeichnet, daß das Übertragungsmedium (1) Silikon­ kautschuk ist.

3. Vorrichtung für eine Kraftübersetzung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Gehäuseschale rotationssymme­ trisch ist und daß die zwei unterschiedlich großen Öffnungen einander gegenüber angeordnet sind.

4. Vorrichtung für eine Kraftübersetzung nach einem der Ansprü­ che 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die kleineren Öff­ nungen (4) von einer Membran (3) verschlossen werden.

5. Vorrichtung für eine Kraftübersetzung nach einem der Ansprü­ che 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Übertragungsme­ dium (1) im Bereich der Öffnungen (4) so ausgestaltet ist, daß es sich im kräftefreien Fall nach innen oder nach außen wölbt und durch das Einwirken der Kraft eine Gegenbewegung erzeugt wird.

6. Verfahren zur Herstellung einer Kraftübersetzung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Über­ tragungsmedium (1) in flüssiger Form in das Gehäuse (2) ein­ gefüllt und dann zu einem Feststoff gehärtet wird.

7. Verfahren zur Herstellung einer Kraftübersetzung gemäß An­ spruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (2) auf ei­ ner Form (5) angebracht wird, die die spätere Wölbung des Übertragungsmediums (1) vorgibt.

8. Verfahren zur Herstellung einer Kraftübersetzung gemäß An­ spruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Befüllen mit dem Übertragungsmedium eine Membran (3) so auf dem Gehäuse (2) angebracht wird, daß sie eine Wölbung aufweist.

9. Verfahren zur Herstellung einer Kraftübersetzung gemäß An­ spruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Wölbung der Membran (3) dadurch hervorgerufen wird, daß während der Härtung des Übertragungsmediums (1) eine Druckdifferenz über der Membran vorhanden ist.

10. Verfahren zur Herstellung einer Kraftübersetzung gemäß An­ spruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Wölbung der Membran (3) dadurch hervorgerufen wird, daß die Verbindung von Ge­ häuse (2) und Membran (3) unter solchen Umständen ausgeführt wird, daß das Gehäuse (2) nach der Verbindung eine stärkere Schrumpfung ausführt als die Membran (3) oder daß die Membran (3) eine stärkere Ausdehnung erfährt als das Gehäuse (2).

11. Verwendung einer Vorrichtung für eine Kraftübersetzung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6 als aktives Element bei einem Ventil.

12. Vorrichtung für eine Kraftübersetzung gemäß einem der Ansprü­ che 1 bis 6 als Antrieb für eine Pumpe.

13. Vorrichtung für eine Kraftübersetzung gemäß einem der Ansprü­ che 1 bis 6 als Antrieb für einen optischen Modulator zur Mo­ dulierung des Lichts zwischen zwei Lichtleitern (19, 23).